JP7338683B2 - アルミニウム化成箔の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、アルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体の焼結体からなる多孔質層を備えるアルミニウム箔を化成したアルミニウム化成箔、アルミニウム電解コンデンサ用電極、およびアルミニウム化成箔の製造方法に関する。

アルミニウム電解コンデンサ用電極として、アルミニウムの粉体の焼結体からなる多孔質層を備えるアルミニウム箔に陽極酸化を施したアルミニウム化成箔を用いることが知られている。このようなアルミニウム化成箔では、アルミニウム箔に陽極酸化を施して化成皮膜を形成する陽極酸化工程においてアルミニウム箔に折れ曲がりが発生すると、アルミニウム箔が破断するという問題がある。特許文献１では、焼結体の表面にエンボス加工を施して焼結体の表面粗度を所定の値の範囲内とし、しかる後に陽極酸化工程を行うことにより、アルミニウム箔の破断を低減させている。

国際公開２０１６／１３６８０４号

陽極酸化工程においてアルミニウム箔の折曲げ強度が低下する理由は、化成皮膜の成長に伴ってアルミニウム箔から応力を逃がすことが困難となるからである。すなわち、陽極酸化工程では、粉体の焼結体からなる多孔質層の表面に化成皮膜が成長する。これにより、隣り合う粉体は、化成皮膜を介して結合する。このような状態で、アルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合には、粉体同士の結合が強固なので、変形に起因して発生した応力をアルミニウム箔から逃がすことができない。この結果、粉体間の結合に局所的な割れが発生する。また、この割れが広がって、アルミニウム箔が破断する。

ここで、多孔質層の表面にエンボス加工を施したアルミニウム箔に陽極酸化を施す場合でも、化成皮膜の成長に伴って、隣り合う粉体は化成皮膜を介して結合する。従って、特許文献１の技術を用いた場合でも、変形に起因する応力をアルミニウム箔から逃がすことは容易ではなく、アルミニウム箔の折曲げ強度の低下を十分に抑制することは困難である。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、粉体の焼結体からなる多孔質層を備えるアルミニウム箔に陽極酸化を施したときに、折れ曲がりによりアルミニウム箔が破断することを防止あるいは抑制できるアルミニウム化成箔を提供することにある。また、かかるアルミニウム化成箔の製造方法を提案することにある。

上記課題を解決するために、本発明のアルミニウム化成箔の製造方法は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔状のベース層の両面のうち、第１面にアルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体同士が空隙を維持しながら焼結して繋がっている焼結体からなる第１多孔質層が積層されたアルミニウム箔に第１化成皮膜を形成する化成工程を備え、前記化成工程は、前記アルミニウム箔に陽極酸化を施す陽極酸化工程を備え、前記化成工程では、前記アルミニウム箔に応力を発生させて前記第１多孔質層の表面に第１方向に延在するクラックを前記第１方向に直交する第２方向で離間して複数設けるクラック形成処理を行い、前記陽極酸化工程では、前記クラック形成処理前に所定の陽極酸化電圧に達するまで前記アルミニウム箔に陽極酸化を施すクラック形成前陽極酸化処理と、前記クラック形成処理後に前記アルミニウム箔に陽極酸化を施すクラック形成後陽極酸化処理を行い、前記クラック形成前陽極酸化処理における前記所定の陽極酸化電圧が２００Ｖ以上且つ４００Ｖ以下であり、前記クラック形成後陽極酸化処理における陽極酸化電圧が、前記クラック形成前陽極酸化処理において達していた前記所定の陽極酸化電圧よりも高い電圧であることを特徴とする。

本発明によれば、化成工程においてアルミニウム箔に応力を発生させることにより、第１多孔質層の表面に第１方向に延在するクラックを第２方向に離間させて複数設ける。また、クラックの形成後に、アルミニウム箔に陽極酸化を施す。ここで、化成工程の途中で第１多孔質層にクラックを形成しておくことで、その後の陽極酸化により第１化成皮膜が成長した場合でも、第１化成皮膜によってクラックが閉じられてしまうことを抑制できる。よって、複数のクラックを備えるアルミニウム化成箔を得ることができる。従って、第１化成皮膜の成長に伴って隣り合う粉体が第１化成皮膜を介して結合しているアルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラックから逃がすことができる。これにより、粉体間の結合に局所的な割れが発生することを防止或いは抑制できるので、局所的な割れが広がってアルミニウム箔が破断することを防止或いは抑制できる。また、クラックを形成した後にアルミニウム箔に陽極酸化を施すので、クラックが生じた後の第１多孔質層に第１化成皮膜を再形成することができる。これにより、クラックの形成により第１多孔質層の表面に露出したアルミニウム新生面（剥き出しになった金属アルミニウムの表面）を、再形成した第１化成皮膜により被覆できる。したがって、クラックによって生じる陽極酸化中のアルミニウム箔またはアルミニウム電解コンデンサ用電極の漏れ電流を低減しながら、破断することを防止或いは抑制できる。

本発明において、前記クラック形成処理では、３００μｍ以上の長さで前記第１方向に延在する前記クラックを、前記第２方向において９５μｍから１５０μｍの間隔で複数設けるものとすることができる。あるいは、本発明において、前記クラック形成処理では、３００μｍ以上の長さで前記第１方向に延在する前記クラックを、前記第２方向において
３０μｍから１５０μｍの間隔で複数設けるものとすることができる。このようなクラックを設ければ、陽極酸化によって第１化成皮膜が成長した場合でも、第１化成皮膜によりクラックが閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。

本発明において、前記クラック形成処理では、各クラックを前記ベース層と前記第１多孔質層との境界まで到達させることが望ましい。このようにすれば、クラックが深いので、陽極酸化を施している間にアルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力を、クラックから逃がすことが容易となる。

なお、陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達するまでに成長する第１化成皮膜の厚みは推定できる。本発明によれば、クラック形成処理前に所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔に陽極酸化を施すクラック形成前陽極酸化処理を行うので、クラック形成処理を行う時点で第１化成皮膜が厚くなり過ぎて、アルミニウム箔が硬くなり過ぎることを回避できる。これにより、アルミニウム箔に応力を発生させたときに、アルミニウム箔が破断することを回避できる。また、アルミニウム箔に応力を発生させたときに、第１多孔質層の表面に複数のクラックを均一に設けることが可能となる。ここで、第１多孔質層の表面に複数のクラックを均一に形成すれば、目的とする皮膜耐電圧に達するまで第１化成皮膜の厚みが増加した場合でも、折曲げ強度が低下することを抑制できる。

本発明によれば、上述した所定の陽極酸化電圧は２００Ｖ以上且つ４００Ｖ以下である。なお、所定の陽極酸化電圧に達するまでには、所定の陽極酸化電圧に達した時点を含む。このようにすれば、陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達した後にクラック形成処理を行う場合と比較して、クラックを形成する時点で第１化成皮膜が厚くなり過ぎず、
アルミニウム箔が硬くなり過ぎない。従って、アルミニウム箔に応力を発生させたときに、アルミニウム箔が破断し難い。また、本発明によれば、陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達するまでにクラック形成処理を行うので、第１化成皮膜が厚くなり過ぎず、アルミニウム箔が硬くなり過ぎないので、アルミニウム箔に応力を発生させることにより、第１多孔質層の表面に複数のクラックを均一に設けることができる。ここで、第１多孔質層の表面に複数のクラックを均一に設けることができれば、陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達した後の陽極酸化によって第１化成皮膜が厚く形成される場合でも、折曲げ強度の低下を抑制できる。

本発明において、前記クラック形成処理では、前記第１方向に延在する第１クラック形成用ローラを、前記アルミニウム箔の両面のうち前記第１面とは反対側の第２面に接触させて当該アルミニウム箔と当該第１クラック形成用ローラとを前記第２方向に相対移動させるものとすることができる。このようにすれば、第１クラック形成用ローラによりアルミニウム箔に応力を発生させて、第１多孔質層にクラックを形成できる。

本発明において、前記化成工程では、前記第２方向に沿って配置された複数のローラによって前記アルミニウム箔を前記第２方向に走行させ、複数の前記ローラのうち、他のローラよりも径が小さいローラが前記第１クラック形成用ローラとして配置されているものとすることができる。第１クラック形成用ローラとして、径の小さいローラが用いれば、第１クラック形成用ローラによってアルミニウム箔に応力を発生させることが容易となる。

本発明において、前記アルミニウム箔には、前記ベース層の前記第１面とは反対の第２面に、アルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体の焼結体からなる第２多孔質層が積層されており、前記化成工程では、前記第２多孔質層に第２化成皮膜を形成し、前記クラック形成処理では、前記第１方向に延在する第２クラック形成用ローラを、前記第２方向で前記第１クラック形成用ローラとは異なる位置で前記第１面に接触させて当該アルミニウム箔と前記第２クラック形成用ローラとを前記第２方向に相対移動させるものとすることができる。このようにすれば、第２クラック形成用ローラによりアルミニウム箔に応力を発生させて、第２多孔質層にクラックを複数形成できる。従って、アルミニウム箔がベース層の両面に多孔質層を備える場合でも、陽極酸化を施したときにアルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発する応力をアルミニウム箔から逃がすことができる。よって、アルミニウム箔の破断を防止あるいは抑制できる。

