JPH01294995A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH01294995A JPH01294995A JP63121784A JP12178488A JPH01294995A JP H01294995 A JPH01294995 A JP H01294995A JP 63121784 A JP63121784 A JP 63121784A JP 12178488 A JP12178488 A JP 12178488A JP H01294995 A JPH01294995 A JP H01294995A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- pump stage
- compression pump
- stator
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 27
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 27
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/642—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps by adjusting the clearances between rotary and stationary parts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/052—Axially shiftable rotors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は排気口を大気圧とする真空ポンプに係り、特に
清浄な真空を作り出すのに好適な真空ポンプに関する。
清浄な真空を作り出すのに好適な真空ポンプに関する。
従来の真空ポンプとしては、特開昭６１−２４７８９３
号公報に記載されたものが知られている。この真空ポン
プの構造を第５図〜第９図により説明する。
号公報に記載されたものが知られている。この真空ポン
プの構造を第５図〜第９図により説明する。
吸気口５１Ａおよび排気口５１Ｂを有するハウジングと
、このハウジングＳｌ内に軸受５２を介して回転自在に
支持された回転軸５３と、吸気口５１Ａ側から排気口５
１Ｂ側に至る間のハウジング５１内に順次配設された遠
心圧縮ポンプ段５４および円周流圧縮ポンプ段５５とを
備えている。
、このハウジングＳｌ内に軸受５２を介して回転自在に
支持された回転軸５３と、吸気口５１Ａ側から排気口５
１Ｂ側に至る間のハウジング５１内に順次配設された遠
心圧縮ポンプ段５４および円周流圧縮ポンプ段５５とを
備えている。
回転軸５３はこれに連結したモータ５６により駆動され
るようになっている。
るようになっている。
前記遠心圧縮ポンプ段５４は、表面に複数の後退羽根２
７を有し、かつ回転軸５３に取付けられたオーブン形イ
ンペラ５４Ａと、ハウジング５１内壁に取付けられ、か
つ前記インペラ５４Ａの裏面と対向する面に回転方向に
対して内向きの羽根２８を複数個設けたステータ５４Ｂ
とを交互に配置して構成されている。
７を有し、かつ回転軸５３に取付けられたオーブン形イ
ンペラ５４Ａと、ハウジング５１内壁に取付けられ、か
つ前記インペラ５４Ａの裏面と対向する面に回転方向に
対して内向きの羽根２８を複数個設けたステータ５４Ｂ
とを交互に配置して構成されている。
前記円周流圧縮ポンプ段５５は、回転軸５３に取付けら
れ、かつ外周面に複数個の羽根２９を放射状に設けたイ
ンペラ５５Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ
前記インペラ５５Ａと対向する面にＵ字状の溝３０を有
するステータ５５Ｂとを交互に配置して構成されると共
に、前記溝の両端部に孔を穿って通風路３１を形成して
いる。
れ、かつ外周面に複数個の羽根２９を放射状に設けたイ
ンペラ５５Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ
前記インペラ５５Ａと対向する面にＵ字状の溝３０を有
するステータ５５Ｂとを交互に配置して構成されると共
に、前記溝の両端部に孔を穿って通風路３１を形成して
いる。
前述の如き構成の真空ポンプにおいて、ポンプが定常運
転状態に達したとき、遠心圧縮ポンプ段は主として分子
流、中間流で働き、円周流圧縮ポンプ段は粘性流中で働
く。円周流圧縮ポンプ段に流入する気体は前記遠心圧縮
ポンプ段において十分圧縮されているため、体積流量は
ほとんど零に近く、流体損失で発生する熱は、気体の流
れによって運び出されることが殆んどなく、前記円周流
