JP7336996B2 - 偏心調整装置 - Google Patents

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本開示は、被固定体に固定される被調整物の被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置、偏心調整方法、およびサーボモータの製造方法に関する。
従来、回転軸などの被固定体に回転体などの被調整物を取り付ける際に、被固定体に対する被調整物の偏心量と偏心方向とを計測し、計測した偏心方向と偏心量に基づいて被固定体に対する被調整物の位置を調整する偏心調整装置が知られている。
この種の偏心調整装置において、特許文献１には、被固定体に被調整物を押し付ける押さえ機構を備える偏心調整装置が開示されている。特許文献１に記載の偏心調整装置は、押さえ機構で被固定体に被調整物を押し付けることによって、偏心計測時に回転により遠心力が働く被調整物の静止摩擦力を大きくする。これにより、特許文献１に記載の偏心調整装置は、遠心力による被固定体に対する被調整物の移動を低減し、高速かつ高精度な偏心計測を行うことができる。
特開２０１５－１５８４０１号公報
しかしながら、特許文献１に記載の偏心調整装置では、押さえ機構による被調整物の被固定体に対する押し付ける力が大きいほどスティックスリップ運動による被調整物の被固定体に対する滑りが大きくなる。偏心計測の結果に応じた調整量で被調整物を移動する際に、スティックスリップ運動による被調整物の滑りが大きいと被調整物が目標位置に対して規定値を超えて移動することがある。被調整物が目標位置に対して規定値を超えて移動すると、被固定体に対する被調整物の偏心を再度調整しなければならず、偏心調整を高効率で行うことが難しい可能性がある。
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる偏心調整装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示の偏心調整装置は、被固定体に固定される被調整物の被固定体に対する偏心量を調整する。偏心調整装置は、押さえ機構と、計測部と、偏心調整機構と、を備える。押さえ機構は、被調整物を被固定体に押さえ付ける。計測部は、押さえ機構によって被調整物が被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、被調整物の被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する。偏心調整機構は、押さえ機構によって被調整物が被固定体に第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、計測部によって計測された偏心量および偏心方向に基づいて被調整物の偏心量を調整する。押さえ機構は、被固定体に被調整物を押し付ける荷重を発生するばねを有するばね機構と、ばねの長さを変化させることによって第１の荷重と第２の荷重とを選択的にばね機構に発生させる荷重調整部と、を備える。偏心調整機構は、偏心方向と逆方向に移動し前記被調整物を押すアクチュエータを有し、荷重調整部は、一端部がアクチュエータに取り付けられると共に他端部がばね機構に取り付けられ、アクチュエータの移動に伴ってばねの長さを変更するリンクを備える。
本開示によれば、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる、という効果を奏する。
実施の形態１にかかる偏心調整装置を示す構成の一例を示す図 実施の形態１にかかるばね機構の構成の一例を示す図 実施の形態１にかかる計測部の構成の一例を示す図 実施の形態１にかかるスケール円板の平面図 実施の形態１にかかる計測部による偏心方向および偏心量の計測方法を説明するための図 実施の形態１にかかる主制御部の構成の一例を示す図 実施の形態１にかかる主制御部の処理の流れを示すフローチャート 実施の形態１にかかる偏心調整装置の主制御部のハードウェア構成の一例を示す図 実施の形態２にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図 実施の形態３にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図 実施の形態４にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図 実施の形態５にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図 実施の形態６にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図 実施の形態７にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態８にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態９にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態１０にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態１１にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態１２にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態１３にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図 実施の形態１３にかかるばね機構の構成の一例を示す図 実施の形態１４にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図
以下に、実施の形態に係る偏心調整装置、偏心調整方法、およびサーボモータの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態により本開示が限定されるものではない。
実施の形態１．
図１は、実施の形態１にかかる偏心調整装置を示す構成の一例を示す図である。図１に示す偏心調整装置１は、サーボモータ２の製造工程で用いられる。
図１に示すように、サーボモータ２は、サーボモータ本体２１と、サーボモータ本体２１のシャフト２２に取り付けられるカップリング２３と、カップリング２３を介してサーボモータ本体２１のシャフト２２に連結されるシャフト２４とを備える。また、サーボモータ２は、シャフト２２を回転可能に支持する不図示のベアリングが組み込まれたハウジング２５と、シャフト２４に固定されたボス２６と、ボス２６上に設けられるスケール円板２７とを備える。スケール円板２７は、シャフト２２の回転位置を検出するロータリエンコーダを構成する構成要素であり、例えば、エンコーダが透過型エンコーダである場合、複数のスリットが形成される。ボス２６は、被固定体の一例であり、スケール円板２７は、被調整物の一例である。ボス２６およびスケール円板２７の各々の中央部には、シャフト２４が挿通される開口が設けられている。
偏心調整装置１は、スケール円板２７をボス２６に固定する際、ボス２６の回転中心に対するスケール円板２７の回転中心の偏心量が規定値以下になるように調整を行う。ボス２６の回転中心は、シャフト２２，２４の回転中心と同じである。偏心調整装置１が行う処理には、ボス２６の回転中心に対するスケール円板２７の回転中心の偏心量および偏心方向を計測する偏心計測処理と、偏心計測処理によって計測された偏心量および偏心方向に基づいて、偏心量を規定値以下にする偏心調整処理とが含まれる。
偏心調整装置１によって上記処理が行われる前に、ボス２６とスケール円板２７とを接着するための接着剤をボス２６とスケール円板２７とに塗布する前工程が行われる。例えば、前工程では、スケール円板２７は接着剤が塗布されたボス２６の上に配置される。そして、偏心調整装置１による上記処理の後に、接着剤を硬化する後工程が行われる。
偏心調整装置１は、モータ制御部１１と、押さえ機構１２と、計測部１３と、偏心調整機構１４と、主制御部１５とを備える。モータ制御部１１は、主制御部１５からの要求に基づいて、サーボモータ本体２１へ駆動電流を供給し、サーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させる。
押さえ機構１２は、ばね機構１６と、荷重調整部１７とを備える。ばね機構１６は、圧縮ばねを有しており、荷重調整部１７によって圧縮ばねが図１における上下方向に圧縮される。ばね機構１６は、圧縮ばねが図１における上下方向に圧縮されると、スケール円板２７に荷重を与える。これにより、スケール円板２７がボス２６に押さえ付けられる。
図２は、実施の形態１にかかるばね機構の構成の一例を示す図である。図２に示すばね機構１６は、圧縮ばね３１と、圧縮ばね３１の一端部に取り付けられたばね押さえ３２と、圧縮ばね３１の他端部に取り付けられたばね押さえ３３とを備える。ばね押さえ３２，３３およびスケール円板２７の各々の中央部には、開口が設けられており、シャフト２4は、ばね押さえ３２の開口およびスケール円板２７の開口に挿通される。
ばね押さえ３３の開口には、リニアブッシュ３４が組み込まれており、かかるリニアブッシュ３４の開口にシャフト２４が挿通される。リニアブッシュ３４によって、ばね押さえ３３がシャフト２４に摺動可能に取り付けられる。ばね機構１６の図２における上下方向の長さは、荷重調整部１７によってばね機構１６のばね押さえ３３がばね押さえ３２に対して近づくように移動させられることによって変化する。なお、ばね機構１６は、リニアブッシュ３４に代えて、リニアベアリングを有する構成であってもよい。また、ばね機構１６は、リニアブッシュ３４がない構成であってもよい。この場合、ばね機構１６には、シャフト２４とばね押さえ３３との間に空隙が設けられる。
