JP7332031B2 - アクリル系重合体、硬化性組成物及びその硬化物 - Google Patents
アクリル系重合体、硬化性組成物及びその硬化物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7332031B2 JP7332031B2 JP2022509288A JP2022509288A JP7332031B2 JP 7332031 B2 JP7332031 B2 JP 7332031B2 JP 2022509288 A JP2022509288 A JP 2022509288A JP 2022509288 A JP2022509288 A JP 2022509288A JP 7332031 B2 JP7332031 B2 JP 7332031B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acrylic polymer
- present
- meth
- acrylic
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
- C08F220/04—Acids; Metal salts or ammonium salts thereof
- C08F220/06—Acrylic acid; Methacrylic acid; Metal salts or ammonium salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/38—Polymerisation using regulators, e.g. chain terminating agents, e.g. telomerisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F212/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an aromatic carbocyclic ring
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F8/00—Chemical modification by after-treatment
- C08F8/34—Introducing sulfur atoms or sulfur-containing groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L33/00—Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L33/02—Homopolymers or copolymers of acids; Metal or ammonium salts thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Description
本願は、2020年3月23日に、日本に出願された特願2020-050414号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
特許文献2の方法は、定着温度の低減及び溶融粘度の低減を達成することはできるが、組成物の粘度が高いため、樹脂を有機溶剤又はアルカリ水に溶解する際の作業性が悪く、有機溶剤及びアルカリ水に対する溶解性が良好ではないという問題点を有していた。
[1] ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含み、全構成単位に対する前記(メタ)アクリル酸由来の構成単位の割合が7~44質量%であり、第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造を有し、粒子状である、アクリル系重合体。
[2] ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含み、全構成単位に対する前記(メタ)アクリル酸由来の構成単位の割合が7~44質量%であり、第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造を有し、ドライフィルムレジスト用である、アクリル系重合体。
[3] 全構成単位に対する前記ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位の割合が12~65質量%である、[1]又は[2]に記載のアクリル系重合体。
[4] さらに、重合性二重結合を有する化合物由来の構成単位を含む、[1]~[3]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
ただし、前記重合性二重結合を有する化合物は、ビニル基を有する芳香族化合物及び(メタ)アクリル酸を除く。
[5] 前記アクリル系重合体の酸価が65~260mgKOH/gである、[1]~[4]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[6] 前記アクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)が5000~200000である、[1]~[5]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[7] 前記アクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)が25000~200000である、[1]~[6]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[8] 前記アクリル系重合体の分子量分布(Mw/Mn)が1.0~7.5である、[1]~[7]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[9] 前記アクリル系重合体の分子量分布(Mw/Mn)が1.0~3.5である、[1]~[8]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[10] 前記アクリル系重合体の含水率が0.5~5.0重量%である、[1]~[9]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[11] 前記アクリル系重合体の全構成単位に対する第三級アルキルメルカプタンの化学構造の割合が2500~20000質量ppmである、[1]~[10]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
