JP7015651B2 - ラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物 - Google Patents

ラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物 Download PDF

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本発明は、アルカリ水溶液に可溶なラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物に関する。より詳しくは、それを用いた硬化物に関する。
画像形成用の感光性樹脂組成物は、写真法(フォトリソグラフィー)の原理を応用することによって微細加工が可能な上に、物性に優れた硬化物を与えて画像を形成できることから、電子部品関係の各種レジスト材料や印刷版等の用途に多用されている。近年では、環境対策の点から希薄な弱アルカリ水溶液で現像できるアルカリ現像型が主流になっている。
ネガ型の画像形成用感光性樹脂組成物を、写真法(フォトリソグラフィー)の工程に用いる場合には、先ず基板上に樹脂組成物を塗布し、続いて加熱乾燥を行って塗膜を形成させた後、この塗膜にパターン形成用フィルムを装着し、露光して現像するという一連の工程が採用されている。光硬化後の塗膜には、現像性に加えて、耐熱性や、耐水性、耐湿性等の長期信頼性に関わる特性が求められる。
上記各特性をある程度満足するものとして、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させて得られるビニルエステル(エポキシアクリレート)に酸無水物を反応させてカルボキシル基を導入したカルボキシル基含有ビニルエステルが知られている。このカルボキシル基含有ビニルエステルは、タックフリー性、光感度、現像性といった相反する特性をバランス良く満足している上に、硬化物に求められる耐熱性や耐水性等の重要特性も比較的良好であるが、さらに高いレベルでの向上、両立が求められている。
この目的に沿ったものとして、例えば、分子中に2個のカルボキシル基を有する(メタ)アクリレート化合物と分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を反応させて得られる不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を含有する樹脂組成物は、現像性、耐熱性、可撓性等の重要特性が良好であることが知られている(特許文献1参照)。しかしながら、技術の進歩に伴って、さらにハイレベルな特性が求められており、例えば、微細なパターン形成に適合し得る高度な寸法安定性や、より高い温度条件での処理に耐えることが要求されるようになっている。
ところで、高耐熱性要求に応え得る感光性樹脂として、N-置換マレイミド基とエチレン性不飽和二重結合を有するポリマーが検討されている(例えば特許文献2および3)。しかしながら、これらの系においても、耐熱性に重きを置き過ぎるとアルカリ現像性が低下したり硬化物に脆さが発現することになりかねず、アルカリ現像性、硬化性、耐熱性、可撓性のバランスの点で改善の余地があった。
特開2001-48945号公報 特開平10-139843号公報 特開2002-62651号公報
したがって、本発明の目的は、優れたアルカリ可溶性、硬化性を有しつつ、耐熱性が高く脆さを発現せず、塗膜とした場合は基材との密着性に優れた硬化物を与えうるラジカル重合性重合体ならびにそれを含む樹脂組成物を提供することである。
本発明者らは、鋭意検討の結果、特定の樹脂がアルカリ可溶性、硬化性を有しつつ、耐熱性が高く脆さを発現せず、塗膜とした場合は基材との密着性に優れた硬化物を与えうることを見出した。
すなわち、本発明の目的は、下記(1)~()により達成される。
(1) カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位と、上記カルボキシル基または上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位と、を有し、酸基を有するラジカル重合性重合体(但し、3級炭素含有(メタ)アクリレート単量体由来の構成単位を含むものを除く)であって、
上記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位は、マレイミド系単量体由来の構成単位と、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位と、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体由来の構成単位とを必須構成単位として含有し、
上記マレイミド系単量体由来の構成単位は、下記一般式(1)
Figure 0007015651000001
[上記一般式(1)中、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基である]
で表され
上記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位100質量%中、上記マレイミド系単量体由来の構成単位10~60質量%、上記カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位21.9~50質量%、上記α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体由来の構成単位10~60質量%を必須構成単位として含有するラジカル重合性重合体と、
ラジカル重合性化合物とを含んでなる、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像可能な画像形成用感光性樹脂組成物。
(2) 上記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位が、カルボキシル基を有するベースポリマーに由来する構成単位であり、
上記カルボキシル基または上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位が、カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位であり、
上記カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位が、不飽和カルボン酸単量体由来の構成単位である、(1)に記載の樹脂組成物
) 上記不飽和カルボン酸単量体由来の構成単位が(メタ)アクリル酸由来の構成単位である、()に記載の樹脂組成物
) 上記ベースポリマーは、下記一般式(4)で表される重合体である、(1)~()の何れか1つに記載の樹脂組成物
Figure 0007015651000002
[上記一般式(4)において、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基であり;Rは、水素原子または炭素数が1~30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり;Xは、水素原子またはメチル基を表し;a~cは任意の自然数である。また、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。]
上記ラジカル重合性重合体が、下記一般式(7)で表される重合体である、(1)~()の何れか1つに記載の樹脂組成物
Figure 0007015651000003
[上記一般式(7)において、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基であり;Rは、水素原子または炭素数が1~30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり;Xは、水素原子またはメチル基を表し;Zは、下記一般式(61)または(62)で表される構成単位{*は一般式(7)中のZと結合している酸素原子の内、主鎖に近い方の酸素原子と結合しており、*は一般式(7)中のZと結合している酸素原子の内、側鎖の末端に近い方の酸素原子と結合している}であり;a、b、b、cは任意の自然数(但し、b+b=b)であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。
Figure 0007015651000004
Figure 0007015651000005

(6) (1)~()のいずれか1つに記載の樹脂組成物を硬化してなる硬化物。
) マレイミド系単量体10~60質量%、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体21.9~50質量%、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体10~60質量%を必須として含有する単量体成分100質量%を反応させてベースポリマーを得る工程と、
上記ベースポリマーが有するカルボキシル基またはエポキシ基に対して、上記カルボキシル基または上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体を反応させてラジカル重合性重合体(但し、3級炭素含有(メタ)アクリレート単量体由来の構成単位を含むものを除く)を得る工程と、