本発明において、前記化成工程は、前記陽極酸化工程の前に、前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する水和工程を備え、前記陽極酸化工程は、前記水和皮膜が形成された前記アルミニウム箔に陽極酸化を施し、前記クラック形成処理は、前記水和工程の途中に行うものとすることができる。このようにすれば、水和工程において第１多孔質層の表面に水和皮膜が形成される。さらに、水和工程の途中で第１多孔質層にクラックが設けられる。これにより、クラック形成処理によって、第１多孔質層の表面には、クラックを介して、アルミニウム新生面が露出する。すなわち、クラックによる第１多孔質層の破断面には、表面に水和皮膜が形成されていない粉体が露出する。その後、アルミニウム新生面には、クラック形成処理の後に引き続き行われる水和工程において水和皮膜が形成される。ここで、アルミニウム新生面を被う水和皮膜は、陽極酸化工程において、クラックを間に挟んだ両側に位置する粉体同士が第１化成皮膜を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、水和工程の途中にクラック形成処理を行えば、クラック形成処理および水和工程の後に行う陽極酸化工程において第１化成皮膜が成長したときに、第１化成皮膜によりクラックが閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。

本発明において、前記化成工程は、前記陽極酸化工程の前に、前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する水和工程を備え、前記陽極酸化工程は、前記水和皮膜が形成された前記アルミニウム箔に陽極酸化を施し、前記クラック形成処理は、前記水和工程の後に行うものとすることができる。このようにすれば、水和工程において第１多孔質層の表面に水和皮膜が形成される。ここで、水和皮膜は、陽極酸化工程において粉体同士が第１化成皮膜を介して結合する際の障害となり、粉体同士の結合を阻害或いは抑制する。従って、化成工程の途中における水和工程の後にクラック形成処理を備えれば、第１多孔質層に形成されたクラックが第１化成皮膜によって閉じられてしまうことを、抑制しやすい。

本発明において、前記クラック形成処理に引き続いて前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する再水和処理を備えることが望ましい。このようにすれば、クラックの形成により第１多孔質層の表面に露出したアルミニウム新生面には、クラック形成処理の後に引き続き行われる再水和処理において水和皮膜が形成される。ここで、アルミニウム新生面を被う水和皮膜は、陽極酸化工程においてクラックを間に挟んだ両側に位置する粉体同士が第１化成皮膜を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、クラック形成処理に引き続いて再水和処理を行えば、それ以降に第１化成皮膜が成長したときに、第１化成皮膜によりクラックが閉じられてしまうことを、抑制できる。

本発明のアルミニウム化成箔の製造方法では、第１多孔質層が積層されたアルミニウム箔に第１化成皮膜を形成する化成工程を備え、化成工程がアルミニウム箔への陽極酸化を施す陽極酸化工程を備える。また、化成工程では、第１多孔質層にクラックを形成し、陽極酸化工程では、クラック形成処理前に２００Ｖ以上且つ４００Ｖ以下の所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔に陽極酸化を施し、クラック形成後に所定の陽極酸化電圧よりも高い電圧でアルミニウム箔に陽極酸化を施す。このように、化成工程の途中で第１多孔質層にクラックを形成しておくことで、複数のクラックを備えるアルミニウム化成箔を得ることができる。よって、アルミニウム化成箔の変形に起因して発生した応力をクラックから逃がすことができる。これにより、粉体間の結合に局所的な割れが発生することを防止或いは抑制できるので、局所的な割れが広がってアルミニウム箔が破断することを防止或いは抑制できる。また、クラックを設けた後の陽極酸化処理により、クラックが生じた後の第１多孔質層に第１化成皮膜を再形成することができる。これにより、クラックの形成によって剥き出しになった金属アルミニウムの表面を再形成した化成皮膜により被覆することができる。したがって、クラックによって生じる陽極酸化中のアルミニウム箔またはアルミニウム電解コンデンサ用電極の漏れ電流を低減しながら、破断することを防止或いは抑制できる。

アルミニウム化成箔の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。 アルミニウム化成箔を長手方向に沿って切断した断面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。 アルミニウム化成箔の説明図である。 アルミニウム化成箔の表面に設けられたクラックの間隔を測定する測定方法の説明図である。 ロール形状のアルミニウム電解コンデンサ用電極の模式図である。 アルミニウム化成箔の基材となるアルミニウム箔の説明図である。 アルミニウム化成箔の第１の製造方法を示すフローチャートである。 アルミニウム化成箔の第２の製造方法を示すフローチャートである。 アルミニウム化成箔の第３の製造方法を示すフローチャートである。 アルミニウム化成箔の第４の製造方法を示すフローチャートである。 アルミニウム化成箔の第５の製造方法を示すフローチャートである。 クラック形成処理の説明図である。 実施例１～５のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングを説明した表である。 実施例１～５のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングの説明図である。 実施例１～５、比較例１、２について、アルミニウム化成箔のクラックの間隔、折曲げ強度、引張り強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す表である。 実施例５の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。 比較例１のアルミニウム化成箔の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。 比較例１のアルミニウム化成箔の断面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。 実施例６～８のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングを説明した表である。 実施例６～８のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングの説明図である。 実施例６～８について、アルミニウム化成箔のクラックの間隔、折曲げ強度、引張り強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す表である。 実施例９～１１のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングを説明した表である。 実施例９～１１のアルミニウム化成箔の製造方法において、クラック形成処理を行うタイミングの説明図である。 実施例９～１１について、アルミニウム化成箔のクラックの間隔、折曲げ強度、引張り強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す表である。 アルミニウム化成箔の第６の製造方法を示すフローチャートである。 アルミニウム化成箔の第７の製造方法を示すフローチャートである。

以下に、図面を参照して、本発明のアルミニウム化成箔およびアルミニウム化成箔の製造方法の実施の形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。また、実施形態における構成要素は、一部又は全部を適宜組み合わせることができる。本例のアルミニウム化成箔は、アルミニウム電解コンデンサ用電極として用いられる。以下では、アルミニウム化成箔をアルミニウム電解コンデンサ用電極（陽極箔）とするアルミニウム電解コンデンサを説明した後に、アルミニウム化成箔、およびアルミニウム化成箔の製造方法を説明する。なお、本明細書において、記号「～」を用いて下限値と上限値により数値範囲を表記する場合、その下限値及び上限値の両方を包含するものとする。

（アルミニウム電解コンデンサ）
アルミニウム化成箔を用いてアルミニウム電解コンデンサを製造するには、アルミニウム化成箔（アルミニウム電解コンデンサ用電極）からなる陽極箔と、陰極箔とをセパレータを介在させて積層し、巻回して、コンデンサ素子を形成する。次に、コンデンサ素子を電解液（ペースト）に含浸する。しかる後に、電解液を含んだコンデンサ素子を外装ケースに収納し、封口体でケースを封口する。

また、電解液に代えて固体電解質を用いる場合には、アルミニウム化成箔（アルミニウム電解コンデンサ用電極）からなる陽極箔の表面に固体電解質層を形成した後、固体電解質層の表面に陰極層を形成し、しかる後に、樹脂等により外装する。その際、陽極に電気的接続する陽極端子と陰極層に電気的接続する陰極端子とを設ける。この場合、陽極箔が複数枚積層されることがある。

（アルミニウム化成箔）
図１は、本発明のアルミニウム化成箔の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。図２は、図１のアルミニウム化成箔を長手方向に沿って切断した断面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。図３は、アルミニウム化成箔において、多孔質層を構成する粉体と化成皮膜との関係を表す説明図である。図３では、アルミニウム化成箔を構成するベース層、粉体および化成皮膜を模式的に示す。図４は、アルミニウム化成箔の表面に設けられたクラックの間隔を測定する測定方法の説明図である。

アルミニウム化成箔１は、ベース層２および多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）からなるアルミニウム箔に陽極酸化を施すことによって製造される。アルミニウム化成箔１（アルミニウム電解コンデンサ用電極）は、長尺状である。

図２に示すように、アルミニウム化成箔１は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔状のベース層２と、ベース層２の第１面２ａに積層された第１多孔質層３と、ベース層２の第１面２ａとは反対の第２面２ｂに積層された第２多孔質層４と、を備える。第１多孔質層３および第２多孔質層４は、それぞれアルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体の焼結体からなる。また、アルミニウム化成箔１は、第１多孔質層３に形成された第１化成皮膜５と、第２多孔質層４に形成された第２化成皮膜６と、を有する。

以下の説明では、互いに直交する３方向をＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向とし、Ｘ方向を、アルミニウム化成箔１の長手方向とする。Ｙ方向をアルミニウム化成箔１の短手方向とする。Ｚ方向は、ベース層２に対して第１多孔質層３および第２多孔質層４が積層されている方向である。

