JP7343534B2 - アレイ基板、表示装置及びアレイ基板の製造方法 - Google Patents
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Description
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドと;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続される前記アノードコンタクトパッドと;を含み、
ここで、前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、かつ、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と直接接触する。
前記駆動トランジスタと;
前記蓄積キャパシタと;
リセット制御信号線に接続されたゲート電極と、リセット信号線に接続されたソース電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第1トランジスタと;
第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極に接続されたドレイン電極と、を有する第2トランジスタと;
前記第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第3トランジスタと;
発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記第2電圧供給線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極及び前記第2トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第4トランジスタと;
前記発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極及び前記第3トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、前記持続時間変調サブ回路に接続されたドレイン電極と、を有する第5トランジスタと;を含み、
前記持続時間変調サブ回路は、
前記第5トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、接続電極に接続されたドレイン電極と、を有する出力トランジスタと;
第2ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記出力トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第6トランジスタと;
前記第6トランジスタのドレイン電極及び前記出力トランジスタのゲート電極に接続された第1電極と、共通電圧が供給されるように配置された第2電極とを有するキャパシタと、を含む。
前記第2キャパシタ電極の前記絶縁層から離れた側に位置し、前記第2キャパシタ電極と直接接触する層間誘電体層と;
前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極との、前記層間誘電体層から離れた側に位置する平坦化層と;
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドと;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続されるアノードコンタクトパッドと;を含み、
前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の層に位置し、
前記第2グループはさらに出力トランジスタを含み、
前記接続電極は、前記出力トランジスタのドレイン電極を前記アノードコンタクトパッドに接続し、
前記第1電圧供給線、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極とは、前記層間誘電体層と直接接触し、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に位置し、
前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と、直接接触し、
前記マイクロ発光ダイオードは、第1型ドープ半導体層と、第2型ドープ半導体層と、前記第1型ドープ半導体層と前記第2型ドープ半導体層とを接続する量子井戸層と、前記第1型ドープ半導体層に電気的に接続するN型パッドと、前記第2型ドープ半導体層に電気的に接続するP型パッドとを含み、
前記N型パッドは、前記カソードコンタクトパッドと直接接触し、前記P型パッドは、前記アノードコンタクトパッドと直接接触する。
接続電極を形成する工程と;
前記第2電圧供給線及び前記第1電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極との、前記層間誘電体層から離れた側に平坦化層を形成する工程と;
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドを形成する工程と;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続されるアノードコンタクトパッドを形成する工程と;
前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドのベース基板から離れた側にマイクロ発光ダイオード(マイクロLED)を形成する工程と;を含み、
前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層に形成され、
前記第2グループは出力トランジスタを含み、
前記接続電極は、前記出力トランジスタのドレイン電極を前記アノードコンタクトパッドに接続し、
前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極とは、前記層間誘電体層と直接接触するように形成され、かつ、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に形成され、
前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と、直接接触するように形成され、