圧縮ポンプ段に蓄積され高温になる。この熱により回転
軸やインペラ、ステータが伸び、インペラとステータ間
の軸方向すきまが設定値から外れる。
転状態に達したとき、遠心圧縮ポンプ段は主として分子
流、中間流で働き、円周流圧縮ポンプ段は粘性流中で働
く。円周流圧縮ポンプ段に流入する気体は前記遠心圧縮
ポンプ段において十分圧縮されているため、体積流量は
ほとんど零に近く、流体損失で発生する熱は、気体の流
れによって運び出されることが殆んどなく、前記円周流
圧縮ポンプ段に蓄積され高温になる。この熱により回転
軸やインペラ、ステータが伸び、インペラとステータ間
の軸方向すきまが設定値から外れる。
このため、ポンプ性能が低下し、極端な場合には、イン
ペラとステータが接触し、ポンプが停止する恐れがあっ
た。
ペラとステータが接触し、ポンプが停止する恐れがあっ
た。
本発明の目的は、真空ポンプの軸受部にインペラ位置調
節用の圧電アクチュエータを組み込むことによって、イ
ンペラとステータ間のすきまを最適に保つ方法を提供す
ることにある。
節用の圧電アクチュエータを組み込むことによって、イ
ンペラとステータ間のすきまを最適に保つ方法を提供す
ることにある。
上記目的は、真空ポンプの軸受部に圧電アクチュエータ
を組み込み、真空ポンプのロータとステータの相対変位
を測定するセンサを取付け、相対変位量が一定になるよ
うに圧電アクチュエータを歪ませることにより達成され
る。
を組み込み、真空ポンプのロータとステータの相対変位
を測定するセンサを取付け、相対変位量が一定になるよ
うに圧電アクチュエータを歪ませることにより達成され
る。
排気口の圧力を大気圧とするターボ形真空ポンプが定常
運転状態に達した後、ポンプ内部は流体損失によりかな
りの熱が発生するため、回転軸やロータ、ステータが伸
びる。このとき、インペラ部に取付けたセンサでインペ
ラとステータの相対変位置を検出し、制御回路によって
圧電アクチュエータに所定の電圧を与え圧電アクチュエ
ータを所所の量だけ歪ませることにより、インペラとス
テータ間のすきまを一定に保つことができる。
運転状態に達した後、ポンプ内部は流体損失によりかな
りの熱が発生するため、回転軸やロータ、ステータが伸
びる。このとき、インペラ部に取付けたセンサでインペ
ラとステータの相対変位置を検出し、制御回路によって
圧電アクチュエータに所定の電圧を与え圧電アクチュエ
ータを所所の量だけ歪ませることにより、インペラとス
テータ間のすきまを一定に保つことができる。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図、第３図によ
り説明する。
り説明する。
第１図は本発明による真空ポンプの全体構造図、第２図
は第１図に示した真空ポンプの信号系統図、第３図は本
発明の拡大図である。第１図において。
は第１図に示した真空ポンプの信号系統図、第３図は本
発明の拡大図である。第１図において。
この真空ポンプは、吸気口５１Ａおよび排気口５１、
Ｂを有するハウジング５１と、このハウジング５１内に
軸受５２を介して回転自在に支持された回転軸５３と吸
気口５１Ａ側から排気口５１Ｂ側に至る間のハウジング
５１内に順次配設された遠心圧縮ポンプ段５４および円
周流圧縮ポンプ段５５とを備えている。前記軸受５２は
、上側軸受ホルダ５６Ａ、下側軸受ホルダ５６Ｂにそれ
ぞれ挿入されており、上側軸受ホルダ５６Ａは上側軸受
ケース５７Ａに緩衝材５８．下側軸受ホルダ５６Ｂは下
側軸受ケース５７Ｂに緩衝材５８を介して取付けられて
おり、上下に動くことができる。
Ｂを有するハウジング５１と、このハウジング５１内に
軸受５２を介して回転自在に支持された回転軸５３と吸
気口５１Ａ側から排気口５１Ｂ側に至る間のハウジング
５１内に順次配設された遠心圧縮ポンプ段５４および円
周流圧縮ポンプ段５５とを備えている。前記軸受５２は
、上側軸受ホルダ５６Ａ、下側軸受ホルダ５６Ｂにそれ
ぞれ挿入されており、上側軸受ホルダ５６Ａは上側軸受
ケース５７Ａに緩衝材５８．下側軸受ホルダ５６Ｂは下
側軸受ケース５７Ｂに緩衝材５８を介して取付けられて
おり、上下に動くことができる。
上側軸受ホルダ５６Ａと上側軸受ケース５７Ａの間に圧
電アクチュエータ５９が取付けられているゆ回転軸５３
はこれに連結したモータ６０により駆動される。
電アクチュエータ５９が取付けられているゆ回転軸５３
はこれに連結したモータ６０により駆動される。
前記遠心圧縮ポンプ段５４は、表面に複数の後退羽根を
有し、かつ回転軸５３に取付けられたオープン形羽根車
５４Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ前記羽
根車５４Ａの裏面と対向する面に回転方向に対して内向
きの羽根を複数個設けた固定円板５４Ｂとを交互に直列
に配置して構成されている。
有し、かつ回転軸５３に取付けられたオープン形羽根車