上記ラジカル重合性重合体にラジカル重合性化合物を配合する工程とを含む、(1)~(5)のいずれか1つに記載の画像形成用感光性樹脂組成物の製造方法であって、
上記マレイミド系単量体は、N-フェニルマレイミド、N-(2-メチルフェニル)マレイミド、N-(4-メチルフェニル)マレイミド、N-(2,6-ジエチルフェニル)マレイミド、N-(2-クロロフェニル)マレイミド、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-フェニルメチルマレイミド、N-(2,4,6-トリブロモフェニル)マレイミド、N-[3-(トリエトキシシリル)プロピル]マレイミド、N-オクタデセニルマレイミド、N-ドデセニルマレイミド、N-(2-メトキシフェニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)マレイミドならびにN-(1-ヒドロキシフェニル)マレイミドの、N-置換マレイミド及び無置換マレイミドからなる群から選択された少なくとも1種である、
画像形成用感光性樹脂組成物の製造方法。
本発明のラジカル重合性重合体ならびにそれを含む樹脂組成物は、アルカリ可溶性、硬化性が良く、得られた硬化物は耐熱性が高く脆さを発現せず、塗膜とした場合は基材との密着性に優れるものである。
1.ラジカル重合性重合体
本発明のラジカル重合性重合体は、カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマー(以下、単にベースポリマーという場合がある)に由来する構成単位と、上記カルボキシル基または上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(以下、単量体Gという場合がある)に由来する構成単位と、を有し、酸基を有するラジカル重合性重合体である。上記ベースポリマーに由来する構成単位は、マレイミド系単量体由来の構成単位(以下、単量体Aという場合がある)と、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体(以下、単量体Bという場合がある)由来の構成単位と、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体(以下、単量体Cという場合がある)由来の構成単位とを必須構成単位として含有する。
上記ベースポリマーは、上記単量体A、B、Cを必須として含有する単量体成分をラジカル重合させて得られる。本発明のラジカル重合性重合体は、上記ベースポリマーに、上記単量体Gを反応させて得られる。
上記ベースポリマーに由来する構成単位が有するカルボキシル基は、好ましくは、カルボキシル基を有する単量体(以下、単量体B1という場合がある)に由来し、より好ましくは不飽和カルボン酸単量体に由来する。このカルボキシル基に、上記カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(以下、単量体G1という場合がある)を反応させる。また、上記ベースポリマーに由来する構成単位が有するエポキシ基は、エポキシ基を有する単量体(以下、単量体B2という場合がある)に由来することが好ましい。このエポキシ基に、上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(以下、単量体G2という場合がある)を反応させる。上記ラジカル重合性重合体中、上記ベースポリマー由来の構成単位は、主鎖を構成する。上記単量体G、G1及びG2由来の構成単位は、ラジカル重合性重合体の側鎖を構成する。
本発明のラジカル重合性重合体は、上記単量体B由来の構成単位が有するカルボキシル基またはエポキシ基の好ましくはその一部に、単量体Gを付加させた状態の構造を有することが好ましい。
1-1 ベースポリマー
本発明のラジカル重合性重合体が有する、カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位は、マレイミド系単量体(単量体A)由来の構成単位と、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体(単量体B)由来の構成単位と、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体(単量体C)由来の構成単位とを必須構成単位として含有する。
以下にベースポリマーを重合するに際し使用する単量体について説明する。
なお、以下において、上記各単量体はラジカル重合に必須となるラジカル重合性基として、ラジカル重合性炭素-炭素二重結合を含んでおり、単量体単位との記載は、単量体に由来する構成単位を示し、当該単量体中のラジカル重合性炭素-炭素二重結合(C=C)が単結合(C-C)になった構成単位を意味する。例えば、マレイミド系単量体単位とは、マレイミド系単量体を共重合又はグラフト重合した場合の、マレイミド系単量体由来の構成単位を意味する。
1-1-1 マレイミド系単量体(単量体A)
マレイミド系単量体(単量体A)は、重合後、ベースポリマーに由来する構成単位において単量体A由来の構成単位を与える。単量体Aとしては、N-フェニルマレイミド、N-(2-メチルフェニル)マレイミド、N-(4-メチルフェニル)マレイミド、N-(2,6-ジエチルフェニル)マレイミド、N-(2-クロロフェニル)マレイミド、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-フェニルメチルマレイミド、N-(2,4,6-トリブロモフェニル)マレイミド、N-[3-(トリエトキシシリル)プロピル]マレイミド、N-オクタデセニルマレイミド、N-ドデセニルマレイミド、N-(2-メトキシフェニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)マレイミド、N-(1-ヒドロキシフェニル)マレイミド等のN-置換マレイミドや無置換マレイミドが挙げられ、これらの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、耐熱性向上効果が大きく、共重合性が良好で、かつ入手し易いという点でN-フェニルマレイミド、N-(2-メチルフェニル)マレイミド、N-(2,6-ジエチルフェニル)マレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド等が好ましく、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミドがより好ましく、N-フェニルマレイミドが最も好ましい。
本発明のラジカル重合性重合体に含まれる単量体A由来の構成単位としては、下記一般式(1)で表される繰り返し単位であることが好ましい。
Figure 0007015651000006
上記一般式(1)中、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基である。上記置換基としては、炭素数1~5のアルキル基が挙げられる。
上記単量体A由来の構成単位としては、下記の一般式(11)~(13)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましく、下記一般式(11)で表される繰り返し単位であることがさらに好ましい。下記の一般式(11)~(13)において、フェニル基、ベンジル基、シクロへキシル基は置換基を有していてもよい。上記置換基としては、炭素数1~5のアルキル基が挙げられる。
Figure 0007015651000007
1-1-2 カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体(単量体B)
本発明では、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体(単量体B)を必須成分として用いる。単量体Bは、重合後、ベースポリマーに由来する構成単位に、単量体B由来の構成単位を与える。
カルボキシル基を有する単量体(単量体B1)としては、不飽和カルボン酸が挙げられる。具体例としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、ケイヒ酸、ソルビン酸、フマル酸、マレイン酸等が挙げられ、中でも、硬化物の特性に優れることから(メタ)アクリル酸が好ましい。また、他の態様として、カルボキシル基と共に、またはカルボキシル基に代えて、他の酸基を導入してもよい。他の酸基としては、例えば、フェノール性水酸基、カルボン酸無水物基、リン酸基、スルホン酸基等、アルカリ水と中和反応する官能基が挙げられ、これらの1種のみを有していても、2種以上有していてもよい。以下の記載において、カルボキシル基に対する記載は、上記他の酸基にもあてはまる。
本発明のラジカル重合性重合体に含まれるベースポリマーに由来する構成単位中において好ましくは含まれる不飽和カルボン酸単量体由来の構成単位としては、下記一般式(2)で表される構成単位であることが好ましい。下記一般式(2)中、Xは、水素原子またはメチル基を表し、*において、カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G1)に由来する構成単位と結合しているか又は水素原子と結合している。