本例では、ベース層２は、純アルミニウムからなる箔である。ベース層２としては、アルミニウム合金からなる箔を用いることができる。アルミニウム合金は、アルミニウムに、珪素、鉄、銅、マンガン、マグネシウム、クロム、亜鉛、チタン、バナジウム、ガリウム、ニッケル、およびホウ素からなる群より選択される少なくとも１種の金属元素を添加したもの、或いは、これらの元素のいずれかを不可避的不純物元素として含むアルミニウムである。ベース層２の厚さ寸法Ｔ１は、通常、１０μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上であり、かつ通常、１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下である。

第１多孔質層３および第２多孔質層４は、アルミニウムおよびアルミニウム合金からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む粉体の焼結体である。図３に示すように、第１多孔質層３および第２多孔質層４は、粉体同士が空隙を維持しながら焼結して繋がることにより三次元網目構造を有する。第１化成皮膜５および第２化成皮膜６は、粉体１１による三次元網目構造の表面に形成されている。ここで、第１多孔質層３および第２多孔質層４は、三次元網目構造を有するので、その表面積が大きい。よって、アルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極として用いる場合には、静電容量が大きいコンデンサを製造可能である。

アルミニウムの粉体１１は、アルミニウムの純度が９９．８０質量％以上である。粉体１１として用いるアルミニウム合金は、アルミニウムに、珪素、鉄、銅、マンガン、マグネシウム、クロム、亜鉛、チタン、バナジウム、ガリウム、ニッケル、ホウ素、ジルコニウムなどから選ばれる１種以上を含む。アルミニウム合金中のこれらの元素の含有量は、１００質量ｐｐｍ以下、特に５０質量ｐｐｍ以下とすることが望ましい。

第１多孔質層３の厚さおよび第２多孔質層４の厚さは、通常、同一、或いは、略同一である。ただし、第１多孔質層３の厚さと第２多孔質層４の厚さは異なっていてもよい。この場合、第１多孔質層３の厚さが第２多孔質層４の厚さよりも大きくてもよく、第２多孔質層４の厚さが第１多孔質層３の厚さよりも大きくてもよい。本例では、第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３は、それぞれ、１０μｍ以上、５００ｍ以下である。また、第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３は、好ましくは、５０μｍ以上、２００μｍ以下である。すなわち、第１多孔質層３の厚さおよび第２多孔質層４の厚さを合計した多孔質層の厚さは、２０μｍ以上、１０００μｍ以下である。また、第１多孔質層３の厚さおよび第２多孔質層４の厚さを合計した多孔質層の厚さは、好ましくは、１００μｍ以上、４００μｍである。また、第１多孔質層３および第２多孔質層４を構成する粉体１１の平均粒子径Ｋは、１μｍ以上、かつ２０μｍ以下である。

粉体１１の平均粒子径Ｋは、第１多孔質層３または第２多孔質層４の断面を、走査型電子顕微鏡で観察することにより測定して得られるものとする。具体的には、焼結後の粉体１１を観察すると、一部が溶融した状態、或いは、粉体１１同士が繋がった状態となっているが、略円形状を有する部分は近似的に粒子とみなすことができる。従って、断面観察において、略円形状を有する粒子のそれぞれの最大径をその粒子の粒子径とし、５０程度の個数の粒子の粒子径を測定し、これらの平均を焼結後の粉体１１の平均粒子径Ｋとする。

図１に示すように、第１多孔質層３の表面には、面内方向を３００μｍ以上の長さでＹ方向（第１方向）に延在するクラック７が、面内方向のＸ方向（第２方向）において３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けられている。図２に示すように、第１多孔質層３に設けられた各クラック７は、ベース層２と第１多孔質層３との境界まで到達する。同様に、第２多孔質層４の表面には、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延在するクラック７が、Ｙ方向に直交するＸ方向において３０μｍから１５０μｍの間隔で複数設けられている。第２多孔質層４設けられた各クラック７は、ベース層２と第２多孔質層４との境界まで到達する。

第１多孔質層３および第２多孔質層４が備える各クラック７の長さ、および間隔は、走査型電子顕微鏡で観察することにより測定して得られるものとする。より具体的には、図４に示すように、アルミニウム化成箔１のＸ方向に５００μｍ以上、Ｙ方向に１０００μｍ以上の範囲の視野で観察し、視野の中央付近にＸ方向に補助線８を引く。そして、長さ３００μｍ以上のクラック７との交点９の数を数える。しかる後に、スケールから換算した補助線８の長さを交点９の数で割り、長さ３００μｍ以上のクラック７の間隔を算出する。かかる測定と算出を、３視野以上で行った平均を、隣り合うクラック７の間隔とする。

（アルミニウム化成箔の作用効果）
本例のアルミニウム化成箔１は、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に３００μｍ以上の長さでＹ方向に延在するクラック７を備える。また、クラック７は、アルミニウム化成箔１のＸ方向において３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けられる。このような複数のクラック７を備えるアルミニウム化成箔１では、陽極酸化によって隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜）を介して結合しているアルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力を陽極酸化の完了後にクラック７となる部分から逃がすことができる。これにより、粉体１１間の結合に局所的な割れが発生することを防止或いは抑制できるので、この割れが広がってアルミニウム箔が破断することを防止或いは抑制できる。

また、複数のクラック７のそれぞれは、ベース層２と多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）との境界まで到達している。従って、変形に起因して発生した応力をアルミニウム箔から逃がすことが容易となる。

ここで、アルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とした場合には、アルミニウム電解コンデンサ用電極は、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）に複数のクラック７を備える。従って、アルミニウム電解コンデンサ用電極の比表面積は、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）にクラック７を備えていない場合と比較して、大きい。よって、アルミニウム化成箔をアルミニウム電解コンデンサ用電極とすれば、静電容量を増加させることができる。

また、アルミニウム化成箔１を巻回してロール形状のアルミニウム電解コンデンサ用電極とする場合には、複数のクラック７が並ぶＸ方向に巻回しやすい。従って、クラック７を備えるアルミニウム化成箔１は、アルミニウム化成箔がクラック７を備えていない場合と比較して、真円に近い形状で巻き回すことができる。

図５は、アルミニウム化成箔１を第２方向に渦巻曲線状に巻回したアルミニウム電解コンデンサ用電極の模式図であり、アルミニウム化成箔１を第１方向から見た側面図を示している。図５では、アルミニウム化成箔１を、径寸法が１ｍｍのロール１６の外周面に巻き回して、ロール形状としている。このようなロール１６に巻き回した場合でも、アルミニウム化成箔１（アルミニウム電解コンデンサ用電極１５）は、途中で折れ曲がることなく、真円に近い形状で巻回される。すなわち、クラック７を備えていないアルミニウム化成箔を巻き回した場合には、アルミニウム化成箔の途中に複数の屈曲部が形成されてしまう。これに対して、複数のクラック７を備えるアルミニウム化成箔１を巻き回した場合には、途中に折り曲げられた部分を有することなくＸ方向に巻回されたロール形状となる。

ここで、アルミニウム化成箔１を真円に近い形状で巻回したロール形状のアルミニウム電解コンデンサ用電極１５をコンデンサ素子とすれば、コンデンサ素子を外装ケースに収納したときに、アルミニウム電解コンデンサ用電極が真円に近い状態で巻回されていない場合と比較して、Ｘ方向に長い寸法を備えるアルミニウム電解コンデンサ用電極１５を収容できる。これにより、アルミニウム電解コンデンサ用電極１５の表面積が増加するので、アルミニウム電解コンデンサの静電容量を増加させることができる。また、アルミニウム化成箔１を渦巻曲線状に巻回したロール形状とすれば、アルミニウム化成箔１が途中に折り曲げられた部分を有する場合と比較して、折り曲げられた部分に発生するアルミニウム化成箔１の破断を防ぐことができる。従って、アルミニウム化成箔１の巻回性を向上させることができる。

（アルミニウム化成箔の製造方法）
図６は、アルミニウム化成箔１の基材となるアルミニウム箔の説明図である。図６では、アルミニウム箔を模式的に示す。図７は、アルミニウム化成箔１の第１の製造方法を示すフローチャートである。図８は、アルミニウム化成箔１の第２の製造方法を示すフローチャートである。図９はアルミニウム化成箔１の第３の製造方法を示すフローチャートである。図１０は、アルミニウム化成箔１の第４の製造方法を示すフローチャートである。図１１は、アルミニウム化成箔１の第５の製造方法を示すフローチャートである。

次に、図６から図１１を参照して、アルミニウム化成箔１の製造方法を説明する。図６に示すように、アルミニウム化成箔１の製造に際しては、基材として、アルミニウム箔１０を用いる。アルミニウム箔１０は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔状のベース層２を備える。ベース層２の第１面２ａには、アルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体１１の焼結体からなる第１多孔質層３が積層され、ベース層２の第２面２ｂには、アルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体１１の焼結体からなる第２多孔質層４が積層されている。本例では、第１多孔質層３の粉体１１と、第２多孔質層４の粉体１１とは、同一の金属の粉体１１からなる。また、第１多孔質層３の厚みと、第２多孔質層４の厚みとは、同一、あるいは略同一である。

