JP6316673B2 - Tape sticking device - Google Patents
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Description
本発明は、被貼着物に粘着性のテープを貼着する貼着装置に関する。 The present invention relates to a sticking apparatus for sticking an adhesive tape to an article to be stuck.
半導体ウェーハなどの被加工物は、その表面に、IC、LSI等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されており、研削によって所定の厚みに薄化された後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードで切断することにより個々のチップに分割している。 A workpiece such as a semiconductor wafer is formed on the surface by a plurality of devices such as ICs and LSIs divided by a predetermined division line, and after thinning to a predetermined thickness by grinding, Along with, for example, a cutting blade, it is divided into individual chips.
ウェーハを分割するときは、切削ブレードで切断された各チップが分散しないようにするため、中央に開口部を有しウェーハの直径より大きい内径のリングフレームの該開口部にウェーハを載置し、該表面の反対側の面とリングフレームとに粘着性のテープを貼着することによって、テープを介してリングフレームとウェーハとを一体に形成している。 When dividing the wafer, in order not to disperse each chip cut by the cutting blade, the wafer is placed in the opening of the ring frame having an opening at the center and an inner diameter larger than the diameter of the wafer, By sticking an adhesive tape to the surface opposite to the surface and the ring frame, the ring frame and the wafer are integrally formed via the tape.
ウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置としては、粘着性のテープとこれに貼り合わせられた剥離テープとからなるテープ体がロール状に巻回されたロールテープと、ロールテープからテープ体を引き出す複数のローラと、引き出されたテープ体をウェーハに対して押圧し剥離テープからテープを剥がしてテープをウェーハに貼着する押圧ローラとを少なくとも備えている(例えば下記の特許文献1−3を参照)。 As a tape sticking device for sticking a tape to a wafer, a tape body composed of an adhesive tape and a release tape attached to the tape is wound into a roll, and a tape body is formed from the roll tape. A plurality of rollers to be drawn out and at least a pressing roller that presses the drawn tape body against the wafer, peels the tape from the peeling tape, and sticks the tape to the wafer (for example, Patent Documents 1-3 below) reference).
このようなテープ貼着装置においては、ロールテープからテープ体を引き出して複数のローラを通過させて、テープをウェーハに貼着するときにテープ体にかかるテンションの調整を行い、テープ体に弛みが発生しないようにしている。 In such a tape sticking device, the tape body is pulled out from the roll tape and passed through a plurality of rollers, and the tension applied to the tape body is adjusted when the tape is stuck to the wafer, and the tape body is loosened. It does not occur.
また、ロールテープのテープ体を使い切ったら、新たなロールテープと交換しており、複数のローラ間に挟まって残存している古いテープ体の端辺と新たなロールテープのテープ体の端辺とを連結させることで、新たなロールテープからテープ体を引き出し複数のローラ間を通過させている。 Also, when the roll tape is used up, it is replaced with a new roll tape, and the end of the old tape remaining between the rollers and the end of the new roll tape By connecting the two, a tape body is pulled out from a new roll tape and passed between a plurality of rollers.
しかし、上記のようにテープ体を使い切ったロールテープを新たなロールテープに交換する際には、テープ貼着装置を一時停止しなくてはならず、製品の生産性が低いという問題がある。 However, when the roll tape that has used up the tape body as described above is replaced with a new roll tape, the tape applicator must be temporarily stopped, and there is a problem that the productivity of the product is low.
また、古いロールテープを新たなロールテープに交換した際、古いテープ体の端辺と新しいテープ体の端辺とを揃えて連結させることは容易ではないし、古いテープ体の端辺と新しいテープ体の端辺とを揃えずに両者の端辺を重ねてしまうと、その重なり部分が複数のローラの間を通過するときに障害となってしまうことがあり、テープ体にかかるテンションの調整も面倒となっている。 In addition, when an old roll tape is replaced with a new roll tape, it is not easy to align the end of the old tape body with the end of the new tape body and connect the end of the old tape body to the new tape body. If the edges of the two are overlapped without aligning with the edges of the tape, it may become an obstacle when the overlapping part passes between multiple rollers, and adjustment of the tension applied to the tape body is troublesome. It has become.
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、テープを使い切ったロールテープを新たなロールテープに交換する際に、その交換作業を容易かつ効率良く行うことを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to easily and efficiently perform a replacement operation when a roll tape that has been used up is replaced with a new roll tape.