Figure 0007015651000008
また、本発明では、ベースポリマーに由来する構成単位を構成するための単量体としてエポキシ基を有する単量体(単量体B2)を使用して、ベースポリマー中にエポキシ基を付与してもよい。
単量体B2の具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、α-エチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(例えば、ダイセル化学工業社製の「サイクロマーA400」等)、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(例えば、ダイセル化学工業社製の「サイクロマーM100」等)、o-(またはm-、またはp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基と炭素-炭素二重結合とを有する化合物等が挙げられる。中でも、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。
本発明のラジカル重合性重合体ではアルカリ現像に必須となるカルボキシル基等の酸基を導入し、加えて硬化物の特性を優れたものとするため、単量体として、酸基を有する単量体を使用することが好ましい。酸基を有する単量体としては、上記単量体B1が挙げられる。また、単量体B1のかわりに単量体B2を使用した場合、アルカリ現像に必須となる酸基は、後述のエポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G2)に由来する構成単位導入時に生成した水酸基への多塩基酸無水物の付加反応によって導入できる。
多塩基酸無水物としては、公知のものが使用でき、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸等の二塩基酸無水物;無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ビフェニルテトラカルボン酸無水物等の多塩基酸無水物が挙げられる。中でも好ましくは、テトラヒドロ無水フタル酸または無水コハク酸である。
1-1-3 α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体(単量体C)
本発明では、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体(単量体C)を必須成分として用いる。上記単量体Cは、重合後、ベースポリマーに由来する構成単位において単量体C由来の構成単位を与える。従来より、カルボキシル基を有する重合体として(メタ)アクリル酸を共重合させたものが知られているが、アルカリ現像性の点で改善の余地があり、アルカリ現像性を向上させる手法として、水酸基を有する単量体単位を共重合させ、水酸基含有骨格中の水酸基に対して多塩基酸無水物を反応させたものや、特許文献3に記載されているように、グリシジル基含有骨格中のグリシジル基に対して(メタ)アクリル酸のような不飽和一塩基酸を反応させ、グリシジル基が開環して生成したヒドロキシル基に対して多塩基酸無水物を反応させたものが知られているが、いずれもアルカリ現像性、耐熱性の両立の点で改善の余地があった。
それに対して、本発明では、上記単量体Cを必須成分として共重合することで、ベースポリマー主鎖に、上記とは異なる主鎖環構造として、さらにテトラヒドロフラン環構造を導入でき、良好なアルカリ現像性と、加えて硬化物の特性に優れるものとすることができる。上記単量体Cとしては、α-アリルオキシメチルアクリル酸、α-アリルオキシメチルアクリル酸メチル、α-アリルオキシメチルアクリル酸エチル、α-アリルオキシメチルアクリル酸n-プロピル、α-アリルオキシメチルアクリル酸i-プロピル、α-アリルオキシメチルアクリル酸n-ブチル、α-アリルオキシメチルアクリル酸s-ブチル、α-アリルオキシメチルアクリル酸t-ブチル、α-アリルオキシメチルアクリル酸n-アミル、α-アリルオキシメチルアクリル酸s-アミル、α-アリルオキシメチルアクリル酸t-アミル、α-アリルオキシメチルアクリル酸ネオペンチル、その他、アルキル-(α-メタリルオキシメチル)アクリレート系単量体等が挙げられる。上記の中でも、アルキル-(α-アリルオキシメチル)アクリレート系単量体が好適である。アルキル-(α-アリルオキシメチル)アクリレート系単量体としては、工業的入手の容易さ等の観点から、例えば、メチル-(α-アリルオキシメチル)アクリレート等を用いることが好適である。
本発明のラジカル重合性重合体に含まれる上記単量体C由来の構成単位は、下記一般式(31)または(32)で表される構成単位であることが好ましい。より好ましくは、一般式(31)で表される構成単位である。
Figure 0007015651000009
上記一般式(31)、(32)中、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1~30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、好ましくは水素原子または炭素数が1~10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が1~5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
本発明のラジカル重合性重合体では、上記マレイミド系単量体(単量体A)由来の構成単位である主鎖環構造と、上記α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体(単量体C)由来の構成単位である主鎖環構造との、少なくとも2種の主鎖環構造を有することにより、優れたアルカリ可溶性、硬化性を有しつつ、耐熱性が高く脆さを発現せず、さらには被着体への密着性に優れた硬化物を与えうるラジカル重合性重合体とすることができる。
1-1-4 各単量体の含有量
本発明のラジカル重合性重合体は、好ましくは、上記ベースポリマーに由来する構成単位100質量%中、上記単量体A由来の構成単位10~60質量%、上記単量体B由来の構成単位10~50質量%、上記単量体C由来の構成単位10~60質量%を必須構成単位として含有する。上記単量体A由来の構成単位と上記単量体C由来の構成単位とのモル比は、単量体A由来の構成単位:単量体C由来の構成単位=5:95~95:5であることが好ましく、より好ましくは10:90~90:10である。
すなわち、単量体A(またはマレイミド系単量体単位)は、重合してベースポリマーを得る全単量体成分(または全単量体単位)100質量%中10~60質量%とすることが好ましい。単量体Aの含有量を10質量%以上とすることで、硬化物に充分な耐熱性を付与することができる。一方、単量体Aの含有量を60質量%以下とすることで、上記単量体Bや単量体Cに起因するアルカリ現像性、硬化物特性を充分に付与することができる。単量体Aのより好ましい下限は15質量%、さらに好ましい下限は20質量%である。また、より好ましい上限は55質量%、さらに好ましい上限は50質量%である。
単量体B(またはカルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体単位)は、全単量体成分(または全単量体単位)100質量%中10~50質量%とすることが好ましい。単量体Bの含有量を10質量%以上とすることで良好なアルカリ現像性を発現させることができる。一方、単量体Bの含有量を50質量%以下とすることで、単量体Aや単量体Cに起因する耐熱性等の硬化物特性を充分に付与することができる。単量体Bのより好ましい下限は15質量%、さらに好ましい下限は20質量%である。また、より好ましい上限は45質量%、さらに好ましい上限は40質量%である。
単量体C[またはα-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体単位]は、全単量体成分(または全単量体単位)100質量%中10~60質量%とすることが好ましい。単量体Cの含有量を10質量%以上とすることで良好なアルカリ現像性、硬化物特性を発現させることができる。一方、含有量を60質量%以下とすることで、単量体Aに起因する耐熱性を充分に付与することができる。単量体Cのより好ましい下限は12質量%、さらに好ましい下限は15質量%である。また、単量体Cのより好ましい上限は55質量%、さらに好ましい上限は50質量%である。
重合してベースポリマーを得る全単量体成分において、単量体Aと単量体Cとのモル比は、単量体A:単量体C=5:95~95:5であることが好ましく、より好ましくは10:90~90:10である。
1-1-5 他の単量体成分
本発明では、特性に悪影響を及ぼさない限りにおいて、ベースポリマーを得る際に他の共重合可能な単量体成分を使用しても良い。このような単量体成分の具体例としては、芳香族系単量体;酢酸ビニル、アジピン酸ビニル等のビニルエステルモノマー;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル系単量体;n-プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、n-ヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、2-エチルヘキシルビニルエーテル等のアルキルビニルエーテルや対応するアルキルビニル(チオ)エーテル;無水マレイン酸等の酸無水物基含有単量体あるいはこれをアルコール類等により酸無水物基を開環変性した単量体;N-ビニルピロリドン、N-ビニルオキサゾリドン等のN-ビニル系単量体;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有単量体等が挙げられる。