図１に戻って、偏心調整装置１の説明を続ける。偏心調整装置１の荷重調整部１７は、ばね機構１６のばね押さえ３３に固定されるシリンダ４１と、シリンダ４１の配管として用いられるロータリージョイント４２とを備える。シリンダ４１は、例えば、エアシリンダである。シリンダ４１がエアシリンダである場合、主制御部１５によってロータリージョイント４２を介するエアシリンダへのエアの供給が制御される。
押さえ機構１２によってスケール円板２７がボス２６に押さえ付けられている状態で、サーボモータ本体２１のシャフト２２が回転することで、カップリング２３、シャフト２２、ボス２６、スケール円板２７、および押さえ機構１２が共に回転する。
計測部１３は、シャフト２２の回転中心に対するスケール円板２７の回転中心の偏心方向および偏心量を計測する。以下、シャフト２２の回転中心に対するスケール円板２７の回転中心の偏心方向および偏心量を単に偏心方向および偏心量と記載する場合がある。図３は、実施の形態１にかかる計測部の構成の一例を示す図であり、図４は、実施の形態１にかかるスケール円板の平面図である。
図３に示すように、計測部１３は、撮像部５１と、撮像部５１によって撮像された画像から偏心方向および偏心量を算出する算出処理部５２と、主制御部１５およびモータ制御部１１の各々との間で情報の送受信を行う通信部５３とを備える。算出処理部５２は、主制御部１５からの計測要求が通信部５３で受信された場合、撮像部５１にスケール円板２７およびシャフト２２を含む領域を撮像させ、撮像部５１によって撮像された画像から偏心方向および偏心量を算出する。通信部５３は、算出処理部５２によって算出された偏心方向および偏心量の情報を主制御部１５へ送信する。
図４に示すように、スケール円板２７には、計測用の真円パターン２８が形成されている。計測部１３の算出処理部５２は、モータ制御部１１によってサーボモータ本体２１のシャフト２２が回転させられている状態で、撮像部５１にスケール円板２７を含む領域を撮像させ、撮像部５１によって撮像された画像から真円パターン２８の位置を計測する。
具体的には、算出処理部５２は、画像処理にて真円パターン２８の位置を認識し、真円パターン２８とボス２６の回転中心Ｃ１の距離Ａを計測する。図４において、ボス２６の回転中心Ｃ１と真円パターン２８の中心Ｃ２との差が偏心量αである。ボス２６の回転中心Ｃ１は、上述したようにシャフト２２，２４の回転中心と同じである。なお、算出処理部５２は、撮像部５１による撮像範囲のうちボス２６の回転中心Ｃ１として事前に設定された位置の情報を有する。算出処理部５２は、撮像部５１によって撮像される画像のうち事前に設定された位置を回転中心Ｃ１として距離Ａを計測する。
サーボモータ本体２１の回転角であるモータ回転角の情報は、モータ制御部１１から無線または有線によって計測部１３へ出力される。計測部１３の算出処理部５２は、通信部５３を介してモータ制御部１１からのサーボモータ２の回転角であるモータ回転角の情報を取得する。算出処理部５２は、算出した距離Ａと取得したモータ回転角の情報とに基づいて、偏心方向Ｄ１および偏心量αを計測する。
図５は、実施の形態１にかかる計測部による偏心方向および偏心量の計測方法を説明するための図である。図５においては、偏心したスケール円板２７の真円パターン２８と回転中心Ｃ１の距離Ａを１回転分計測して得られる偏心特性が示されている。図５において、縦軸は、距離Ａを示し、横軸は、モータ回転角を示す。
図５に示すように、算出処理部５２は、距離Ａの平均値Ａａｖｅと距離Ａの最大値Ａｍａｘとの差から偏心量αを求め、距離Ａの最大値Ａｍａｘの位置を偏心方向Ｄ１として求める。なお、算出処理部５２は、スケール円板２７の１回転の間に３箇所の距離Ａを計測し、円の方程式から中心座標を求める方法を用いて、偏心量αと偏心方向Ｄ１を求めることもできる。
このように、スケール円板２７は、偏心調整装置１による偏心計測の際、サーボモータ本体２１のシャフト２２の回転に伴って回転する。回転による角加速度によってスケール円板２７に働く遠心力が静止摩擦力より大きければスケール円板２７の位置がずれる。遠心力は、スケール円板２７の質量、偏心計測時のスケール円板２７の軸ずれ、およびスケール円板２７の角加速度などにより生じる。また、静止摩擦力は、スケール円板２７とボス２６との間と、スケール円板２７と押さえ機構１２との間とに働く。
そこで、偏心調整装置１は、スケール円板２７に働く遠心力よりもスケール円板２７に働く静止摩擦力を大きくすることで、偏心計測時の位置のずれを防止し、高速な偏心計測を可能にする。具体的には、主制御部１５は、荷重調整部１７を制御することによってばね機構１６をスケール円板２７へ向かう方向へ第１の荷重でシリンダ４１に押させる。これにより、押さえ機構１２がスケール円板２７をボス２６に第１の荷重で押し付け、スケール円板２７に働く遠心力よりもスケール円板２７に働く静止摩擦力が大きくなる。
図６は、実施の形態１にかかる主制御部の構成の一例を示す図である。図６に示すように、主制御部１５は、通信部７１と、偏心計測制御部７２と、偏心調整制御部７３と、記憶部７４とを備える。通信部７１は、無線または有線によって、モータ制御部１１、荷重調整部１７、計測部１３、および偏心調整機構１４の各々との間で通信可能である。
偏心計測制御部７２は、偏心計測処理において、モータ制御部１１、荷重調整部１７、および計測部１３を制御し、計測部１３に偏心方向Ｄ１および偏心量αを計測させる。具体的には、偏心計測制御部７２は、荷重調整部１７に対して制御信号を出力し、荷重調整部１７のシリンダ４１を駆動し押さえ機構１２によってスケール円板２７をボス２６に第１の荷重で押し付けさせる。
次に、偏心計測制御部７２は、モータ制御部１１に対して制御信号を出力し、モータ制御部１１にサーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させることによって、スケール円板２７を回転させる。また、偏心計測制御部７２は、通信部７１から計測部１３へ計測要求を送信させ、計測部１３に偏心方向Ｄ１および偏心量αを算出させる。その後、偏心計測制御部７２は、計測部１３から偏心方向Ｄ１および偏心量αの情報を取得し、取得した偏心方向Ｄ１および偏心量αの情報を記憶部７４に記憶させる。
次に、偏心調整装置１による偏心調整処理について説明する。偏心調整制御部７３は、記憶部７４から偏心量αおよび偏心方向Ｄ１の情報を取得する。偏心調整制御部７３は、取得した偏心量αおよび偏心方向Ｄ１の情報に基づいて、荷重調整部１７、モータ制御部１１、および偏心調整機構１４を制御することによって、偏心調整処理を行う。
偏心調整機構１４は、図１に示すように、ステージ８１と、ステージ８１上に配置され、図１における左右方向に移動可能なアクチュエータ８２とを備える。偏心調整制御部７３は偏心調整機構１４を制御し偏心調整機構１４のアクチュエータ８２を図１における左右方向に移動させることができる。
偏心調整制御部７３は、偏心調整処理において、荷重調整部１７に制御信号を出力することによって、押さえ機構１２でスケール円板２７がボス２６に第１の荷重で押し付けられた状態にする。偏心調整制御部７３は、スケール円板２７がボス２６に第１の荷重で押し付けられた状態で、偏心方向Ｄ１の情報に基づいて、スケール円板２７の偏心方向Ｄ１でスケール円板２７とアクチュエータ８２の先端部とが対向するように、サーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させる移動要求をモータ制御部１１へ出力する。モータ制御部１１は、移動要求に基づき、サーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させ、スケール円板２７の偏心方向Ｄ１をアクチュエータ８２と対向する方向にする。
次に、偏心調整制御部７３は、スケール円板２７の回転が停止している状態で、荷重調整部１７に制御信号を出力することによって、押さえ機構１２でスケール円板２７がボス２６に第１の荷重より小さい第２の荷重で押し付けられた状態にする。例えば、偏心調整制御部７３は、荷重調整部１７を制御し、スケール円板２７がボス２６に第１の荷重で押し付けられた状態から荷重調整部１７のシリンダ４１がばね機構１６を押す力を低減させることで、スケール円板２７がボス２６に第２の荷重で押し付けられた状態にする。
その後、偏心調整制御部７３は、スケール円板２７がボス２６に第２の荷重で押し付けられた状態で、偏心調整機構１４へ偏心量αに応じた制御信号を出力する。これにより、偏心調整機構１４は、アクチュエータ８２を図１に示す左方向へ移動し、アクチュエータ８２によりスケール円板２７を偏心方向Ｄ１と逆方向に偏心量αだけ移動させる。
このように、偏心調整装置１は、スケール円板２７を偏心方向Ｄ１と逆方向に偏心量αだけ移動させる期間において、スケール円板２７をボス２６に押し付ける力を小さくすることができる。これにより、スティックスリップ運動が起きにくくなることから、偏心調整装置１は、スケール円板２７の微小な位置調整を行うことができる。なお、偏心調整制御部７３は、スケール円板２７に代えてステージ８１を移動させて、スケール円板２７の偏心方向Ｄ１をアクチュエータ８２と対向する方向にすることもできる。また、偏心調整機構１４は、スケール円板２７を押すことに代えて、スケール円板２７を引っ張ることでスケール円板２７の偏心量αを調整する構成であってもよい。
ここで、偏心計測時および偏心調整時において、スケール円板２７をボス２６に押し付ける力の目安と計算方法について説明する。例えば、偏心計測時は、下記式（１）を満たすことでスケール円板２７に遠心力による位置ずれが生じない。したがって、スケール円板２７の質量、圧縮ばね３１を用いたばね機構１６の質量、および摩擦係数などの条件から、必要な角加速度に応じて押し付ける力を調整することができる。
Figure 0007336996000001