[12] [1]~[11]のいずれか一項に記載のアクリル系重合体を含む硬化性組成物。
[13] [12]に記載の硬化性組成物の硬化物。
本発明において、ビニル基を有する芳香族化合物を「化合物A」と記載する場合がある。
本発明において、重合性二重結合を有する化合物(ただし、(メタ)アクリル酸及び化合物Aを除く。)を「化合物B」と記載する場合がある。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体は化合物A由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含む。
前記化合物Aとしては、得られるアクリル系重合体の有機溶剤に対する溶解性及びアルカリ水に対する溶解性の観点、並びに入手し易さの観点から、これらの中でも、スチレン、p-メチルスチレン、p-メトキシスチレン及びp-tert-ブチルスチレンからなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
前記化合物Aは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
前記化合物Bとしては、前記化合物A及び(メタ)アクリル酸と共重合可能な化合物であって、化合物A及び(メタ)アクリル酸以外の化合物であれば特に制限されない。
前記化合物Bとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n-ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、tert-ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、ラウリルアクリレート、ドデシルアクリレート、ステアリルアクリレート、グリシジルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-メトキシエチルアクリレート及び2-エトキシエチルアクリレート等のアクリル酸エステル類;メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n-ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、tert-ブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、ベヘニルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、フェニルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、2-メトキシエチルメタクリレート、2-エトキシエチルメタクリレート、フェノキシエチルメタクリレート、ヘキサヒドロフタル酸2-メタクリロイルオキシエチル及びフタル酸2-メタクリロイルオキシエチル等のメタクリル酸エステル類;マレイン酸、フマル酸及びイタコン酸等のα,β-不飽和カルボン酸類;N-フェニルマレイミド及びN-シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド類;アクリルアミド及びメタクリルアミド等の重合性アミド類;並びに、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート及びジエチルアミノエチルメタクリレート等のジアルキルアミノエチル(メタ)アクリレート類が挙げられる。
前記化合物Bは、1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体における(メタ)アクリル酸由来の構成単位の割合が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物の有機溶剤に対する溶解性及びアルカリ水に対する溶解性が良好となる。
前記塩基としては、例えば、金属水酸化物、アンモニア、アミン化合物、及びモルホリンが挙げられる。
前記金属水酸化物としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムが挙げられる。
前記アミン化合物としては、例えば、トリエチルアミン、プロピルアミン、ジエチルアミン、トリプロピルアミン、ジブチルアミン、アミルアミン、1-アミノオクタン、2-ジメチルアミノエタノール、エチルアミノエタノール、2-ジエチルアミノエタノール、1-アミノ-2-プロパノール、2-アミノ-1-プロパノール、3-アミノ-1-プロパノール、1-ジメチルアミノ-2-プロパノール、3-ジメチルアミノ-1-プロパノール、2-プロピルアミノエタノール、エトキシプロピルアミン、及びアミノベンジルアルコールが挙げられる。
前記第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造は、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を製造する際に重合反応の連鎖移動剤として第三級アルキルメルカプタンを使用することで、第三級アルキルメルカプタンの化学構造が重合反応の開始点となる結果、本発明の第一の態様のアクリル系重合体に導入される。
第三級アルキルメルカプタンは、炭素原子三つと結合した第三級炭素原子にメルカプト基が直接結合した化学構造を有する。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体を製造する際に使用する第三級アルキルメルカプタンとしては、例えば、tert-ドデシルメルカプタン、tert-ノニルメルカプタン、tert-セシルメルカプタン、tert-ブチルメルカプタン、及び2,2,4,6,6-ペンタメチルヘプタン-4-チオールが挙げられる。