これらの中でも、マレイミド系単量体との共重合性が良好であり、硬化物の特性にも優れることから、芳香族系単量体が好ましく、具体例としては、スチレン、α-メチルスチレン、α-クロロスチレン、ビニルトルエン等が挙げられ、電気特性に優れ、安価である点からスチレンが最も好ましい。
上記他の単量体に由来する構成単位の含有量は、上記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位100質量%中、合計で、好ましくは0~70質量%、より好ましくは0~55質量%である。
1-1-6 ベースポリマーの製造方法
上記ベースポリマーの製造方法としては、上記単量体A、上記単量体B及び上記単量体Cを必須として含有する上記単量体成分を反応させてベースポリマーを得る。この場合に、該ベースポリマーを得る方法は特に限定されず、溶液重合法や塊状重合法等、従来公知の重合法の採用が可能である。中でも、重合反応中の温度制御が容易な溶液重合法が好ましい。
溶液重合の際の溶媒としては、重合を阻害したり、原料単量体各成分を変質させるおそれの無い溶媒であれば特に限定されない。使用可能な溶媒の具体例としては、トルエン、キシレン等の炭化水素類;セロソルブアセテート、カルビトールアセテート、(ジ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グルタル酸(ジ)メチル、コハク酸(ジ)メチル、アジピン酸(ジ)メチル、メチルアセテート、エチルアセテート、ブチルアセテート、メチルプロピオネート等のエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、メチル-t-ブチルエーテル、(ジ)エチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド類;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類等が挙げられ、これらの1種または2種以上を混合して用いることができる。また、特に、マレイミド系単量体(単量体A)の使用量が30質量%を超える場合や(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸などの単量体Bの使用量が30質量%を超える場合には、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートやカルビトールアセテート等のエステル類とプロピレングリコールモノメチルエーテルやイソプロパノール等のアルコール類との混合溶媒とすることで、単量体や重合体の溶解性を向上させることができる。
重合反応の際に使用可能な重合開始剤としては、通常のラジカル重合開始剤が挙げられる。具体的には、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス(4-メトキシー2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス(2-メチルイソブチロニトリル)等のアゾ系化合物;ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t-ブチルパーオキシネオデカネート、t-ブチルパーオキシピバレート、t-アミルパーオキシオクトエート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド等の有機過酸化物等を挙げることができ、所望する反応条件や、得られる重合体に対する要求特性に応じて適宜選択して使用すればよい。
上記重合開始剤の使用量は、重合反応に使用する単量体成分100質量%に対して、0.001~15質量%とするのが好ましく、より好ましくは0.01~10質量%である。
ベースポリマーを得る具体的手法としては特に限定されないが、溶媒中に、全ての成分を一括で仕込んで重合する方法、予め溶媒と成分の一部を仕込んだ反応容器に残りの成分を連続添加あるいは逐次添加して重合する方法等が採用可能である。
ベースポリマーの製造では、上記単量体A、上記単量体B及び上記単量体Cを必須成分とする単量体を、上記重合開始剤を用いて、ラジカル重合させることが好ましい。
反応時の圧力についても特に限定はなく、常圧、加圧のいずれの条件下で行ってもよい。重合反応時の温度については、使用する原料モノマーの種類や組成比、使用溶媒の種類にもよるが、通常は20~150℃の範囲で行うのが好ましく、より好ましくは30~120℃である。
重合反応時には、重合体溶液の最終固形分濃度が10~70質量%となるように、溶媒と各単量体成分の量を設定することが好ましい。この最終固形分濃度が10質量%未満では、生産性が低くなるため好ましくない。一方、最終固形分濃度が70質量%を越える場合、溶液重合の場合でも重合液の粘度が上昇して重合転化率が上昇しないおそれがある。より好ましい最終固形分濃度は20~65質量%であり、さらに好ましくは25~60質量%である。
本発明のラジカル重合性重合体および該ラジカル重合性重合体を含んでなる樹脂組成物としての特性、アルカリ現像性、硬化塗膜物性、耐熱性等を考慮すれば、ベースポリマーの重量平均分子量Mwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によって測定したときの値として、ポリスチレン換算値で1,000~100,000が好ましい。Mwを1,000以上とすることで、硬化物に充分な耐熱性を付与することができる。一方、Mwを100,000以下とすることで、充分なアルカリ現像性を付与することができる。Mwのより好ましい下限は2,000、さらに好ましい下限は3,000である。また、より好ましい上限は50,000、さらに好ましい上限は30,000である。
この範囲の分子量に調整するために、必要であれば、重合反応時に連鎖移動剤を用いてもよいが、用いないことでメルカプタン臭のない樹脂組成物を得ることができる。
使用する場合の使用可能な連鎖移動剤としては、重合に使用する各単量体成分に悪影響を及ぼさないものであればよく、通常、チオール化合物が使用される。具体的には、n-オクチルメルカプタン、n-ドデシルメルカプタン、t-ドデシルメルカプタン等のアルキルメルカプタン;チオフェノール等のアリールメルカプタン;メルカプトプロピオン酸、メルカプトプロピオン酸メチル等のメルカプト基含有脂肪族カルボン酸およびそのエステル等が好ましい物として挙げられる。連鎖移動剤の使用量は特に限定されず、所望の分子量を有する重合体が得られるように適宜調節すればよいが、一般的には、重合に使用される単量体総量に対して、0.1~15質量%とするのが好ましく、より好ましくは0.5~10質量%である。
ベースポリマーは、例えば、下記の一般式(4)で表される重合体であることが好ましい。
Figure 0007015651000010
上記一般式(4)において、R、RならびにXは上記と同様であり、a~cは任意の自然数である。また、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。上記aとcの比は、a:c=5:95~95:5であることが好ましく、より好ましくは10:90~90:10である。
1-2 カルボキシル基またはエポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G)に由来する構成単位
本発明のラジカル重合性重合体は、カルボキシル基またはエポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G)に由来する構成単位を有する。上記単量体Gは、ベースポリマーと反応してラジカル重合性を有するラジカル重合性重合体とするため、当然にラジカル重合性基を有している。
ラジカル重合性重合体を得る工程において、カルボキシル基を有するベースポリマーに対しては、カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G1)を反応させてラジカル重合性を付与し、ラジカル重合性重合体を得る。また、エポキシ基を有するベースポリマーに対しては、エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G2)を反応させてラジカル重合性を付与し、ラジカル重合性重合体を得る。
ラジカル重合性を付与するために、好ましくは、ラジカル重合性炭素-炭素二重結合導入反応を行う。ラジカル重合性基(好ましくは炭素-炭素二重結合)導入反応は、上記ベースポリマーのカルボキシル基またはエポキシ基と、上記単量体Gの上記カルボキシル基またはエポキシ基と反応し得る官能基との反応であり、メチルハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤と、トリエチルアミン等の3級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニルホスフィン等のリン化合物、金属の有機酸塩および無機酸塩、キレート化合物等の反応触媒の共存下で、80~130℃程度で行うことができる。また、他の態様として、カルボキシル基と共に、またはカルボキシル基に代えて、上記他の酸基と反応させてもよい。