上記式（１）において、「ｍ」はスケール円板２７の質量［ｋｇ］であり、「Ｍ」はばね機構１６の質量［ｋｇ］であり、「ｅ」はスケール円板２７の回転中心に対する最大偏心量［ｍｍ］であり、「ω」は角加速度［ｒａｄ／ｓ２］であり、「ｇ」は重力加速度［ｍ／ｓ２］である。また、上記式（１）において、「Ｆ１」はばね機構１６がスケール円板２７をボス２６に押し付ける荷重［Ｎ］であり、「μ１」はスケール円板２７とボス２６との間に働く静摩擦係数であり、「μ２」はスケール円板２７とばね機構１６との間に働く静摩擦係数である。
「ｍｅω２」は遠心力である。「ｍｇμ１」はスケール円板２７の自重によるスケール円板２７とボス２６との間の静止摩擦力である。「Ｍｇμ１」はスケール円板２７の自重によるスケール円板２７とボス２６との間の静止摩擦力である。「Ｆ１μ１」はばね機構１６がスケール円板２７をボス２６に押さえ付けることによって生じるスケール円板２７とボス２６との間に働く静止摩擦力である。「Ｍｇμ２」はばね機構１６の自重によるスケール円板２７とばね機構１６との間の静止摩擦力であり、「Ｆ１μ２」はばね機構１６がスケール円板２７をボス２６に押さえ付けることによって生じるスケール円板２７とばね機構１６との間に働く静止摩擦力である。
例えば、ｍ＝０．１［ｋｇ］、ｅ＝０．００２［ｍ］、Ｍ＝０．１［ｋｇ］、μ１＝０．２、μ２＝０．２、ω＝１５７［ｒａｄ／ｓ２］であると仮定した場合、必要な荷重Ｆ１は、Ｆ１＞１０．８５４５［Ｎ］である。したがって、第１の荷重は、１０．８５４５［Ｎ］よりも大きい値であることが好ましい。
ここで、非特許文献である「F.Heslot、T.Baumberger、B.Perrin、B.Caroli、C.Caroli、”Creep, stick-slip, and dry-friction dynamics: Experiments and a heuristic model”、Phys.Rev.E49.4973、1994」には、スティックスリップによるスリップ量についての実験結果が開示されている。
非特許文献に記載の実験では、荷重Ｆ１が１１．８［Ｎ］の場合、スリップ量は８．４［μｍ］であり、荷重Ｆ１が７．３１［Ｎ］の場合、スリップ量は、４．６１［μｍ］であり、荷重Ｆ１が６．２３［Ｎ］の場合、スリップ量は、０．４９［μｍ］である。非特許文献に記載の実験と摩擦係数などの条件が同じであると仮定した場合、偏心量αを１［μｍ］単位で調整するためには、荷重Ｆ１が６［Ｎ］程度以下である必要がある。すなわち、第２の荷重は、６［Ｎ］程度以下であることが好ましい。
ここで、圧縮ばね３１のばね定数を「ｋ」とし、圧縮ばね３１の縮み量を「ｘ」とする。この場合、例えば、偏心計測時は、ｘ≧１０．８５４５／ｋとなり、偏心調整時は、ｘ≦６／ｋとなるように、シリンダ４１のストロークを調整することで偏心量αを１［μｍ］単位で調整することができる。
偏心計測制御部７２は、偏心調整制御部７３による偏心調整処理の後、荷重調整部１７に制御信号を出力することによって押さえ機構１２でスケール円板２７がボス２６に第１の荷重より小さい第２の荷重で押し付けられた状態にする。そして、偏心計測制御部７２は、モータ制御部１１に対して制御信号を出力し、モータ制御部１１にサーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させることによって、スケール円板２７を回転させる。また、偏心計測制御部７２は、通信部７１から計測部１３へ計測要求を送信させ、計測部１３に偏心量αを算出させ、計測部１３から偏心量αの情報を取得する。
偏心計測制御部７２は、偏心量αが規定値以下であるか否かを判定する。偏心量αが規定値以下でない場合、偏心計測制御部７２および偏心調整制御部７３は、偏心量αが規定値以下になるまで偏心計測処理および偏心調整処理を繰り返し行う。
図７は、実施の形態１にかかる主制御部の処理の流れを示すフローチャートである。図７に示すように、偏心調整装置１の主制御部１５は、荷重調整部１７へ制御信号を出力し、押さえ機構１２により第１の荷重でスケール円板２７をボス２６に押し付ける（ステップＳ１１）。そして、主制御部１５は、モータ制御部１１へ制御信号を出力することでサーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させ、スケール円板２７を回転させる（ステップＳ１２）。
主制御部１５は、第１の荷重でスケール円板２７がボス２６に押し付けられた状態で、計測部１３へ計測要求を送信し、計測部１３にスケール円板２７の偏心量αおよび偏心方向Ｄ１の計測を実行させる（ステップＳ１３）。そして、主制御部１５は、モータ制御部１１へ制御信号を出力し計測された偏心方向Ｄ１に応じた角度にスケール円板２７を回転させ（ステップＳ１４）、スケール円板２７の偏心方向Ｄ１をアクチュエータ８２と対向する方向にする。
次に、主制御部１５は、荷重調整部１７へ制御信号を出力し、第２の荷重でスケール円板２７をボス２６に押し付ける（ステップＳ１５）。そして、主制御部１５は、偏心調整機構１４へ偏心量αに応じた制御信号を出力し、アクチュエータ８２でスケール円板２７を偏心方向Ｄ１と逆方向に押してアクチュエータ８２によりスケール円板２７の偏心量αを調整する（ステップＳ１６）。
次に、主制御部１５は、荷重調整部１７へ制御信号を出力し、押さえ機構１２により第１の荷重でスケール円板２７をボス２６に押し付ける（ステップＳ１７）。そして、主制御部１５は、モータ制御部１１へ制御信号を出力することでサーボモータ本体２１のシャフト２２を回転させ、スケール円板２７を回転させる（ステップＳ１８）。主制御部１５は、ステップＳ１３と同様の処理によって、偏心量αを計測する（ステップＳ１９）。
次に、主制御部１５は、ステップＳ１９で計測した偏心量αが規定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２０）。主制御部１５は、偏心量αが規定値以下ではないと判定した場合（ステップＳ２０：Ｎｏ）、処理をステップＳ１１へ移行する。また、主制御部１５は、偏心量αが規定値以下であると判定した場合（ステップＳ２０：Ｙｅｓ）、図７に示す処理を終了する。
図８は、実施の形態１にかかる偏心調整装置の主制御部のハードウェア構成の一例を示す図である。図８に示すように、偏心調整装置１の主制御部１５は、プロセッサ１０１と、メモリ１０２と、通信装置１０３とを備えるコンピュータを含む。
プロセッサ１０１、メモリ１０２、および通信装置１０３は、例えば、バス１０４によって互いにデータの送受信が可能である。記憶部７４は、メモリ１０２によって実現される。通信部７１は、通信装置１０３によって実現される。プロセッサ１０１は、メモリ１０２に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって、偏心計測制御部７２および偏心調整制御部７３の機能を実行する。プロセッサ１０１は、例えば、処理回路の一例であり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、およびシステムＬＳＩ（Large Scale Integration）のうち一つ以上を含む。
メモリ１０２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、およびＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）のうち一つ以上を含む。また、メモリ１０２は、コンピュータが読み取り可能なプログラムが記録された記録媒体を含む。かかる記録媒体は、不揮発性または揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルメモリ、光ディスク、コンパクトディスク、およびＤＶＤ（Digital Versatile Disc）のうち一つ以上を含む。なお、主制御部１５は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）およびＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などの集積回路を含んでいてもよい。また、主制御部１５は、計測部１３の一部または全部を含む構成であってもよい。
以上のように、実施の形態１にかかる偏心調整装置１は、ボス２６に固定されるスケール円板２７のボス２６に対する偏心量αを調整する。偏心調整装置１は、押さえ機構１２と、計測部１３と、偏心調整機構１４とを備える。押さえ機構１２は、スケール円板２７をボス２６に押さえ付ける。ボス２６は、被固定体の一例であり、スケール円板２７は、被調整物の一例である。計測部１３は、押さえ機構１２によってスケール円板２７がボス２６に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、スケール円板２７のボス２６に対する偏心量αおよび偏心方向Ｄ１を計測する。偏心調整機構１４は、押さえ機構１２によってスケール円板２７がボス２６に第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、計測部１３によって計測された偏心量αおよび偏心方向Ｄ１に基づいてスケール円板２７の偏心量αを調整する。これにより、偏心調整装置１は、遠心力によるボス２６に対するスケール円板２７の移動を低減することで高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、スティックスリップ運動の影響を抑えることで偏心調整を高効率で行うことができる。
また、押さえ機構１２は、ボス２６にスケール円板２７を押し付ける荷重を発生する圧縮ばね３１と、圧縮ばね３１の長さを変化させて圧縮ばね３１に第１の荷重と第２の荷重とを選択的に発生させる荷重調整部１７とを備える。これにより、偏心調整装置１は、簡易な構成で第１の荷重と第２の荷重とを選択的に発生させることができる。