本発明は、基材と該基材の一方の面に備える粘着層とにより構成されるテープと該テープの該粘着層を保護する保護フィルムとを重ねたテープセットがロール状に巻かれて構成されるロールテープから引き出される該テープセットを複数のローラの間を通過させるテープ通過手段を備え、複数のローラによって該テープセットを送り出すとともに、該保護フィルムから剥離された該テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置であって、該テープは、被貼着物の形状に対応して切断されており、該テープ通過手段は、該ロールテープが装着される少なくとも2つのシャフトと、2つの該シャフトにそれぞれ装着された該ロールテープのうち、いずれか一方の該ロールテープから引き出された該テープセットの端辺の両端を挟持する第1の挟持部と、少なくとも該第1の挟持部が該テープセットを挟持するテープ挟持位置と少なくとも該第1の挟持部が該テープセットを開放するテープ開放位置とに該第1の挟持部を位置づける回転機構と、該回転機構を2つの該シャフトをつなぐ直線方向に動作させることにより、該シャフトに応じた所定のテープ挟持位置に該1の挟持部を移動させるスライド機構と、該テープセットを挟持した該第1の挟持部を該回転機構が回転させることにより該テープ開放位置に該第1の挟持部を位置づけた時の該テープセットを挟む第1のローラユニットと、該テープ開放位置に位置づけられた該第1の挟持部が開放した該テープセットを引き継いで挟持する第2の挟持部と、該テープセットを挟持した該第2の挟持部を一直線方向に移動させ該ロールテープから該テープセットを引き出す引き出し機構と、該引き出し機構によって一直線方向に引き伸ばされた該第2の挟持部で挟持する該テープセットのうち少なくとも該保護フィルムを挟む第2のローラユニットと、該第1のローラユニットと該第2のローラユニットとの間に配設され該保護フィルムに接触させて該保護フィルムを鋭角に形成することにより該保護フィルムから該テープを剥離するピールプレートと、該ピールプレートによって剥離された該テープを押し付けて被貼着物に貼着する貼着ローラと、を備え、該第1の挟持部は、少なくとも2つの該ロールテープのいずれか一方を選択し該テープセットを挟持して引き出して使用することを特徴とする。 The present invention comprises a tape set in which a tape composed of a base material and an adhesive layer provided on one surface of the base material and a protective film for protecting the adhesive layer of the tape are rolled up in a roll shape A tape passing means for passing the tape set drawn from the rolled tape between a plurality of rollers, sending out the tape set by a plurality of rollers, and applying the tape peeled off from the protective film to an adherend A tape adhering device for adhering, wherein the tape is cut corresponding to the shape of an object to be adhered, and the tape passing means includes at least two shafts to which the roll tape is attached, and two 1st clamping which clamps the both ends of the edge side of this tape set pulled out from any one of this roll tape among the said roll tapes each mounted | worn to this shaft And a rotation mechanism that positions the first clamping part at least at a tape clamping position where the first clamping part clamps the tape set and at least a tape opening position where the first clamping part opens the tape set. The rotating mechanism is moved in a linear direction connecting the two shafts, thereby moving the one clamping portion to a predetermined tape clamping position corresponding to the shaft, and the first holding the tape set. A first roller unit that sandwiches the tape set when the first clamping unit is positioned at the tape release position by the rotation mechanism rotating the one clamping unit, and the tape unit positioned at the tape release position. A second clamping part that takes over and clamps the tape set opened by the first clamping part and the second clamping part that clamps the tape set are moved in a straight line direction to move the roll set. A pull-out mechanism for pulling out the tape set from the tape, a second roller unit for sandwiching at least the protective film of the tape set sandwiched by the second sandwiching portion stretched in a straight line by the pull-out mechanism, A peel plate which is disposed between one roller unit and the second roller unit and which makes contact with the protective film to form the protective film at an acute angle, thereby peeling the tape from the protective film; A sticking roller that presses the tape peeled off by the plate and sticks it to an article to be stuck, and the first clamping unit selects at least one of the two roll tapes and selects the tape set. It is characterized by being sandwiched and pulled out for use.
上記テープ貼着装置においては、テープの残量を認識するテープ残量認識部と、該テープ残量認識部の認識によって少なくとも2つの上記ロールテープのいずれか一方を選択する制御部と、を備えることが望ましい。 The tape sticking apparatus includes a tape remaining amount recognition unit that recognizes the remaining amount of tape and a control unit that selects at least one of the two roll tapes based on the recognition of the tape remaining amount recognition unit. It is desirable.
また、上記第1のローラユニットと、上記第2のローラユニットとは、少なくとも駆動ローラと、従動ローラと、該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近及び離間させる移動手段と、により構成され、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを離間させテープセット通過エリアを形成し、上記テープセットまたは上記保護フィルムを該テープセット通過エリアを通過させた後、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近させ該テープセットもまたは該保護フィルムを挟むことが望ましい。 The first roller unit and the second roller unit include at least a driving roller, a driven roller, and a moving unit that relatively moves the driving roller and the driven roller closer to and away from each other. The driving means and the driven roller are separated by the moving means to form a tape set passing area, and after the tape set or the protective film is passed through the tape set passing area, the driving means is used by the moving means. It is desirable that the roller and the driven roller are relatively close to each other and the tape set or the protective film is sandwiched therebetween.
本発明に係るテープ貼着装置は、少なくとも2つのシャフトを備えるテープ通過手段を備え、それぞれのシャフトにロールテープを装着可能としたため、一方のロールテープのテープセットがなくなったとしても、テープ貼着装置を停止することなく、他方のロールテープのテープセットを引き出して使用することができ、ロールテープの交換を効率良く行うことができ、生産性が向上する。
また、テープ通過手段は、2つのロールテープのいずれか一方を選択してテープセットを挟持する第1の挟持部と、第1の挟持部が挟持するテープセットを挟む第1のローラユニットと、第1の挟持部が挟持するテープセットを引き継いで挟持する第2の挟持部と、第2の挟持部が挟持するテープセットを挟む第2のローラユニットとを備えるため、一方のロールテープのテープセットを使いきった後、第1の挟持部によって他方のロールテープのテープセットを挟持して第1のローラユニットを通過させるときに、古いテープセットの端辺と新しいテープセットの端辺とを揃えて連結させることはないし、両者の端辺を重ねる必要もないことから、他方のロールテープから引き出した新たなテープセットを第1のローラユニットや第2のローラユニットを通過させる際に支障がなく、テープセットにかかるテンションも変わることがない。
The tape sticking apparatus according to the present invention includes a tape passing means including at least two shafts, and the roll tape can be attached to each shaft. Therefore, even if the tape set of one roll tape is lost, the tape sticking is performed. The tape set of the other roll tape can be pulled out and used without stopping the apparatus, the roll tape can be exchanged efficiently, and the productivity is improved.
