JP7319889B2 - Sheet peeling device - Google Patents
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Description
本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a sheet peeling device for peeling a protective sheet attached to an adherend.
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板(以下、「被着体」という)の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。 In the semiconductor manufacturing field, there is a process of grinding the back surface of a semiconductor substrate such as a silicon wafer (hereinafter referred to as an "adherend") to make it thinner. It is attached to protect the device formed on the surface of the adherend.
被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、図6(a)に示すように、リングフレームrfに張設されたダイシングテープdtに被着体wをマウントし、被着体wに貼付された保護シートsの端部に接着テープtを接着し、被着体wを剥離テープtに対して相対的に移動させることにより、接着テープtに剥離力を作用させて保護シートsを被着体wから剥離する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 As a sheet peeling device for peeling off a protective sheet attached to an adherend, as shown in FIG. An adhesive tape t is adhered to the edge of the protective sheet s attached to w, and the adherend w is moved relative to the peeling tape t, thereby exerting a peeling force on the adhesive tape t to form the protective sheet. An apparatus for peeling s from an adherend w is known (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1記載の装置では、図6(b)、(c)に示すように、被着体wの外周部から保護シートsの剥離を開始させる、所謂、きっかけ剥離の際に、接着テープtが保護シートsを上方に引っ張って被着体wから剥離させると、被着体wの外周部が保護シートsに追従するように大きく跳ね上がることがあり、被着体wに割れ等のダメージを与える虞があった。
However, in the device described in
そこで、きっかけ剥離の際に、被着体にダメージを与えることなく保護シートの剥離を行うために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。 Therefore, there arises a technical problem to be solved in order to peel off the protective sheet without damaging the adherend during trigger peeling, and an object of the present invention is to solve this problem. do.
上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離テープを繰り出す繰出手段と、前記剥離テープを前記保護シートに貼付する貼付手段と、前記保護シートに貼付された前記剥離テープが横向き略U字状に折り返して形成される撓みを前記剥離テープと前記保護シートとで成す剥離角度が鋭角を維持した状態で略垂直方向に押え込む規制手段と、を備えている。 In order to achieve the above object, a sheet peeling device according to the present invention is a sheet peeling device that applies a peeling force to a protective sheet attached to an adherend via a peeling tape to peel the protective sheet. holding means for holding the adherend; feeding means for feeding the release tape; applying means for applying the release tape to the protective sheet; and a regulating means that presses the deflection formed by folding back in a substantially vertical direction while maintaining an acute peeling angle between the peeling tape and the protective sheet .
この構成によれば、規制手段が、剥離テープの撓みが略垂直方向に押え込まれることにより、きっかけ剥離の際に、被着体が保護シートに追従して跳ね上がることが抑制され、被着体にダメージを与えることなく保護シートを剥離することができる。 According to this configuration, the regulating means suppresses the deflection of the release tape in a substantially vertical direction, thereby suppressing the adherend from jumping up following the protective sheet during trigger peeling. The protective sheet can be peeled off without damaging the
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記規制手段は、前記剥離テープの撓みを規制する円弧状のガイド面を備えたローラーであることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the regulating means is a roller having an arcuate guide surface that regulates bending of the peeling tape.
この構成によれば、剥離テープが、円弧状のガイド面に撓みを規制されることにより、剥離テープの繰り出しがスムーズに行えるため、保護シートを円滑に剥離することができる。 According to this configuration, since the peeling tape is restrained from bending by the arc-shaped guide surface, the peeling tape can be fed out smoothly, so that the protective sheet can be peeled off smoothly.
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記ローラーは、前記ローラーを水平に支持する支持軸周りに回転自在に設けられていることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the roller is rotatably provided around a support shaft that horizontally supports the roller.
この構成によれば、剥離テープが、支持軸回りに回転するローラーに撓みを規制されることにより、剥離テープの繰り出しがさらにスムーズに行えるため、保護シートを円滑に剥離することができる。 According to this configuration, the peeling tape is restrained from bending by the roller that rotates around the support shaft, so that the peeling tape can be fed out more smoothly, so that the protective sheet can be peeled off smoothly.