前記第三級アルキルメルカプタンとしては、入手し易さの観点から、これらの中でも、tert-ドデシルメルカプタン及びtert-ノニルメルカプタンからなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
前記第三級アルキルメルカプタンは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体における化合物A由来の構成単位の割合が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物を硬化物としたときの耐水性及び強度がより良好となる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体における第三級アルキルメルカプタンの化学構造の割合が高いほど、得られる本発明の第一の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物の有機溶剤溶解性がより良好となる傾向がある。また、本発明の第一の態様のアクリル系重合体における第三級アルキルメルカプタンの化学構造の割合が低いほど、本発明の第一の態様のアクリル系重合体の純度がより向上する。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体における化合物B由来の構成単位の割合が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物の相溶性がより良好となる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の酸価は、フェノールフタレインの変色点を基準にして、重合体をトルエン-エタノール1:1溶液に溶解し、エタノールに溶解したKOHを滴下して滴定し、重合体1gを中和するのに必要なKOHのmg数を求めることで測定することができる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の分子量分布(Mw/Mn)が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物の粘度がより低くなって作業性がより良好となり、さらに、本発明の第一の態様のアクリル系重合体の有機溶剤に対する溶解性及びアルカリ水に対する溶解性がより良好となる。
GPCの測定条件を以下に示す。
装置:東ソー HLC-8220GPC(東ソー株式会社製)
カラム:東ソー TSKgel G5000HXL*GMHXL-L(7.8mmφ×300mm)
溶解液:テトラヒドロフラン
試料濃度:0.4重量%
測定温度:40℃
注入量:100μL
流量:1.0mL/分
検出器:RI(示差屈折式検出器、装置内蔵)、UV(東ソー UV-8220)
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の含水率が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を得た際の重合体の取り扱い性がより良好となる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の含水率は、アクリル系重合体を105℃で2時間乾燥した場合の含水率を0%として、105℃で2時間乾燥した時の乾燥前後のアクリル系重合体の重量の乾燥減量から算出することができる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の平均粒子径が前記範囲内であると、本発明の第一の態様のアクリル系重合体の静電気帯電による流動性の低下がより抑制され、取り扱い性がより良好となる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の平均粒子径は、粒子状の前記アクリル系重合体を水中に分散させ、レーザー回折/散乱式粒度分布測定器を用いて質量基準の粒子径分布を測定し、得られた粒子径分布より算出することができる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体は、塊状重合、溶液重合又は懸濁重合等の通常知られる重合方法によって製造することができる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の製造方法としては、重合体の取り扱い性が容易な球状の粒子形状の重合体が得られる観点から、これらの中でも、懸濁重合が好ましい。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体は、例えば、後述する懸濁重合法により製造することができる。
本発明の第一の態様のアクリル系重合体の製造方法は、重合工程と、第一の脱水工程と、洗浄工程と、第二の脱水工程と、乾燥工程と、を備えることが好ましい。
重合工程は、化合物Aと(メタ)アクリル酸と、必要に応じて化合物Bと、を懸濁重合し、本発明の第一の態様のアクリル系重合体を重合する工程である。
懸濁重合の方法としては公知の方法を採用でき、例えば、重合温度制御機能と撹拌機能とを有する容器内にて、化合物Aと(メタ)アクリル酸と、必要に応じて化合物Bとを、重合用助剤の存在下、水中で懸濁状態で重合させる方法が挙げられる。
前記重合開始剤としては、例えば、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)、過酸化ベンゾイル、及びラウロイルパーオキサイドが挙げられる。
前記連鎖移動剤としては、第三級アルキルメルカプタンを使用する。また、連鎖移動剤としては、例えば、n-ドデシルメルカプタン、オクチルチオグリコレート又はα-メチルスチレンダイマーを、前記第三級アルキルメルカプタンと併用することもできる。
前記分散剤としては、例えば、水中で単量体を安定に分散させる界面活性剤が挙げられる。前記分散剤の具体例としては、メタクリル酸2-スルホエチルナトリウムとメタクリル酸カリウムとメタクリル酸メチルとの共重合体、3-ナトリウムスルホプロピルメタクリレートとメタクリル酸メチルとの共重合体、メタクリル酸ナトリウムとメタクリル酸との共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ヒドロキシエチルセルロース、及びヒドロキシプロピルセルロースが挙げられる。
