JP7319106B2 - 格子部品およびその製造方法 - Google Patents
格子部品およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7319106B2 JP7319106B2 JP2019120812A JP2019120812A JP7319106B2 JP 7319106 B2 JP7319106 B2 JP 7319106B2 JP 2019120812 A JP2019120812 A JP 2019120812A JP 2019120812 A JP2019120812 A JP 2019120812A JP 7319106 B2 JP7319106 B2 JP 7319106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical grating
- main surface
- grating
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 237
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 72
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 60
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 black plating Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
- G02B5/1819—Plural gratings positioned on the same surface, e.g. array of gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4272—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having plural diffractive elements positioned sequentially along the optical path
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4272—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having plural diffractive elements positioned sequentially along the optical path
- G02B27/4277—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having plural diffractive elements positioned sequentially along the optical path being separated by an air space
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B2005/1804—Transmission gratings
Description
図6は、第2実施形態に係る検出器130aの断面図である。図6で例示するように、検出器130aが図5(b)の検出器130と異なる点は、第1基板10の第2主面と第2基板20の第2主面との間に、スペーサ基板30が挟まれている点である。スペーサ基板30は、透明基板であり、例えば、合成石英やアルカリ可動イオンを含有したガラスなどを材料とする。
図7は、第3実施形態に係る検出器130bの断面図である。図7で例示するように、検出器130bが図5(b)の検出器130と異なる点は、第1基板10の第2主面と第2基板20の第2主面との間に、キャビティ40が設けられている点である。例えば、第1基板10の第2主面の周縁部と第2基板20の第2主面の周縁部との間にスペーサ50を設けることで、第1基板10の第2主面の周縁部以外の領域と、第2基板20の第2主面の周縁部以外の領域との間に、キャビティ40を設けることができる。スペーサ50は、透明部材としては合成石英やアルカリ可動イオンを含有したガラスなどを材料とする。または、キャビティ40が光路となっているため、不透明部材としてSi等をスペーサ50に用いることができる。
図8は、第4実施形態に係る検出器130cの断面図である。検出器130cが図7の検出器130bと異なる点は、スペーサ50の位置である。図8で例示するように、光路の障害にならなければ、周縁部以外の領域にスペーサ50を設けてもよい。例えば、第1基板10の第2主面の中央部と第2基板20の第2主面の中央部との間に、スペーサ50をさらに設けてもよい。この構成では、強度を向上させることができる。
図9は、第5実施形態に係る検出器130dの断面図である。図9で例示するように、検出器130dが図5(b)の検出器130と異なる点は、第1基板10の第2主面と第2基板20の第2主面との接合面の一部に、光反射膜または光吸収膜として機能する薄膜60が備わっている点である。薄膜60は、光反射膜として機能する場合には、Al、Au、Ag、Cu、Cr、Ti、Ptといった金属やその多層膜、Ni-Crといった合金などを材料とする。薄膜60は、光吸収膜として機能する場合には、DLC(Diamond Like Carbon)や黒色メッキ、Ti系酸化物、黒色系塗料などを材料とする。薄膜60の膜厚は、例えば、数10nm~数100nmである。なお、薄膜60が光吸収膜として機能することは、単位厚さあたりの薄膜60の光吸収量が、単位厚さ当たりの第1基板10および第2基板20の光吸収量よりも多いことを意味する。
図10は、第6実施形態に係る検出器130eの断面図である。図10で例示するように、検出器130eが図7の検出器130bと異なる点は、キャビティ40内に薄膜60が備わっている点である。本実施形態においては、第1基板10の目盛格子と第2基板20の目盛格子との距離を調整することができるとともに、迷光の影響を抑制することができる。
第7実施形態に係る検出器130fでは、キャビティ内に目盛格子を設けてある。例えば、図11(a)で例示するように、検出器130fが図7の検出器130bと異なる点は、キャビティ40内に目盛格子が設けられている点である。例えば、図11(b)で例示するように、第1基板10の第1主面11と第2基板20の第1主面21とを対向させ、第1基板10の第1主面11の周縁部と第2基板20の第1主面21の周縁部との間にスペーサ50を配置してもよい。この場合、キャビティ40内に、目盛格子13、目盛格子23および目盛格子24を配置することができる。この構成では、スペーサ50によって目盛格子が囲まれるため、目盛格子を保護することができ、目盛格子の汚染を抑制することができる。なお、この構成において、薄膜60がキャビティ40内に備わっていてもよい。薄膜60は、目盛格子13、目盛格子23および目盛格子24が設けられていない領域に設ければよい。また、薄膜60は、スペーサ50の接合面の一部に設けられていてもよい。