図７～図１１に示すように、アルミニウム化成箔１の製造方法は、アルミニウム箔１０（基材）の第１多孔質層３に第１化成皮膜５を形成するとともに、第２多孔質層４に第２化成皮膜６を形成する化成工程ＳＴ１を備える。化成工程ＳＴ１は、アルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する水和処理を行う水和工程ＳＴ２と、水和皮膜が形成されたアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す陽極酸化処理を行う陽極酸化工程ＳＴ３とをこの順で備える。また、本例において、陽極酸化工程ＳＴ３では、定電圧化成処理工程の途中にアルミニウム箔１０を加熱して欠陥部を露出させる熱処理ＳＴ３１を行う。すなわち、図７～図１１に示すように、陽極酸化工程ＳＴ３では、熱処理ＳＴ３１の前後で（図示しない）陽極酸化処理を行う。本明細書において、他にフローチャートを用いて説明する場合も同様である。

また、化成工程ＳＴ１では、アルミニウム箔１０に応力を付与して第１多孔質層３の表面および第２多孔質層４の表面に、Ｙ方向に延在するクラック７をＸ方向で離間して複数設けるクラック形成処理ＳＴ１１を行う。

より詳細に本例のアルミニウム化成箔１の製造方法を説明すると、陽極酸化工程ＳＴ３では、クラック形成処理ＳＴ１１の後にアルミニウム箔１０への陽極酸化を施すクラック形成後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。なお、クラック形成後陽極酸化処理ＳＴ３Ａは、図中および以下の説明では、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａと略して称する。

ここで、図７、図１１では、化成工程ＳＴ１の途中であって、且つ水和処理ＳＴ２の途中にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。すなわち、水和工程ＳＴ２では、クラック形成処理ＳＴ１１の前後で（図示しない）水和処理を行う。

また、図９、図１０では、化成工程ＳＴ１の途中であって、且つ陽極酸化工程ＳＴ３の途中にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。すなわち、陽極酸化工程ＳＴ３では、クラック形成処理ＳＴ１１の前に、陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施すクラック形成前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行う。なお、クラック形成前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂは、図中および以下の説明では、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂと略して称する。すなわち、陽極酸化工程ＳＴ３の途中でクラック形成処理ＳＴ１１を行う場合には、陽極酸化工程ＳＴ３において、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂと、クラック形成処理ＳＴ１１と、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａと、をこの順で行う。

水和工程ＳＴ２では、アルミニウム箔１０を液温が８０℃以上の水和処理液中でボイルして、アルミニウム箔１０にベーマイト等のアルミニウム水和皮膜を形成する。水和処理液としては、純水を用いることができる。また、後述する再水和処理ＳＴ２１も同様に行うことができる。

陽極酸化工程ＳＴ３では、アルミニウム箔１０を化成処理液中に浸漬し、陽極酸化時の電圧（電源から出力されている電圧）を所定の陽極酸化電圧に到達させる。これにより、アルミニウム箔１０に、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を形成する。化成処理液としては、硫酸またはその塩、セレン酸またはその塩、ホウ酸またはその塩、リン酸またはその塩、有機酸またはその塩（例えばアジピン酸またはその塩、クエン酸またはその塩、セバシン酸またはその塩、蓚酸またはその塩など）、水酸化ナトリウムまたはその塩などを使用できる。陽極酸化電圧は、５Ｖ～１０００Ｖの間で設定される。言うまでもなく、陽極酸化工程ＳＴ３にて行う陽極酸化処理（後陽極酸化処理ＳＴ３Ａおよび前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂ）も同様に行うことができる。

陽極酸化工程ＳＴ３の途中に行なわれる熱処理ＳＴ３１では、アルミニウム箔１０は、例えば、熱処理炉内に配置して加熱される。熱処理炉内の雰囲気は、温度が３００℃以上、６００℃以下である。熱処理炉内の雰囲気は、大気雰囲気、不活性ガス雰囲気、水蒸気雰囲気のいずれでもよい。

本例のアルミニウム化成箔１の製造方法では、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が設けられる前の水和工程ＳＴ２の途中、または、水和工程ＳＴ２と陽極酸化工程ＳＴ３との間に、クラック形成処理ＳＴ１１を行う。この場合、クラック形成処理ＳＴ１１に続く陽極酸化工程ＳＴ３（後陽極酸化処理ＳＴ３Ａ）において、クラック形成後のアルミニウム箔１０に陽極酸化が施される。

或いは、本例のアルミニウム化成箔１の製造方法では、陽極酸化工程ＳＴ３において、陽極酸化時の電圧が最終的な目標となる最終陽極酸化電圧に達する前にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。この場合、陽極酸化工程ＳＴ３の途中でクラック形成処理ＳＴ１１が行われるので、クラック形成の前と後において、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂと後陽極酸化処理ＳＴ３Ａとが行われる。後陽極酸化処理ＳＴ３Ａでは、アルミニウム箔１０に対して、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂにおいて達していた所定の陽極酸化電圧よりも高い陽極酸化電圧に達する陽極酸化が施される。

上述した所定の陽極酸化電圧は、通常４００Ｖ以下である。また、所定の陽極酸化電圧は、好ましくは３００Ｖ以下、より好ましくは２５０Ｖ以下である。本例では、陽極酸化工程ＳＴ３において、これら上限値となる陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施して、その後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。これにより、化成皮膜が厚くなり過ぎず、アルミニウム箔１０が硬くなり過ぎないタイミングにて、アルミニウム箔１０に応力を発生させることができる。この結果、アルミニウム箔１０に応力を発生させたときに、アルミニウム箔１０の破断を抑えて、多孔質層の表面に複数のクラックを均一に設けることができる。ここで、クラック形成処理ＳＴ１１は、化成工程ＳＴ１の途中であれば化成皮膜が形成される前に行っても良いので、所定の陽極酸化電圧の下限値は特に限定されない。従って、所定の陽極酸化電圧の下限値は、通常、０Ｖ以上である。なお、所定の陽極酸化電圧の下限値は、好ましくは、１０Ｖ以上であり、より好ましくは、５０Ｖ以上である。また、陽極酸化工程ＳＴ３において、陽極酸化時の電圧の最終的な目標となる最終陽極酸化電圧は、目的とするアルミニウム化成箔１の性状に応じて適宜設定することができる。従って、最終陽極酸化電圧は、特に限定されないが、例えば、１０００Ｖ以下に設定することができる。

なお、陽極酸化工程ＳＴ３では、他の公知の方法でアルミニウム箔１０に陽極酸化を施してもよい。

ここで、化成工程ＳＴ１では、陽極酸化工程ＳＴ３が終了すると、化成後のアルミニウム箔１０、すなわち、アルミニウム化成箔１は、巻き取りローラに巻き取られ、ロールとなる。

アルミニウム化成箔１の製造方法の具体例としては、クラック形成処理ＳＴ１１を実施するタイミングが相違する以下の第１～第５の製造方法を挙げることができる。

アルミニウム化成箔１の第１の製造方法は、図７に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２の途中に行う。そして、水和工程ＳＴ２に続いて行う陽極酸化工程ＳＴ３において、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。

アルミニウム化成箔１の第２の製造方法は、図８に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２と、陽極酸化工程ＳＴ３との間に行う。そして、クラック形成処理ＳＴ１１に続いて行う陽極酸化工程ＳＴ３において、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。

アルミニウム化成箔１の第３の製造方法は、図９に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１を、陽極酸化工程ＳＴ３の途中に行う。具体的には、陽極酸化工程ＳＴ３において、所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに続いてクラック形成処理ＳＴ１１を行い、クラック形成処理ＳＴ１１の後に、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。

アルミニウム化成箔１の第４の製造方法では、図１０に示すように、第３の製造方法と同様に、クラック形成処理ＳＴ１１を陽極酸化工程ＳＴ３の途中に行う。具体的には、陽極酸化工程ＳＴ３において、所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに続いてクラック形成処理ＳＴ１１を行う。さらに、クラック形成処理ＳＴ１１に引き続き、アルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する再水和処理ＳＴ２１を行い、再水和処理ＳＴ２１の後に後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。すなわち、アルミニウム化成箔１の第４の製造方法では、クラック形成処理ＳＴ１１と再水和処理ＳＴ２１とを、陽極酸化工程ＳＴ３の途中で連続して行う。

アルミニウム化成箔１の第５の製造方法は、図１１に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２の途中に行う。また、クラック形成処理ＳＴ１１を、陽極酸化工程ＳＴ３の途中に行う。具体的には、水和工程ＳＴ２において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うとともに、クラック形成処理ＳＴ１１の前後で水和処理を行う。陽極酸化工程ＳＴ３において、所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに続いてクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行い、再水和処理ＳＴ２１の後に後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。

次に、クラック形成処理ＳＴ１１において、アルミニウム箔１０に応力を発生させる具体的な方法を例示する。図１２は、クラック形成処理ＳＴ１１の説明図である。図１２に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１では、アルミニウム箔１０をＸ方向に配列された複数のローラ２１に沿って走行させる。