前記分散助剤としては、例えば、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸水素二ナトリウム、塩化カリウム、酢酸カルシウム、硫酸マグネシウム、及び硫酸マンガンが挙げられる。
脱水工程は、懸濁重合後のスラリーを脱水機等で脱水してアクリル系重合体粒子を反応液から分離する第一の脱水工程と、後述する洗浄工程後のアクリル系重合体粒子を脱水機等で脱水してアクリル系重合体粒子を洗浄液から分離する第二の脱水工程が挙げられる。各脱水工程には各種の脱水機を使用することができ、例えば、遠心脱水機又は多孔ベルト上で水を吸引除去する機構のもの等を適宜選択して使用することができる。前記脱水機は、1基を使用してもよいし、同一機種を2基用意して各脱水工程で使用してもよいし、複数の異なる機種の脱水機を使用してもよい。前記脱水機は、製品品質、設備投資費、生産性及び運転コスト等の観点から目的に沿う機種を適宜選択することができる。製品品質と生産速度のバランスを重視する場合は、各脱水工程でそれぞれ専用の脱水機を使用することが好ましい。
洗浄工程により、アクリル系重合体の純度が高まるとともに、第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造を有するアクリル系重合体が得られる。
洗浄方法としては、例えば、第一の脱水工程で脱水したアクリル系重合体粒子に洗浄液を添加してアクリル系重合体を再度スラリー化させて撹拌混合する方法、洗浄機能を有する脱水機内で脱水工程を行った後に、続けて洗浄液を加えて洗浄する方法などによる第二の脱水工程が挙げられる。また、これらの洗浄方法を組み合わせて洗浄を行ってもよい。
乾燥工程は、第二の脱水工程後のアクリル系重合体粒子を乾燥する工程である。
第二の脱水工程後のアクリル系重合体粒子の表面には水が残留している。また、アクリル系重合体の内部は飽和吸水に近い状態にある。そのため、アクリル系重合体の含水率をさらに下げるために、乾燥することが好ましい。
乾燥には各種の乾燥機を使用することができ、例えば、減圧下で加温して乾燥を行う乾燥機、加温空気を用いてアクリル系重合体粒子を管内空輸しながら同時に乾燥を行う乾燥機、多孔板の下側から加温空気を吹き込み上側のアクリル系重合体粒子を流動させながら乾燥を行う乾燥機が挙げられる。
乾燥工程は、乾燥工程後のアクリル系重合体の含水率が0.5~5質量%となるように行うことが好ましい。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体は化合物A由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含む。
前記化合物Aとしては、得られるアクリル系重合体の有機溶剤に対する溶解性及びアルカリ水に対する溶解性の観点、並びに入手し易さの観点から、これらの中でも、スチレン、p-メチルスチレン、p-メトキシスチレン、及びp-tert-ブチルスチレンからなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
前記化合物Aは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
前記化合物Bとしては、上述した本発明の第一の態様において例示した化合物が挙げられる。
前記化合物Bは、1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記塩基としては、例えば、金属水酸化物、アンモニア、アミン化合物、及びモルホリンが挙げられる。
前記金属水酸化物としては、上述した第一の態様において例示した金属水酸化物が挙げられる。
前記アミン化合物としては、上述した第一の態様において例示したアミン化合物が挙げられる。
前記第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造は、本発明の第二の態様のアクリル系重合体を製造する際に重合反応の連鎖移動剤として第三級アルキルメルカプタンを使用することで、第三級アルキルメルカプタンの化学構造が重合反応の開始点となる結果、本発明の第二の態様のアクリル系重合体に導入される。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体を製造する際に使用する第三級アルキルメルカプタンとしては、上述した第一の態様において例示した第三級アルキルメルカプタンが挙げられる。
前記第三級アルキルメルカプタンとしては、入手し易さの観点から、これらの中でも、tert-ドデシルメルカプタン及びtert-ノニルメルカプタンからなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
前記第三級アルキルメルカプタンは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体における第三級アルキルメルカプタンの化学構造の割合は、本発明の第一の態様と同様に、重合原料に用いた各化合物(単量体)と第三級アルキルメルカプタンの質量比から算出したものを意味する。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体の酸価は、第一の態様と同じ方法で測定することができる。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体の含水率は、第一の態様と同じ方法で算出することができる。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体の平均粒子径は、第一の態様と同じ方法で算出することができる。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体は、第一の態様と同じ製造方法によって製造することができる。これらの中でも、第一の態様と同じ理由から、懸濁重合が好ましい。