５４Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ前記羽
根車５４Ａの裏面と対向する面に回転方向に対して内向
きの羽根を複数個設けた固定円板５４Ｂとを交互に直列
に配置して構成されている。
前記円周流圧縮ポンプ段５５は、回転軸５３に取付けら
れ、かつ外周面に複数個の羽根を放射状に設けた羽根車
５５Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ前記羽
根車５５Ａの表面と対向する面にＵ字状の溝を有する固
定円板５５Ｂとを交互に直列に配置して構造で前記固定
円板５５Ｂの外周に水冷ジャケット６１が取付けられて
いる。
れ、かつ外周面に複数個の羽根を放射状に設けた羽根車
５５Ａとハウジング５１内壁に取付けられ、かつ前記羽
根車５５Ａの表面と対向する面にＵ字状の溝を有する固
定円板５５Ｂとを交互に直列に配置して構造で前記固定
円板５５Ｂの外周に水冷ジャケット６１が取付けられて
いる。
各段の固定円板５５ＢのＵ字状の’＋ｆｉ？は直列につ
ながり、排気口５１Ｂに通じるように構成されている。
ながり、排気口５１Ｂに通じるように構成されている。
次に本実施例の作用について説明する。吸気口５１Ａか
ら吸込まれた気体は、遠心圧縮ポンプ段５４と円周流圧
縮ポンプ段５５によって形成された流路内で順次圧縮さ
れ、排気口５１Ｂより大気に排出される。前記円周流圧
縮ポンプ段５５へ流入する気体は、前記遠心圧縮ポンプ
段５４において十分圧縮されているため、体積流量はほ
とんど零に近い。すなわち１円周流圧縮ポンプ段５５の
流体損失により発生する熱は、ガスの流れにより排出さ
れにくく、円周流圧縮ポンプ段５５内のガス温度２００
〜３００℃という高温になる。円周流圧縮ポンプ段５５
の固定円板５５Ｂの外周に水冷ジャケット６１が取付け
ら九、固定円！５５Ｂを冷却しているが、回転円板５５
Ａは冷却されておらず、熱が回転円板５５Ａに蓄積され
、吸気口５１Ａ方向にポンプ段ロータが伸び始める。ロ
ータと固定円板５５Ｂの相対変位量をセンサで電圧とし
て検出し、その電圧を制御回路に供給する。
ら吸込まれた気体は、遠心圧縮ポンプ段５４と円周流圧
縮ポンプ段５５によって形成された流路内で順次圧縮さ
れ、排気口５１Ｂより大気に排出される。前記円周流圧
縮ポンプ段５５へ流入する気体は、前記遠心圧縮ポンプ
段５４において十分圧縮されているため、体積流量はほ
とんど零に近い。すなわち１円周流圧縮ポンプ段５５の
流体損失により発生する熱は、ガスの流れにより排出さ
れにくく、円周流圧縮ポンプ段５５内のガス温度２００
〜３００℃という高温になる。円周流圧縮ポンプ段５５
の固定円板５５Ｂの外周に水冷ジャケット６１が取付け
ら九、固定円！５５Ｂを冷却しているが、回転円板５５
Ａは冷却されておらず、熱が回転円板５５Ａに蓄積され
、吸気口５１Ａ方向にポンプ段ロータが伸び始める。ロ
ータと固定円板５５Ｂの相対変位量をセンサで電圧とし
て検出し、その電圧を制御回路に供給する。
制御回路はロータと固定円板の相対変位量を算出し、そ
の相対変位量に見合った電だけ圧電アクチュエータ５９
を歪ませるだけの電圧を発生するように電圧発生器を制
御する。これによって、圧電アクチュエータ５９が歪み
、回転軸５３が８！ｌ？ｌＪすることによって、回転軸
円板５４Ａ、５５Ａと固定円板５４Ｂ、５５Ｂ間のすき
まを常に一定に保つことができる。
の相対変位量に見合った電だけ圧電アクチュエータ５９
を歪ませるだけの電圧を発生するように電圧発生器を制
御する。これによって、圧電アクチュエータ５９が歪み
、回転軸５３が８！ｌ？ｌＪすることによって、回転軸
円板５４Ａ、５５Ａと固定円板５４Ｂ、５５Ｂ間のすき
まを常に一定に保つことができる。
なお、圧電アクチュエータ５９の組み込み場所は、第４
図のように下側軸受部でもよい。このようにしても第３
図に示す実施例と同様な効果を得ることができる。
図のように下側軸受部でもよい。このようにしても第３
図に示す実施例と同様な効果を得ることができる。
以上の如く、本発明によれば、ターボ形真空ポンプのロ
ータとステータの相対変位量を検出して、圧電アクチュ
エータで補正できるので、インペラとステータ間のすき
まを適切に保てる。
ータとステータの相対変位量を検出して、圧電アクチュ
エータで補正できるので、インペラとステータ間のすき
まを適切に保てる。
第１図は本発明の真空ポンプの一実施例を示す縦断面図
、第２図は信号系統図、第３図は第１図に示す本発明の
真空ポンプの要部を拡大して示す縦断面図、第４図は本
発明の他の実施例の要部を拡大して示す縦断面図、第５
図は従来の真空ポンプの縦断面図、第６図は遠心圧縮ポ
ンプ段の回転円板を示す正面図、第７図は遠心圧縮ポン
プ段の固定円板を示す正面図、第８図は円周流圧縮ポン