また、荷重調整部１７は、圧縮ばね３１の長さを変化させるシリンダ４１を備える。これにより、偏心調整装置１は、第１の荷重と第２の荷重とを精度よく発生させることができる。
また、サーボモータ２の製造方法は、計測工程と、調整工程とを含む。計測工程は、スケール円板２７がボス２６に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、スケール円板２７のボス２６に対する偏心量αおよび偏心方向Ｄ１を計測する。調整工程は、スケール円板２７がボス２６に第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、偏心方向Ｄ１と逆方向からスケール円板２７を押すことにより、スケール円板２７の偏心量αを調整する。これにより、サーボモータ２の製造方法は、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、スティックスリップ運動の影響を抑えることで偏心調整を高効率で行うことができる。
実施の形態２．
実施の形態２にかかる偏心調整装置は、押さえ機構とスケール円板との間にスラストベアリングが設けられる点で、実施の形態１にかかる偏心調整装置１と異なる。以下においては、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１の偏心調整装置１と異なる点を中心に説明する。
図９は、実施の形態２にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図である。図９に示すように、実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａは、押さえ機構１２Ａと、スラストベアリング２９とを備える。スラストベアリング２９は、押さえ機構１２Ａとスケール円板２７との間に設けられる。押さえ機構１２Ａは、ばね機構１６と荷重調整部１７Ａとを備える。荷重調整部１７Ａは、ロータリージョイント４２が設けられていない点で、荷重調整部１７と異なる。
偏心調整装置１Ａでは、押さえ機構１２Ａとスケール円板２７との間にスラストベアリング２９が設けられるため、サーボモータ本体２１のシャフト２２が回転した場合であっても、押さえ機構１２Ａは回転しない。そのため、偏心調整装置１Ａでは、シリンダ４１に接続する配管の取り回しが簡単となる。また、偏心調整装置１Ａでは、ロータリージョイント４２で適応できない高速回転についても対応が可能となる。なお、スラストベアリング２９は、ばね機構１６と荷重調整部１７Ａとの間に設けられてもよい。この場合も、図９に示す偏心調整装置１Ａと同様の効果を得ることができる。
実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａは、押さえ機構１２Ａとスケール円板２７との間またはばね機構１６と荷重調整部１７Ａとの間に設けられるスラストベアリング２９を備える。これにより、偏心調整装置１Ａは、シリンダ４１に接続する配管の取り回しが簡単となり、また、ロータリージョイント４２で適応できない高速回転についても対応が可能となる。
実施の形態３．
実施の形態３にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の荷重調整部の構成が実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａと異なる。以下においては、実施の形態２と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態２の偏心調整装置１Ａと異なる点を中心に説明する。
図１０は、実施の形態３にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図である。図１０に示すように、実施の形態３にかかる偏心調整装置１Ｂは、荷重調整部１７Ａを有する押さえ機構１２Ａに代えて荷重調整部１７Ｂを有する押さえ機構１２Ｂを備える点で、偏心調整装置１Ａと異なる。
荷重調整部１７Ｂは、リンク４３と、２つのピン４４とを備える。リンク４３の一端部は、アクチュエータ８２にピン４４で回転可能に連結され、リンク４３の他端部は、ばね機構１６のばね押さえ３３にピン４４で回転可能に連結される。なお、荷重調整部１７Ｂにおいて、ピン４４に代えてカムフォロアによってリンク４３がばね押さえ３３とアクチュエータ８２とに連結されていてもよい。また、図１０に示すリンク４３は、直線状に延伸する棒状の部材で形成されているが、リンク４３は、図１０に示す形状に限定されない。
偏心計測時にはアクチュエータ８２が後退しているため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が低くなり荷重調整部１７Ｂによって第１の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に強く押し付けられる。また、偏心調整時は、アクチュエータ８２がスケール円板２７へ向けて前進するため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が高くなり荷重調整部１７Ｂによって第１の荷重よりも小さな第２の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に弱く押し付けられる。これにより、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる。
なお、リンク４３にかかるモーメントに関し、アクチュエータ８２のモーメントは圧縮ばね３１の復元力によるモーメント以上の大きさになるように設定されている。これにより、偏心調整装置１Ｂでは、圧縮ばね３１の復元力によってはアクチュエータ８２が移動しない。
また、図１０に示す偏心調整装置１Ｂでは、スケール円板２７と押さえ機構１２Ｂとの間にスラストベアリング２９が設けられているが、ばね機構１６と荷重調整部１７Ｂとの間にスラストベアリング２９が設けられていてもよい。この場合、リンク４３の他端部は、スラストベアリング２９にピン４４によって回転可能に取り付けられる。
以上のように、実施の形態３にかかる偏心調整装置１Ｂは、偏心調整機構１４と、荷重調整部１７Ｂとを備える。偏心調整機構１４は、偏心方向Ｄ１と逆方向に移動しスケール円板２７を押すアクチュエータ８２を備える。荷重調整部１７Ｂは、一端部がアクチュエータ８２に取り付けられると共に他端部が圧縮ばね３１を含むばね機構１６またはスラストベアリング２９に取り付けられ、アクチュエータ８２の移動に伴って圧縮ばね３１の長さを変更するリンク４３を備える。これにより、偏心調整装置１Ｂは、図９に示すシリンダ４１を設けずに、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができるため、図１０における上下方向の設置スペースを小さくすることができる。
また、リンク４３は、一端部がアクチュエータ８２に回転可能に取り付けられ、他端部がばね機構１６またはスラストベアリング２９に回転可能に取り付けられる。そのため、偏心調整装置１Ｂは、例えば、直線状のリンクを用いてスケール円板２７に加わる荷重を変更することができる。
実施の形態４．
実施の形態４にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の荷重調整部の構成が実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａと異なる。以下においては、実施の形態２と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態２の偏心調整装置１Ａと異なる点を中心に説明する。
図１１は、実施の形態４にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図である。図１１に示すように、実施の形態４にかかる偏心調整装置１Ｃは、荷重調整部１７Ａを有する押さえ機構１２Ａに代えて荷重調整部１７Ｃを有する押さえ機構１２Ｃを備える点で、偏心調整装置１Ａと異なる。
荷重調整部１７Ｃは、リンク４３Ｃと、２つのピン４４Ｃと、回転軸４８とを備える。リンク４３Ｃは、Ｌ字状の部材で形成され、一端部と他端部の各々に長孔４５が形成される。リンク４３Ｃの一端部は、長孔４５およびピン４４Ｃによってアクチュエータ８２に移動可能に連結され、リンク４３Ｃの他端部は、長孔４５およびピン４４Ｃによってばね機構１６のばね押さえ３３に移動可能に連結される。また、リンク４３Ｃの中途部は、回転軸４８によって回転可能に支持される。なお、荷重調整部１７Ｃにおいて、ピン４４Ｃに代えてカムフォロアによってリンク４３Ｃがばね押さえ３３とアクチュエータ８２とに連結されていてもよい。
偏心計測時にはアクチュエータ８２が後退しているため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が低くなり荷重調整部１７Ｃによって第１の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に強く押し付けられる。また、偏心調整時は、アクチュエータ８２がスケール円板２７へ向けて前進するため、リンク４３Ｃが図１１における時計回りに回転する。そのため、偏心調整時は、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が高くなり荷重調整部１７Ｃによって第１の荷重よりも小さな第２の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に弱く押し付けられる。これにより、偏心調整装置１Ｃは、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる。