本発明の第二の態様のアクリル系重合体の製造方法は、第一の態様と同じく、重合工程と、第一の脱水工程と、洗浄工程と、第二の脱水工程と、乾燥工程と、を備えることが好ましい。。
前記重合開始剤としては、上述した第一の態様において例示した重合開始剤が挙げられる。
前記連鎖移動剤としては、上述した第一の態様において例示した連鎖移動剤が挙げられる。
前記分散剤としては、上述した第一の態様において例示した分散剤が挙げられる。
前記分散助剤としては、上述した第一の態様において例示した分散助剤が挙げられる。
本発明の第一の態様及び第二の態様において、アルカリ水は、特に限定されないが、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液が挙げられる。
以上説明した本発明の第一の態様及び第二の態様のアクリル系重合体は、優れた溶解性及び粉体性状を有することから、有機溶剤及びアルカリ水に対する溶解性が良好であり、溶解時の作業性に優れる。さらに本発明の第一の態様又は第二の態様のアクリル系重合体を含む硬化性組成物は、組成の均一性に優れることから、ブツ及び白濁を生じにくい。
本発明の第一の態様及び第二の態様のアクリル系重合体は、例えば、インキ原料、塗料原料、セラミック焼成用バインダー、又はドライフィルムレジストの原料の用途に使用できる。本発明の第一の態様および及び第二の態様のアクリル系重合体は、特に、ドライフィルムレジストの原料として好適である。
本発明の硬化性組成物は、本発明の第一の態様又は第二の態様のアクリル系重合体と、重合性二重結合を有する化合物と、必要に応じて任意成分と、を含む。
前記重合性二重結合を有する化合物としては、硬化性及び剥離性のバランスの観点から、これらの中でも、前記アクリル系重合体の製造で使用することができる単量体、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレートヒドロキシピバレート、ジシクロペンタジエニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンタジエニルジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、及びイソシアヌレートジ(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
前記各種添加剤としては、例えば、溶媒、光重合開始剤、染料、及び安定剤が挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、例えば、半導体製造用レジスト、ドライフィルムレジスト、又はソルダーレジストの用途に使用できる。
本発明の硬化性組成物中の前記重合性二重結合を有する化合物の割合は、硬化性及び塗工性のバランスの観点から、本発明の第一の態様又は第二の態様のアクリル系重合体の総量100質量部に対して、5~90部が好ましい。
前記溶媒は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤の使用量は、前記重合性二重結合を有する化合物の総量100質量部に対して、0.01~1質量部が好ましい。
前記安定剤としては、例えば、p-メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、及びtert-メチルカテコールが挙げられる。
前記染料としては、例えば、マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブルー、ブリリアントグリーン、メチルバイオレット、ロイコクリスタルバイオレット、ジフェニルアミン、及びベンジルアミンが挙げられる。
硬化性組成物を、例えば、乾燥後の厚みで1~100μmとなるようにポリエステル、ポリエチレン、又はポリプロピレンなどの重合体フィルムを支持体として塗布し、揮発成分を除去することで感光性エレメントを形成することができる。前記感光性エレメントは波長250~420nmの範囲の紫外光で露光し、硬化性組成物の硬化物とすることでレジストパターンを形成することができる。
実施例及び比較例における各物性の測定及び評価は以下の方法で行った。
また、実施例及び比較例で用いた分散剤は以下の方法で製造した。
<アクリル系重合体粒子の有機溶剤溶解性の評価>
有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル70gをフラスコに仕込み室温で撹拌機にて撹拌しながら、アクリル系重合体粒子30gを少量ずつ添加し、50℃で2時間撹拌した後の溶解性を溶液の透明性を基に目視にて確認し、以下評価基準で評価した。
A:溶液が透明であり、溶解性に優れている。
B:溶液の白濁は僅かであり、溶解性が良好である。
C:溶液は白濁しており、溶解性が悪い。
0.5M水酸化カリウム水溶液50mLをフラスコに仕込み室温で撹拌機にて撹拌しながら、アクリル系重合体粒子5gを少量ずつ添加し、70℃で2時間撹拌した後の溶解性をアクリル系重合体粒子の溶け残りの有無を目視にて確認し、以下評価基準で評価した。
A:溶け残りが殆どなく、溶解性に優れている。
B:溶け残りが僅かであり、溶解性が良好である。
C:アクリル系重合体粒子が残存しており、溶解性が悪い。
アクリル系重合体粒子を105℃で2時間乾燥した場合のアクリル系重合体の含水率を0%として、乾燥前後のアクリル系重合体の質量の乾燥減量から算出した。
撹拌機、冷却管、温度計を備えた重合装置に、脱イオン水1230g、メタクリル酸2-スルホエチルナトリウム60g、メタクリル酸カリウム10g、メチルメタクリレート12gを加えて撹拌し、重合装置内を窒素置換しながら、重合温度50℃に昇温し、重合開始剤として2,2’-アゾビス(2-メチルプロピオンアミジン)二塩酸塩0.08gを添加し、さらに重合温度60℃に昇温した。重合開始剤の添加と同時に、滴下ポンプを使用して、メチルメタクリレートを0.24g/minの速度で75分間連続的に滴下し、重合温度60℃で6時間保持した後、室温に冷却して分散剤(1)を得た。前記分散剤(1)の固形分は7.5質量%あった。