The tape passing means includes a first clamping unit that selects one of the two roll tapes to clamp the tape set, and a first roller unit that sandwiches the tape set sandwiched by the first clamping unit, A tape for one of the roll tapes because it includes a second holding unit that takes over and holds the tape set held by the first holding unit and a second roller unit that holds the tape set held by the second holding unit. After the set is used up, when the first roll unit is clamped by the first clamping unit and passed through the first roller unit, the edge of the old tape set and the edge of the new tape set are Since there is no need to align and connect both ends, it is not necessary to overlap the ends of the two, so a new tape set drawn from the other roll tape can be used for the first roller unit and the second roller unit. There is no trouble when passing the La unit and will not change in the future also tension applied to the tape set.
上記テープ貼着装置は、ロールテープのテープセットの残量を認識するテープ残量認識部と、テープ残量認識部の認識に基づいてロールテープのいずれか一方を選択する制御部とを備えているため、ロールテープのいずれか一方を使いきったとしても、使用可能なロールテープを使用してテープを被貼着物に連続的に貼着することができる。
また、テープ貼着装置の稼働中は、ロールテープのいずれかを選択的に使用しているため、テープ貼着装置を停止することなく、新たなロールテープをテープ貼着装置に補充できる。
The tape sticking device includes a tape remaining amount recognition unit that recognizes a remaining amount of a tape set of a roll tape, and a control unit that selects one of the roll tapes based on the recognition of the tape remaining amount recognition unit. Therefore, even if either one of the roll tapes is used up, the tape can be continuously attached to the adherend using the usable roll tape.
Moreover, since one of the roll tapes is selectively used during operation of the tape applicator, a new roll tape can be replenished to the tape applicator without stopping the tape applicator.
上記第1のローラユニット及び上記第2のローラユニットは、移動手段によって駆動ローラと従動ローラとを離間させてテープセット通過エリアを形成した後、テープセットをテープセット通過エリアを通過させてから、移動手段により駆動ローラと従動ローラとを相対的に接近させてテープセットを挟みこむことができるため、テープセットを複数のローラ間に容易に通過させることができる。 After the first roller unit and the second roller unit are separated from the driving roller and the driven roller by the moving means to form the tape set passage area, the tape set is passed through the tape set passage area, Since the driving roller and the driven roller can be relatively moved closer to each other by the moving means, the tape set can be sandwiched between the plurality of rollers.
図1に示すテープ貼着装置1は、被貼着物にテープを貼着するテープ貼着装置の一例である。テープ貼着装置1には、ロール状にテープが巻回されたロールテープ2A,2Bの少なくとも2つが装着されている。ロールテープ2A,2Bを構成するテープは、図2に示すように、一方の面に粘着層を備えるテープ基材3に保護フィルム4を貼り合わせることで形成された2層構造のテープセット5からなる。テープ基材3は、被貼着物の形状に対応してプリカットされたテープ3aを複数有している。そして、このテープ3aを保護フィルム4から剥離して被貼着物に貼着する。
A tape sticking apparatus 1 shown in FIG. 1 is an example of a tape sticking apparatus that sticks a tape to an article to be stuck. The tape applicator 1 is equipped with at least two
図1に示すように、テープ貼着装置1は、上記のように構成されるロールテープ2A,2Bからテープセット5を引き出すとともに、複数のローラの間を通過させるテープ通過手段10と、ロールテープ2A,2Bの下方側にそれぞれ配設されたガイド21a,21bと、被貼着物を保持する保持テーブル22と、保持テーブル22を水平方向(X軸方向)移動させるテーブル移動手段26とを備えている。
As shown in FIG. 1, the tape sticking apparatus 1 includes a tape passing means 10 that pulls out the tape set 5 from the