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記ガイド面は、フッ素樹脂加工されていることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the guide surface is processed with fluororesin.
この構成によれば、剥離テープが、ガイド面に不用意に付着することなく撓みを規制されることにより、剥離テープの繰り出しがスムーズに行えるため、保護シートを円滑に剥離することができる。 According to this configuration, the peeling tape is prevented from accidentally adhering to the guide surface and its bending is regulated, so that the peeling tape can be fed out smoothly, so that the protective sheet can be peeled off smoothly.
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記ガイド面には、ローレット加工が施されていることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the guide surface is knurled.
この構成によれば、剥離テープが、ガイド面に不用意に付着することなく撓みを規制されることにより、剥離テープの繰り出しがスムーズに行えるため、保護シートを円滑に剥離することができる。 According to this configuration, the peeling tape is prevented from accidentally adhering to the guide surface and its bending is regulated, so that the peeling tape can be fed out smoothly, so that the protective sheet can be peeled off smoothly.
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記保持手段は、水平方向にスライド可能に設けられていることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the holding means is provided so as to be slidable in the horizontal direction.
この構成によれば、被着体が剥離テープに対して相対的移動するように保持手段が水平方向にスライド可能なことにより、剥離テープを介して保護シートに剥離力を付与することができる。 According to this configuration, the holding means can slide in the horizontal direction so that the adherend moves relative to the release tape, so that the release force can be applied to the protective sheet via the release tape.
また、本発明に係るシート剥離装置は、前記保持手段は、垂直方向にスライド可能に設けられていることが好ましい。 Further, in the sheet peeling device according to the present invention, it is preferable that the holding means is provided so as to be slidable in the vertical direction.
この構成によれば、被着体が規制手段に対して相対的移動するように保持手段が垂直方向にスライド可能なことにより、規制手段が規制する剥離テープの撓みの曲率半径を調整することができる。 According to this configuration, the holding means can slide in the vertical direction so that the adherend moves relative to the regulating means, so that the bending radius of the peeling tape regulated by the regulating means can be adjusted. can.
本発明は、規制手段が、剥離テープの撓みが略垂直方向に押え込まれることにより、きっかけ剥離の際に、被着体が保護シートに追従して跳ね上がることが抑制され、被着体にダメージを与えることなく保護シートを剥離することができる。 In the present invention, the restricting means suppresses the deflection of the release tape in a substantially vertical direction, thereby suppressing the adherend from following the protective sheet and jumping up during trigger peeling, thereby damaging the adherend. The protective sheet can be peeled off without giving
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。 An embodiment of the present invention will be described based on the drawings. In addition, hereinafter, when referring to the number, numerical value, amount, range, etc. of the constituent elements, unless otherwise specified or clearly limited to a specific number in principle, it is limited to the specific number It does not matter if it is more than or less than a certain number.
また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。 In addition, when referring to the shape and positional relationship of components, etc., unless otherwise specified or in principle clearly considered otherwise, etc. include.
また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。 In addition, the drawings may exaggerate characteristic parts by enlarging them in order to make the characteristics easier to understand.
図1は、シート剥離装置1の正面図である。図2は、シート剥離装置1の側面図である。シート剥離装置1は、被着体Wの裏面研削を行うにあたって被着体Wの表面を保護するために粘着された保護シートS(BGテープ)を剥離するものである。被着体Wは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。
FIG. 1 is a front view of the
被着体Wは、保護シートSを上面側にした状態でダイシングテープDTを介してリングフレームRFにマウントされたものである。ダイシングテープDTは、紫外線硬化テープ等である。 The adherend W is mounted on the ring frame RF via the dicing tape DT with the protective sheet S facing upward. The dicing tape DT is an ultraviolet curing tape or the like.