カルボキシル基等の酸基と反応し得る官能基としては、グリシジル基、オキサゾリニル基、イソシアネート基、およびオキセタニル基及びカチオン重合性ビニルエーテル基よりなる群から選択されることが好ましい。また、エポキシ基と反応し得る官能基としては、上記したカルボキシル基等の酸基が挙げられる。ラジカル重合性炭素-炭素二重結合は(メタ)アクリロイル基であることが好ましい。
グリシジル基を有する単量体の具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、α-エチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(例えば、ダイセル化学工業社製の「サイクロマーA400」等)、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(例えば、ダイセル化学工業社製の「サイクロマーM100」等)、o-(またはm-、またはp-)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基と炭素-炭素二重結合とを有する化合物等が挙げられる。
オキサゾリニル基を有する単量体の具体例としては、N-ビニルオキサゾリン、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン等が挙げられる。
イソシアネート基を有する単量体の具体例としては、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、(メタ)アクリロイルオキシエトキシエチルイソシアネート、ビス(アクリロキシメチル)エチルイソシアネートあるいはこれらの変性体等が挙げられる。より具体的には、「カレンズMOI」(メタクリロイルオキシエチルイソシアネート)、「カレンズAOI」(アクリロイルオキシエトキシエチルイソシアネート)、「カレンズMOI-EG」(メタクリロイルオキシエトキシエチルイソシアネート)、「カレンズMOI-BM」(カレンズMOIのイソシアネートブロック体)、「カレンズMOIBP」(カレンズMOIのイソシアネートブロック体)、「カレンズBEI」(ビス(アクリロキシメチル)エチルイソシアネート)が、昭和電工社から市販されている。なお、これらの商品名は、いずれも登録商標である。
オキセタニル基を有する単量体の具体例としては、3-(メタ)アクリロイルオキシメチルオキセタン、3-エチル-3-(メタ)アクリロイルオキシメチルオキセタン等が挙げられる。
カチオン重合性ビニルエーテル基を有する単量体の具体例としては、(メタ)アクリル酸2-ビニロキシエトキシエチル等のビニルエーテル基と炭素-炭素二重結合とを有する化合物等が挙げられる。
カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G1)として、上記単量体のうち1種または2種以上を用いることができる。これらの中でも反応性や工業的入手性の観点から、グリシジル(メタ)アクリレートや3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートが好ましい。上記単量体G1としては、特に好ましくは、グリシジルメタクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートである。
エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G2)の具体例としては、上記単量体B1が挙げられる。上記単量体B1のうち1種または2種以上を用いることができる。上記単量体G2としては、(メタ)アクリル酸が好ましい。
本発明のラジカル重合性重合体においては、二重結合当量が600~4000g/当量になるように、ラジカル重合性炭素-炭素二重結合導入反応を行うことが好ましい。二重結合当量は光硬化性や硬化物の物性に関連しており、上記範囲にすることで、耐熱性や強度、可撓性等の物性に優れた硬化物を与えることができる。また、光硬化性とアルカリ現像性が両立するバランスの採れた感光性樹脂が得られる。二重結合当量のより好ましい範囲は、700~3000g/当量であり、さらに好ましくは800~2500g/当量である。
上記のようにして得られるラジカル重合性重合体の酸価は、30mgKOH/g以上が好ましく、40mgKOH/g以上がより好ましく、50mgKOH/g以上がさらに好ましく、また160mgKOH/g以下が好ましく、155mgKOH/g以下がより好ましく、150mgKOH/g以下がさらに好ましい。ラジカル重合性重合体の酸価が30mgKOH/g以上とすることで、良好なアルカリ現像性を発現しやすくなる。ラジカル重合性重合体の酸価が160mgKOH/g以下であれば、アルカリ現像液によって露光部分が侵食されにくくなり、また硬化物の耐水性や耐湿性が向上する。
上記単量体Gとして単量体G1を使用する場合の使用量は、ラジカル重合性炭素-炭素二重結合導入反応を行う前の重合体(ベースポリマー)が有するカルボキシル基1当量に対し0.01~0.99当量の範囲で、かつ、得られるラジカル重合性重合体の二重結合当量と酸価が上記好適範囲になるように決定することが好ましい。
上記単量体Gとして単量体G2を使用する場合の使用量は、ラジカル重合性炭素-炭素二重結合導入反応を行う前の重合体(ベースポリマー)が有するエポキシ基1当量に対し0.8~1.1当量の範囲で、かつ、エポキシ基との反応により生成した水酸基への多塩基酸無水物の付加反応によって得られるラジカル重合性重合体の二重結合当量と酸価が上記好適範囲になるように決定することが好ましい。0.8以上とすることによりエポキシ基の残存量が低減できることで得られるラジカル重合性重合体の保存安定性が高まり、一方、1.1以下とすることにより未反応で残存する単量体G2の量が低減され、硬化物の特性低下を引き起こすことが抑えられる。
なお、本発明のラジカル重合性重合体のMwの好適範囲は、上記ラジカル重合性炭素-炭素二重結合導入反応前の重合体のMwの好適範囲と同様である。
本発明のラジカル重合性重合体は、カルボキシル基等の酸基とラジカル重合性基(好ましくはラジカル重合性炭素-炭素二重結合)との両方を有していることから、単独でもアルカリ可溶性感光性樹脂とすることもできる。特に、ネガ型のアルカリ可溶性感光性樹脂として好適に用いることができる。
本発明のラジカル重合性重合体において、ベースポリマーに由来する構成単位は、例えば、下記の一般式(5)で表されることが好ましい。ただし、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。
Figure 0007015651000011
上記一般式(5)において、R、R、Xならびにa、cは上記一般式(4)で示したのと同様であり、b、bは任意の自然数である。上記一般式(5)におけるb1とbの合計値は上記一般式(4)におけるbと等しい値である。また、*において、後述のカルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G1)に由来する構成単位と結合している。
本発明のラジカル重合性重合体において、カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G1)に由来する構成単位としては、例えば、下記一般式(6)で表される構成単位が挙げられる。ここで、下記一般式(6)の*において、上記一般式(5)のベースポリマーに由来する構成単位における*の位置と結合している。Xは、水素原子またはメチル基を表す。
Figure 0007015651000012
上記一般式(6)中のZとしては、例えば、下記の一般式(61)または(62)で表される構成単位が挙げられる。中でも下記の一般式(61)で表される構成単位が好ましい。ここで、下記の一般式(61)、(62)中の*において上記一般式(5)のベースポリマーに由来する構成単位における*の位置と結合しており、*は一般式(6)中の酸素原子と結合している位置である。
Figure 0007015651000013
Figure 0007015651000014
本発明のラジカル重合性重合体としては、下記一般式(7)で表される重合体が好ましい。
Figure 0007015651000015
上記一般式(7)において、R、R、X、Zならびにa、b、b、cは上記一般式(5)ならびに(6)で示したのと同様であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。
2.ラジカル重合性重合体の製造方法
本発明のラジカル重合性重合体の製造方法は、マレイミド系単量体(単量体A)、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体(単量体B)、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体を必須として含有する単量体(単量体C)成分を反応させてベースポリマーを得る工程と、