撹拌機、冷却管、温度計を備えた重合装置中に、スチレン60質量部、メタクリル酸メチル10質量部、メタクリル酸30質量部を均一に溶解した単量体混合物と、重合開始剤として2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)0.25質量部と、連鎖移動剤としてtert-ドデシルメルカプタン0.8質量部と、分散剤(1)0.8質量部、分散助剤として硫酸ナトリウム0.3質量部を均一に溶解した純水200質量部とを仕込み、撹拌しながら窒素置換を行った。その後、75℃で懸濁重合を開始し、重合発熱のピークを検出した後、85℃で30分さらに重合を行った(重合工程)。
重合後、釜内を常温まで冷却し、生成したスラリーを遠心分離式脱水機にて脱水した(第一の脱水工程)。
得られたアクリル系重合体と、洗浄液として純水を質量比(アクリル系重合体粒子:洗浄液)が1:2となるように洗浄用槽に投入し、20分間撹拌混合して洗浄を行った後(洗浄工程)、遠心分離式脱水機にて脱水した(第二の脱水工程)。
脱水後、脱水されたアクリル系重合体粒子を50℃に内温設定された流動槽式乾燥機に投入し、含水率が5%以下になるように乾燥した(乾燥工程)。
得られた粉体状のアクリル系重合体粒子について、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル、及びアルカリ水に対する溶解性を評価した。結果を表1に示す。
表1に示す構成とした以外は、実施例1と同様にして粉体状のアクリル系重合体を製造し、各種測定・評価を行った。結果を表1に示す。
St:スチレン
MAA:メタクリル酸
MMA:メチルメタクリレート
EA:エチルアクリレート
BZMA:ベンジルメタクリレート
HH:ヘキサヒドロフタル酸2-メタクリロイルオキシエチル
tDM:tert-ドデシルメルカプタン
nDM:n-ドデシルメルカプタン
αMSD:α-メチルスチレンダイマー
一方、比較例1及び3で得られたアクリル系重合体は有機溶剤に対する溶解性がCと劣っていた。また、比較例2で得られたアクリル系重合体はアルカリ水に対する溶解性がCと劣っていた。
アクリル系重合体(a)及び(z)、重合性二重結合を有する化合物(b)、光重合開始剤(c)及び染料(d)を表2に示す組成で有機溶剤(e)に溶解し、塗布液を調合した。得られた塗布液について以下評価基準で配合適正を評価した。得られた塗布液をバーコーターを用いて20μm厚のポリエステルフィルム上に塗布した。次いで、室温で30分放置した後、50℃の乾燥機中で30分乾燥し、30μmの感光層を形成し、感光性フィルムを得た。その後、ポリエステルフィルムが外側となるように、銅張積層板上に加熱ラミネーションし、試験板とした。ラミネーション条件はロール温度80℃、ロール速度2m/min、0.3Mpa加圧とした。高圧水銀灯を光源とした平行露光機により、試験板の感光性フィルムに所定形状のパターンマスクを密着させて露光した。露光エネルギー量は30mJ/cm2とした。露光後、ポリエステルフィルムを剥離し、濃度1質量パーセントの炭酸ナトリウム水溶液の現像液を用いて現像することによって、未露光部分を溶解除去し、硬化性組成物の硬化物からなる露光パターンを得た。現像は、現像液をスプレーする方法を用い、現像液温度30℃の条件で行った。前記現像について以下評価基準で解像度と現像性を評価した。
A:塗布液の濁り、ブツはなく、良好である。
B:塗布液は僅かに濁りがある。
C:塗布液は強い濁りと溶け残りが残存している。
A:ライン幅(L)/スペース幅(S)(以下L/Sと略す)が30μm/30μmであるパターンマスクを用い、未露光の部分の現像にかかる最小の時間の1.5倍の時間現像した際にパターンが残存する。
B:L/Sが30μm/30μmであるパターンマスクを用い、未露光の部分の現像にかかる最小の時間の1.5倍の時間現像した際にパターンが残存しない。
N.D.:溶液は強い濁りと溶け残りが残存していて、評価できなかった。
A:未露光の部分の現像にかかる最小の時間が60秒未満である。
B:未露光の部分の現像にかかる最小の時間が60秒以上である。
N.D.:溶液は強い濁りと溶け残りが残存していて、評価できなかった。
(a)-1:実施例1で得られたアクリル系重合体
(z)-1:比較例1で得られたアクリル系重合体
(z)-2:比較例2で得られたアクリル系重合体
(z)-3:比較例3で得られたアクリル系重合体
(b)-1:エチレンオキサイドを10モル付加した、ビスフェノールAジメタクリレート(新中村化学社製、製品名:NKエステル BPE500)
(b)-2:トリメチロールプロパンPO変性トリアクリレート(大阪有機化学工業社製、製品名:ビスコート#360)
(c)-1:2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール
(c)-2:4,4’-ジエチル-アミノ-ベンゾフェノン
(d)-1:ロイコクリスタルバイオレット
(d)-2:マラカイトグリーン
(e)-1:メチルエチルケトン
(e)-2:メタノール
一方、比較例4は現像性が悪かった。比較例5と6は配合適正が悪く、解像度と現像性を評価できなかった。
Claims (12)
- ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含み、全構成単位に対する前記(メタ)アクリル酸由来の構成単位の割合が7~44質量%であり、第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造を有し、粒子状であり、平均粒子径が120~1000μmである、アクリル系重合体。
- ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位及び(メタ)アクリル酸由来の構成単位を含み、全構成単位に対する前記(メタ)アクリル酸由来の構成単位の割合が7~44質量%であり、第三級アルキルメルカプタン由来の化学構造を有し、ドライフィルムレジスト用であり、平均粒子径が120~1000μmである、アクリル系重合体。
- 全構成単位に対する前記ビニル基を有する芳香族化合物由来の構成単位の割合が12~65質量%である、請求項1又は2に記載のアクリル系重合体。
