JP2008528852A

JP2008528852A - 真空側路形圧縮機

Info

Publication number: JP2008528852A
Application number: JP2007551649A
Authority: JP
Inventors: バイアークリスティアン; エングレンダーハインリヒ
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2005-01-22
Filing date: 2006-01-03
Publication date: 2008-07-31
Also published as: US20080112790A1; EP1838966A1; DE102005003091A1; WO2006077175A1

Abstract

本発明は、真空側路形圧縮機（１０）に関するものであって、この真空側路形圧縮機は、ポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）とを有していて、これらのポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）とによって１つの側路（３１，３２，３３，３４）が形成している。前記ポンプロータ（１２）を支承するためにアキシャル軸受（２２）が設けられている。ポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）との間で側路の側方にシールギャプ（４０）が形成されている。このシールギャップ（４０）が環状円錐形を形成しており、該環状円錐形の想定円錐形先端（５０）が、アキシャル軸受（２２）の近傍でポンプロータ軸線（７０）上に位置している。

Description

本発明は、ポンプステータとポンプロータとを有し、これらのポンプステータとポンプロータとによって取り囲まれて１つの側路が形成されている形式の真空側路形圧縮機に関する。

側路形圧縮機は、分子範囲内でポンプ作用を得るために高い回転数で回転させる必要がある分子ポンプに属するものである。側路からの、また側路への逆流損失をできるだけ小さく維持するために、側路の側方で、ポンプステータとポンプロータとの間に非常に狭いシールギャプが必要である。一方では高い圧縮を得るための高い回転数、また他方では狭いギャップは、互いに相反する要求である。高い回転数によって生ぜしめられる高い遠心力の他に、駆動モータの熱損失、支承部の摩擦損失並びに圧縮作業に基づいて、特にロータの熱的な伸張が、シールギャップを縮小するように作用する。しかしながら、より大きいシールギャップは圧縮を低下させる。

本発明の課題は、冒頭に述べた形式の真空側路形圧縮機を改良して、駆動に基づいてシールギャップに作用する影響が減少されるようにすることである。

この課題を解決した本発明によれば、請求項１に記載した特徴によって解決された。

本発明による真空側路形圧縮機においては、シールギャップが少なくとも部分的に環状円錐形を形成しており、この環状円錐形の想定円錐形先端がロータのアキシャル軸受近傍に位置している。この側路形圧縮機のロータは、一般的な形式で２つの軸受によって回転可能に支承されており、この場合、２つの軸受のうちの一方がロータを軸方向（アキシャル）に固定する。ポンプロータを片持ち式に支承する場合、これは、ポンプロータの隣に位置する軸受によって行われる。シールギャプ及び、ポンプステータとポンプロータとの互いに向き合うシールギャップ面が、それぞれ環状円錐形を形成しており、この環状円錐形の想定円錐形先端がアキシャル軸受の近傍に位置しているので、ポンプロータは、シールギャップの領域内における熱的に限定された伸張によって、環状円錐形に対してほぼ平行に伸張するので、ポンプステータ及びポンプロータのシールギャップ面間の間隔、つまりシールギャプのギャップ寸法は、ポンプロータのそれぞれの温度においてほぼ一定に維持される。環状円錐形シールギャップのギャップ寸法を相応に設計することによって、熱による影響を十分に無視することができる。このような形式で、駆動に基づいてより高い温度が必要とされる場合に、シールギャップの寸法に余裕をもたせる必要はない。ギャップ寸法は非常に小さくて済む。つまりシールギャップは非常に狭く設計することができ、この場合、このギャップ寸法は、すべてのポンプロータ温度においてほぼ同じ程度に狭く維持することができ、これによって逆流損失が少なくなる。またこれによって、真空側路形圧縮機のポンプ作用を全体的に改善することができる。

有利な形式で、円錐形先端は、アキシャル軸受から、ポンプロータの支持長さの半分よりも大きく離れていない。支持長さとは、ポンプロータを支持する２つの軸受間の長さである。円錐形先端はつまり、支持長さの長さ範囲内でアキシャル軸受の周囲を巡って位置している。

本発明の有利な実施態様によれば、円錐形先端は、アキシャル軸受から、アキシャル軸受長さよりも大きく離れていない。つまり円錐形先端は、３つのアキシャル軸受長さのうちの１つの長さの範囲内でアキシャル軸受中心点の周囲を巡って位置している。

有利な形式で少なくとも２つの側路が設けられており、これらの側路は有利な構成では、１つの半径方向平面内に位置している。このような形式で、側路形圧縮機のいずれにしても軸方向でコンパクトな構成が実現される。隣接し合う側路間のシールギャップはすべて、それぞれ１つの別の円錐角度を有する単独の環状円錐形を形成している。円錐形先端はすべての環状円錐形に対して、アキシャル軸受の近傍でほぼ１つの点上に位置している。

有利な形式で、２つの側路間のギャップの非円錐形部分が、半径方向平面内に、かつ／又は円筒形面上に位置している。これによって確実に、ギャップはポンプロータの温度が次第に高くなると、つまりポンプロータの熱的な伸張が次第に大きくなると、常に大きくなるが、小さくなることはない。またこれによって、ポンプロータの加熱が高くなった時にポンプロータとポンプステータとの間のギャップ範囲内で、ポンプロータがポンプステータで摺動する危険性及びポンプステータに食いつく危険性は、確実に減少される。