上記ベースポリマーが有するカルボキシル基またはエポキシ基に対して、上記カルボキシル基または上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G)を反応させてラジカル重合性重合体を得る工程と、
を含んでいる。
本発明のラジカル重合性重合体の製造方法では、上記単量体Bがエポキシ基を有する単量体(単量体B2)であり、上記単量体Gが上記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体(単量体G2)である場合には、さらに酸基を導入する工程を含んでいてもよい。
これらの工程の詳細は、上述の通りである。
3.樹脂組成物
本発明においては、ラジカル重合性重合体と公知のラジカル重合性化合物とを含有する樹脂組成物とすることで、熱や光反応を経て架橋構造を有する塗膜が得られることとなる。このようなラジカル重合性化合物には、ラジカル重合性樹脂とラジカル重合性モノマーとがある。
ラジカル重合性樹脂としては、不飽和ポリエステル、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート等が使用できる。これらのラジカル重合性樹脂を用いる場合、本発明のラジカル重合性重合体100質量部に対し、ラジカル重合性樹脂を80質量部以下で使用することが好ましい。より好ましい上限値は70質量部、さらに好ましい上限値は60質量部である。
ラジカル重合性モノマーとしては、単官能モノマー(ラジカル重合性二重結合が1個)と多官能モノマー(ラジカル重合性二重結合が2個以上)のいずれも使用可能である。ラジカル重合性モノマーは重合に関与するため、得られる硬化物の特性を改善する上に、樹脂組成物の粘度を調整することもできる。ラジカル重合性モノマーを使用する場合の好ましい使用量は、本発明のラジカル重合性重合体100質量部に対し、300質量部以下、より好ましくは100質量部以下である。好ましい下限値としては、ラジカル重合性重合体100質量部に対し1質量部、より好ましくは5質量部である。
ラジカル重合性モノマーの具体例としては、N-フェニルマレイミド、N-(2-メチルフェニル)マレイミド、N-(4-メチルフェニル)マレイミド、N-(2,6-ジエチルフェニル)マレイミド、N-(2-クロロフェニル)マレイミド、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-フェニルメチルマレイミド、N-(2,4,6-トリブロモフェニル)マレイミド、N-[3-(トリエトキシシリル)プロピル]マレイミド、N-オクタデセニルマレイミド、N-ドデセニルマレイミド、N-(2-メトキシフェニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)マレイミド、N-(1-ヒドロキシフェニル)マレイミド等のN-置換マレイミド基含有単量体;スチレン、α-メチルスチレン、α-クロロスチレン、ビニルトルエン、p-ヒドロキシスチレン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の芳香族ビニル系単量体;酢酸ビニル、アジピン酸ビニル等のビニルエステルモノマー;(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリス[2-(メタ)アクリロイルオキシエチル]トリアジン、デンドリチックアクリレート等の(メタ)アクリル系単量体;n-プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n-ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、n-ヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、2-エチルヘキシルビニルエーテル、4-ヒドロキシブチルビニルエーテル等の(ヒドロキシ)アルキルビニル(チオ)エーテル;(メタ)アクリル酸2-(ビニロキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2-(イソプロペノキシエトキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2-(イソプロペノキシエトキシエトキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2-(イソプロペノキシエトキシエトキシエトキシエトキシ)エチル等のラジカル重合性二重結合を有するビニル(チオ)エーテル;無水マレイン酸等の酸無水物基含有単量体あるいはこれをアルコール類、アミン類、水等により酸無水物基を開環変性した単量体;N-ビニルピロリドン、N-ビニルオキサゾリドン等のN-ビニル系単量体;アリルアルコール、トリアリルシアヌレート等、ラジカル重合可能な二重結合を1個以上有する化合物が挙げられる。
これらは、用途や要求特性に応じて適宜選択され、1種または2種以上を混合して用いることができる。
本発明のラジカル重合性重合体とラジカル重合性化合物とを含んでなる樹脂組成物は、ベンゾイルパーオキサイドやクメンハイドロパーオキサイド等の公知の熱重合開始剤を使用することにより熱重合も可能であるが、光重合開始剤を配合した感光性樹脂組成物とすることで、光によるラジカル重合が可能となる。特に、ネガ型の感光性樹脂組成物とすることができる。
光重合開始剤としては公知のものが使用でき、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、4-(1-t-ブチルジオキシ-1-メチルエチル)アセトフェノン等のアセトフェノン類;2-メチルアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2-クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4-(1-t-ブチルジオキシ-1-メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’-テトラキス(t-ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノ-プロパン-1-オンや2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。
これらの光重合開始剤は1種または2種以上の混合物として使用され、本発明のラジカル重合性重合体とラジカル重合性化合物との総量100質量部に対し、0.5~30質量部含まれていることが好ましい。光重合開始剤の量が0.5質量部より少ない場合には、光照射時間を増やさなければならなかったり、光照射を行っても重合が起こりにくかったりするため、適切な表面硬度が得られなくなる。なお、光重合開始剤を30質量部を越えて配合しても、多量に使用するメリットは少ない。
本発明の樹脂組成物には、さらに必要に応じて、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、着色用顔料、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤等の公知の添加剤を添加してもよい。また、各種強化繊維を補強用繊維として用い、繊維強化複合材料とすることができる。
本発明のラジカル重合性重合体とラジカル重合性化合物とを含んでなる樹脂組成物を画像形成用として使用する場合には、通常、基材に公知の方法で塗布・乾燥し、露光して硬化塗膜を得た後、未露光部分をアルカリ水溶液に溶解させてアルカリ現像を行う。
現像に使用可能なアルカリの具体例としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属化合物;水酸化カルシウム等のアルカリ土類金属化合物;アンモニア;モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノプロピルアミン、ジメチルプロピルアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラブチルアンモニウムハイドロオキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ポリエチレンイミン等の水溶性有機アミン類が挙げられ、これらの1種または2種以上を使用することができる。
本発明の樹脂組成物は、液状のものを直接基材に塗布する方法以外にも、予めポリエチレンテレフタレート等のフィルムに塗布して乾燥させたドライフィルムの形態で使用することもできる。この場合、ドライフィルムを基材に積層し、露光前または露光後にフィルムを剥離すればよい。
また、印刷製版分野で最近多用されているCTP(Computer To Plate)システム、すなわち、露光時にパターン形成用フィルムを使用せず、デジタル化されたデータによってレーザー光を直接塗膜上に走査・露光して描画する方法を採用することができる。
以下、実施例によって本発明をさらに詳述するが、下記実施例は本発明を制限するものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施することは全て本発明の技術的範囲に包含される。各例中、特に言及しない限り、部および%は質量基準である。なお、下記実施例において、物性の評価は次のようにして行なった。