- さらに、重合性二重結合を有する化合物由来の構成単位を含む、請求項1~3のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
ただし、前記重合性二重結合を有する化合物は、ビニル基を有する芳香族化合物及び(メタ)アクリル酸を除く。 - 前記アクリル系重合体の酸価が65~260mgKOH/gである、請求項1~4のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)が5000~200000である請求項1~5のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)が25000~200000である請求項1~6のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の分子量分布(Mw/Mn)が1.0~7.5である、請求項1~7のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の分子量分布(Mw/Mn)が1.0~3.5である、請求項1~8のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の含水率が0.5~5.0重量%である、請求項1~9のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 前記アクリル系重合体の全構成単位に対する第三級アルキルメルカプタンの化学構造の割合が2500~20000質量ppmである、請求項1~10のいずれか一項に記載のアクリル系重合体。
- 請求項1~11のいずれか一項に記載のアクリル系重合体を含む硬化性組成物。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020050414 | 2020-03-23 | ||
JP2020050414 | 2020-03-23 | ||
PCT/JP2021/000893 WO2021192507A1 (ja) | 2020-03-23 | 2021-01-13 | アクリル系重合体、硬化性組成物及びその硬化物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021192507A1 JPWO2021192507A1 (ja) | 2021-09-30 |
JP7332031B2 true JP7332031B2 (ja) | 2023-08-23 |
Family
ID=77890099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022509288A Active JP7332031B2 (ja) | 2020-03-23 | 2021-01-13 | アクリル系重合体、硬化性組成物及びその硬化物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7332031B2 (ja) |
KR (1) | KR20220101130A (ja) |
CN (1) | CN114867761B (ja) |
TW (1) | TWI776359B (ja) |
WO (1) | WO2021192507A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023063633A1 (ko) | 2021-10-12 | 2023-04-20 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 배터리 팩 및 이를 포함하는 자동차 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009020246A (ja) | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Toray Ind Inc | 感光性樹脂組成物、これを用いた絶縁性樹脂パターンの製造方法および有機電界発光素子 |
JP2013514403A (ja) | 2009-12-18 | 2013-04-25 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | コールドシールされ、再封止可能な包装、およびその製造のための組成物 |
WO2018186208A1 (ja) | 2017-04-04 | 2018-10-11 | 旭化成株式会社 | フレキソ印刷版用感光性樹脂組成物、フレキソ印刷原版、フレキソ印刷版、及び、共重合体 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57151939A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-20 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | Positive type photosensitive resin composition |
EP0256369A3 (en) * | 1986-08-04 | 1989-09-13 | The Glidden Company | Glycidyl acrylic powder coatings |
JP2896833B2 (ja) | 1993-10-06 | 1999-05-31 | 三菱レイヨン株式会社 | ビニル系重合体粒子 |
JP2001281931A (ja) | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Nippon Zeon Co Ltd | 静電荷像現像用トナー及びその製造方法 |
JP6444159B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2018-12-26 | 株式会社日本触媒 | 重合体およびその用途 |
-
2021
- 2021-01-13 JP JP2022509288A patent/JP7332031B2/ja active Active
- 2021-01-13 WO PCT/JP2021/000893 patent/WO2021192507A1/ja active Application Filing