有利な形式で、それぞれ外側の側路の横断面は、隣接する内側の側路よりも大きい。このような形式で、この側路形圧縮機は、側路形圧縮機の圧縮率を全体的に高くする内部圧縮を有している。

以下に図面を本発明の実施例を用いて詳しく説明する。

図面には、４つのポンプ段を有する本発明による真空側路形圧縮機１０が示されており、この真空側路形圧縮機１０は、ポンプロータ１２とポンプステータ１４とケーシング１６と電気式の駆動モータ１８と軸２０と、該軸２０に支承された２つの軸受２２，２４とを有している。

ポンプステータ１４とポンプロータ１２とは、４つの側路３１，３２，３３，３４を有していて、これらの側路３１，３２，３３，３４はほぼ同じ半径方向平面内に位置している。このために、ポンプロータ１２は円板状に構成されている。側路３１−３４の横断面は、半径方向外方から半径方向内方に向かって次第に小さくなっているので、それぞれ半径方向で外側の側路３１，３２，３３の横断面は、それぞれ半径方向内側に隣接する側路３２，３３，３４よりも大きい。側路３１−３４は、互いに直列式に接続されているので、外側でガス入口３６を通って吸い込まれたガスは、４つの側路３１−３４を外から内に向かって貫流し、次いでガス出口３８を通って吐出される。

ポンプロータ１２は片持ち式に支承されている。ポンプロータ１２により近い方の軸受２２は転がり軸受として構成されたラジアル・アキシャル軸受２２であって、これに対してポンプロータ１２から遠い方の軸受２４は同様に転がり軸受であるが、純粋にラジアル軸受である。

ポンプスタータ１４とポンプロータ１２との間に、ポンプスタータ１４及びポンプロータ１２の互いに向き合う面５２，５４によって、それぞれ１つのシールギャップ４０，４２，４４，４６が形成されている。これらのシールギャップ４０，４２，４４，４６は、それぞれ１つの環状円錐形を形成している。環状円錐形は、想定円錐形６１，６２，６３，６４のそれぞれ一部であって、これらの想定円錐形の共通の想定円錐形先端５０は、アキシャル軸受２２内でポンプロータ軸線７０上に位置している。１つの環状円錐形を形成する、外側の側路３１のシールギャプ４０は、相応の傾斜したポンプロータシール面５２と、これに向き合う相応に傾斜したポンプステータシール面５４とによって形成される。

２つのシール面５２，５４と、これらのシール面によって形成されたシールギャプ４０とは、環状円錐形を形成していて、その想定円錐形先端５０は、唯一のアキシャル軸受２２内に位置しているので、シールギャップ４０のギャップ寸法は、熱に基づくポンプロータ１２の伸張時に変化しないか、又は場合によっては僅かに変化する。これによって、シールギャプ４０のギャップ寸法は高い温度範囲に亘ってほぼ一定であって、非常に小さく、例えば０．１ｍｍより小さく設計されている。これによって、４つの側路３１−３４間、並びに外側の側路３１とガス入口３６との間の逆流損失は小さく維持される。

ポンプロータ１２とポンプステータ１４との間の、環状円錐形状ではない残りのギャップは、半径方向平面内又は円筒形面内に位置している。これらの非環状円錐形状のギャップは、ポンプロータ１２が次第に熱的に伸張する際に大きくなる。このために、円筒形平面内に位置する、ポンプスタータ１４とポンプロータ１２との間のギャップは、半径方向で内方に配向されているポンプステータギャップ面によって形成される必要がある。何故ならば、そうでなければそれぞれのギャップは。ポンプロータの加熱が大きくなると縮小するからである。半径方向で外方に配向された、ポンプロータのギャップ面はすべて、環状円錐形上に位置し、その想定円錐形先端は、前述のようにアキシャル軸受内に位置する。

４つのポンプ段を有する本発明による真空側路形圧縮機１０の断面図である。

Claims

真空側路形圧縮機（１０）であって、ポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）とを有していて、これらのポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）とによって取り囲まれて１つの側路（３１，３２，３３，３４）が形成されており、また前記ポンプロータ（１２）を支承するためのアキシャル軸受（２２）を有していて、ポンプステータ（１４）とポンプロータ（１２）との間で側路の側方にシールギャプ（４０）が形成されている形式のものにおいて、
前記シールギャップ（４０）が環状円錐形を形成しており、該環状円錐形の想定円錐形先端（５０）が、アキシャル軸受（２２）の近傍でポンプロータ軸線（７０）上に位置していることを特徴とする、真空側路形圧縮機。
前記円錐形先端（５０）が、アキシャル軸受（２２）から、ポンプロータ（１２）の支持長さの半分よりも大きく離れていない、請求項１記載の真空側路形圧縮機。
前記円錐形先端（５０）が、アキシャル軸受（２２）から、アキシャル軸受長さよりも大きく離れていない、請求項１記載の真空側路形圧縮機。
少なくとも２つの側路（３１，３２，３３，３４）が設けられている、請求項１から３までのいずれか１項記載の真空側路形圧縮機。
前記２つの側路（３１，３２，３３，３４）間のギャップの非円錐形部分が、半径方向平面内に、かつ／又は円筒形面上に位置している、請求項１から５までのいずれか１項記載の真空側路形圧縮機。
それぞれ外側の側路（３１，３２，３３）の横断面が、隣接する内側の側路（３２，３３，３４）よりも大きい、請求項１から６までのいずれか１項記載の真空側路形圧縮機。