なお、リンク４３Ｃにかかるモーメントに関し、アクチュエータ８２のモーメントは圧縮ばね３１の復元力によるモーメント以上の大きさになるように設定されている。これにより、偏心調整装置１Ｃでは、圧縮ばね３１の復元力によってはアクチュエータ８２が移動しない。
また、図１１に示す偏心調整装置１Ｃでは、スケール円板２７と押さえ機構１２Ｃとの間にスラストベアリング２９が設けられているが、ばね機構１６と荷重調整部１７Ｃとの間にスラストベアリング２９が設けられていてもよい。この場合、リンク４３Ｃの一端部は、スラストベアリング２９にピン４４Ｃによって回転可能に取り付けられる。なお、図１１に示す例では、リンク４３ＣはＬ字状に形成されているが、回転軸４８によって中途部が回転可能に支持され、一端部がアクチュエータ８２に移動可能に連結され、他端部がばね機構１６のばね押さえ３３またはスラストベアリング２９に移動可能に連結されていればよく、Ｌ字状に限定されない。
以上のように、実施の形態４にかかる偏心調整装置１Ｃの荷重調整部１７Ｃは、一端部がアクチュエータ８２に取り付けられると共に他端部が圧縮ばね３１を含むばね機構１６またはスラストベアリング２９に取り付けられ、アクチュエータ８２の移動に伴って圧縮ばね３１の長さを変更するリンク４３Ｃを備える。そして、リンク４３Ｃは、一端部がピン４４Ｃを介してアクチュエータ８２に移動可能に連結され、他端部がピン４４Ｃを介してばね機構１６またはスラストベアリング２９に移動可能に連結され、中途部が回転可能に支持される。リンク４３Ｃは、アクチュエータ８２の移動に伴って回転する。これにより、偏心調整装置１Ｃは、図９に示すシリンダ４１を設けずに、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができるため、図１１における上下方向の設置スペースを小さくすることができる。また、偏心調整装置１Ｃは、アクチュエータ８２とばね機構１６との位置関係に応じてリンク４３Ｃの大きさとピン４４Ｃの位置を変更することにより、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができる。
実施の形態５．
実施の形態５にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の荷重調整部の構成が実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａと異なる。以下においては、実施の形態２と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態２の偏心調整装置１Ａと異なる点を中心に説明する。
図１２は、実施の形態５にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図である。図１２に示すように、実施の形態５にかかる偏心調整装置１Ｄは、押さえ機構１２Ａに代えて、押さえ機構１２Ｄを備える点で、偏心調整装置１Ａと異なる。押さえ機構１２Ｄは、荷重調整部１７Ａに代えて荷重調整部１７Ｄを有する点で、押さえ機構１２Ａと異なる。
荷重調整部１７Ｄは、リンク４３Ｄと、ピン４４Ｄとを備える。リンク４３Ｄは、Ｌ字状の部材で形成され、一端部に長孔４５Ｄが形成される。リンク４３Ｄの一端部は、長孔４５Ｄおよびピン４４Ｄによってアクチュエータ８２に固定され、リンク４３Ｄの他端部は、ばね機構１６のばね押さえ３３に移動可能に連結される。なお、荷重調整部１７Ｄにおいて、ピン４４Ｄに代えてカムフォロアによってリンク４３Ｄがばね押さえ３３に連結されていてもよい。
リンク４３Ｄの長孔４５Ｄは、アクチュエータ８２が前進すればするほどピン４４Ｄの位置が図１２における上方になるように、アクチュエータ８２の移動方向に対して斜めに形成されている。なお、リンク４３Ｄは、長孔４５Ｄに代えて、アクチュエータ８２の移動方向に対して外形を斜めにしたカム板を有する構成であってもよい。
偏心計測時にはアクチュエータ８２が後退しているため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が低くなり荷重調整部１７Ｄによって第１の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に強く押し付けられる。また、偏心調整時は、アクチュエータ８２がスケール円板２７へ向けて前進するため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が高くなり荷重調整部１７Ｄによって第１の荷重よりも小さな第２の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に弱く押し付けられる。これにより、偏心調整装置１Ｄは、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる。
また、図１２に示す偏心調整装置１Ｄでは、スケール円板２７と押さえ機構１２Ｄとの間にスラストベアリング２９が設けられているが、ばね機構１６と荷重調整部１７Ｄとの間にスラストベアリング２９が設けられていてもよい。この場合、リンク４３Ｄの一端部には長孔４５Ｄまたはカム板が形成され、リンク４３Ｄの一端部がスラストベアリング２９にピン４４Ｄによって回転可能に取り付けられる。なお、図１２に示す例では、リンク４３ＤはＬ字状に形成されているが、リンク４３Ｄの形状は、Ｌ字状に限定されない。
以上のように、実施の形態５にかかる偏心調整装置１Ｄの荷重調整部１７Ｄは、一端部がアクチュエータ８２に取り付けられると共に他端部が圧縮ばね３１を含むばね機構１６またはスラストベアリング２９に取り付けられ、アクチュエータ８２の移動に伴って圧縮ばね３１の長さを変更するリンク４３Ｄを備える。そして、リンク４３Ｄは、一端部がアクチュエータ８２に固定され、他端部がばね機構１６またはスラストベアリング２９に移動可能に連結される。これにより、偏心調整装置１Ｄは、図９に示すシリンダ４１を設けずに、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができるため、図１２における上下方向の設置スペースを小さくすることができる。また、リンク４３Ｄが回転しないため、偏心調整装置１Ｃに比べて、偏心調整装置１Ｄのサイズを小型化することができる。また、偏心調整装置１Ｄでは、偏心調整装置１Ｃに比べ、ピン４４Ｄの数が少ないため、偏心調整装置１Ｄのサイズを小さくすることができる。
実施の形態６．
実施の形態６にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の荷重調整部の構成が実施の形態２にかかる偏心調整装置１Ａと異なる。以下においては、実施の形態２と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態２の偏心調整装置１Ａと異なる点を中心に説明する。
図１３は、実施の形態６にかかる偏心調整装置の一部の構成の一例を示す図である。図１３に示すように、実施の形態６にかかる偏心調整装置１Ｅは、押さえ機構１２Ａに代えて押さえ機構１２Ｅを有する点で、偏心調整装置１Ａと異なる。
押さえ機構１２Ｅは、ばね機構１６と、荷重調整部１７Ｅとを備える。荷重調整部１７Ｅは、リンク４３Ｅと、カム部材４９とを備える。リンク４３Ｅは、一端部がアクチュエータ８２に固定され、他端部がカム部材４９の傾斜面４９ａに当接する。リンク４３Ｅは、一端部がアクチュエータ８２に固定されるＬ字状の本体部４６Ｅと、本体部４６Ｅの他端部に回転可能に取り付けられるピン４７Ｅとを備える。カム部材４９は、図１３における上部に凹曲面が形成されており、かかる凹曲面によって傾斜面４９ａが形成される。傾斜面４９ａは、スケール円板２７をボス２６に押し付ける方向に対して傾斜している。
ピン４７Ｅは、カム部材４９の傾斜面４９ａを移動可能にカム部材４９に取り付けられ、図１３における上方からカム部材４９の傾斜面４９ａに当接する。なお、リンク４３Ｅは、ピン４７Ｅに代えてカムフォロアを有する構成であってもよい。
偏心計測時にはアクチュエータ８２が後退しているため、ピン４７Ｅはカム部材４９の傾斜面４９ａの上部に接触し、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が低くなり荷重調整部１７Ｅによって第１の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に強く押し付けられる。また、偏心調整時は、アクチュエータ８２がスケール円板２７へ向けて前進するため、ピン４７Ｅはカム部材４９の傾斜面４９ａの下部に接触し、リンク４３Ｅによってカム部材４９が上方に押し上げられる。そのため、ばね機構１６のばね押さえ３３の位置が高くなり荷重調整部１７Ｅによって第１の荷重よりも小さな第２の荷重でスケール円板２７がボス２６に相対的に弱く押し付けられる。これにより、高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、偏心調整を高効率で行うことができる。
また、図１３に示す偏心調整装置１Ｅでは、スケール円板２７と押さえ機構１２Ｅとの間にスラストベアリング２９が設けられているが、ばね機構１６と荷重調整部１７Ｅとの間にスラストベアリング２９が設けられていてもよい。
以上のように、実施の形態６にかかる偏心調整装置１Ｅの荷重調整部１７Ｅは、カム部材４９と、リンク４３Ｅとを備える。カム部材４９は、ばね機構１６に固定され、スケール円板２７をボス２６に押し付ける方向に対して傾斜した傾斜面４９ａを有する。リンク４３Ｅは、一端部がアクチュエータ８２に固定されると共に他端部がカム部材４９の傾斜面４９ａに当接し、アクチュエータ８２の移動に伴って他端部がカム部材４９の傾斜面４９ａを移動して圧縮ばね３１の長さを変更する。これにより、偏心調整装置１Ｅは、図９に示すシリンダ４１を設けずに、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができるため、図１３における上下方向の設置スペースを小さくすることができる。また、リンク４３Ｅが回転しないため、偏心調整装置１Ｃに比べて、偏心調整装置１Ｅのサイズを小型化することができる。