前記マイクロLEDを形成する工程は、マイクロLED前駆体ユニットを形成する工程を含み、
前記マイクロLED前駆体ユニットを形成する工程は、第1型ドープ半導体層を形成する工程と、第2型ドープ半導体層を形成する工程と、前記第1型ドープ半導体層と前記第2型ドープ半導体層とを接続する量子井戸層を形成する工程と、前記第1型ドープ半導体層に電気的に接続されたN型パッドを形成する工程と、前記第2型ドープ半導体層に電気的に接続されたP型パッドを形成する工程と、を含み、
前記方法は、さらに、前記マイクロLED前駆体ユニットを、前記平坦化層の前記第1電圧供給線及び前記接続電極から離れた側に移動させる工程と、前記N型パッドを前記カソードコンタクトパッドに接合し、前記P型パッドを前記アノードコンタクトパッドに接合する工程と、を含み、
前記N型パッドは、前記カソードコンタクトパッドと直接接触し、前記P型パッドは、前記アノードコンタクトパッドと直接接触する。
Claims (17)
- データ線と、
第1電圧供給線と、
第2電圧供給線と、
画素駆動回路と、を含むアレイ基板であって、
前記画素駆動回路は、第1グループの1つ又は複数のトランジスタと、第2グループの1つ又は複数のトランジスタと、蓄積キャパシタと、電流変調サブ回路と、持続時間変調サブ回路とを含み、
前記第1グループの少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線とは、同一の層に位置し、
前記第2グループの少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極は、前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と異なる層に位置し、
前記蓄積キャパシタは、第1キャパシタ電極と、第2キャパシタ電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記第2キャパシタ電極の間に位置する絶縁層と、を含み、
前記第2グループは駆動トランジスタを含み、
前記第1キャパシタ電極は前記駆動トランジスタのゲート電極に接続され、
前記第2キャパシタ電極は電圧源に接続され、
前記電流変調サブ回路は、データ信号に基づいて補償電流信号を生成し、前記補償電流信号を前記持続時間変調サブ回路に送信するように配置され、
前記持続時間変調サブ回路は、前記電流変調サブ回路から前記補償電流信号を受信し、前記補償電流信号の時間積分に基づいて前記持続時間変調サブ回路に接続された電気部品を制御するように配置され、
前記電流変調サブ回路は、
前記駆動トランジスタと;
前記蓄積キャパシタと;
リセット制御信号線に接続されたゲート電極と、リセット信号線に接続されたソース電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第1トランジスタと;
第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極に接続されたドレイン電極と、を有する第2トランジスタと;
前記第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第3トランジスタと;
発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記第2電圧供給線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極及び前記第2トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第4トランジスタと;
前記発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極及び前記第3トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、前記持続時間変調サブ回路に接続されたドレイン電極と、を有する第5トランジスタと;を含み、
前記持続時間変調サブ回路は、
前記第5トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、接続電極に接続されたドレイン電極と、を有する出力トランジスタと;
第2ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記出力トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第6トランジスタと;
前記第6トランジスタのドレイン電極及び前記出力トランジスタのゲート電極に接続された第1電極と、共通電圧が供給されるように配置された第2電極とを有するキャパシタと;を含む、
アレイ基板。 - さらに層間誘電体層を含み、
前記層間誘電体層は、前記第2キャパシタ電極の前記絶縁層から離れた側に位置し、前記第2キャパシタ電極と直接接触し、
前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線とは、前記層間誘電体層と直接接触し、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に位置する、
請求項1に記載のアレイ基板。 - 前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の層に位置し、
前記第2グループはさらに前記出力トランジスタを含み、
前記接続電極は、前記第2グループの前記出力トランジスタのドレイン電極をアノードコンタクトパッドに接続する、
請求項1に記載のアレイ基板。 - さらに、層間誘電体層を含み、
前記層間誘電体層は、前記第2キャパシタ電極の前記絶縁層から離れた側に位置し、前記第2キャパシタ電極と直接接触し、
前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極とは、前記層間誘電体層と直接接触し、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に位置する、
請求項3に記載のアレイ基板。 - さらに、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極との、前記層間誘電体層から離れた側に位置する平坦化層と;