保持テーブル22は、被貼着物を保持する保持面23を有しており、保持テーブル22の周囲には、被貼着物を支持するリング状のフレームを下方から支持するフレーム支持部24が配設されている。保持テーブル22及びフレーム支持部24は、支持台25によって下方から支持されている。
The holding table 22 has a
テーブル移動手段26は、X軸方向にのびるベース260と、ベース260の上をX軸方向に移動可能な移動基台261とを備えている。移動基台261には支持台25が配設されており、移動基台261がX軸方向に移動することにより、支持台25を介して保持テーブル22及びフレーム支持部24をX軸方向に移動させることができる。
The table moving means 26 includes a
テープ通過手段10は、ロールテープ2A,2Bを装着する少なくとも2つのシャフト11と、それぞれのシャフト11に装着されたロールテープ2A,2Bのうち、いずれか一方から引き出された図2に示すテープセット5を挟持する第1の挟持部12と、第1の挟持部12を回転させる回転機構13と、回転機構13とともに第1の挟持部12を2つのシャフト11をつなぐ直線方向(X軸方向)にスライド移動させるスライド機構14と、第1の挟持部12が挟持するテープセット5を挟む第1のローラユニット15と、第1の挟持部12から引き継いでテープセット5を挟持する第2の挟持部16と、テープセット5を挟持する第2の挟持部16を直線方向(X軸方向)に移動させてロールテープ2A,2Bからテープセット5を引き出す引き出し機構17と、引き出し機構17によって引き出されたテープセット5または図2に示す保護フィルム4を挟む第2のローラユニット18と、第1のローラユニット15と第2のローラユニット18との間に配設され保護フィルム4からテープ3aを剥離するピールプレート19と、ピールプレート19によって剥離されたテープ3aを送り出しながら押し付けて被貼着物Wに貼着する貼着ローラ20と、を備えている。2つのシャフト11の回転軸は平行であり、シャフトをつなぐ直線方向は、シャフトの回転軸に直交する方向である。
The tape passing means 10 includes at least two
2つのシャフト11は、例えば金属で形成されている。このシャフト11にロールテープ2A,2Bが巻かれている。なお、図1の例では、シャフト11の個数は、2つとなっているが、この個数には限定されない。
The two
第1の挟持部12は、支持部材120と、支持部材120の一端に形成された挟持部材121とにより少なくとも構成されている。第1の挟持部12は、挟持部材121によって図2に示したテープセット5の端辺の両端を挟持することが可能となっている。支持部材120の他端には回転機構13が連結されている。
The
回転機構13は、時計周り及び反時計周りに回転可能となっており、ロールテープ2A,2Bから引き出されたテープセット5を挟持するテープ挟持位置6a,6b(図3,図9を参照)と、少なくとも第1の挟持部12がテープセット5を開放するテープ開放位置7(図7を参照)とに位置づけることができる。テープ挟持位置6a,6bは、第1の挟持部12が、ロールテープ2A,2Bから引き出されガイド21a,21bによってガイドされたテープセット5を挟持できる位置を指す。テープ開放位置7は、第1の挟持部12によって挟持されたテープセット5を第2の挟持部16に引き渡すことができる位置を指す。
The
スライド機構14は、X軸方向にのびるベース部140と、ベース部140においてX軸方向にスライド移動可能な移動部141とにより構成されている。移動部141は、回転機構13を介して第1の挟持部12を支持している。そして、移動部141がベース部140においてX軸方向にスライド移動することにより、回転機構14とともに第1の挟持部12をX軸方向にスライド移動させることができる。
The
第1のローラユニット15は、少なくとも駆動ローラ150と、2つの従動ローラ151と、駆動ローラ150と従動ローラ151とを相対的に接近及び離間させる移動手段152とにより構成されている。移動手段152は、X軸方向にのびるガイドレール152aと、ガイドレール152aにおいて水平に移動可能な移動部152bとにより構成されている。移動部152bは、その先端部において2つの従動ローラ151を支持している。移動部152bがガイドレール152aに沿って移動することにより、駆動ローラ150と従動ローラ151とを相対的に接近及び離間させることができる。
The
第2の挟持部16は、上記した第1の挟持部12と同様に、支持部材160と、支持部材160の一端に形成された挟持部材161とにより少なくとも構成されている。第2の挟持部16は、上記したテープ開放位置7において、第1の挟持部12が挟持するテープセット5の端辺の両端を引き継いで挟持することができる。
Similar to the
引き出し機構17は、X軸方向にのびるベース部170と、ベース170部においてX軸方向に移動可能な移動部171とにより構成されている。移動部171には、第2の挟持部16が接続されている。移動部171が、ベース部170においてX軸方向に一直線に移動することで、テープセット5を挟持する第2の挟持部16を同方向に移動させ、ロールテープ2A,2Bからテープセット5を引き出すことができる。
The
第2のローラユニット18は、第2の挟持部16の移動経路(X軸方向)上に配設されており、第1のローラユニット15と同様の構成となっている。すなわち、第2のローラユニット18は、少なくとも駆動ローラ180と、2つの従動ローラ181と、駆動ローラ180と従動ローラ181を相対的に接近及び離間させる移動手段182とにより構成されている。移動手段182は、Z軸方向にのびるガイドレール182aと、ガイドレール182aにおいて水平に移動可能な移動部182bとにより構成されている。移動部182bは、その先端部において2つの従動ローラ181を支持している。移動部182bがガイドレール182aに沿って移動することにより、駆動ローラ180と従動ローラ181とを相対的に接近及び離間させることができる。
The
ピールプレート19は、貼着ローラ20に向けて先端側を傾けたアーム部190と、アーム部190の先端に接続された押圧部191とにより構成されている。押圧部191で図2に示したテープセット5のうち保護フィルム4を押圧して該保護フィルム4を鋭角に形成することにより、保護フィルム4からテープ3aを剥離することができる。
The
貼着ローラ20は、保持テーブル22の上方側に配設されており、回転しながらZ軸方向に昇降可能となっている。貼着ローラ20は、ピールプレート19によって図2に示した保護フィルム4から剥離されたテープ3aを、保持テーブル22に保持される被貼着物に対して押し付けて貼着することができる。貼着ローラ20には、エアー供給源33と、エアー供給源33からのエアーの圧力を調整し被貼着物にテープ3aを貼着する際にテープセット5にかかる圧力を調整する電空レギュレータ34が接続されている。
The sticking
図1に示すように、テープ貼着装置1は、ロールテープ2A,2Bにおけるテープセット5の残量を認識するテープ残量認識部30と、テープ貼着装置1の各種機構を制御する制御部31とを備えている。テープ残量認識部30は、金属を検知可能なセンサを少なくとも備えており、シャフト11を検知することにより、ロールテープ2A,2Bのテープセット5の残量を認識できる。制御部31は、メモリ及びCPUを少なくとも備えており、例えばテープ残量認識部30が認識した情報に基づいてロールテープ2A,2Bのうち、いずれか一方を選択するように第1の挟持部12、回転機構13及びスライド機構14を制御することができる。
As shown in FIG. 1, the tape sticking device 1 includes a tape remaining
2つのシャフト11には、シャフト11の回転時に発生する回転負荷を制御する回転負荷制御部32が接続されている。回転負荷制御部32は、例えば反転モータによって構成されている。回転負荷制御手段32は、ロールテープ2A,2Bからテープセット5を引き出す際に、シャフト11が回転する方向と逆方向に回転しようとする電流を制御してシャフト11にかかる負荷を調整することができる。
The two
次に、テープ貼着装置1の動作例について説明する。最初に、被貼着物Wを保持テーブル22の保持面23に載置するとともに、リング状のフレームFをフレーム支持部24に載置する。被貼着物Wは、板状ワークなどの被加工物の一例であり、特に材質等が限定されるものではない。図示しない吸引源を作動し、保持テーブル22の保持面23で板状ワークWを吸引保持する。
Next, an operation example of the tape sticking apparatus 1 will be described. First, the adherend W is placed on the holding
図3に示すように、ロールテープ2Aからテープセット5を例えば作業者が引き出してガイド21aに通す。続いてガイド21aから下方に突出したテープセット5を第1の挟持手段12によって挟持する。具体的には、回転機構13が、例えば矢印A1方向に回転し、第1の挟持部12の挟持部材121を挟持位置6aに位置づけるとともに、挟持部材121でテープセット5の端辺の両端を挟持する。
As shown in FIG. 3, for example, an operator pulls out the tape set 5 from the
次いで、テープセット5を挟持している挟持部材121を挟持位置6aから図4に示すテープ開放位置7に移動させる。ここで、図3に示す第1のローラユニット15は、少なくとも挟持部材121をテープ開放位置7に移動させる前に、移動手段152により従動ローラ151を駆動ローラ150から離反する方向(−X方向)に移動させ、駆動ローラ150と従動ローラ151との間にテープセット5が通過できる程度の第1のテープセット通過エリア8を形成する。
Next, the holding
図4に示すように、第1の挟持部12の挟持部材121をテープ開放位置7に移動させるときは、回転機構13が、例えば矢印A2方向に回転することにより、第1の挟持部12の挟持部材121で挟持しているテープセット5を第1のテープセット通過エリア8を通過させるとともに、テープセット5を駆動ローラ150に引っ掛けて、テープセット5を挟持している挟持部材121をテープ開放位置7に移動させる。
As shown in FIG. 4, when the clamping
その後、図5に示すように、移動手段152が作動することにより、移動部152bがガイドレール152aに沿って例えば矢印−X方向に移動し、2つの従動ローラ151を駆動ローラ150に接近させ、2つの従動ローラ151をテープセット5に接触させて駆動ローラ150と2つの従動ローラ151とによってテープセット5を挟み込む。そして、駆動ローラ150が所定の回転速度で回転するとともに、2つの従動ローラ151も駆動ローラ150の回転にともなって回転し、テープセット5を下方に送り出す。
Thereafter, as shown in FIG. 5, when the moving means 152 is operated, the moving
引き出し機構17の移動部171がベース171において例えば矢印+X方向に移動し、第2の挟持部16をテープ開放位置7に移動させる。第1の挟持部12がテープ開放位置7においてテープセット5を開放したら、第2の挟持部16の支持部材161でテープセット5の端辺の両端を引き継いで挟持する。この間に、第2のローラセット18は、移動手段182によって従動ローラ181を駆動ローラ180から離反する方向(−Z方向)に移動させ、駆動ローラ180と従動ローラ181との間に所定の第2のテープセット通過エリア9を形成する。なお、第2のテープセット通過エリア9は、少なくとも第2の挟持部16がテープセット5を挟持する前に形成しておく。
The moving
図6に示すように、引き出し機構17によって移動部171をベース170に沿って例えば矢印−X方向に一直線に移動させることにより、第2の挟持部16の挟持部材161で挟持しているテープセット5が第2のテープセット通過エリア9を通過する。
As shown in FIG. 6, the tape set that is clamped by the clamping
次いで、図7に示すように、移動手段182が作動することにより、移動部182bがガイドレール182aに沿って例えば矢印+Z方向に移動し、2つの従動ローラ181を駆動ローラ180に接近させ、2つの従動ローラ181をテープセット5に接触させて駆動ローラ180と2つの従動ローラ181とによってテープセット5を挟み込む。そして、駆動ローラ180が所定の回転速度で回転するとともに、2つの従動ローラ181が駆動ローラ180の駆動にともなって回転し、テープセット5をX軸方向に送り出すとともに、ロールテープ2Aからテープセット5を下方に引き出す。
Next, as shown in FIG. 7, when the moving means 182 is operated, the moving
ここで、ロールテープ2Aからテープセット5を引き出す際には、回転負荷制御部32によってシャフト11にかかる回転負荷を制御する。すなわち、シャフト11に装着されたロールテープ2Aの引き出し方向と逆方向にシャフト11を回転させてテープセット5を巻き戻す。これにより、ロールテープ2Aから引き出されて第1のローラユニット15及び第2のローラユニット18で挟まれたテープセット5に弛みが発生するのを防止できる。
Here, when the tape set 5 is pulled out from the roll tape 2 </ b> A, the rotational load applied to the
図7に示すピールプレート19は、アーム部190を下降させることにより、テープセット5のうち保護フィルム4を押圧部191で下方に向けて押圧して保護フィルム4を鋭角に形成する。そうすると、保護フィルム4からテープ3aが剥離し、貼着ローラ20の下方にテープ3aが送り込まれる。このとき、被貼着物Wを保持した保持テーブル22及びフレームFを支持したフレーム支持部24をテープセット5の下方側にあらかじめ移動させておく。テープ3aが剥離された保護フィルム4は、例えば図示しないリールに巻き取って再利用するようにしてもよい。また、例えば第2のローラユニット18の下側に回収ボックスを設置して保護フィルム4を回収するようにしてもよい。
The
貼着ローラ20を所定の回転速度で回転させながら、例えば矢印−Z方向に下降させることで、フレーム支持部24に支持されたフレームFの一方側からテープ3aを押し付ける。続いて、テーブル移動手段26によって保持テーブル22及びフレーム支持部24を例えば矢印+X方向に送り出していき、回転する貼着ローラ20で被貼着物W及びフレームFに対してテープ3aを押し付ける。電空レギュレータ34は、エアー供給源33からのエアーの圧力を調整して貼着ローラ20でテープ3aを押し付ける際の圧力を調整する。なお、被貼着物W及びフレームFにテープ3aを貼着する速度と第2のローラユニット18がテープセット5を引き出す速度とを同じにするため、貼着ローラ20と駆動ローラ180とを同一の回転速度で回転させることが望ましい。なお、貼着ローラ20は、保持テーブル22のX軸方向の送りによって従動して回転する構成にしてもよい。その場合は、保持テーブル22の送り速度と駆動ローラ180の回転速度とを連動させ、保持テーブル22の移動速度に応じて送り出されたテープ3aを貼着ローラ20が押し付けることができる。
The
貼着ローラ20でテープ3aを押し付けながら、図8に示すように、保持テーブル22及びフレーム支持部24を所定の位置まで移動させると、被貼着物WとフレームFとにテープ3aを貼着することができる。その後、テープ3aを介してフレームFと一体となった被貼着物Wは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして1枚の被貼着物Wに対するテープ3aの貼着動作が完了したら、順次新たな被貼着物Wを保持テーブル22に搬送して上記と同様にテープ3aの貼着動作を繰り返し行う。
As shown in FIG. 8, when the holding table 22 and the
ここで、ロールテープ2Aからテープセット5を継続して引き出すことにより、図9に示すように、シャフト11に装着されているロールテープ2Aのテープセット5が減少する。テープ残量認識部30が、ロールテープ2Aが装着されたシャフト11を検知すると、テープセット5の残量がなくなった旨の情報を制御部31に送る。
Here, by continuously pulling out the tape set 5 from the
制御部31は、テープ残量認識部30の情報に基づいて、ロールテープ2Aのテープセット5が完全になくなったと判断したら、ロールテープ2Aからテープセット5を引き出す作業を停止するとともに、テープセット5を十分に有するロールテープ2Bを選択して第1の挟持部12、回転機構13及びスライド機構14に対してロールテープ2Bからテープセット5を挟持して引き出すように制御する。なお、ロールテープ2Bの使用中に、使用済みのロールテープ2Aを新たなロールテープと交換することが望ましい。
When the
図9に示すように、ロールテープ2Bからテープセット5を例えば作業者によって引き出してガイド21bに通したら、ガイド21bから下方に突出したテープセット5を第1の挟持手段12によって挟持する。具体的には、スライド機構14によって第1の挟持部12をロールテープ2B側にスライド移動させる。次いで、回転機構13が、例えば矢印A1方向に回転し、第1の挟持部12の挟持部材121を挟持位置6bに位置づけるとともに、挟持部材121でテープセット5の端辺の両端を挟持する。
As shown in FIG. 9, when the tape set 5 is pulled out from the roll tape 2 </ b> B by, for example, an operator and passed through the
図10に示すように、テープセット5を挟持している挟持部材121を挟持位置6bからテープ開放位置7に移動させる。具体的には、スライド機構14によってテープセット5を挟持した第1の挟持部12を例えば矢印+X方向にスライド移動させる。続いて回転機構13が、例えば矢印A2方向に回転することにより、第1の挟持部12の挟持部材121で挟持しているテープセット5が第1のテープセット通過エリア8を通過するとともに、テープセット5を駆動ローラ150に引っ掛けて、テープセット5を挟持している挟持部材121をテープ開放位置7に移動させる。その後は、図5〜8で示した上記同様の動作を行い、被貼着物Wにテープ3aを貼着する。
As shown in FIG. 10, the holding
実施形態に示すテープ貼着装置1では、反転モータにより構成される上記回転負荷制御部32に代えて、例えば図11に示す回転負荷制御部40を用いてシャフト11にかかる回転負荷を制御してもよい。回転負荷制御部40は、エアー供給源41と、エアーの圧力を調整する電空レギュレータ42と、シャフト11にブレーキをかけるエアーブレーキユニット43とにより構成されている。回転負荷制御部40では、エアーブレーキユニット43を用いて回転するシャフト11にブレーキをかけつつ、シャフト11にかかる回転負荷を制御することができる。
In the tape sticking apparatus 1 shown in the embodiment, instead of the rotational
以上のとおり、本発明のテープ貼着装置1では、少なくとも2つのシャフト11を備えるテープ通過手段10を備え、それぞれのシャフト11にロールテープ2A,2Bを装着可能としたため、例えば一方のシャフト11に装着されたロールテープ2Aのテープセット5を全て引き出して使いきっても、他方のシャフト11に装着されたロールテープ2Bのテープセット5を引き出して使用できることから、ロールテープの交換のためにテープ貼着装置1を停止する必要がない。
テープ通過手段10は、ロールテープ2A,2Bのいずれか一方を選択してテープセット5を挟持する第1の挟持部12と、第1の挟持部12が挟持するテープセット5を挟む第1のローラユニット15とを備え、第1の挟持部12の挟持部材121が、ロールテープ2A,2Bを選択的にテープセット5の端辺を挟持して引き出すようにしたため、ロールテープ2A,2Bの一方を使いきった後、他方のロールテープ2A,2Bを使用する際に、古いテープセット5の端辺と新しいテープセット5の端辺とを揃えて連結させる作業も両者の端辺を重ねることもないから、他方のロールテープ2A,2Bから新たに引き出したテープセット5を容易に第1のローラユニット15を通過させることができる。
As described above, in the tape adhering device 1 of the present invention, the tape passing means 10 including at least two
The tape passing means 10 selects either one of the
テープ貼着装置1では、テープ残量認識部30がロールテープ2A,2Bの残量を認識し、その認識に基づき制御部31が使用可能なロールテープ2A,2Bのいずれか一方を選択するため、仮にロールテープ2A,2Bの一方を使いきったとしても、使用可能なロールテープ2Aまたは2Bを使用して連続的にテープ3aを被貼着物Wに貼着することが可能となる。
また、テープ貼着装置1の稼働中は、ロールテープ2A,2Bのいずれか一方を選択的に使用しているため、テープ貼着装置1を停止することなく、新たなロールテープをテープ貼着装置1に補充することができる。
In the tape sticking apparatus 1, the tape remaining
Moreover, since either one of the
1:テープ貼着装置 2A,2B:ロールテープ 3:テープ基材 3a:テープ
4:保護フィルム 5:テープセット 6a,6b:テープ挟持位置
7:テープ開放位置 8:第1のテープセット通過エリア
9:第2のテープセット通過エリア 10:テープ通過手段 11:シャフト
12:第1の挟持部 120:支持部材 121:挟持部材
13:回転機構 14:スライド機構 140:ベース 141:移動部
15:第1のローラユニット 150:駆動ローラ 151:従動ローラ
152:移動手段 152a:ガイドレール 152b:移動部
16:第2の挟持部 160:支持部材 161:挟持部材
17:引き出し機構 170:ベース 171:移動部
18:第2のローラユニット 180:駆動ローラ 181:従動ローラ
182:移動手段 182a:ガイドレール 182b:移動部
19:ピールプレート 190:アーム部 191:押圧部
20:貼着ローラ
21a,21b:ガイド 22:保持テーブル 23:保持面
24:フレーム支持部 25:支持台
26:テーブル移動手段 260:ベース 261:移動基台
30:テープ残量認識部 31:制御部 32:回転負荷制御部
33:エアー供給源 34:電空レギュレータ
40:回転負荷制御部 41:エアー供給源 42:電空レギュレータ
43:エアーブレーキユニット
1: Tape sticking device 2A, 2B: Roll tape 3: Tape base material 3a: Tape 4: Protection film 5: Tape set 6a, 6b: Tape clamping position 7: Tape release position 8: First tape set passage area 9 : Second tape set passage area 10: Tape passage means 11: Shaft 12: First sandwiching portion 120: Support member 121: Holding member 13: Rotating mechanism 14: Slide mechanism 140: Base 141: Moving portion 15: First Roller unit 150: driving roller 151: driven roller 152: moving means 152a: guide rail 152b: moving part 16: second holding part 160: support member 161: holding member 17: drawer mechanism 170: base 171: moving part 18 : Second roller unit 180: driving roller 181: driven roller 182: moving means 182a Guide rail 182b: moving part 19: peel plate 190: arm part 191: pressing part 20: sticking rollers 21a, 21b: guide 22: holding table 23: holding surface 24: frame support part 25: support base 26: table moving means 260: Base 261: Moving base 30: Remaining tape recognition unit 31: Control unit 32: Rotation load control unit 33: Air supply source 34: Electro-pneumatic regulator 40: Rotation load control unit 41: Air supply source 42: Electro-pneumatic Regulator 43: Air brake unit
Claims (3)
該テープは、被貼着物の形状に対応して切断されており、
該テープ通過手段は、該ロールテープが装着される少なくとも2つのシャフトと、
2つの該シャフトにそれぞれ装着された該ロールテープのうち、いずれか一方の該ロールテープから引き出された該テープセットの端辺の両端を挟持する第1の挟持部と、
少なくとも該第1の挟持部が該テープセットを挟持するテープ挟持位置と少なくとも該第1の挟持部が該テープセットを開放するテープ開放位置とに該第1の挟持部を位置づける回転機構と、
該回転機構を2つの該シャフトをつなぐ直線方向に動作させることにより、該シャフトに応じた所定のテープ挟持位置に該1の挟持部を移動させるスライド機構と、
該テープセットを挟持した該第1の挟持部を該回転機構が回転させることにより該テープ開放位置に該第1の挟持部を位置づけた時の該テープセットを挟む第1のローラユニットと、
該テープ開放位置に位置づけられた該第1の挟持部が開放した該テープセットを引き継いで挟持する第2の挟持部と、
該テープセットを挟持した該第2の挟持部を一直線方向に移動させ該ロールテープから該テープセットを引き出す引き出し機構と、
該引き出し機構によって一直線方向に引き伸ばされた該第2の挟持部で挟持する該テープセットのうち少なくとも該保護フィルムを挟む第2のローラユニットと、
該第1のローラユニットと該第2のローラユニットとの間に配設され該保護フィルムに接触させて該保護フィルムを鋭角に形成することにより該保護フィルムから該テープを剥離するピールプレートと、
該ピールプレートによって剥離された該テープを押し付けて被貼着物に貼着する貼着ローラと、を備え、
該第1の挟持部は、少なくとも2つの該ロールテープのいずれか一方を選択し該テープセットを挟持して引き出して使用することを特徴とするテープ貼着装置。 A roll tape formed by winding a tape set in which a tape constituted by a base material and an adhesive layer provided on one surface of the base material and a protective film for protecting the adhesive layer of the tape is wound in a roll shape A tape having tape passing means for passing the tape set drawn out from the plurality of rollers, sending out the tape set by a plurality of rollers, and sticking the tape peeled off from the protective film to an adherend A sticking device,