以下の実施例において、各種物性等は以下のように測定した。
<酸価>
各溶液約0.3gを精秤し、アセトン/水混合溶媒に溶解し、0.1規定のKOH水溶液を滴定液として用いて、自動滴定装置(平沼産業社製)により酸価を測定した。
<重量平均分子量(Mw)>
ポリスチレンを標準物質とし、テトラヒドロフランを溶離液としてHLC-8220GPC(東ソー社製)によるGPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)法にて重量平均分子量を測定した。
<アルカリ溶解性>
表1に示す配合にて得た溶液をスピンコートにて銅板上に塗布し、80℃で30分乾燥させた後に室温まで冷却し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液に浸漬して塗膜の溶解性により評価した。
<光硬化性>
上記で得たアルカリ溶解性評価用試験板に2J/cmの光を照射した後、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液に浸漬して評価した。
<冷熱サイクル試験耐性(TCT耐性)>
光硬化性評価のときと同様に乾燥塗膜形成、光照射を行い、硬化物を得た。これを150℃で1時間加熱して試験基板とした。この試験基板を用いて、-65℃で15分、150℃で15分を1サイクルとして冷熱サイクル試験を行い、200サイクル後の外観を観察し、目視で評価した。
<密着性>
光硬化性評価のときと同様に乾燥塗膜形成、光照射を行い、硬化物を得た。これを150℃で1時間加熱し、さらに高温条件として230℃で1時間加熱して試験基板とした。この試験基板を用いて、セロハンテープ(ニチバン社製;品番「CT-24」)を、約20mm四方の貼着面となるよう手で貼り付け、すぐにまた手で剥がしたときの塗膜の残存状態を目視で評価した。
合成例1
ラジカル重合性重合体の合成
反応槽としての冷却管付きセパラブルフラスコに、カルビトールアセテート106部、イソプロパノール11.8部を仕込み、窒素置換した後、85℃に昇温した。他方、滴下槽1にN-フェニルマレイミドを40部、カルビトールアセテートを164部混合したもの、滴下槽2にスチレンを8.1部、アクリル酸を21.9部、メチル-(α-アリルオキシメチル)アクリレートを30部、イソプロパノールを18.2部、重合開始剤としてパーブチルO(商品名;日本油脂社製、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート)を3部混合したものをそれぞれ仕込んだ。反応温度を85℃に保ちながら、滴下槽1、2から3時間かけて滴下を行った。滴下終了後から更に85℃で30分、反応を継続した。その後、反応温度を115℃に昇温し、1.5時間反応を継続してラジカル重合性二重結合導入反応前の重合体溶液を得た。
次いで、この重合体溶液にグリシジルメタクリレートを9.9部、カルビトールアセテートを7.4部、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを0.7部、重合禁止剤としてアンテージW-400(川口化学工業社製)を0.2部加え、窒素と酸素との混合ガス(酸素濃度7%)をバブリングしながら115℃で反応させて本発明のラジカル重合性重合体溶液A-1を得た。
得られたラジカル重合性重合体溶液A-1について各種物性を測定したところ、重量平均分子量は13600、真空下160℃にて加熱乾燥させて得られた固形分濃度は28.9%、固形分当たりの酸価は122mgKOH/gであった。
合成例2
ラジカル重合性重合体の合成
反応槽としての冷却管付きセパラブルフラスコに、カルビトールアセテート117.8部を仕込み、窒素置換した後、100℃に昇温した。他方、滴下槽1にN-フェニルマレイミドを40部、カルビトールアセテートを160部混合したもの、滴下槽2にスチレンを5.1部、メタアクリル酸を24.9部、メチル-(α-アリルオキシメチル)アクリレートを30部、重合開始剤としてパーブチルOを3部混合したものをそれぞれ仕込んだ。反応温度を100℃に保ちながら、滴下槽1、2から3時間かけて滴下を行った。滴下終了後から更に100℃で30分、反応を継続した。その後、反応温度を115℃に昇温し、1.5時間反応を継続してラジカル重合性二重結合導入反応前の重合体溶液を得た。
次いで、この重合体溶液にグリシジルメタクリレートを8.3部、カルビトールアセテートを7.3部、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを0.7部、重合禁止剤としてアンテージW-400を0.2部加え、窒素と酸素との混合ガス(酸素濃度7%)をバブリングしながら115℃で反応させて本発明のラジカル重合性重合体溶液A-2を得た。
得られたラジカル重合性重合体溶液A-2について各種物性を測定したところ、重量平均分子量は10900、真空下160℃にて加熱乾燥させて得られた固形分濃度は26.8%、固形分当たりの酸価は125mgKOH/gであった。
合成例3
ラジカル重合性重合体の合成
反応槽としての冷却管付きセパラブルフラスコに、カルビトールアセテート117.8部を仕込み、窒素置換した後、90℃に昇温した。他方、滴下槽1にN-フェニルマレイミドを40部、カルビトールアセテートを160部混合したもの、滴下槽2にスチレンを5.1部、メタアクリル酸を24.9部、メチル-(α-アリルオキシメチル)アクリレートを30部、重合開始剤としてパーブチルOを3部混合したものをそれぞれ仕込んだ。反応温度を90℃に保ちながら、滴下槽1、2から3時間かけて滴下を行った。滴下終了後から更に90℃で30分、反応を継続した。その後、反応温度を115℃に昇温し、1.5時間反応を継続してラジカル重合性二重結合導入反応前の重合体溶液を得た。
次いで、この重合体溶液にグリシジルメタクリレートを8.3部、カルビトールアセテートを7.3部、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを0.7部、重合禁止剤としてアンテージW-400を0.2部加え、窒素と酸素との混合ガス(酸素濃度7%)をバブリングしながら115℃で反応させて本発明のラジカル重合性重合体溶液A-3を得た。
得られたラジカル重合性重合体溶液A-3について各種物性を測定したところ、重量平均分子量は18200、真空下160℃にて加熱乾燥させて得られた固形分濃度は26.9%、固形分当たりの酸価は122mgKOH/gであった。
合成例4
比較用ラジカル重合性重合体の合成
反応槽としての冷却管付きセパラブルフラスコに、カルビトールアセテート78.1部、イソプロパノール19.5部を仕込み、窒素置換した後、80℃に昇温した。他方、滴下槽1にN-フェニルマレイミドを40部、カルビトールアセテートを161.9部混合したもの、滴下槽2にスチレンを18部、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチルを20部混合したもの、滴下槽3にアクリル酸を22部、イソプロパノールを20部混合したもの、滴下槽4に重合開始剤としてルペロックス11(商品名;アルケマ吉富社製、t-ブチルパーオキシピバレートを70%含有する炭化水素溶液)を10部、イソプロパノールを20.5部混合したものをそれぞれ仕込んだ。反応温度を80℃に保ちながら、滴下槽1、2,4から3時間、滴下槽3から2.5時間かけて滴下を行った。滴下終了後から更に80℃で30分、反応を継続した。その後、反応温度を95℃に昇温し、1.5時間反応を継続してラジカル重合性二重結合導入反応前の重合体溶液を得た。
次いで、この重合体溶液にグリシジルメタクリレートを9.9部、カルビトールアセテートを7.4部、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを0.7部、重合禁止剤としてアンテージW-400を0.2部加え、窒素と酸素との混合ガス(酸素濃度7%)をバブリングしながら115℃で反応させて比較用のラジカル重合性重合体溶液B-1を得た。
得られたラジカル重合性重合体溶液B-1について各種物性を測定したところ、重量平均分子量は7800、真空下160℃にて加熱乾燥させて得られた固形分濃度は32.6%、固形分当たりの酸価は126mgKOH/gであった。
合成例5
比較用ラジカル重合性重合体の合成
反応槽としての冷却管付きセパラブルフラスコに、カルビトールアセテート106部、イソプロパノール11.8部を仕込み、窒素置換した後、85℃に昇温した。他方、滴下槽1にN-フェニルマレイミドを40部、カルビトールアセテートを164部混合したもの、滴下槽2にスチレンを15.1部、メタアクリル酸を24.9部、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチルを20部、イソプロパノールを18.2部、重合開始剤としてパーブチルOを3部混合したものをそれぞれ仕込んだ。反応温度を85℃に保ちながら、滴下槽1、2から3時間かけて滴下を行った。滴下終了後から更に85℃で30分、反応を継続した。その後、反応温度を115℃に昇温し、1.5時間反応を継続してラジカル重合性二重結合導入反応前の重合体溶液を得た。
次いで、この重合体溶液にグリシジルメタクリレートを8.3部、カルビトールアセテートを7.4部、反応触媒としてトリフェニルホスフィンを0.7部、重合禁止剤としてアンテージW-400(川口化学工業社製)を0.2部加え、窒素と酸素との混合ガス(酸素濃度7%)をバブリングしながら115℃で反応させて本発明のラジカル重合性重合体溶液B-2を得た。