シート剥離装置1は、被着体Wを載置する保持テーブル2を備えている。保持テーブル2の上面側には、吸着面21が設けられている。
The
吸着面21は、図示しない真空源又は圧縮空気源に接続されている。真空源が起動すると、吸着面21に載置された被着体Wが吸着面21に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、被着体Wと吸着面21との吸着が解除される。 The adsorption surface 21 is connected to a vacuum source or compressed air source (not shown). When the vacuum source is activated, the adherend W placed on the adsorption surface 21 is adsorbed and held on the adsorption surface 21 . Further, when the compressed air source is activated, the adsorption between the adherend W and the adsorption surface 21 is released.
保持テーブル2は、図示しない移動手段を介して水平方向(図2の紙面左右方向)に移動可能に設けられている。 The holding table 2 is provided so as to be movable in the horizontal direction (horizontal direction of the paper surface of FIG. 2) via a moving means (not shown).
シート剥離装置1は、帯状の剥離テープTを繰り出し可能な繰出手段3を備えている。繰出手段3は、送りローラー31と、巻取ローラー32と、第1~第4のガイドローラー33~36と、押圧部材37と、を備えている。
The
送りローラー31は、帯状の剥離テープTを繰り出し可能に支持している。巻取ローラー32は、剥離テープTに繰出力を付与して巻き取る。第1~第4のガイドローラー33~36及び押圧部材37は、剥離テープTに張力を作用させるとともに剥離テープTの軌道を規制するように適当な位置に配置されている。
The
シート剥離装置1は、剥離テープTを保護シートSに貼着する貼付手段4を備えている。貼付手段4は、ヒートスタンプ41と、ヒートスタンプ41を上下に昇降させる図示しないシリンダと、を備えている。
The
シート剥離装置1は、規制手段としての規制ローラー5を備えている。規制ローラー5は、図3に示すように、保護シートSが剥離し始める位置(剥離開始位置)の略上方に約2~3mm程度離間して配置されている。規制ローラー5は、剥離テープTの繰出をスムーズに行えるように、図示しない略水平に取り付けられた支持軸回りに回転自在に設けられている。
The
規制ローラー5の表面(ガイド面51)には、剥離テープTが不用意に付着しないよう、例えば、ガイド面51をフッ素樹脂でコーティングしたり、ガイド面51にローレット加工を施すのが好ましい。これにより、剥離テープTの繰出をスムーズに行うことができる。
For example, the
なお、規制手段は、上述した形態に限定されるものではなく、例えば、滑りの良い円弧状のガイド面を備えた扇形柱を用いて、剥離テープTの撓みを押えこむように撓み方向を規制するものであっても構わない。 The regulating means is not limited to the form described above. For example, a fan-shaped column having an arc-shaped guide surface with good slippage is used to regulate the bending direction so as to suppress the bending of the peeling tape T. It doesn't matter if it's something.
また、ガイド面の滑りが良く、剥離テープTの繰出をスムーズに行えるのであれば、支持軸回りに回転不能に構成し、剥離テープTをガイド面51上で摺動させるように構成されても構わない。
Further, if the guide surface slides well and the release tape T can be fed out smoothly, the release tape T may be configured so as not to be rotatable around the support shaft so that the release tape T slides on the
次に、シート剥離装置1の動作について、図面に基づいて説明する。図4は、保護シートSを剥離する手順を示す図である。
Next, operation of the
まず、厚み約20μm、直径約400mmの被着体Wを保持テーブル2に吸着させた後に、図4(a)に示すように、ヒートスタンプ41の下方に被着体Wの外周部が配置されるように、保持テーブル2を移動させる。
First, after an adherend W having a thickness of about 20 μm and a diameter of about 400 mm is adsorbed on the holding table 2, the outer peripheral portion of the adherend W is placed below the
次に、図4(b)に示すように、シリンダを駆動してヒートスタンプ41を降下させ、ヒートスタンプ41が剥離テープTに接触して180℃のスタンプ温度で加熱・押圧することにより、剥離テープTと保護シートSの外周部とが溶着される。保護シートSのうち剥離テープTが溶着された位置が、保護シートSの剥離開始位置となる。
Next, as shown in FIG. 4(b), the cylinder is driven to lower the
次に、図4(c)に示すように、シリンダを駆動してヒートスタンプ41を上昇させた後に、図4(d)に示すように、剥離開始位置を規制ローラー5に接近させるように(図4(d)の紙面左側に向けて)、保持テーブル2を移動させる。規制ローラー5の長さは、被着体Wの直径より大きく、例えば400mmに設定される。剥離テープTは、剥離開始位置より保持テーブル2の進行方向の前方側に膨らむような側面から視て横向きの略U字状に撓む。
Next, as shown in FIG. 4C, the cylinder is driven to raise the