第8実施形態に係る検出器130gでは、基板に凹部が設けられ、当該凹部内に目盛格子が設けられている。検出器130gは、第1基板10の代わりに第1基板10gを備え、第2基板20の代わりに第2基板20gを備えている。図12(a)は、第1基板10gの平面図である。図12(b)は、第1基板10gの断面図であり、図12(a)のA-A線断面図である。第1基板10gは、第1実施形態の第1基板10と同様の材料からなる。図12(a)および図12(b)で例示するように、第1主面11には、凹部14が設けられ、当該凹部14内に目盛格子13が備わっている。
第9実施形態に係る検出器130hは、表面に凹部が設けられたスペーサを備えている。検出器130hは、スペーサ基板30の代わりにスペーサ基板30hを備えている。図15(a)で例示するように、スペーサ基板30hは、第1主面に凹部31を備え、第2主面に凹部32および凹部33を備えている。図15(b)で例示するように、第1基板10と第2基板20とを対向させ、第1基板10と第2基板20との間にスペーサ基板30hを配置する。この場合、凹部31内に目盛格子13が配置され、凹部32内に目盛格子23が配置され、かつ凹部33内に目盛格子24が配置されるようにする。その後、第1基板10とスペーサ基板30hとを接触させて接合し、第2基板20とスペーサ基板30hとを接触させて接合する。
11 第1主面
12 第2主面
13 目盛格子
14 凹部
20,20g 第2基板
21 第1主面
22 第2主面
23,24 目盛格子
25,26 凹部
30,30h スペーサ基板
31,32,33 凹部
40 キャビティ
50 スペーサ
60 薄膜
光電式エンコーダ
110 コリメート光源
120 メインスケール
130,130a,130b,130c,130d,130e,130f,130g,130h 検出器
131,132 インデックススケール
140 受光素子
150 受光領域
160 フォトダイオード
Claims (10)
- 第1主面に、第1方向に配列され且つ第1方向に交差する第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第1基板と、
第1主面に、前記第1方向に配列され且つ前記第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第2基板と、を備え、
前記第1基板の前記第1主面と対向する第2主面と、前記第2基板の前記第1主面と対向する第2主面とが、直接接合されていて、
前記第1基板の前記光学格子は、前記第2基板の前記光学格子に対して前記第1方向にずれて配置されていることを特徴とする格子部品。 - 表面に、第1方向に配列され且つ第1方向に交差する第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第1基板と、
表面に、前記第1方向に配列され且つ前記第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたガラスのスペーサと、を備え、
前記第1基板および前記第2基板と前記スペーサとが、直接接合されていて、
前記第1基板の前記光学格子は、前記第2基板の前記光学格子に対して前記第1方向にずれて配置されていることを特徴とする格子部品。 - 前記スペーサは、前記第1基板と前記第2基板との間に、前記第1基板の前記光学格子と前記第2基板の前記光学格子に重なるキャビティを形成していることを特徴とする請求項2記載の格子部品。
- 表面に光学格子を備えた透明な第1基板と、
表面に光学格子を備えた透明な第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたガラスのスペーサと、を備え、
前記第1基板および前記第2基板と前記スペーサとが、直接接合され、
前記スペーサは、前記第1基板と前記第2基板との間に、キャビティを形成し、
前記キャビティ内に、光反射膜または光吸収膜として機能する薄膜を備えることを特徴とする格子部品。 - 前記第1基板は、前記キャビティ内に前記光学格子を備え、
前記第2基板は、前記キャビティ内に前記光学格子を備えることを特徴とする請求項3または4に記載の格子部品。 - 表面に光学格子を備えた透明な第1基板と、
表面に光学格子を備えた透明な第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたガラスのスペーサと、を備え、
前記第1基板および前記第2基板と前記スペーサとが、直接接合され、
前記第1基板は、一方の主面に、前記光学格子が設けられた凹部を備え、
前記第2基板は、一方の主面に、前記光学格子が設けられた凹部を備え、
前記第1基板の前記一方の主面および前記第2基板の前記一方の主面と、前記スペーサとが接合され、
前記第1基板の前記光学格子および前記第2基板の前記光学格子は、前記スペーサによって覆われていることを特徴とする格子部品。 - 表面に光学格子を備えた透明な第1基板と、
表面に光学格子を備えた透明な第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたガラスのスペーサと、を備え、
前記第1基板および前記第2基板と前記スペーサとが、直接接合され、
前記スペーサは、第1主面に第1凹部を備え、前記第1主面と対向する第2主面に第2凹部を備え、
前記第1基板の前記光学格子が設けられた主面と、前記第2基板の前記光学格子が設けられた主面とが対向し、
前記第1凹部によって前記第1基板の前記光学格子が配置され、
前記第2凹部によって前記第2基板の前記光学格子が配置されていることを特徴とする格子部品。 - 前記第1基板および前記第2基板は、ガラスであることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の格子部品。
- 第1主面に、第1方向に配列され且つ第1方向に交差する第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第1基板と、第1主面に、前記第1方向に配列され且つ前記第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第2基板とを、前記第1基板の前記第1主面と対向する第2主面と、前記第2基板の前記第1主面と対向する第2主面とが対向するように接触させる工程と、