実施の形態７．
実施の形態７にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の構成が実施の形態１にかかる偏心調整装置１と異なる。以下においては、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１の偏心調整装置１と異なる点を中心に説明する。
図１４は、実施の形態７にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１４に示すように、実施の形態７にかかる偏心調整装置１Ｆは、押さえ機構１２に代えて、押さえ機構１２Ｆを備える。押さえ機構１２Ｆは、荷重発生部６１と、荷重調整部６２とを備える。荷重発生部６１は、電磁石６３と、磁性体ワッシャ６４とを備える。電磁石６３は、スケール円板２７およびボス２６の下方に配置されており、荷重発生部６１は、スケール円板２７をボス２６に押し付ける荷重を電磁石６３の磁力により発生する。具体的には、電磁石６３の磁力によって磁性体ワッシャ６４が電磁石６３へ向かう方向へ移動しようとするため、スケール円板２７がボス２６に押し付けられる。
荷重調整部６２は、電磁石６３に流れる電流を変化させることによって第１の荷重と第２の荷重を選択的に荷重発生部６１に発生させる。具体的には、荷重調整部６２は、偏心計測時には、電磁石６３に流れる電流を大きくして電磁石６３の磁力を強くし、スケール円板２７をボス２６に第１の荷重で磁性体ワッシャ６４に押し付けさせる。また、荷重調整部６２は、偏心調整時には、電磁石６３に流れる電流を小さくして電磁石６３の磁力を弱くし、スケール円板２７をボス２６に第２の荷重で磁性体ワッシャ６４に押し付けさせる。
以上のように、実施の形態７にかかる偏心調整装置１Ｆの押さえ機構１２Ｆは、荷重発生部６１と、荷重調整部６２とを備える。荷重発生部６１は、スケール円板２７をボス２６に押し付ける荷重を電磁石６３の磁力により発生する。荷重調整部６２は、電磁石６３に流れる電流を変化させることによって電磁石６３に第１の荷重と第２の荷重を選択的に発生させる。これにより、偏心調整装置１Ｆは、図１に示すシリンダ４１を設けずに、スケール円板２７に加わる荷重を変更することができるため、図１４における上下方向の設置スペースを小さくすることができる。
また、荷重発生部６１は、電磁石６３と、磁性体ワッシャ６４とを備え、電磁石６３の磁力によって磁性体ワッシャ６４にスケール円板２７をボス２６に押し付けさせる。これにより、偏心調整装置１Ｆは、磁性体ワッシャ６４がスケール円板２７と共に回転するため、省部品化および省スペース化を実現することができる。なお、スケール円板２７に傷がつくことを防止するために磁性体ワッシャ６４とボス２６の間にスペーサを挿入してもよく、その場合にも同様の効果が得られる。
実施の形態８．
実施の形態８にかかる偏心調整装置は、荷重発生部の構成が実施の形態７にかかる偏心調整装置１Ｆと異なる。以下においては、実施の形態７と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態７の偏心調整装置１Ｆと異なる点を中心に説明する。
図１５は、実施の形態８にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１５に示すように、実施の形態８にかかる偏心調整装置１Ｇは、押さえ機構１２Ｆに代えて、押さえ機構１２Ｇを備える。押さえ機構１２Ｇは、荷重発生部６１に代えて荷重発生部６１Ｇを備える点で、押さえ機構１２Ｆと異なる。荷重発生部６１Ｇは、電磁石６３と、磁性体ワッシャ６４と、スラストベアリング７６とを備える。
電磁石６３およびスラストベアリング７６は、スケール円板２７の上方に配置されており、磁性体ワッシャ６４は、ボス２６の下方に配置される。荷重発生部６１Ｇは、スケール円板２７をボス２６に押し付ける荷重を電磁石６３の磁力により発生する。電磁石６３の磁力によって電磁石６３と磁性体ワッシャ６４とが引き付け合おうとし、電磁石６３と磁性体ワッシャ６４とによってボス２６、スケール円板２７、およびスラストベアリング７６が挟持される。ボス２６はシャフト２４に固定されているため、電磁石６３によってスケール円板２７がボス２６に押し付けられる。
荷重調整部６２は、偏心計測時には、電磁石６３に流れる電流を大きくして電磁石６３の磁力を強くし、スケール円板２７をボス２６に第１の荷重で電磁石６３に押し付けさせる。また、荷重調整部６２は、偏心調整時には、電磁石６３に流れる電流を小さくして電磁石６３の磁力を弱くし、スケール円板２７をボス２６に第２の荷重で電磁石６３に押し付けさせる。これにより、偏心調整装置１Ｇは、偏心調整装置１Ｆに比べて、スケール円板２７の下方における荷重調整部６２と電磁石６３との間の配線をなくすことができる。
なお、偏心調整装置１Ｇにおいて、ボス２６が磁性体の場合、磁性体ワッシャ６４は設けなくてもよい。この場合、偏心調整装置１Ｇでは、偏心調整装置１Ｆに比べて、ボス２６の下方には部品の追加が不要となり、省スペース化および省部品化を図ることができる。
また、偏心調整装置１Ｇには、電磁石６３とスケール円板２７との間に、スラストベアリング７６に代えてスペーサが設けられてもよい。この場合、スケール円板２７と共に電磁石６３も回転するため、電磁石６３と荷重調整部６２との接続は例えばスリップリングなどを介して行われる。
以上のように、実施の形態８にかかる偏心調整装置１Ｇの荷重発生部６１Ｇは、電磁石６３と、磁性体ワッシャ６４と、電磁石６３とスケール円板２７との間に設けられるスラストベアリング７６とを備える。荷重発生部６１Ｇは、電磁石６３の磁力によって電磁石６３と磁性体ワッシャ６４とでスラストベアリング７６、スケール円板２７、およびボス２６を挟持することで電磁石６３にスケール円板２７をボス２６に押し付けさせる。これにより、偏心調整装置１Ｇは、偏心調整装置１Ｆに比べて、スケール円板２７の下方における荷重調整部６２と電磁石６３との間の配線をなくすことができる。
実施の形態９．
実施の形態９にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の構成が実施の形態１にかかる偏心調整装置１と異なる。以下においては、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１の偏心調整装置１と異なる点を中心に説明する。
図１６は、実施の形態９にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１６に示すように、実施の形態９にかかる偏心調整装置１Ｈは、押さえ機構１２に代えて、押さえ機構１２Ｈを備える。押さえ機構１２Ｈは、荷重発生部６１Ｈと、荷重調整部６２Ｈとを備える。
荷重発生部６１Ｈは、スケール円板２７にボス２６を押し付ける荷重を内部の気体の圧力により発生する空気ばねである。荷重調整部６２Ｈは、電空レギュレータ６５と、ロータリージョイント６６とを備える。荷重発生部６１Ｈは、ロータリージョイント６６を介して電空レギュレータ６５から空気の供給を受ける。荷重調整部６２Ｈの電空レギュレータ６５は、主制御部１５によって制御され、主制御部１５から印加される電圧が変更されると、空気ばねである荷重発生部６１Ｈ内の空気の圧力を変更する。
荷重調整部６２Ｈは、偏心計測時には、荷重発生部６１Ｈ内の空気の圧力を上げてスケール円板２７をボス２６に押し付ける力を強くし、偏心調整時には、荷重発生部６１Ｈ内の空気の圧力を下げてスケール円板２７をボス２６に押し付ける力を小さくする。なお、荷重発生部６１Ｈは、スケール円板２７に直接載置されるため、偏心計測時、スケール円板２７と共に回転する。
ここで、荷重発生部６１Ｈである空気ばねのばね定数は、断熱過程の場合、下記式（２）で表される。下記式（２）において、「Ｋ」は、空気ばねのばね定数、「Ｐ」は、空気ばねの内圧、「Ａ」は、空気ばねの受圧面積、「Ｖ」は、空気ばねの体積である。なお、空気ばねに使用する素材が弾性材料である場合は、空気ばねのばね定数を算出するための式には、弾性材料の弾性がパラメータとして含まれる。
Figure 0007336996000002
偏心計測時には押し付ける力を１０［Ｎ］に調整し、偏心調整時には押し付ける力を６［Ｎ］に調整する場合、荷重調整部６２Ｈは、偏心計測時には下記式（３）を満たし、偏心調整時には下記式（４）を満たすように内圧Ｐを調整する。このように空気ばねの内圧Ｐを調整することによって、空気ばねの縮み量ｘを偏心計測時と偏心調整時とで変えることなく押し付ける力を調整することができる。空気ばねの縮み量ｘが変わらないため、スケール円板２７の位置がずれる可能性が低い。
Figure 0007336996000003
Figure 0007336996000004
以上のように、実施の形態９にかかる偏心調整装置１Ｈは、荷重発生部６１Ｈと荷重調整部６２Ｈとを備える。荷重発生部６１Ｈは、ボス２６にスケール円板２７を押し付ける荷重を内部の気体の圧力により発生する。荷重調整部６２Ｈは、荷重発生部６１Ｈの内部の気圧を変化させることによって第１の荷重と第２の荷重とを選択的に荷重発生部６１Ｈに発生させる。これにより、偏心調整装置１Ｈは、遠心力によるボス２６に対するスケール円板２７の移動を低減することで高速かつ高精度な偏心計測を行いつつ、スティックスリップ運動の影響を抑えることで偏心調整を高効率で行うことができる。
また、荷重発生部６１Ｈは、空気ばねである。これにより、例えば、シャフト２２，２４，またはハウジング２５が磁性体材料で構成されている場合であっても、偏心調整装置１Ｈは、スケール円板２７をボス２６に精度よく押し付けることができる。また、偏心調整装置１Ｈは、空気ばねの圧力変更時にスケール円板２７の位置がずれる可能性が低いため、高効率で偏心調整を行うことができる。