次に、図4(e)に示すように、保持テーブル2をさらに移動させると、規制ローラー5が、剥離テープTに接触して、規制ローラー5が、剥離テープTの撓みを略垂直方向に、換言すれば、剥離テープTと保護シートSとで成す角度(剥離角度Θ)が小さくなるように、規制ローラー5が、剥離テープTの撓みを押え込む。
Next, as shown in FIG. 4(e), when the holding table 2 is further moved, the
次に、図4(f)に示すように、保持テーブル2をさらに移動させると、剥離テープTに作用する張力によって、剥離テープTの撓みが略垂直方向に押し込まれたまま、保護シートSを被着体Wから剥離する剥離力が保護シートSに作用する。なお、保護シートSが剥離し始める際の保持テーブル2の移動速度は、例えば1mm/sに設定される。 Next, as shown in FIG. 4(f), when the holding table 2 is further moved, the tension acting on the peeling tape T removes the protective sheet S while the warping of the peeling tape T is pushed in a substantially vertical direction. A peeling force for peeling from the adherend W acts on the protective sheet S. As shown in FIG. The moving speed of the holding table 2 when the protective sheet S starts to peel off is set to 1 mm/s, for example.
ここで、保護シートSが被着体Wから剥離し始める、所謂、きっかけ剥離における保護シートSの挙動について、図5に基づいて具体的に説明する。 Here, the behavior of the protective sheet S when the protective sheet S begins to peel from the adherend W, that is, the behavior of the protective sheet S in so-called triggered peeling will be specifically described with reference to FIG. 5 .
まず、図5(a)に示すように、保護シートSの外周部が被着体Wから剥離する直前では、剥離テープTが規制ローラー5に接触することで下方に押え込まれるため、剥離テープTと保護シートSとで成す角度(剥離角度Θ)が小さい状態で撓んでいる。
First, as shown in FIG. 5(a), immediately before the outer peripheral portion of the protective sheet S is peeled off from the adherend W, the release tape T is pressed downward by coming into contact with the regulating
そして、保持テーブル2が移動すると、図5(b)、(c)に示すように、従来と比べて小さい剥離角度Θを維持したまま、保護シートSが被着体Wから剥離される。 Then, when the holding table 2 moves, the protective sheet S is peeled off from the adherend W while maintaining a peeling angle Θ smaller than that of the conventional one, as shown in FIGS. 5(b) and 5(c).
これにより、保護シートSに作用する剥離力の垂直方向成分が低減されて、被着体Wが保護シートSに追従して跳ね上がることが抑制され、被着体Wにダメージを与えることなく保護シートSを剥離することができる。 As a result, the vertical component of the peel force acting on the protective sheet S is reduced, the adherend W is suppressed from following the protective sheet S and jumping up, and the protective sheet does not damage the adherend W. S can be peeled off.
そして、図4(f)に示すように、被着体Wの外周部の保護シートSが完全に剥離した後には、保護シートS全面を剥離させる。なお、保持テーブル2の移動速度は、保護シートSが剥離する面積に応じて変更するのが好ましい。 Then, as shown in FIG. 4(f), after the protective sheet S on the outer peripheral portion of the adherend W is completely peeled off, the entire surface of the protective sheet S is peeled off. In addition, it is preferable to change the moving speed of the holding table 2 according to the area from which the protective sheet S is peeled off.
例えば、図4(e)に示すように、保護シートSの剥離当初は、保護シートSと被着体Wとの接着面積が狭く、被着体Wに作用する単位面積当たりの剥離力が大きくなりがちである。したがって、保持テーブル2の移動速度は、小さいのが好ましい。 For example, as shown in FIG. 4(e), when the protective sheet S is initially peeled off, the adhesion area between the protective sheet S and the adherend W is small, and the peeling force per unit area acting on the adherend W is large. tend to be Therefore, it is preferable that the moving speed of the holding table 2 is small.