常温接合または拡散接合によって、前記第1基板の前記第2主面と前記第2基板の前記第2主面とを接合する工程と、を含み、
前記接触させる工程は、前記第1基板の前記光学格子が前記第2基板の前記光学格子に対して前記第1方向にずれて配置されるように、前記第1基板の前記第2主面と前記第2基板の前記第2主面とを接触させる、ことを特徴とする格子部品の製造方法。 - 表面に、第1方向に配列され且つ第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第1基板と、表面に、前記第1方向に配列され且つ前記第2方向が各々長手方向である複数の格子を有する光学格子を備えた透明な第2基板との間に、ガラスのスペーサを配置する工程と、
前記第1基板および前記第2基板と前記スペーサとを、常温接合または拡散接合によって直接接合する工程と、を含み、
前記配置する工程は、前記第1基板の前記光学格子が前記第2基板の前記光学格子に対して前記第1方向にずれて配置されるように、前記第1基板と前記第2基板の間に前記スペーサを配置する、ことを特徴とする格子部品の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019120812A JP7319106B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 格子部品およびその製造方法 |
US16/907,942 US11768322B2 (en) | 2019-06-28 | 2020-06-22 | Grating part and manufacturing method thereof |
DE102020003758.5A DE102020003758B4 (de) | 2019-06-28 | 2020-06-23 | Gitterteil und herstellungsverfahren hierfür |
CN202010598440.7A CN112147729A (zh) | 2019-06-28 | 2020-06-28 | 光栅部件及其制造方法 |
US18/233,012 US20230384495A1 (en) | 2019-06-28 | 2023-08-11 | Grating part and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019120812A JP7319106B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 格子部品およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021006780A JP2021006780A (ja) | 2021-01-21 |
JP7319106B2 true JP7319106B2 (ja) | 2023-08-01 |
Family
ID=73747715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019120812A Active JP7319106B2 (ja) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 格子部品およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11768322B2 (ja) |
JP (1) | JP7319106B2 (ja) |
CN (1) | CN112147729A (ja) |
DE (1) | DE102020003758B4 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11886000B2 (en) * | 2018-04-02 | 2024-01-30 | Magic Leap, Inc. | Waveguides having integrated spacers, waveguides having edge absorbers, and methods for making the same |
JP2021131312A (ja) | 2020-02-20 | 2021-09-09 | 株式会社ミツトヨ | スケール |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133616A (ja) | 1999-10-27 | 2001-05-18 | Havit Co Ltd | 位相回折格子型光低帯域通過フィルター |
JP2001296417A (ja) | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Canon Inc | 光学素子及び該光学素子を備えた露光装置 |
US20040226910A1 (en) | 2002-12-30 | 2004-11-18 | Chatterjee Dilip K. | Bulk optical elements incorporating gratings for optical communications and methods for producing |
JP2005352345A (ja) | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | 光学素子及び光学素子の製造方法 |
JP2006236477A (ja) | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Sony Corp | 光ピックアップ及び光ディスク装置 |
JP2007334975A (ja) | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 回折格子とその製造方法及び光ピックアップ装置 |
WO2008044686A1 (fr) | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Asahi Glass Co., Ltd. | Élément de diffraction et dispositif à tête optique équipé de celui-ci |
JP2009037023A (ja) | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Hyogo Prefecture | 回折格子の製造方法 |
JP2009069809A (ja) | 2007-08-22 | 2009-04-02 | Epson Toyocom Corp | 偏光変換素子および偏光変換素子の製造方法 |
