JP7333710B2 - 接合装置及び接合方法 - Google Patents
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Description
(1)第1の基板と第2の基板を接合する接合装置であって、
前記第1の基板を保持する第1の保持部と、
前記第2の基板を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に設けられ、前記第2の保持部に保持された前記第2の基板を撮像する第1の撮像部と、
前記第1の保持部に設けられ、前記第1の撮像部による撮像の際に前記第2の基板に光を照射する第1の光照射部と、
前記第2の保持部に設けられ、前記第1の保持部に保持された前記第1の基板の撮像する第2の撮像部と、
前記第2の保持部に設けられ、前記第2の撮像部による撮像の際に前記第1の基板に光を照射する第2の光照射部と、を備え、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部のそれぞれには、白色光を照射する第1の光源が接続される接合装置。
前記(1)によれば、基板上に白色光を照射して撮像を行うことにより、基板上に形成されたアライメントマークの位置認識精度を向上させることができる。
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部は、前記第1の光源からの光の照射と前記第2の光源からの光の照射を切り替え可能である、前記(1)に記載の接合装置。
前記(2)によれば、基板上に形成された透明膜の状況に応じて照射する光を切り替えることができるため、アライメントマークの位置認識精度をさらに向上させることができる。
第1の基板と第2の基板の位置合わせを行うことと、
前記第1の基板と前記第2の基板を接合することと、を含み、
前記位置合わせにおいては、
第1の光照射部により光が照射された前記第2の基板を撮像することと、
第2の光照射部により光が照射された前記第1の基板を撮像することと、を含み、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部のそれぞれから照射される光は、第1の光源から照射される白色光である、接合方法。
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部は、前記第1の光源からの光の照射と前記第2の光源からの光の照射を切り替え可能である、前記(3)に記載の接合方法。
前記第2の基板に透明膜が形成されている場合には前記第1の光源から光を照射し、
前記第2の基板に透明膜が形成されていない場合には前記第1の光源から光を照射する、前記(4)に記載の接合方法。
前記第1の基板に透明膜が形成されている場合には前記第1の光源から光を照射し、
前記第1の基板に透明膜が形成されていない場合には前記第1の光源からの光を照射する、前記(4)または前記(5)に記載の接合方法。
140 上チャック
141 下チャック
151 上部撮像部
152 上部照射部
153 上部光源
161 下部撮像部
162 下部照射部
163 下部光源
Lw 白色光
W 上ウェハ
S 下ウェハ
Claims (6)
- 第1の基板と第2の基板を接合する接合装置であって、
前記第1の基板を保持する第1の保持部と、
前記第2の基板を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部に設けられ、前記第2の保持部に保持された前記第2の基板を撮像する第1の撮像部と、
前記第1の保持部に設けられ、前記第1の撮像部による撮像の際に前記第2の基板に光を照射する第1の光照射部と、
前記第2の保持部に設けられ、前記第1の保持部に保持された前記第1の基板の撮像する第2の撮像部と、
前記第2の保持部に設けられ、前記第2の撮像部による撮像の際に前記第1の基板に光を照射する第2の光照射部と、を備え、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部には、白色光を照射する第1の光源が共通の光源として接続される、接合装置。 - 前記第1の光照射部および前記第2の光照射部には、白色以外の光を照射する第2の光源が接続され、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部は、前記第1の光源からの光の照射と前記第2の光源からの光の照射を切り替え可能である、請求項1に記載の接合装置。 - 基板同士を接合する接合方法であって、
第1の基板と第2の基板の位置合わせを行うことと、
前記第1の基板と前記第2の基板を接合することと、を含み、
前記位置合わせにおいては、
第1の光照射部により光が照射された前記第2の基板を撮像することと、
第2の光照射部により光が照射された前記第1の基板を撮像することと、を含み、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部のそれぞれから照射される光は、前記第1の光照射部および前記第2の光照射部に共通の光源として接続される第1の光源から照射される白色光である、接合方法。 - 前記第1の光照射部および前記第2の光照射部のそれぞれには、白色以外の光を照射する第2の光源が接続され、
前記第1の光照射部および前記第2の光照射部は、前記第1の光源からの光の照射と前記第2の光源からの光の照射を切り替え可能である、請求項3に記載の接合方法。 - 前記第1の光照射部は、
前記第2の基板に透明膜が形成されている場合には前記第1の光源から光を照射し、
前記第2の基板に透明膜が形成されていない場合には前記第2の光源から光を照射する、請求項4に記載の接合方法。 - 前記第2の光照射部は、
前記第1の基板に透明膜が形成されている場合には前記第1の光源から光を照射し、
前記第1の基板に透明膜が形成されていない場合には前記第2の光源から光を照射する、請求項4または5に記載の接合方法。
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