複数のローラ２１のそれぞれは、回転軸がＹ方向に延びる。また、Ｘ方向に配列された複数のローラ２１の中には、他のローラ２１と比較して径の小さいローラ２１が配置されている。これらの径の小さいローラ２１のうち、走行するアルミニウム箔１０の第２面２ｂに接触するローラ２１は、アルミニウム箔１０に応力を発生させて第１多孔質層３にクラック７を発生させる第１クラック形成用ローラ２１（１）として配置されている。また、これらの径の小さいローラ２１のうち、走行するアルミニウム箔１０の第１面２ａに接触するローラ２１は、アルミニウム箔１０に応力を発生させて第２多孔質層４にクラック７を発生させる第２クラック形成用ローラ２１（２）として配置されている。第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）の径寸法Ｍは、それぞれ５ｍｍ～６０ｍｍである。本例においては、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）の径寸法Ｍが同一であるものを例示するが、これらの径寸法Ｍは異なっていてもよい。

本例において、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）は、金属製である。第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）には、それぞれ押圧ローラ２３が押し付けられている。各押圧ローラ２３の表面は、ゴムなどの弾性部材により覆われている。各押圧ローラ２３の径は、第１クラック形成用ローラ２１（１）の径、および第２クラック形成用ローラ２１（２）の径よりも大きいことが望ましい。

アルミニウム箔１０が、第１クラック形成用ローラ２１（１）と押圧ローラ２３との間を走行する際には、アルミニウム箔１０に応力が発生する。従って、第１多孔質層３には、所定のクラック７が複数形成される。また、アルミニウム箔１０が、第２クラック形成用ローラ２１（２）と押圧ローラ２３との間を走行する際には、アルミニウム箔１０に応力が発生する。従って、第２多孔質層４には、所定のクラック７が複数形成される。

アルミニウム箔１０が、第１クラック形成用ローラ２１（１）と押圧ローラ２３との間を走行する際の第１クラック形成用ローラ２１（１）の抱き角は、通常、－１８０°～１８０°、好ましくは－４５°～４５°である。アルミニウム箔１０が、第２クラック形成用ローラ２１（２）と押圧ローラ２３との間を走行する際の第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角は、通常、－１８０°～１８０°、好ましくは－４５°～４５°である。さらに、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角は、０°以上であることが、より望ましい。従って、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角は、０°～１８０°、好ましくは０°～４５°である。ここで、第１クラック形成用ローラ２１（１）の抱き角を上記範囲とすれば、第１クラック形成用ローラ２１（１）をアルミニウム箔１０の第２面２ｂに接触させた際に、第１多孔質層３に所望のクラック７を形成しやすい。また、第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角を上記範囲とすれば、第２クラック形成用ローラ２１（２）を、アルミニウム箔１０の第１面２ａに接触させた際に、第２多孔質層４に所望のクラック７を形成しやすい。

なお、複数のローラ２１の中に、第１クラック形成用ローラ２１（１）を、複数、備えることもできる。第１クラック形成用ローラ２１（１）を複数備える場合には、複数のローラ２１の中に、第１クラック形成用ローラ２１（１）と同数の第２クラック形成用ローラ２１（２）を備えることが望ましい。このとき、第１クラック形成用ローラ２１（１）と第２クラック形成用ローラ２１（２）とは、異なる位置でアルミニウム箔１０に接触させることが好ましい。

（作用効果）
本例のアルミニウム化成箔１の製造方法では、化成工程ＳＴ１においてアルミニウム箔１０に応力を発生させることにより、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面にＹ方向に延在するクラック７をＸ方向に離間させて、複数、設ける。また、クラック７の形成後に、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施す後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。ここで、化成工程ＳＴ１の途中で多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）にクラック７を形成しておくことで、その後の陽極酸化により化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長した場合でも、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によってクラック７が閉じられてしまうことを抑制できる。よって、複数のクラック７を備えるアルミニウム化成箔１を得ることができる。従って、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）の成長に伴って隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合しているアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラック７から逃がすことができる。これにより、粉体１１間の結合に局所的な割れが発生することを防止或いは抑制できるので、局所的な割れが広がってアルミニウム箔１０が破断することを防止或いは抑制できる。また、クラック７を形成した後にアルミニウム箔１０に陽極酸化を施すので、クラック７が生じた後の多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）に化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を再形成することができる。これにより、クラック７の形成によって多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に露出したアルミニウム新生面（剥き出しになった金属アルミニウムの表面）を、再形成した化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）により被覆することができる。したがって、クラック７によって生じる陽極酸化中のアルミニウム箔１０またはアルミニウム電解コンデンサ用電極の漏れ電流を低減しながら、破断することを防止或いは抑制できる。

また、化成工程ＳＴ１において、陽極酸化時の電源から出力されている電圧が所定の陽極酸化電圧に達するまでに成長する化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）の厚みは推定できる。従って、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）の厚みは、陽極酸化時に電源から出力される電圧に基づいて管理できる。よって、クラック形成処理ＳＴ１１前において陽極酸化時の電圧が所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、その後にクラック形成処理ＳＴ１１を行えば、クラック形成処理ＳＴ１１を行う時点で化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が厚くなり過ぎて、アルミニウム箔１０が硬くなり過ぎることを回避できる。従って、クラック形成処理ＳＴ１１においてアルミニウム箔１０に応力を付与したときに、アルミニウム箔１０を破断させることを回避できる。

さらに、本例では、クラック形成処理ＳＴ１１を行う際にアルミニウム箔１０が硬くなり過ぎることを回避できるので、アルミニウム箔１０に応力を発生させることによって多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に複数のクラック７を均一に設けることが可能となる。ここで、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に複数のクラック７を均一に形成すれば、目的とする皮膜耐電圧に達するまで化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）の厚みが増加した場合でも、折曲げ強度が低下することを抑制できる。

また、クラック形成処理ＳＴ１１では、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延在するクラック７を、Ｘ方向において３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設ける。このようなクラック７を設ければ、陽極酸化によって化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長した場合でも、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。

さらに、クラック形成処理ＳＴ１１では、各クラック７をベース層２と多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）との境界まで到達させる。これにより、陽極酸化を施している間にアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力を、クラック７から逃がすことが容易となる。

なお、後述する実施例に示すように、陽極酸化時の電圧（陽極酸化電圧）が２５０Ｖに達するまでの間であれば、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が厚くなり過ぎず、アルミニウム箔１０の硬さがクラック７を形成するのに適する。従って、化成工程ＳＴ１において、２５０Ｖに達するまでクラック形成前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、その後にクラック形成処理ＳＴ１１を設けてアルミニウム箔１０に応力を付与すれば、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に複数のクラック７を均一に設けることがより容易である。

さらに、クラック形成処理ＳＴ１１では、クラック形成用ローラ（第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２））によりアルミニウム箔１０に応力を発生させる。従って、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）にクラック７を複数形成することが容易である。

また、クラック形成処理ＳＴ１１では、アルミニウム箔１０を走行させる複数のローラ２１のうち、他のローラ２１より径が小さいローラ２１をクラック形成用ローラ（第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２））として配置している。径の小さいローラをクラック形成用ローラ（第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２））として用いれば、アルミニウム箔１０に応力を発生させて、クラック７を形成することが容易である。

さらに、第１の製造方法および第５の製造方法では、化成工程ＳＴ１は、陽極酸化工程ＳＴ３の前に、アルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する水和工程ＳＴ２を備える。そして、クラック形成処理ＳＴ１１を、水和工程ＳＴ２の途中に行う。このようにすれば、まず、水和工程ＳＴ２において多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に水和皮膜が形成される。そして、水和工程ＳＴ２の途中で多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）にクラック７が設けられる。これにより、クラック形成処理ＳＴ１１によって、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面には、クラック７を介して、アルミニウム新生面（剥き出しになった金属アルミニウムの表面）が露出する。すなわち、クラック７による多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の破断面には、表面に水和皮膜が形成されていない粉体１１が露出する。その後、アルミニウム新生面には、クラック形成処理ＳＴ１１の後に引き続き行われる水和工程ＳＴ２において水和皮膜が形成される。ここで、アルミニウム新生面を被う水和皮膜は、陽極酸化工程ＳＴ３において、クラック７を間に挟んだ両側に位置する粉体１１同士が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、水和工程ＳＴ２の途中にクラック形成処理ＳＴ１１を行えば、クラック形成処理ＳＴ１１および水和工程ＳＴ２の後に行う陽極酸化工程ＳＴ３において化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長したときに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。

第２の製造方法、第３の製造方法、および第４の製造方法では、化成工程ＳＴ１は、陽極酸化工程ＳＴ３の前に、アルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する水和工程ＳＴ２を備える。陽極酸化工程ＳＴ３は、水和皮膜が形成されたアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す。そして、第２の製造方法および第３の製造方法では、クラック形成処理ＳＴ１１を、水和工程ＳＴ２の後に行う。このようにすれば、水和工程ＳＴ２において多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に水和皮膜が形成される。ここで、水和皮膜は、陽極酸化工程ＳＴ３において粉体１１同士が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、水和工程ＳＴ２の後にクラック形成処理ＳＴ１１を備えれば、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）に形成されたクラック７が、水和工程ＳＴ２の後に形成される化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によって閉じられてしまうことを、抑制しやすい。