実施の形態１０．
実施の形態１０にかかる偏心調整装置は、空気ばねとスケール円板との間にリング状のスペーサが配置される点で、実施の形態９にかかる偏心調整装置１Ｈと異なる。以下においては、実施の形態９と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態９の偏心調整装置１Ｈと異なる点を中心に説明する。
図１７は、実施の形態１０にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１７に示すように、実施の形態１０にかかる偏心調整装置１Ｉは、押さえ機構１２Ｈに代えて、押さえ機構１２Ｉを備える。押さえ機構１２Ｉは、荷重発生部６１Ｈに代えて、荷重発生部６１Ｉを備える。荷重発生部６１Ｉは、空気ばね６８と、リング状のスペーサ６９とを備える。スペーサ６９は、空気ばね６８とスケール円板２７との間に配置される。スペーサ６９は、少なくとも一部が中空であり、かかる中空の部分にシャフト２４が挿入される。シャフト２４はスペーサ６９の中空の部分に挿入されるため、空気ばね６８は中空でなくてもよい。
以上のように、実施の形態１０にかかる偏心調整装置１Ｉは、空気ばね６８とスケール円板２７との間に配置されるリング状のスペーサ６９を有する。そのため、偏心調整装置１Ｉは、中空の部分を有しない空気ばね６８を用いることができる。偏心調整装置１Ｉは、偏心調整装置１Ｈと同様に、空気ばね６８の圧力変更時にスケール円板２７の位置がずれる可能性が低いため、高効率で偏心調整を行うことができる。空気ばね６８は、荷重調整部の一例である。
実施の形態１１．
実施の形態１１にかかる偏心調整装置は、空気ばねとスケール円板との間にスラストベアリングが配置される点で、実施の形態９にかかる偏心調整装置１Ｈと異なる。以下においては、実施の形態９と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態９の偏心調整装置１Ｈと異なる点を中心に説明する。
図１８は、実施の形態１１にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１８に示すように、実施の形態１１にかかる偏心調整装置１Ｊは、押さえ機構１２Ｈに代えて、押さえ機構１２Ｊを備える。押さえ機構１２Ｊは、空気ばね６８と、荷重調整部６２Ｊとを備える。荷重調整部６２Ｊは、空気ばね６８へ空気の供給を供給する電空レギュレータであり、荷重調整部６２Ｈの電空レギュレータ６５と同様に、主制御部１５によって制御される。
また、偏心調整装置１Ｊは、空気ばね６８とスケール円板２７との間にスラストベアリング２９を備える。これにより、サーボモータ本体２１のシャフト２２が回転した場合であっても、押さえ機構１２Ｊは回転しない。そのため、偏心調整装置１Ｊでは、空気ばね６８に接続する配管の取り回しが簡単となる。また、偏心調整装置１Ｊでは、ロータリージョイント６６で適応できない高速回転についても対応が可能となる。
実施の形態１２．
実施の形態１２にかかる偏心調整装置は、空気ばねに代えてエアシリンダが用いられる点で、実施の形態１１にかかる偏心調整装置１Ｊと異なる。以下においては、実施の形態１１と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１１の偏心調整装置１Ｊと異なる点を中心に説明する。
図１９は、実施の形態１２にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図１９に示すように、実施の形態１２にかかる偏心調整装置１Ｋは、押さえ機構１２Ｊに代えて押さえ機構１２Ｋを備える点で偏心調整装置１Ｊと異なる。押さえ機構１２Ｋは、荷重発生部６１Ｋと、荷重調整部６２Ｋとを備える。
荷重発生部６１Ｋは、スケール円板２７にボス２６を押し付ける荷重を内部の気体の圧力により発生するエアシリンダである。荷重調整部６２Ｋは、荷重発生部６１Ｋへ空気を供給する電空レギュレータである。主制御部１５は、偏心計測時および偏心調整時において荷重調整部６２Ｋを制御して荷重発生部６１Ｋがスケール円板２７を図１９における下方へ押している状態を維持する。主制御部１５は、荷重調整部６２Ｋに加える電圧を変更することでエアシリンダである荷重発生部６１Ｋ内の空気の圧力を変更する。
荷重調整部６２Ｋは、偏心計測時には、荷重発生部６１Ｋ内の空気の圧力を上げてスケール円板２７をボス２６に押し付ける力を強くし、偏心調整時には、荷重発生部６１Ｋ内の空気の圧力を下げてスケール円板２７をボス２６に押し付ける力を小さくする。なお、荷重発生部６１Ｋは、スケール円板２７との間にスラストベアリング２９が介在するため回転しない。
以上のように、実施の形態１２にかかる偏心調整装置１Ｋの荷重発生部６１Ｋは、エアシリンダである。これにより、偏心調整装置１Ｋは、荷重発生部６１Ｋであるシリンダの圧力変更時にスケール円板２７の位置がずれる可能性が低いため、高効率で偏心調整を行うことができる。
実施の形態１３．
実施の形態１３にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の構成が実施の形態１にかかる偏心調整装置１と異なる。以下においては、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１の偏心調整装置１と異なる点を中心に説明する。
図２０は、実施の形態１３にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図２０に示すように、実施の形態１３にかかる偏心調整装置１Ｌは、押さえ機構１２に代えて、押さえ機構１２Ｌを備える。押さえ機構１２Ｌは、ばね機構１６Ｌと、荷重調整部１７Ｌとを備える。ばね機構１６Ｌは、形状記憶合金といった温度により弾性率が変わる素材を使用した圧縮ばねを有している。
図２１は、実施の形態１３にかかるばね機構の構成の一例を示す図である。図２１に示すばね機構１６Ｌは、圧縮ばね３１Ｌと、圧縮ばね３１Ｌの一端部に取り付けられたばね押さえ３２と、圧縮ばね３１Ｌの他端部に取り付けられたばね押さえ３３とを備える。圧縮ばね３１Ｌは、形状記憶合金などのように温度により弾性率が変わる素材によって形成される。ばね押さえ３３は、シャフト２４に固定される。なお、ばね押さえ３３は、シャフト２４に直接固定されてもよく、不図示の固定部材を介してシャフト２４に固定されてもよい。一方、ばね押さえ３２は、シャフト２４の軸方向に沿って移動可能である。
荷重調整部１７Ｌは、ばね機構１６Ｌの圧縮ばね３１Ｌの温度を変化させ圧縮ばね３１Ｌの弾性率を変化させるヒータである。圧縮ばね３１Ｌを形成する形状記憶合金は変態点より温度が高いと弾性率が高くなり、変態点より温度が低いと弾性率が低くなる。主制御部１５は、荷重調整部１７Ｌを制御し、偏心計測時には、圧縮ばね３１Ｌの温度を変態点よりも下げて、スケール円板２７をボス２６に押し付ける力を強くし、偏心調整時には、圧縮ばね３１Ｌの温度を変態点よりも上げて、スケール円板２７をボス２６に押さえ付ける力を弱くする。
荷重調整部１７Ｌは、輻射熱により圧縮ばね３１Ｌの温度を変えるヒータであってもよい。また、圧縮ばね３１Ｌを形成する形状記憶合金の変態点が周囲温度よりも低い環境で偏心調整装置１Ｌが用いられる場合、荷重調整部１７Ｌは、冷風による圧縮ばね３１Ｌの温度を変える冷却器であってもよい。また、荷重調整部１７Ｌは、圧縮ばね３１Ｌの加熱と冷却のサイクルを高速で行うためにヒータと冷却器とを含む構成であってもよい。
なお、偏心調整装置１Ｌは、スケール円板２７が温度に敏感な材料である場合などにおいて、ばね機構１６Ｌとスケール円板２７の間に断熱材が配置される構成であってもよい。
以上のように、実施の形態１３にかかる偏心調整装置１Ｌは、ばね機構１６Ｌと、荷重調整部１７Ｌとを備える。ばね機構１６Ｌは、温度により弾性率が変わる圧縮ばね３１Ｌを有する。荷重調整部１７Ｌは、圧縮ばね３１Ｌの温度を変化させることによって第１の荷重と第２の荷重とを選択的にばね機構１６Ｌに発生させる。これにより、偏心調整装置１Ｌは、圧縮ばね３１Ｌの長さが変更される時にスケール円板２７の位置がずれる可能性が低いため、高効率で偏心調整を行うことができる。
実施の形態１４．
実施の形態１４にかかる偏心調整装置は、押さえ機構の構成が実施の形態１にかかる偏心調整装置１と異なる。以下においては、実施の形態１と同様の機能を有する構成要素については図示を省略または同一符号を付して説明を省略し、実施の形態１の偏心調整装置１と異なる点を中心に説明する。
図２２は、実施の形態１４にかかる偏心調整装置の構成の一例を示す図である。図２２に示すように、実施の形態１４にかかる偏心調整装置１Ｍは、押さえ機構１２に代えて、押さえ機構１２Ｍを備える。押さえ機構１２Ｍは、電動シリンダ７０と、荷重調整部１７Ｍとを備える。電動シリンダ７０は、ロボットシリンダとも呼ばれる。
荷重調整部１７Ｍは、電動シリンダ７０に配置された力覚センサ７５で計測されるボス２６へのスケール円板２７の押し付け力に基づいて電動シリンダ７０を制御して第１の荷重と第２の荷重とを選択的に電動シリンダ７０に発生させる。荷重調整部１７Ｍは、偏心計測時には、力覚センサ７５で計測される押し付け力が第１の荷重になるように電動シリンダ７０を制御し、偏心調整時には、力覚センサ７５で計測される押し付け力が第１の荷重になるように電動シリンダ７０を制御する。
以上のように、実施の形態１４にかかる偏心調整装置１Ｍは、電動シリンダ７０と、荷重調整部１７Ｍとを備える。荷重調整部１７Ｍは、電動シリンダ７０に配置された力覚センサ７５で計測されるボス２６へのスケール円板２７の押し付け力に基づいて電動シリンダ７０を制御して第１の荷重と第２の荷重とを選択的に電動シリンダ７０に発生させる。これにより、偏心調整装置１Ｍは、電動シリンダ７０の圧力変更時にスケール円板２７の位置がずれる可能性が低いため、高効率で偏心調整を行うことができる。また、偏心調整装置１Ｍは、押し付け力の情報を荷重調整部１７Ｍに設定することで、様々な条件のスケール円板２７に対応することができる。