- 2021-01-13 CN CN202180007325.0A patent/CN114867761B/zh active Active
- 2021-01-13 KR KR1020227019609A patent/KR20220101130A/ko unknown
- 2021-01-18 TW TW110101768A patent/TWI776359B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009020246A (ja) | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Toray Ind Inc | 感光性樹脂組成物、これを用いた絶縁性樹脂パターンの製造方法および有機電界発光素子 |
JP2013514403A (ja) | 2009-12-18 | 2013-04-25 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | コールドシールされ、再封止可能な包装、およびその製造のための組成物 |
WO2018186208A1 (ja) | 2017-04-04 | 2018-10-11 | 旭化成株式会社 | フレキソ印刷版用感光性樹脂組成物、フレキソ印刷原版、フレキソ印刷版、及び、共重合体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114867761A (zh) | 2022-08-05 |
TWI776359B (zh) | 2022-09-01 |
JPWO2021192507A1 (ja) | 2021-09-30 |
CN114867761B (zh) | 2024-02-09 |
KR20220101130A (ko) | 2022-07-19 |
WO2021192507A1 (ja) | 2021-09-30 |
TW202136333A (zh) | 2021-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5617941B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及び、プリント配線板の製造方法 | |
JP5626428B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
JP2007219362A (ja) | 重合性組成物およびそれを用いたネガ型レジストおよびそれを用いた画像パターン形成方法。 | |
KR20130002280A (ko) | 포토 스페이서용 경화성 수지 조성물, 칼럼 스페이서 및 액정 디스플레이 | |
JP7332031B2 (ja) | アクリル系重合体、硬化性組成物及びその硬化物 | |
JP2001270919A (ja) | 高分子化合物及びその製造方法並びに感光性組成物及びパターン形成方法 | |
JP6620747B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法及びプリント配線板の製造方法 | |
WO2014038576A1 (ja) | フォトスペーサー用感光性樹脂組成物およびフォトスペーサー | |
TWI625594B (zh) | Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for forming photoresist pattern, and method for manufacturing printed wiring board | |
JP5610176B2 (ja) | 重合体、その製造方法、レジスト組成物及びその応用 | |
WO2022149524A1 (ja) | ビニル系重合体、硬化性組成物、及び硬化物 | |
JP2007277502A (ja) | 耐黄変性樹脂およびその用途 | |
JP2004224894A (ja) | マレイミド系共重合体 | |
JP2009263546A (ja) | 硬化性樹脂組成物、画像形成用硬化性組成物、および、これを硬化させて得られる柱状スペーサー | |
JP2018178074A (ja) | ラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物 | |
JP7015651B2 (ja) | ラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物 | |
JP7179649B2 (ja) | ラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物 | |
JP7318570B2 (ja) | レジスト用樹脂組成物および感光性樹脂組成物 | |
JP6377898B2 (ja) | カラーフィルタ用樹脂組成物 | |
WO2022201432A1 (ja) | 感光性樹脂フィルム、レジストパターンの形成方法、及び配線パターンの形成方法 | |
JP2010085605A (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
JP2010197831A (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
JP5449729B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JP2024085318A (ja) | 感光性樹脂組成物、硬化膜および表示装置 | |
JP6095416B2 (ja) | スチレン系ポリマー溶液 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230724 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7332031 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |