JP7338957B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
15 構造空間
16 ハウジング
17 ローター
18 回転軸
20 ローターシャフト
22 ローターディスク
24 ステーターディスク
26 スペーサーリング
28 吸込み領域
30 ポンプ作用
42 ローラー軸受
44 永久磁石軸受
46 軸受半部
48 軸受半部
50 永久磁石のリング
54 支承間隙
56 安全用軸受
58,60,62,68,72 アクチュエーター
64,66,70 振動リング
74 電気レオロジックな/磁気レオロジックな流体
76 チャンバー
Fr,Fa 半径方向又は軸方向の力の付勢
Claims (13)
- ターボ分子ポンプを含む真空ポンプ(10)であって、少なくとも一つのポンプ段の為のステーターと、ステーター内に回転可能に軸支されたローター(17)を有し、ローター(17)を軸支するため、少なくとも一つの軸受装置が設けられており、この軸受装置は、軸受(42)とこの軸受(42)に割り当てられた、軸受(42)の少なくとも作動特性及び作動位置のうちの少なくとも1つを選択的に変更する為に設けられている少なくとも一つのアクチュエーター(58,60,62,72)とを有する当該真空ポンプ(10)において、
前記軸受(42)の剛性及び減衰量及び共振周波数のうちの少なくとも1つが変更可能であるように、若しくはローター(17)及びステーターのうちの少なくとも1つに対する前記軸受(42)の位置及び向きのうちの少なくとも1つが変更可能であるように、又は前記軸受(42)の剛性及び減衰量及び共振周波数のうちの少なくとも1つと、ローター(17)及びステーターのうちの少なくとも1つに対する前記軸受(42)の位置及び向きのうちの少なくとも1つとが変更可能であるように、前記アクチュエーター(58,60,62,72)が配置されていて且つ形成されていること、及び
エラストマー構造及び金属構造のうちの少なくとも1つの構造を成す作用要素(64,66)が、アクチュエーター(58,60,62)と軸受(42)との間に配置されていて、且つ、アクチュエーター(58,60,62)は、機械的な力を作用要素(64,66)に対して半径方向に可変に付勢可能であるか、若しくは軸方向に可変に付勢可能であるか、又は半径方向に且つ軸方向に可変に付勢可能であり、前記作用要素(64,66)は、振動リングとして形成されていることによって、前記真空ポンプ(10)の前記軸受(42)の複数の共振周波数に起因する共振が減衰することを特徴とする真空ポンプ(10)。 - 軸受(42)が、機械軸受として、又はころ軸受として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ(10)。
- 軸受(42)の作動特性及び作動位置のうちの少なくとも1つが、アクチュエーター(58,60,62,72)によって処理されるか、若しくは発生されるか、又は処理され且つ発生される機械的な値、電気的な値及び磁気的な値のうちの少なくとも1つの値によって選択的に変更可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ(10)。
- アクチュエーター(58,60,62,72)は、電気機械式のアクチュエーター、電歪式のアクチュエーター、磁歪式のアクチュエーター、ピエゾ電気式のアクチュエーター、電気レオロジック式のアクチュエーター、磁気レオロジック式のアクチュエーター、液圧式のアクチュエーター及び空圧式のアクチュエーターのうちの少なくとも1つのアクチュエーターとして形成されていることと、
アクチュエーター(58,60,62,72)は、形状記憶合金、電場応答性ポリマー、電気磁気的要素、電気レオロジックな流体(74)及び磁気レオロジックな流体(74)のうちの少なくとも1つを含むこととのうちの少なくとも1つを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。 - アクチュエーター(58,60,62,72)が、無段階式、段階式及び自動式のうちの少なくとも1つの方式で制御可能であること、又は
アクチュエーター(58,60,62,72)が、電気式に制御可能であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。 - アクチュエーター(58,60,62,72)が、軸受(42)の作動特性値を検出するセンサーとして連続的に又は一次的に使用されることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。
- アクチュエーター(58,60,62,72)を作動させるため、少なくとも1つの制御ユニットが設けられており、当該制御ユニットは、真空ポンプ(10)の現在の作動特性値に応じて、又はローター回転数、ポンプ出力、アクチュエーターの状態、移動、換気、振動、温度及び検出された緊急用軸受の接触のうちの少なくとも1つに応じてアクチュエーター(58,60,62,72)を制御するように構成されていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。
- アクチュエーター(58,60,62,72)が、軸受(42)と軸方向に作用接続しているか、若しくは軸受と半径方向に作用接続しているか、又は軸受と軸方向に且つ半径方向に作用接続していることと、アクチュエーター(58,60,62,72)が、間接に軸受(42)に作用することと、複数のアクチュエーター(58,60,62,72)が設けられていることとのうちの少なくとも1つを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。
- アクチュエーター(58,60,62,72)が、軸受(42)と常に接触し、若しくはアクチュエーター(58,60,62,72)の姿勢に応じて軸受(42)と接触可能であり、又は軸受(42)と常に接触し、且つアクチュエーター(58,60,62,72)の姿勢に応じて軸受(42)と接触可能であることと、
アクチュエーター(58,60,62,72)が、遮断された状態において軸受(42)に間隔をあけて配置されていることと、
アクチュエーター(58,60,62,72)が、軸受の周囲若しくは正面又は周囲及び正面に点で若しくは面で作用することとのうちの少なくとも1つを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。 - 作用要素(64,66)が、軸受(42)と常に接触し、若しくはアクチュエーター(58,60,62)の姿勢に応じて軸受(42)と接触させることが可能であり、又は軸受(42)と常に接触し、且つアクチュエーター(58,60,62)の姿勢に応じて軸受(42)と接触させることが可能であることと、
作用要素(64,66)が、アクチュエーター(58,60,62)の遮断された状態で軸受(42)に間隔をあけて配置されていることと、
作用要素(64,66)が、軸受(42)の周囲若しくは正面又は周囲及び正面に点で若しくは面で作用することとのうちの少なくとも1つを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。 - アクチュエーター(72)が、磁気レオロジックな流体又は電気レオロジックな流体(74)を有する少なくとも一つのチャンバー(76)を有し、当該チャンバー(76)は、軸受(42)と間接に作用接続しており、又は半径方向若しくは軸方向又は半径方向及び軸方向に軸受(42)に作用する又は当接することを特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の真空ポンプ(10)。
- ローター(17)を軸支するため、ハイブリッド軸受装置が設けられており、このハイブリッド軸受装置が、機械的な軸受(42)に対して追加的に、少なくとも一つの磁気的な軸受(44)を有する別の軸受装置又は永久磁石軸受を有することを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ(10)。
- 機械的な軸受(42)を有する軸受装置が、ポンプの予真空側に配置されていて、磁気的な軸受(44)を有する軸受装置が、ポンプの高真空側に配置されていることを特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ(10)。
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