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドと;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続される前記アノードコンタクトパッドと;を含み、
前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と、直接接触する、
請求項4に記載のアレイ基板。 - 前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極は、前記第2キャパシタ電極と同一の層に位置する、請求項1~5のいずれか1項に記載のアレイ基板。
- 前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極は、前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタの活性層と同一の層に位置し、半導体材料で形成される、請求項1~5のいずれか1項に記載のアレイ基板。
- 前記駆動トランジスタと、前記第4トランジスタと、前記第5トランジスタと、前記出力トランジスタとのいずれか1つのソース電極及びドレイン電極は、前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と異なる層に位置する、請求項1に記載のアレイ基板。
- 前記駆動トランジスタと、前記第4トランジスタと、前記第5トランジスタと、前記出力トランジスタとの各ソース電極及び各ドレイン電極は、前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と異なる層に位置する、請求項8に記載のアレイ基板。
- さらに前記画素駆動回路に接続されたマイクロ発光ダイオード(マイクロLED)を含む、請求項1~9のいずれか1項に記載のアレイ基板。
- さらに、前記第2キャパシタ電極の前記絶縁層から離れた側に位置し、前記第2キャパシタ電極と直接接触する層間誘電体層と;
前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極との、前記層間誘電体層から離れた側に位置する平坦化層と;
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドと;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に位置し、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続されるアノードコンタクトパッドと;を含み、
前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の層に位置し、
前記第2グループはさらに前記出力トランジスタを含み、
前記接続電極は、前記出力トランジスタのドレイン電極を前記アノードコンタクトパッドに接続し、
前記第1電圧供給線、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極とは、前記層間誘電体層と直接接触し、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に位置し、
前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第1電圧供給線と、前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と、直接接触し、
前記マイクロLEDは、第1型ドープ半導体層と、第2型ドープ半導体層と、前記第1型ドープ半導体層と前記第2型ドープ半導体層とを接続する量子井戸層と、前記第1型ドープ半導体層に電気的に接続するN型パッドと、前記第2型ドープ半導体層に電気的に接続するP型パッドとを含み、
前記N型パッドは、前記カソードコンタクトパッドと直接接触し、前記P型パッドは、前記アノードコンタクトパッドと直接接触する、
請求項10に記載のアレイ基板。 - 請求項1~11のいずれか一項に記載の前記アレイ基板と、前記アレイ基板に接続された1つ又は複数の集積回路と、を含む表示装置。
- データ線を形成する工程と、
第1電圧供給線を形成する工程と、
第2電圧供給線を形成する工程と、
画素駆動回路を形成する工程と、を含み、
前記画素駆動回路を形成する工程は、第1グループの1つ又は複数のトランジスタを形成する工程と、第2グループの1つ又は複数のトランジスタを形成する工程と、蓄積キャパシタを形成する工程と、電流変調サブ回路を形成する工程と、持続時間変調サブ回路を形成する工程とを含み、
前記第1グループの少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線とは、同一の材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層に形成され、
前記第2グループの少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極は、前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と異なる層に形成され、
前記蓄積キャパシタを形成する工程は、第1キャパシタ電極を形成することと、第2キャパシタ電極を形成することと、前記第1キャパシタ電極及び前記第2キャパシタ電極の間に位置する絶縁層を形成することと、を含み、
前記第2グループの1つ又は複数のトランジスタを形成する工程は、駆動トランジスタを形成することを含み、
前記第1キャパシタ電極は、前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されるように形成され、
前記第2キャパシタ電極は、電圧源に接続されるように形成され、
前記電流変調サブ回路は、データ信号に基づいて補償電流信号を生成し、前記補償電流信号を前記持続時間変調サブ回路に送信するように配置され、
前記持続時間変調サブ回路は、前記電流変調サブ回路から前記補償電流信号を受信し、前記補償電流信号の時間積分に基づいて前記持続時間変調サブ回路に接続された電気部品を制御するように配置され、
前記電流変調サブ回路は、前記駆動トランジスタと前記蓄積キャパシタとを含み、
前記電流変調サブ回路を形成する工程は、