以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ，１Ｈ，１Ｉ，１Ｊ，１Ｋ，１Ｌ，１Ｍ 偏心調整装置、２ サーボモータ、１１ モータ制御部、１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２Ｆ，１２Ｇ，１２Ｈ，１２Ｉ，１２Ｊ，１２Ｋ，１２Ｌ，１２Ｍ 押さえ機構、１３ 計測部、１４ 偏心調整機構、１５ 主制御部、１６，１６Ｌ ばね機構、１７，１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１７Ｅ，１７Ｌ，１７Ｍ，６２，６２Ｈ，６２Ｊ，６２Ｋ 荷重調整部、２１ サーボモータ本体、２２，２４ シャフト、２３ カップリング、２５ ハウジング、２６ ボス、２７ スケール円板、２８ 真円パターン、２９，７６ スラストベアリング、３１，３１Ｌ 圧縮ばね、３２，３３ ばね押さえ、３４ リニアブッシュ、４１ シリンダ、４２，６６ ロータリージョイント、４３，４３Ｃ，４３Ｄ，４３Ｅ リンク、４４，４４Ｃ，４４Ｄ，４７Ｅ ピン、４５，４５Ｄ 長孔、４６Ｅ 本体部、４８ 回転軸、４９ カム部材、５１ 撮像部、５２ 算出処理部、５３，７１ 通信部、６１，６１Ｇ，６１Ｈ，６１Ｉ，６１Ｋ 荷重発生部、６３ 電磁石、６４ 磁性体ワッシャ、６５ 電空レギュレータ、６８ 空気ばね、６９ スペーサ、７０ 電動シリンダ、７２ 偏心計測制御部、７３ 偏心調整制御部、７４ 記憶部、７５ 力覚センサ、８１ ステージ、８２ アクチュエータ。

Claims (16)

  1. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被固定体に前記被調整物を押し付ける荷重を発生するばねを有するばね機構と、
    前記ばねの長さを変化させることによって前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記ばね機構に発生させる荷重調整部と、を備え、
    前記偏心調整機構は、
    前記偏心方向と逆方向に移動し前記被調整物を押すアクチュエータを有し、
    前記荷重調整部は、
    一端部が前記アクチュエータに取り付けられると共に他端部が前記ばね機構に取り付けられ、前記アクチュエータの移動に伴って前記ばねの長さを変更するリンクを備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  2. 前記荷重調整部は、
    前記ばねの長さを変化させるシリンダを備える
    ことを特徴とする請求項１に記載の偏心調整装置。
  3. 前記押さえ機構と前記被調整物との間または前記ばね機構と前記荷重調整部との間に設けられるスラストベアリングを備える
    ことを特徴とする請求項１または２に記載の偏心調整装置。
  4. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被固定体に前記被調整物を押し付ける荷重を発生するばねを有するばね機構と、
    前記ばねの長さを変化させることによって前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記ばね機構に発生させる荷重調整部と、を備え、
    前記押さえ機構と前記被調整物との間または前記ばね機構と前記荷重調整部との間に設けられるスラストベアリングを備え、
    前記偏心調整機構は、
    前記偏心方向と逆方向に移動し前記被調整物を押すアクチュエータを有し、
    前記荷重調整部は、
    一端部が前記アクチュエータに取り付けられると共に他端部が前記スラストベアリングに取り付けられ、前記アクチュエータの移動に伴って前記ばねの長さを変更するリンクを備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  5. 前記リンクは、
    前記一端部が前記アクチュエータに回転可能に取り付けられ、前記他端部が前記ばね機構または前記スラストベアリングに回転可能に取り付けられる
    ことを特徴とする請求項３または４に記載の偏心調整装置。
  6. 前記リンクは、
    前記一端部がピンを介して前記アクチュエータに移動可能に連結され、前記他端部がピンを介して前記ばね機構または前記スラストベアリングに移動可能に連結され、中途部が回転可能に支持され、前記アクチュエータの移動に伴って回転する
    ことを特徴とする請求項３または４に記載の偏心調整装置。
  7. 前記リンクは、
    前記一端部が前記アクチュエータに固定され、前記他端部が前記ばね機構または前記スラストベアリングに移動可能に連結される
    ことを特徴とする請求項３または４に記載の偏心調整装置。
  8. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被固定体に前記被調整物を押し付ける荷重を発生するばねを有するばね機構と、
    前記ばねの長さを変化させることによって前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記ばね機構に発生させる荷重調整部と、を備え、
    前記偏心調整機構は、
    前記被調整物を押すアクチュエータを有し、
    前記荷重調整部は、
    前記ばね機構に固定され、前記被調整物を前記被固定体に押し付ける方向に対して傾斜した傾斜面を有するカム部材と、
    一端部が前記アクチュエータに取り付けられると共に他端部が前記傾斜面に当接し、前記アクチュエータの移動に伴って前記他端部が前記傾斜面を移動して前記ばねの長さを変更するリンクと、を備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  9. 前記押さえ機構と前記被調整物との間または前記ばね機構と前記荷重調整部との間に設けられるスラストベアリングを備える
    ことを特徴とする請求項８に記載の偏心調整装置。
  10. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被調整物を前記被固定体に押し付ける荷重を電磁石の磁力により発生する荷重発生部と、
    前記電磁石に流れる電流を変化させることによって前記電磁石に前記第１の荷重と前記第２の荷重を選択的に発生させる荷重調整部と、を備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  11. 前記荷重発生部は、
    前記電磁石と、磁性体とを備え、前記電磁石の磁力で前記磁性体または前記電磁石が前記被調整物を押すことによって前記被調整物を前記被固定体に押し付けさせる
    ことを特徴とする請求項１０に記載の偏心調整装置。
  12. 前記荷重発生部は、
    前記電磁石と前記被調整物との間に設けられるスラストベアリングを備え、前記電磁石の磁力によって前記電磁石と前記磁性体とで前記スラストベアリング、前記被調整物、および前記被固定体を挟持することで前記電磁石に前記被調整物を前記被固定体に押し付けさせる
    ことを特徴とする請求項１１に記載の偏心調整装置。
  13. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被固定体に前記被調整物を押し付ける荷重を内部の気体の圧力により発生する荷重発生部と、
    前記荷重発生部の内部の気圧を変化させることによって前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記荷重発生部に発生させる荷重調整部と、を備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  14. 前記荷重発生部は、
    空気ばねまたはエアシリンダである
    ことを特徴とする請求項１３に記載の偏心調整装置。
  15. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    温度により弾性率が変わるばねを有するばね機構と、
    前記ばねの温度を変化させることによって前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記ばね機構に発生させる荷重調整部と、を備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
  16. 被固定体に固定される被調整物の前記被固定体に対する偏心量を調整する偏心調整装置であって、
    前記被調整物を前記被固定体に押さえ付ける押さえ機構と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に第１の荷重で押さえ付けられた状態で、前記被調整物の前記被固定体に対する偏心量および偏心方向を計測する計測部と、
    前記押さえ機構によって前記被調整物が前記被固定体に前記第１の荷重よりも小さな第２の荷重で押さえ付けられた状態で、前記計測部によって計測された前記偏心量および前記偏心方向に基づいて前記被調整物の偏心量を調整する偏心調整機構と、を備え、
    前記押さえ機構は、
    前記被固定体に前記被調整物を押し付ける電動シリンダと、
    前記電動シリンダに配置された力覚センサで計測される前記被固定体への前記被調整物の押し付け力に基づいて前記電動シリンダを制御して前記第１の荷重と前記第２の荷重とを選択的に前記電動シリンダに発生させる荷重調整部と、を備える
    ことを特徴とする偏心調整装置。
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