The tape is cut corresponding to the shape of the object to be adhered,
The tape passing means includes at least two shafts to which the roll tape is attached;
A first clamping unit that clamps both ends of the end of the tape set drawn out of any one of the roll tapes mounted on the two shafts;
A rotation mechanism that positions the first clamping part at a tape clamping position where at least the first clamping part clamps the tape set and at least a tape opening position where the first clamping part opens the tape set;
A slide mechanism for moving the one clamping portion to a predetermined tape clamping position corresponding to the shaft by operating the rotation mechanism in a linear direction connecting the two shafts;
A first roller unit that sandwiches the tape set when the first clamping unit is positioned at the tape release position by rotating the first clamping unit sandwiching the tape set by the rotation mechanism;
A second clamping unit that takes over and clamps the tape set opened by the first clamping unit positioned at the tape release position;
A drawer mechanism for moving the second clamping part that sandwiched the tape set in a straight line direction and pulling out the tape set from the roll tape;
A second roller unit for sandwiching at least the protective film in the tape set sandwiched by the second sandwiching portion stretched in a straight line direction by the drawer mechanism;
A peel plate that is disposed between the first roller unit and the second roller unit and that contacts the protective film to form the protective film at an acute angle to peel the tape from the protective film;
A sticking roller that presses the tape peeled off by the peel plate and sticks it to an adherend, and
The tape attaching apparatus, wherein the first holding unit selects one of at least two roll tapes, and uses the tape set by holding the tape set.
該テープ残量認識部の認識に基づき少なくとも2つの前記ロールテープからいずれか一方を選択する制御部と、を備える請求項1記載のテープ貼着装置。 A tape remaining amount recognition unit for recognizing the remaining amount of tape;
The tape sticking apparatus according to claim 1, further comprising: a control unit that selects one of at least two roll tapes based on recognition of the remaining tape amount recognition unit.
該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを離間させテープセット通過エリアを形成し、前記テープセットまたは前記保護フィルムを該テープセット通過エリアを通過させた後、該移動手段によって該駆動ローラと該従動ローラとを相対的に接近させ該テープセットまたは該保護フィルムを挟むことを特徴とする請求項1または2記載のテープ貼着装置。 The first roller unit and the second roller unit are constituted by at least a driving roller, a driven roller, and a moving means for relatively approaching and separating the driving roller and the driven roller,
The driving means and the driven roller are separated by the moving means to form a tape set passing area, and after the tape set or the protective film is passed through the tape set passing area, the moving means The tape sticking apparatus according to claim 1 or 2, wherein the driven roller is relatively approached to sandwich the tape set or the protective film.
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