プ段の詳細を示す縦断面図、第９図は円周流圧縮ポンプ
段の回転円板を示す正面図である。
、第２図は信号系統図、第３図は第１図に示す本発明の
真空ポンプの要部を拡大して示す縦断面図、第４図は本
発明の他の実施例の要部を拡大して示す縦断面図、第５
図は従来の真空ポンプの縦断面図、第６図は遠心圧縮ポ
ンプ段の回転円板を示す正面図、第７図は遠心圧縮ポン
プ段の固定円板を示す正面図、第８図は円周流圧縮ポン
プ段の詳細を示す縦断面図、第９図は円周流圧縮ポンプ
段の回転円板を示す正面図である。
Claims (1)
- １、吸気口と排気口を有するハウジングと、そのハウジ
ング内に上下２カ所の軸受にて回転自在に支持された回
転軸と、ハウジング内壁に取付けられた複数枚の固定体
および回転軸に取付けられた複数枚の回転体を備え、前
記の固定体と回転体とを交互に組合せてポンプ段を構成
し、前記吸気口から吸込んだ気体を排気口から直接大気
に排出することのできる真空ポンプにおいて、前記軸受
部に軸の軸方向位置を変える圧電アクチュエータを設け
たことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63121784A JPH01294995A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63121784A JPH01294995A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01294995A true JPH01294995A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14819809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63121784A Pending JPH01294995A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01294995A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998032972A1 (en) * | 1997-01-22 | 1998-07-30 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Turbo molecular pump |
| KR100461323B1 (ko) * | 2002-09-27 | 2004-12-14 | 현대자동차주식회사 | 차량용 더블 폴딩 리어시트의 안전 잠금 장치 |
| JP2019035408A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| JP2019163764A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-26 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ、および真空ポンプの作動のための方法 |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP63121784A patent/JPH01294995A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998032972A1 (en) * | 1997-01-22 | 1998-07-30 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Turbo molecular pump |
| JPH10266991A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-10-06 | Seiko Seiki Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
| KR100461323B1 (ko) * | 2002-09-27 | 2004-12-14 | 현대자동차주식회사 | 차량용 더블 폴딩 리어시트의 안전 잠금 장치 |
| JP2019035408A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
| JP2019163764A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-26 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ、および真空ポンプの作動のための方法 |
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