JP2016095343A (ja) | 2014-11-12 | 2016-05-26 | キヤノン株式会社 | 位相格子及びトールボット干渉計。 |
US20190064532A1 (en) | 2017-08-31 | 2019-02-28 | Metalenz, Inc. | Transmissive Metasurface Lens Integration |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2801746B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1998-09-21 | 株式会社リコー | 光情報記録再生装置及び二重回折格子 |
US5258871A (en) * | 1992-06-01 | 1993-11-02 | Eastman Kodak Company | Dual diffraction grating beam splitter |
US5434708A (en) * | 1992-09-08 | 1995-07-18 | Eastman Kodak Company | Optical reproducing apparatus ultilizing a polarization beam splitter |
JP3885251B2 (ja) * | 1996-06-10 | 2007-02-21 | 旭硝子株式会社 | 光学異方性回折格子、その駆動方法及びそれを用いた光ヘッド装置 |
JP3711652B2 (ja) * | 1996-06-18 | 2005-11-02 | 旭硝子株式会社 | 偏光回折素子及びそれを用いた光ヘッド装置 |
JP4108790B2 (ja) * | 1997-07-23 | 2008-06-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス部材の接合方法 |
US6728034B1 (en) * | 1999-06-16 | 2004-04-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Diffractive optical element that polarizes light and an optical pickup using the same |
WO2003025633A1 (fr) * | 2001-09-13 | 2003-03-27 | Asahi Glass Company, Limited | Dispositif de diffraction |
JP4251606B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2009-04-08 | 株式会社リコー | 偏光光学素子、偏光光学素子の製造方法、光ピックアップ装置及び光ディスク装置 |
JP2007317326A (ja) | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Epson Toyocom Corp | 回折格子とその製造方法、及び光ピックアップ装置 |
JP2013007830A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Seiko Epson Corp | 透過型回折格子及び検出装置 |
CN104011582A (zh) | 2011-12-09 | 2014-08-27 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 光波前的控制 |
US9267822B1 (en) * | 2012-03-02 | 2016-02-23 | University Of South Florida | Systems and methods for evaluating coupled components |
JP6058402B2 (ja) * | 2012-06-08 | 2017-01-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 曲面回折格子の製造方法、および曲面回折格子の型 |
JP6519256B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-05-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光束径拡大素子および表示装置 |
JP6593868B2 (ja) | 2015-07-28 | 2019-10-23 | 株式会社ミツトヨ | 変位検出装置 |
JP6922279B2 (ja) * | 2017-03-14 | 2021-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | ワイヤーグリッド偏光素子および投射型表示装置 |
JP6885184B2 (ja) * | 2017-04-25 | 2021-06-09 | 日亜化学工業株式会社 | レーザ装置 |
JP7082490B2 (ja) | 2018-01-09 | 2022-06-08 | カシオ計算機株式会社 | 異常検出装置、投影装置、異常検出方法、及びプログラム |
-
2019
- 2019-06-28 JP JP2019120812A patent/JP7319106B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-22 US US16/907,942 patent/US11768322B2/en active Active
- 2020-06-23 DE DE102020003758.5A patent/DE102020003758B4/de active Active
- 2020-06-28 CN CN202010598440.7A patent/CN112147729A/zh active Pending
-
2023
- 2023-08-11 US US18/233,012 patent/US20230384495A1/en active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133616A (ja) | 1999-10-27 | 2001-05-18 | Havit Co Ltd | 位相回折格子型光低帯域通過フィルター |
JP2001296417A (ja) | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Canon Inc | 光学素子及び該光学素子を備えた露光装置 |