第４の製造方法および第５の製造方法では、陽極酸化工程ＳＴ３において、所定の陽極酸化電圧に達するまでクラック形成前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、その後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。また、クラック形成処理ＳＴ１１に引き続いてアルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。さらに、再水和処理ＳＴ２１の後に後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。このようにすれば、水和工程ＳＴ２において多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に水和皮膜が形成される。ここで、水和皮膜は、陽極酸化工程ＳＴ３において粉体１１同士が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）に形成されたクラック７が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によって閉じられてしまうことを、抑制しやすい。また、クラック７の形成により多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に露出したアルミニウム新生面には、クラック形成処理ＳＴ１１の後に引き続き行われる再水和処理ＳＴ２１において水和皮膜が形成される。ここで、アルミニウム新生面を被う水和皮膜は、その後の陽極酸化において、クラック７を間に挟んだ両側に位置する粉体１１同士が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合することを阻害或いは抑制する。従って、クラック形成処理ＳＴ１１に引き続いて再水和処理ＳＴ２１を行えば、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａにおいて化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長したときに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、より、抑制できる。

ここで、各製造方法において、陽極酸化工程ＳＴ３が終了すると、化成後のアルミニウム箔１０、すなわち、アルミニウム化成箔１は、巻き取りローラに巻き取られ、渦巻曲線状に巻回されたロール形状となる。この際に、アルミニウム化成箔１は、複数のクラック７を備えているので、Ｘ方向に巻き回しやすい。従って、アルミニウム化成箔１は、アルミニウム化成箔１がクラック７を備えていない場合と比較して、真円に近い形状で巻き回すことができる。すなわち、クラックを備えていないアルミニウム化成箔１を巻き回した場合には、アルミニウム化成箔１の途中に複数の屈曲部が形成されてしまう。これに対して、複数のクラック７を備えるアルミニウム化成箔１を巻き回した場合には、途中に折り曲げられた部分を有することなくＸ方向に巻回されたロール形状となる。この結果、アルミニウム化成箔１が巻回されたロールは、アルミニウム化成箔１がクラックを備えていない場合のロールと比較して、巻き回したアルミニウム化成箔１のＸ方向の寸法に対するロールの外形寸法が小さくなる。言い換えれば、ロールの外形寸法が同一となるまで巻き回したときに、アルミニウム化成箔１が巻回されたロールは、アルミニウム化成箔１がクラックを備えていない場合のロールと比較して、巻回されたアルミニウム化成箔１のＸ方向の寸法が長い。よって、本例では、アルミニウム化成箔１をロールとする巻き取り作業の作業効率が向上する。また、アルミニウム化成箔１を渦巻曲線状に巻回したロール形状とすれば、アルミニウム化成箔１が途中に折り曲げられた部分を有する場合と比較して、折り曲げられた部分に発生するアルミニウム化成箔１の破断を防ぐことができる。従って、アルミニウム化成箔１の巻回性を向上させることができる。

（実施例）
図１３は、実施例１～５のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングを説明した表である。図１４は、実施例１～５のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングの説明図である。実施例１～５のアルミニウム化成箔１の製造方法は、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングが相違するが、化成工程ＳＴ１において、アルミニウム箔１０に施される処理は同一である。

実施例１～５では、基材として、ベース層２の厚さ寸法Ｔ１が３０μｍ、第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３がそれぞれ５０μｍ、第１多孔質層３および第２多孔質層４を形成する粉体１１の平均粒子径Ｋが３μｍのアルミニウム箔１０を用いる。水和工程ＳＴ２では、水和処理溶液として純水を用いる。また、水和工程ＳＴ２では、アルミニウム箔１０を、９５℃で１０分間煮沸する。陽極酸化工程ＳＴ３では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３を行う。また、陽極酸化工程ＳＴ３では、第２陽極酸化処理ＳＴ４２と第３陽極酸化処理ＳＴ４３との間に熱処理ＳＴ３１を行う。熱処理ＳＴ３１では、アルミニウム箔１０を、５００℃の雰囲気中で２分間加熱して、欠陥部を露出させる。

第１陽極酸化処理ＳＴ４１では、陽極酸化電圧が４００Ｖとなるまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す。第１陽極酸化処理ＳＴ４１の化成処理液は、アジピン酸アンモニウムを含む。化成処理液におけるアジピン酸アンモニウムの量は、１ｇ/Ｌである。化成処理液の温度は、８０℃である。第２陽極酸化処理ＳＴ４２では、陽極酸化電圧を５５０Ｖとなるまで昇圧させ、さらに３０分間保持することで、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施す。第２陽極酸化処理ＳＴ４２の化成処理液は、ホウ酸、および五ホウ酸アンモニウム八水和物を含む。化成処理液におけるホウ酸の量は、８０ｇ/Ｌであり、五ホウ酸アンモニウム八水和物の量は、０．５ｇ／Ｌである。化成処理液の温度は、８０℃である。第３陽極酸化処理ＳＴ４３では、陽極酸化電圧を５５０Ｖとなるまで昇圧させ、さらに１０分間保持することで、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施す。第３陽極酸化処理ＳＴ４３では、第２陽極酸化処理ＳＴ４２と同一の化成処理液を用いる。化成処理液の温度は、８０℃である。クラック形成処理ＳＴ１１で用いる第１クラック形成用ローラ２１（１）の径寸法Ｍおよび第２クラック形成用ローラ２１（２）の径寸法Ｍは、１０ｍｍである。

図１３、図１４に示すように、実施例１は、第１の製造方法であり、クラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２の途中に備える。実施例２は、第２の製造方法であり、クラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２と陽極酸化工程ＳＴ３の間に備える。実施例１、２では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例３～５は、第３の製造方法であり、化成工程ＳＴ１に含まれる陽極酸化工程ＳＴ３において、最終的な目標となる陽極酸化電圧（５５０Ｖ）に達する前に、クラック形成処理ＳＴ１１を行う。

実施例３では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が１００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１を行う。実施例３では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が１００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例４では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が２００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１を行う。実施例４では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が２００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例５では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が４００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１を行う。実施例５では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が４００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

なお、比較例１の製造方法は、化成工程ＳＴ１の途中にクラック形成処理ＳＴ１１を備えていない。比較例２の製造方法は、陽極酸化工程ＳＴ３において、クラック形成処理ＳＴ１１を第２陽極酸化処理ＳＴ４２の直後に行う。比較例２の製造方法では、クラック形成処理ＳＴ１１を行う時点において、陽極酸化時の電源から出力される電圧が所定の陽極酸化電圧（４００Ｖ）を超え、陽極酸化時の電圧の最終的な目標となる最終陽極酸化電圧（５５０Ｖ）に達している。

図１５は、実施例１～５、比較例１、２について、化成処理後のアルミニウム箔１０、すなわち、アルミニウム化成箔１のクラック７の間隔、折曲げ強度、引張強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す表である。なお、比較例１の製造方法は、クラック形成処理ＳＴ１１を備えていない。従って、図１５に示すように、比較例１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、第１多孔質層３および第２多孔質層４にクラックを備えない。よって、図１５のクラックの間隔の欄は測定不可と記載されている。

ここで、折曲げ強度、引張強さ、静電容量は、日本電子機械工業会規格である「EIAJ RC-2364A」に準じて測定した。折曲げ強度は、アルミニウム化成箔１が破断する折り曲げ回数で示す。折り曲げ回数は、Ｘ方向に延びるアルミニウム化成箔１を、Ｘ方区およびＹ方向と交差するＺ方向に９０°曲げて１回と数え、曲げを元に戻して２回と数え、Ｚ方向で１回目とは反対に９０°曲げて３回と数え、曲げを元に戻して４回、と数える。５回以降は、１回から４回までと同様に折り曲げて数える。引張強さは、アルミニウム化成箔１を、Ｘ方向に引っ張って破断したとき引張力である。

図１６は、実施例５の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。なお、図１は、実施例１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。図２は、実施例１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１の断面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。

図１、図２、図１６に示すように、実施例１～５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延びるクラック７が、第１多孔質層３および第２多孔質層４の表面に、３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けられている。具体的には、図１５に示すように、クラック７は、９５μｍから１１０μｍの間隔で複数設けられている。

このようなアルミニウム化成箔１では、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施すことによって隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合したときにアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラック７から逃がすことができる。従って、実施例１～５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、折曲げ強度は、折り曲げ回数が１５０回以上であり、比較例１、２の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１と比較して、折り曲げに強い。

ここで、実施例１～４の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１（図１参照）では、クラック７の間隔が実施例５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１（図１６参照）よりも狭い。従って、図１５に示すように、折曲げ強度を示す折り曲げ回数が実施例５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１よりも多く、折り曲げに強い。ここで、発明者らの検証によれば、陽極酸化工程ＳＴ３において、陽極酸化電圧が２５０Ｖに達するまでの間にクラック形成処理ＳＴ１１を行えば、陽極酸化電圧が２５０Ｖを超えた後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う場合と比較して、アルミニウム化成箔１を折り曲げに強くすることができる。

また、実施例１～５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極として用いる場合には、比較例１の製造方法により得られるアルミウム化成箔をアルミニウム電解コンデンサ用電極として用いる場合と比較して、静電容量が高い。すなわち、実施例１～５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、クラック７を備えるので、比較例１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１と比較して、比表面積が大きい。この結果、例１～５の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１（アルミニウム電解コンデンサ用電極）では、静電容量が高くなる。

ここで、図１７は、比較例１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１´の表面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。図１８は、比較例１のアルミニウム化成箔１´の断面を走査型電子顕微鏡により拡大して撮影した写真である。図１７、および図１８に示すように、比較例１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１´はクラックを備えていない。このようなアルミニウム化成箔１´では、陽極酸化工程ＳＴ３において、粉体１１の焼結体からなる多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）の表面に化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長すると、隣り合う粉体１１は、化成皮膜を介して、結合する。従って、アルミニウム箔に折れ曲がりが発生した場合には、粉体１１同士の結合が強固なので、変形に起因して発生した応力をアルミニウム箔から逃がすことができない。この結果、粉体１１間の結合に局所的な割れが発生する。また、この割れが広がって、アルミニウム箔が破断する。よって、図１５に示すとおり、比較例１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１´では、折曲げ強度は、低い。

図１９は、実施例６～８のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングを説明した表である。図２０は、実施例６～８のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングの説明図である。

実施例６～８は、第４の製造方法であり、化成工程ＳＴ１に含まれる陽極酸化工程ＳＴ３において、最終的な目標となる最終陽極酸化電圧（５５０Ｖ）に達する前に、クラック形成処理ＳＴ１１と再水和処理ＳＴ２１とを連続して行う。実施例６～８において、基材として用いるアルミニウム箔１０は、実施例１～５と同一である。すなわち、実施例６～８では、基材として、ベース層２の厚さ寸法Ｔ１が３０μｍ、第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３がそれぞれ５０μｍ、第１多孔質層３および第２多孔質層４を形成する粉体１１の平均粒子径Ｋが３μｍのアルミニウム箔１０を用いる。

また、実施例６～８のアルミニウム化成箔１の製造方法は、化成工程ＳＴ１においてアルミニウム箔１０に施す処理は実施例１～５と同一である。クラック形成処理ＳＴ１１で用いられる第１クラック形成用ローラ２１（１）の径寸法Ｍおよび第２クラック形成用ローラ２１（２）の径寸法Ｍは、１０ｍｍである。再水和処理ＳＴ２１では、水和処理液として純水を用いる。また、再水和処理ＳＴ２１では、アルミニウム箔１０を、９５℃で２分間煮沸する。

ここで、実施例６では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が１００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例６では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が１００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例７では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が２００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例７では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が２００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例８では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が４００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例８では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が４００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

図２１は、実施例６～８について、化成処理後のアルミニウム箔１０、すなわち、アルミニウム化成箔１のクラック７の間隔、折曲げ強度、引張強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す説明図である。実施例６～８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延びるクラック７が、第１多孔質層３および第２多孔質層４の表面に、３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けられている。すなわち、図２１に示すように、実施例６～８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、クラック７が１０５μｍから１１０μｍの間隔で、複数、設けられている。従って、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施すことによって隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合したときにアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラック７から逃がすことができる。

よって、実施例６～８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、折曲げ強度は、折り曲げ回数が１６１回以上であり、比較例１、２の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１と比較して、折り曲げに強い。

また、実施例６～８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、クラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１をこの順で連続して行うので、陽極酸化工程ＳＴ３において化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長したときに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。さらに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）はクラック７を備えるので、実施例６～８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とした場合には、比較例１、２の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とした場合と比較して、静電容量が高い。

ここで、実施例６、７の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、クラック７の間隔が実施例８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１よりも狭い。従って、図２１に示すように、実施例６、７の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、折曲げ強度を示す折り曲げ回数が実施例８の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１よりも多く、折り曲げに強い。また、発明者らの検証によれば、陽極酸化工程ＳＴ３において、陽極酸化電圧が２５０Ｖに達するまでの間にクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を行えば、陽極酸化電圧が２５０Ｖを超えた後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う場合と比較して、アルミニウム化成箔１を折り曲げに強くすることができる。

図２２は、実施例９～１１のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングを説明した表である。図２３は、実施例９～１１のアルミニウム化成箔１の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１を行うタイミングの説明図である。

実施例９～１１は、第５の製造方法であり、化成工程ＳＴ１に含まれる水和工程ＳＴ２の途中でクラック形成処理ＳＴ１１を行う。さらに、実施例９～１１では、化成工程ＳＴ１に含まれる陽極酸化工程ＳＴ３において、電源から出力される電圧が最終的な目標となる最終陽極酸化電圧（５５０Ｖ）に達する前に、クラック形成処理ＳＴ１１と再水和処理ＳＴ２１とを連続して行う。また、実施例９～１１では、基材として、ベース層２の厚さ寸法Ｔ１が３０μｍ、第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３がそれぞれ１００μｍ、第１多孔質層３および第２多孔質層４を形成する粉体１１の平均粒子径Ｋが３μｍのアルミニウム箔１０を用いる。すなわち、実施例９～１１では、基材として、多孔質層の厚さ寸法（第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３の合計）が２００μｍのアルミニウム箔１０を用いる。

実施例９～１１において、化成工程ＳＴ１でアルミニウム箔１０に施す処理は実施例１～８と同一である。また、クラック形成処理ＳＴ１１で用いられる第１クラック形成用ローラ２１（１）の径寸法Ｍおよび第２クラック形成用ローラ２１（２）の径寸法Ｍは、１０ｍｍである。再水和処理ＳＴ２１では、水和処理液として純水を用いる。再水和処理ＳＴ２１では、アルミニウム箔１０を、９５℃で２分間煮沸する。

ここで、実施例９では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が１００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例９では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が１００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例１０では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が２００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例１０では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が２００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第１陽極酸化処理ＳＴ４１のクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１以後、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

実施例１１では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１において、陽極酸化電圧が４００Ｖに達した時点でクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。実施例１１では、第１陽極酸化処理ＳＴ４１の陽極酸化電圧が４００Ｖに達するまでが前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂに相当し、第２陽極酸化処理ＳＴ４２、および第３陽極酸化処理ＳＴ４３が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａに相当する。

図２４は、実施例９～１１について、化成処理後のアルミニウム箔１０、すなわち、アルミニウム化成箔１のクラック７の間隔、折曲げ強度、引張強さ、静電容量、および皮膜耐電圧を示す説明図である。実施例９～１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延びるクラック７が、第１多孔質層３および第２多孔質層４の表面に、３５μｍから１５０μｍの間隔で複数設けられている。すなわち、図２４に示すとおり、クラック７が１３５μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けられている。このようなアルミニウム化成箔１では、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施すことによって隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合したときにアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラック７から逃がすことができる。

よって、実施例９～１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、折曲げ強度は、折り曲げ回数が１２０回以上であり、比較例１、２の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１と比較して、折り曲げに強い。

また、実施例９～１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、クラック形成処理ＳＴ１１を２回行うとともに、１回目のクラック形成処理ＳＴ１１を水和工程ＳＴ２の途中で行い、２回目のクラック形成処理ＳＴ１１では、クラック形成処理ＳＴ１１に引き続き再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。従って、基材として、多孔質層の厚さ寸法（第１多孔質層３の厚さ寸法Ｔ２および第２多孔質層４の厚さ寸法Ｔ３の合計）が２００μｍのアルミニウム箔１０を用いている場合でも、陽極酸化工程ＳＴ３において化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長したときに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、防止或いは抑制できる。

さらに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）はクラック７を備えるので、実施例９～１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とした場合には、比較例１、２の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とした場合と比較して、静電容量が高い。

ここで、実施例９、１０の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１では、クラック７の間隔が実施例１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１よりも狭い。従って、図２４に示すように、実施例９、１０の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１は、折曲げ強度を示す折り曲げ回数が実施例１１の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１よりも多く、折り曲げに強い。また、発明者らの検証によれば、陽極酸化工程ＳＴ３において、陽極酸化電圧が２５０Ｖに達するまでの間にクラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を行えば、陽極酸化電圧が２５０Ｖを超えた後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う場合と比較して、アルミニウム化成箔１を折り曲げに強くすることができる。

また、実施例８～１１では、アルミニウム化成箔１のベース層２に積層された多孔質層（第１多孔質層３および第２多孔質層４）が厚い。従って、実施例８～１１の製造方法により製造されたアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とする場合には、他の実施例の製造方法により得られるアルミニウム化成箔１をアルミニウム電解コンデンサ用電極とする場合と比較して、静電容量が高い。