得られたラジカル重合性重合体溶液B-2について各種物性を測定したところ、重量平均分子量は10800、真空下160℃にて加熱乾燥させて得られた固形分濃度は29.4%、固形分当たりの酸価は122mgKOH/gであった。
各溶液を用いて表1に示す配合物を調製し、上記した方法でアルカリ溶解性、光硬化性、TCT耐性、密着性について評価した。結果を合わせて表1に示す。
Figure 0007015651000016
表1中の用語は以下の通りである。
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
重合開始剤:イルガキュアー907(BASFジャパン社製光重合開始剤)
実施例1~3に示すように、本発明のラジカル重合性重合体溶液A-1~A-3を用いて得た樹脂組成物は、アルカリ溶解性、光硬化性、TCT耐性、密着性、いずれも良好であり、さらに脆さも発現しなかった。
一方、比較例1、2に示すように、比較用ラジカル重合性重合体溶液B-1、B-2を用いた樹脂組成物では、密着性に劣る結果となった。
本発明のラジカル重合性重合体、ならびに、該ラジカル重合性重合体とラジカル重合性化合物とを含んでなる樹脂組成物は微細加工に必須となるアルカリ可溶性、光硬化性を有していることから、感光性樹脂組成物として活用できる。
本発明のラジカル重合性重合体、ならびに、該ラジカル重合性重合体とラジカル重合性化合物とを含んでなる樹脂組成物は、優れた耐熱性を有しつつアルカリ可溶性、光硬化性を有し、さらには硬化塗膜とした場合、被塗物への密着性も良好なことから、アルカリ現像可能な画像形成用の感光性樹脂組成物の構成成分として、例えば、印刷製版、カラーフィルターの保護膜、カラーフィルター、ブラックマトリックス等の液晶表示板製造用等の各種の用途に好適に使用できる。

Claims (7)

  1. カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位と、前記カルボキシル基または前記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位と、を有し、酸基を有するラジカル重合性重合体(但し、3級炭素含有(メタ)アクリレート単量体由来の構成単位を含むものを除く)であって、
    前記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位は、マレイミド系単量体由来の構成単位と、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位と、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体由来の構成単位とを必須構成単位として含有し、
    前記マレイミド系単量体由来の構成単位は、下記一般式(1)
    Figure 0007015651000017
    [上記一般式(1)中、R は、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基である]
    で表され、
    前記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位100質量%中、前記マレイミド系単量体由来の構成単位10~60質量%、前記カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位21.9~50質量%、前記α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体由来の構成単位10~60質量%を必須構成単位として含有するラジカル重合性重合体と、
    ラジカル重合性化合物とを含んでなる、
    30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像可能な画像形成用感光性樹脂組成物。
  2. 前記カルボキシル基またはエポキシ基を有するベースポリマーに由来する構成単位が、カルボキシル基を有するベースポリマーに由来する構成単位であり、
    前記カルボキシル基または前記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位が、カルボキシル基と反応し得る官能基を有する単量体に由来する構成単位であり、
    前記カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体由来の構成単位が、不飽和カルボン酸単量体由来の構成単位である、
    請求項1に記載の樹脂組成物
  3. 前記不飽和カルボン酸単量体由来の構成単位が(メタ)アクリル酸由来の構成単位である、
    請求項に記載の樹脂組成物
  4. 前記ベースポリマーは、下記一般式(4)で表される重合体である、
    請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物
    Figure 0007015651000018
    [上記一般式(4)において、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基であり;Rは、水素原子または炭素数が1~30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり;Xは、水素原子またはメチル基を表し;a~cは任意の自然数である。また、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。]
  5. 前記ラジカル重合性重合体が、下記一般式(7)で表される重合体である、
    請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物
    Figure 0007015651000019
    [上記一般式(7)において、Rは、水素原子、炭素数1~13のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、ベンジル基、または炭素数3~6のシクロアルキル基であり;Rは、水素原子または炭素数が1~30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり;Xは、水素原子またはメチル基を表し;Zは、下記一般式(61)または(62)で表される構成単位{*は一般式(7)中のZと結合している酸素原子の内、主鎖に近い方の酸素原子と結合しており、*は一般式(7)中のZと結合している酸素原子の内、側鎖の末端に近い方の酸素原子と結合している}であり;a、b、b、cは任意の自然数(但し、b+b=b)であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の結合順序は任意であり、各繰り返し単位の間には任意の他の繰り返し単位が結合していてもよい。
    Figure 0007015651000020
    Figure 0007015651000021
  6. 請求項1~のいずれか1項に記載の樹脂組成物を硬化してなる硬化物。
  7. マレイミド系単量体10~60質量%、カルボキシル基またはエポキシ基を有する単量体21.9~50質量%、α-(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体10~60質量%を必須として含有する単量体成分100質量%を反応させてベースポリマーを得る工程と、
    前記ベースポリマーが有するカルボキシル基またはエポキシ基に対して、前記カルボキシル基または前記エポキシ基と反応し得る官能基を有する単量体を反応させてラジカル重合性重合体(但し、3級炭素含有(メタ)アクリレート単量体由来の構成単位を含むものを除く)を得る工程と、
    前記ラジカル重合性重合体にラジカル重合性化合物を配合する工程とを含む、請求項1~5の何れか1項に記載の画像形成用感光性樹脂組成物の製造方法であって、
    前記マレイミド系単量体は、N-フェニルマレイミド、N-(2-メチルフェニル)マレイミド、N-(4-メチルフェニル)マレイミド、N-(2,6-ジエチルフェニル)マレイミド、N-(2-クロロフェニル)マレイミド、N-メチルマレイミド、N-エチルマレイミド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド、N-ベンジルマレイミド、N-フェニルメチルマレイミド、N-(2,4,6-トリブロモフェニル)マレイミド、N-[3-(トリエトキシシリル)プロピル]マレイミド、N-オクタデセニルマレイミド、N-ドデセニルマレイミド、N-(2-メトキシフェニル)マレイミド、N-(2,4,6-トリクロロフェニル)マレイミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)マレイミドならびにN-(1-ヒドロキシフェニル)マレイミドの、N-置換マレイミド及び無置換マレイミドからなる群から選択された少なくとも1種である、
    画像形成用感光性樹脂組成物の製造方法。
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