リセット制御信号線に接続されたゲート電極と、リセット信号線に接続されたソース電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第1トランジスタを形成することと;
第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極に接続されたドレイン電極と、を有する第2トランジスタを形成することと;
前記第1ゲート線に接続されたゲート電極と、前記第1キャパシタ電極及び前記駆動トランジスタのゲート電極に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第3トランジスタを形成することと;
発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記第2電圧供給線に接続されたソース電極と、前記駆動トランジスタのソース電極及び前記第2トランジスタのドレイン電極に接続されたドレイン電極と、を有する第4トランジスタを形成することと;
前記発光制御信号線に接続されたゲート電極と、前記駆動トランジスタのドレイン電極及び前記第3トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、前記持続時間変調サブ回路に接続されたドレイン電極と、を有する第5トランジスタを形成することと;を含み、
前記持続時間変調サブ回路を形成する工程は、
前記第5トランジスタのドレイン電極に接続されたソース電極と、接続電極に接続されたドレイン電極と、を有する出力トランジスタを形成することと;
第2ゲート線に接続されたゲート電極と、前記データ線に接続されたソース電極と、前記出力トランジスタのゲート電極に接続されたドレイン電極と、を有する第6トランジスタを形成することと;
前記第6トランジスタのドレイン電極及び前記出力トランジスタのゲート電極に接続された第1電極と、共通電圧が供給されるように配置された第2電極とを有するキャパシタを形成することと;を含む、
アレイ基板の製造方法。 - さらに、アノードコンタクトパッドを形成する工程と、
カソードコンタクトパッドを形成する工程と、
前記第2グループの前記出力トランジスタのドレイン電極を前記アノードコンタクトパッドに接続する前記接続電極を形成する工程と、を含み、
前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層に形成される、
請求項13に記載の方法。 - 前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記第2キャパシタ電極とは、同一の材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層で形成される、請求項13に記載の方法。
- 前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記第2グループの前記少なくとも1つのトランジスタの活性層とは、同一の半導体材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層で形成される、請求項13に記載の方法。
- 請求項13~16のいずれか1項に記載の方法であって、さらに、
前記第2キャパシタ電極の前記絶縁層から離れた側に、前記第2キャパシタ電極と直接接触する層間誘電体層を形成する工程と;
前記接続電極を形成する工程と;
前記第2電圧供給線及び前記第1電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極との、前記層間誘電体層から離れた側に平坦化層を形成する工程と;
前記平坦化層の前記第1電圧供給線から離れた側に、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記第1電圧供給線に接続されるカソードコンタクトパッドを形成する工程と;
前記平坦化層の前記接続電極から離れた側に、延伸して前記平坦化層を貫通し、前記接続電極に接続されるアノードコンタクトパッドを形成する工程と;
前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドのベース基板から離れた側にマイクロ発光ダイオード(マイクロLED)を形成する工程と;を含み、
前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記接続電極とは、同一の材料及び同一のマスクプレートを用いて同一の層に形成され、
前記第2グループは前記出力トランジスタを含み、
前記接続電極は、前記出力トランジスタのドレイン電極を前記アノードコンタクトパッドに接続し、
前記第1電圧供給線及び前記第2電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極とは、前記層間誘電体層と直接接触するように形成され、かつ、前記層間誘電体層の前記第2キャパシタ電極から離れた側に形成され、
前記平坦化層は、第1側で前記カソードコンタクトパッド及び前記アノードコンタクトパッドと直接接触し、前記第1側とは反対側の第2側で、前記第2電圧供給線と、前記第1電圧供給線と、前記第1グループの前記少なくとも1つのトランジスタのソース電極及びドレイン電極と、前記データ線と、前記接続電極と、直接接触するように形成され、
前記マイクロLEDを形成する工程は、マイクロLED前駆体ユニットを形成する工程を含み、
前記マイクロLED前駆体ユニットを形成する工程は、第1型ドープ半導体層を形成する工程と、第2型ドープ半導体層を形成する工程と、前記第1型ドープ半導体層と前記第2型ドープ半導体層とを接続する量子井戸層を形成する工程と、前記第1型ドープ半導体層に電気的に接続されたN型パッドを形成する工程と、前記第2型ドープ半導体層に電気的に接続されたP型パッドを形成する工程と、を含み、
前記方法は、さらに、前記マイクロLED前駆体ユニットを、前記平坦化層の前記第1電圧供給線及び前記接続電極から離れた側に移動させる工程と、前記N型パッドを前記カソードコンタクトパッドに接合し、前記P型パッドを前記アノードコンタクトパッドに接合する工程と、を含み、
前記N型パッドは、前記カソードコンタクトパッドと直接接触し、前記P型パッドは、前記アノードコンタクトパッドと直接接触する、方法。
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