（その他の実施の形態）
図２５は、アルミニウム化成箔１の第６の製造方法のフローチャートである。図２６は、アルミニウム化成箔１の第７の製造方法のフローチャートである。アルミニウム化成箔１の第６の製造方法では、図８に示す第２の製造方法において、クラック形成処理ＳＴ１１に引き続いてアルミニウム箔１０に水和皮膜を形成する再水和処理ＳＴ２１を備える。すなわち、図２５に示すように、アルミニウム化成箔１の第６の製造方法は、水和工程ＳＴ２と陽極酸化工程ＳＴ３との間に、クラック形成処理ＳＴ１１および再水和処理ＳＴ２１を連続して行う。このようすれば、クラック形成処理ＳＴ１１により設けたクラック７を介して露出するアルミニウム新生面に対し、再水和処理ＳＴ２１により水和皮膜を設けることができる。従って、その後の陽極酸化工程ＳＴ３における後陽極酸化処理ＳＴ３Ａにおいて化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）が成長したときに、化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）によりクラック７が閉じられてしまうことを、防止或いは抑制しやすい。

また、クラック形成処理ＳＴ１１前に行う前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂにおいて、クラック形成処理ＳＴ１１前に陽極酸化を施す際に達する所定の陽極酸化電圧が低い場合であって、例えば、所定の陽極酸化電圧を、５Ｖ以上、１５０Ｖ以下とするような場合には、水和工程ＳＴ２を省略してもよい。すなわち、化成工程ＳＴ１は、陽極酸化工程ＳＴ３のみを備えるものとすることができる。

この場合の第７の製造方法の製造方法では、図２６に示すように、クラック形成処理ＳＴ１１を、陽極酸化工程ＳＴ３において、上述した所定の陽極酸化電圧に達するまでアルミニウム箔１０に陽極酸化を施す前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂを行い、その後にクラック形成処理ＳＴ１１を行う。そして、クラック形成処理ＳＴ１１後に、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａを行う。このようにしても、第１多孔質層３の表面に、３００μｍ以上の長さでＹ方向（Ｙ方向）に延在するクラック７を、Ｘ方向（Ｘ方向）において３０μｍから１５０μｍの間隔で、複数、設けることができる。また、第２多孔質層４の表面に、３００μｍ以上の長さでＹ方向に延在するクラック７を、Ｙ方向に直交するＸ方向において３０μｍから１５０μｍの間隔で複数設けることができる。従って、アルミニウム箔１０に陽極酸化を施すことによって隣り合う粉体１１が化成皮膜（第１化成皮膜５および第２化成皮膜６）を介して結合したときにアルミニウム箔１０に折れ曲がりが発生した場合でも、変形に起因して発生した応力をクラック７から逃がすことができる。

なお、図７～図１１、図２５、図２６を参照して説明したアルミニウム化成箔１の製造方法では、熱処理ＳＴ３１が、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａの後に行われる場合を例示した。熱処理ＳＴ３１は、陽極酸化工程ＳＴ３の途中で行えばよく、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂの前で行ってもよく、後で行ってもよく、また、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａの前で行ってもよく、後で行ってもよい。また、熱処理ＳＴ３１は、前陽極酸化処理ＳＴ３Ｂの途中で行ってもよく、後陽極酸化処理ＳＴ３Ａの途中で行ってもよい。また、熱処理ＳＴ３１は省略することもできる。

また、アルミニウム化成箔１の基材として、ベース層２と、ベース層２の第１面２ａに積層された第１多孔質層３のみを備えるアルミニウム箔１０を用いてもよい。この場合には、化成工程ＳＴ１の途中に行われるクラック形成処理ＳＴ１１では、第１クラック形成用ローラ２１（１）のみを用いて、第１多孔質層３にクラック７を設ける。

また、クラック形成処理ＳＴ１１では、アルミニウム箔１０に対して、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）を接触させて、第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）とのいずれかを移動させて、アルミニウム箔１０に応力を発生させてもよい。すなわち、クラック形成処理ＳＴ１１では、アルミニウム箔１０と第１クラック形成用ローラ２１（１）および第２クラック形成用ローラ２１（２）とをＸ方向で相対移動させれば、アルミニウム箔１０にクラック７を付与することができる。

さらに、クラック形成処理ＳＴ１１では、アルミニウム箔１０と第１クラック形成用ローラ２１（１）または第２クラック形成用ローラ２１（２）とを所定の抱き角で接触させてアルミニウム箔１０を走行させてもよい。すなわち、アルミニウム箔１０が、第１クラック形成用ローラ２１（１）または第２クラック形成用ローラ２１（２）と、押圧ローラ２３との間を走行することなく、アルミニウム箔１０の第２面２ｂに接触する第１クラック形成用ローラ２１（１）または第１面２ａに接触する第２クラック形成用ローラ２１（２）によって応力を付与するものであってもよい。この場合、第１クラック形成用ローラ２１（１）の抱き角および第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角は、通常０°より大きく、１８０°以下とすることができる。また、この場合、第１クラック形成用ローラ２１（１）の抱き角および第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角は、好ましくは０°より大きく、４５°以下である。第１クラック形成用ローラ２１（１）の抱き角および第２クラック形成用ローラ２１（２）の抱き角を上記範囲とすれば、第１多孔質層３または第２多孔質層４に所望のクラック７を形成しやすい。

ここで、本発明のアルミニウム化成箔１は、その表面で試液や血液などの液体を拡散させる拡散部材として用いることができる。この場合、アルミニウム化成箔１は、表面にクラック７を備えるので、液体を拡散させやすい。

Claims (10)

1. アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔状のベース層の両面のうち、第１面にアルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体同士が空隙を維持しながら焼結して繋がっている焼結体からなる第１多孔質層が積層されたアルミニウム箔に第１化成皮膜を形成する化成工程を備え、
   前記化成工程は、前記アルミニウム箔に陽極酸化を施す陽極酸化工程を備え、
   前記化成工程では、前記アルミニウム箔に応力を発生させて前記第１多孔質層の表面に第１方向に延在するクラックを前記第１方向に直交する第２方向で離間して複数設けるクラック形成処理を行い、
   前記陽極酸化工程では、前記クラック形成処理前に所定の陽極酸化電圧に達するまで前記アルミニウム箔に陽極酸化を施すクラック形成前陽極酸化処理と、前記クラック形成処理後に前記アルミニウム箔に陽極酸化を施すクラック形成後陽極酸化処理を行い、
   前記クラック形成前陽極酸化処理における前記所定の陽極酸化電圧が２００Ｖ以上且つ４００Ｖ以下であり、
   前記クラック形成後陽極酸化処理における陽極酸化電圧が、前記クラック形成前陽極酸化処理において達していた前記所定の陽極酸化電圧よりも高い電圧であることを特徴とするアルミニウム化成箔の製造方法。
2. 前記クラック形成処理では、３００μｍ以上の長さで前記第１方向に延在する前記クラックを、前記第２方向において９５μｍから１５０μｍの間隔で複数設けることを特徴とする請求項１に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
3. 前記クラック形成処理では、３００μｍ以上の長さで前記第１方向に延在する前記クラックを、前記第２方向において３０μｍから１５０μｍの間隔で複数設けることを特徴とする請求項１に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
4. 前記クラック形成処理では、各クラックを前記ベース層と前記第１多孔質層との境界まで到達させることを特徴とする請求項１から３のうちのいずれか一項に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
5. 前記クラック形成処理では、前記第１方向に延在する第１クラック形成用ローラを、前
   記アルミニウム箔の両面のうち前記第１面とは反対側の第２面に接触させて当該アルミニウム箔と当該第１クラック形成用ローラとを前記第２方向に相対移動させることを特徴とする請求項１から４のうちのいずれか一項に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
6. 前記化成工程では、前記第２方向に沿って配置された複数のローラによって前記アルミニウム箔を前記第２方向に走行させ、
   複数の前記ローラのうち、他のローラよりも径が小さいローラが前記第１クラック形成用ローラとして配置されていることを特徴とする請求項５に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
7. 前記アルミニウム箔には、前記ベース層の前記第１面とは反対の第２面に、アルミニウムまたはアルミニウム合金の粉体の焼結体からなる第２多孔質層が積層されており、
   前記化成工程では、前記第２多孔質層に第２化成皮膜を形成し、
   前記クラック形成処理では、前記第１方向に延在する第２クラック形成用ローラを、前記第２方向で前記第１クラック形成用ローラとは異なる位置で前記第１面に接触させて当該アルミニウム箔と前記第２クラック形成用ローラとを前記第２方向に相対移動させることを特徴とする請求項５または６に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
8. 前記化成工程は、前記陽極酸化工程の前に、前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する水和工程を備え、
   前記陽極酸化工程は、前記水和皮膜が形成された前記アルミニウム箔に陽極酸化を施し、
   前記クラック形成処理は、前記水和工程の途中に行うことを特徴とする請求項１から７のうちのいずれか一項に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
9. 前記化成工程は、前記陽極酸化工程の前に、前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する水和工程を備え、
   前記陽極酸化工程は、前記水和皮膜が形成された前記アルミニウム箔に陽極酸化を施し、
   前記クラック形成処理は、前記水和工程の後に行うことを特徴とする請求項１から８のうちのいずれか一項に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。
10. 前記クラック形成処理に引き続いて前記アルミニウム箔に水和皮膜を形成する再水和処理を備えることを特徴とする請求項９に記載のアルミニウム化成箔の製造方法。

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