一方、図4(f)に示すように、保護シートSの剥離がある程度進行した後には、保護シートSと被着体Wとの接着面積が広くなり、被着体Wに作用する単位面積当たりの剥離力は小さくなる。したがって、保持テーブル2の移動速度を加速させることができ、例えば4~5mm/sに設定される。 On the other hand, as shown in FIG. 4( f ), after the peeling of the protective sheet S progresses to some extent, the adhesion area between the protective sheet S and the adherend W increases, and per unit area acting on the adherend W The peeling force of becomes smaller. Therefore, the moving speed of the holding table 2 can be accelerated, and is set to 4 to 5 mm/s, for example.
このように、保持テーブル2の移動速度を適宜変更することにより、被着体Wを損傷することなく、保護シートSの剥離に要する時間を短縮することができる。 By appropriately changing the moving speed of the holding table 2 in this manner, the time required for peeling off the protective sheet S can be shortened without damaging the adherend W. FIG.
また、保持テーブル2を垂直方向にスライド可能に構成する等して、保持テーブル2と規制ローラー5との間隔を調整可能に構成されるのが好ましい。これにより、規制ローラー5と保持テーブル2との距離が調整でき、剥離テープTの材質、硬さ、脆さ等に応じて撓みの曲率半径を適宜変更することができる。例えば、剥離テープTの撓みの曲率半径が小さくなれば、保護シートSに作用する剥離力の垂直成分が低減されるため、きっかけ剥離の際の被着体Wの跳ね上がりを抑制することができる。
Moreover, it is preferable that the space between the holding table 2 and the regulating
このようにして、本実施形態に係るシート剥離装置1は、規制ローラー5が、剥離テープTの撓みが略垂直方向に押え込まれることにより、きっかけ剥離の際に、被着体Wが保護シートSに追従して跳ね上がることが抑制され、被着体Wにダメージを与えることなく保護シートSを剥離することができる。
In this manner, in the
また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。また、上述した実施形態及び各変形例は、互いに組み合わせても構わない。 In addition, the present invention can be modified in various ways without departing from the spirit of the present invention, and it is natural that the present invention extends to such modifications. Also, the above-described embodiments and modifications may be combined with each other.
1 ・・・シート剥離装置
2 ・・・保持テーブル
21 ・・・吸着面
3 ・・・繰出手段
31 ・・・送りローラー
32 ・・・巻取ローラー
37 ・・・押圧部材
4 ・・・貼付手段
41 ・・・ヒートスタンプ
5 ・・・規制ローラー
51 ・・・ガイド面
DT ・・・ダイシングテープ
RF ・・・リングフレーム
S ・・・保護シート
T ・・・剥離テープ
W ・・・被着体
Θ ・・・剥離角度
Claims (8)
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離テープを前記保護シートに貼付する貼付手段と、
前記保護シートに貼付された前記剥離テープが横向き略U字状に折り返して形成される撓みを前記剥離テープと前記保護シートとで成す剥離角度が鋭角を維持した状態で略垂直方向に押え込む規制手段と、
を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 A sheet peeling device for peeling a protective sheet attached to an adherend by applying a peeling force via a peeling tape to the protective sheet,
holding means for holding the adherend;
a feeding means for feeding the peeling tape;
an attaching means for attaching the release tape to the protective sheet;
A regulation in which the flexure formed by folding back the release tape attached to the protective sheet in a substantially U-shape in a horizontal direction is suppressed in a substantially vertical direction while maintaining an acute peeling angle between the release tape and the protective sheet. means and
A sheet peeling device comprising:
前記保持手段の移動速度は、前記保護シートの剥離進行中より前記保護シートが剥離し始める際が低速に設定されていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。 2. The sheet peeling device according to claim 1, wherein the moving speed of said holding means is set to be lower when said protective sheet starts peeling than when said protective sheet is being peeled off.
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