JP7336305B2 - 透明導電性フィルム - Google Patents
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Description
透明導電性フィルム1は、所定の厚みを有するフィルム形状(シート形状を含む)を有し、厚み方向と直交する面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面を有する。透明導電性フィルム1は、例えば、画像表示装置に備えられるタッチパネル用基材や電磁波シールドなどの一部品であり、つまり、画像表示装置ではない。すなわち、透明導電性フィルム1は、画像表示装置などを作製するための部品であり、OLEDモジュールなどの画像表示素子を含まず、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
ガラス基材2は、透明導電性フィルム1の機械強度を確保するための透明な基材である。すなわち、ガラス基材2は、透明導電層3を支持している。
透明導電層3は、結晶質であり、優れた導電性を発現する透明な層である。
4.透明導電性フィルムの製造方法
透明導電性フィルム1を製造するには、例えば、ロールトゥロール工程において、ガラス基材2の上面に、透明導電層3を設ける。具体的には、長尺なガラス基材2を送出ロールから送出して搬送方向下流側に搬送しながら、ガラス基材2の上面に透明導電層3を設け、巻取ロールにて導電性フィルム1を巻き取る。以下、詳述する。
5.作用効果
透明導電性フィルム1において、透明導電層3は、高い全光線透過率(87%以上)を有し、かつ、低い表面抵抗値(10Ω/□以下)を有する。
なお、上記のシミュレーションにおいて、ガラス基材2の厚みは、50μmとし、ガラスの屈折率は、1.52とし、ITO層4の屈折率は、1.9とし、消衰係数は、0とする。
6.変形例
上記した説明では、透明導電性フィルム1は、ガラス基材2と、透明導電層3とからなるが、ガラス基材2と透明導電層3と間に中間層を介在させることもできる。
1.透明導電性フィルムの製造
実施例1
ガラス基材として、ロール状に巻回された長尺な透明ガラス基材(厚み50μm、日本電気硝子社製、「G-Leaf」)を準備した。
表1に従って、ITO層の厚み、基材温度、成膜気圧、搬送速度および酸素ガス導入量を変更した以外は、実施例1と同様にして、透明導電性フィルムを製造した。
2.評価
1)表面抵抗値
各実施例および各比較例のITO層の表面抵抗値を、JIS K7194に準拠して、4端子法により測定した。その結果を表1に示す。
2)比抵抗
各実施例および各比較例のITO層の比抵抗を、JIS K7194に準拠して、4端子法により測定した。その結果を表1に示す。
3)ITO層の膜厚
各実施例および各比較例のITO層の膜厚を走査型蛍光X線分析装置(株式会社リガク社製)「ZSX PrimusII」を用いて測定した。その結果を表1に示す。
4)全光線透過率
各実施例および各比較例のITO層の全光線透過率を分光光度計(日立ハイテクノロジー社製)「U4100」を用いて測定した。その結果を表1に示す。
5)X線回折測定
各実施例および各比較例の透明導電性フィルムにおいて、結晶配向性を全自動多目的X線回析装置(リガク社製、「SmartLab」)を用いて測定した。得られた(400)面のピーク強度および(222)面のピーク強度から、ピーク強度比((400)面のピーク強度/(222)面のピーク強度)を算出した。その結果を表1に示す。
2 ガラス基材
3 透明導電層
Claims (2)
- ガラス基材と、透明導電層とを順に備え、
前記透明導電層が、87%以上の全光線透過率を有し、10Ω/□以下の表面抵抗値を有し、
前記透明導電層の、X線回折法における(400)面のピーク強度の、(222)面のピーク強度に対する比率((400)面のピーク強度/(222)面のピーク強度)が、0.8を超過することを特徴とする、透明導電性フィルム。 - 前記透明導電層の厚みが、120nm以上160nm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の透明導電性フィルム。
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