US20040226910A1 (en) | 2002-12-30 | 2004-11-18 | Chatterjee Dilip K. | Bulk optical elements incorporating gratings for optical communications and methods for producing |
JP2005352345A (ja) | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | 光学素子及び光学素子の製造方法 |
JP2006236477A (ja) | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Sony Corp | 光ピックアップ及び光ディスク装置 |
JP2007334975A (ja) | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 回折格子とその製造方法及び光ピックアップ装置 |
WO2008044686A1 (fr) | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Asahi Glass Co., Ltd. | Élément de diffraction et dispositif à tête optique équipé de celui-ci |
JP2009037023A (ja) | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Hyogo Prefecture | 回折格子の製造方法 |
JP2009069809A (ja) | 2007-08-22 | 2009-04-02 | Epson Toyocom Corp | 偏光変換素子および偏光変換素子の製造方法 |
JP2016095343A (ja) | 2014-11-12 | 2016-05-26 | キヤノン株式会社 | 位相格子及びトールボット干渉計。 |
US20190064532A1 (en) | 2017-08-31 | 2019-02-28 | Metalenz, Inc. | Transmissive Metasurface Lens Integration |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
須賀唯知,ものづくりのための接合技術-第3世代の接合技術,精密工学会誌,日本,公益社団法人精密工学会,2013年08月05日,79巻,8号,pp.705-709,https://doi.org/10.2493/jjspe.79.705 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112147729A (zh) | 2020-12-29 |
US11768322B2 (en) | 2023-09-26 |
US20230384495A1 (en) | 2023-11-30 |
US20200408968A1 (en) | 2020-12-31 |
JP2021006780A (ja) | 2021-01-21 |
DE102020003758A1 (de) | 2020-12-31 |
DE102020003758B4 (de) | 2023-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20230384495A1 (en) | Grating part and manufacturing method thereof | |
JP4473665B2 (ja) | 分光器 | |
JP4803641B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US7502122B2 (en) | Fiber-optic miniature encoder for fine pitch scales | |
JP4912801B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5205241B2 (ja) | 分光モジュール | |
JP6850136B2 (ja) | 光学式の位置測定装置 | |
JP3914210B2 (ja) | 光学式変位センサおよび外力検出装置 | |
JP2009276244A (ja) | 分光モジュール | |
US20130265645A1 (en) | Mounting structure for optical component, wavelength-selective device, and method for manufacturing mounting structure for optical component | |
US10094961B2 (en) | Optical layer system | |
JP6444640B2 (ja) | 光学素子 | |
JP4692329B2 (ja) | 光無線通信装置 | |
JP2011021909A (ja) | エンコーダ用スケール、及びエンコーダ装置 | |
US9323002B2 (en) | Light multiplexer | |
JP3919796B2 (ja) | 変位測定装置 | |
KR101298682B1 (ko) | 광학식 엔코더 | |
JP6761215B2 (ja) | 光学素子、エタロン、および回折格子、ならびに光学素子の製造方法 | |
WO2023181670A1 (ja) | エンコーダ用光モジュール及び反射型エンコーダ | |
JP2010243323A (ja) | 光学式エンコーダ | |
KR20230127161A (ko) | 힘 센서 | |
EP1298468A2 (en) | Optical module and method of forming the optical module | |
JP2003106871A (ja) | 発光ユニット、発光受光ユニットおよび光学式変位検出装置 | |
JP4331899B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
WO2016175318A1 (ja) | シンチレータ体、放射線検出器及びシンチレータ体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230718 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230720 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7319106 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |