DE102020003758A1

DE102020003758A1 - Gitterteil und herstellungsverfahren hierfür

Info

Publication number: DE102020003758A1
Application number: DE102020003758.5A
Authority: DE
Inventors: Kosaku Miyake
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2019-06-28
Filing date: 2020-06-23
Publication date: 2020-12-31
Anticipated expiration: 2040-06-24
Also published as: CN112147729A; US11768322B2; US20230384495A1; US20200408968A1; JP7319106B2; JP2021006780A; DE102020003758B4

Abstract

Ein Gitterteil beinhaltet ein erstes transparentes Substrat, welches ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche aufweist, und ein zweites transparentes Substrat, welches ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche aufweist; eine zweite Hauptoberfläche des ersten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche und eine zweite Hauptoberfläche des zweiten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche sind gebondet.

Description

BEZUGNAHME AUF KORRESPONDIERENDE ANMELDUNGEN
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der Japanischen Anmeldung Nr. 2019-120812 , eingereicht am 28. Juni 2019, deren Offenbarung hierin ausdrücklich in ihrer Gesamtheit durch Bezugnahme aufgenommen ist.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gitterteil und sein Herstellungsverfahren.
Beschreibung des Standes der Technik
Eine optische lineare Skala vom reflektierenden Typ beinhaltet beispielsweise ein Gitterteil als eine detektierende Vorrichtung, wobei das Gitterteil eine Mehrzahl von optischen beugenden Gittern und Amplitudengittern aufweist (siehe beispielsweise Japanische Patentoffenlegung Veröffentlichung Nr. 2017-026567).
Ein Gitterteil dieses Typs kann Änderungen in optischen Merkmalen bzw. Charakteristika bewirken.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung stellt ein Gitterteil und sein Herstellungsverfahren zur Verfügung, welche erlauben, dass Variationen bzw. Änderungen in optischen Charakteristika unterdrückt werden.
Dieser Gegenstand wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Besondere Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
In einem Aspekt beinhaltet das Gitterteil ein erstes transparentes Substrat, welches wenigstens ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche davon aufweist, und ein zweites transparentes Substrat, welches wenigstens ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche davon aufweist; eine zweite Hauptoberfläche des ersten transparenten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche des ersten transparenten Substrats und eine zweite Hauptoberfläche des zweiten transparenten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche sind wenigstens teilweise (direkt oder indirekt) gebondet bzw. verbunden.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann wenigstens ein dünner Film an einem Abschnitt zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat vorgesehen sein, um wenigstens teilweise als ein Licht reflektierender Film und/oder ein Licht absorbierender Film zu dienen. Mit anderen Worten ist der Film insbesondere wenigstens teilweise als ein Licht reflektierender Film und/oder ein Licht absorbierender Film konfiguriert bzw. aufgebaut.
In einem weiteren Aspekt beinhaltet das Gitterteil ein erstes transparentes Substrat, welches wenigstens ein optisches Gitter auf einer Oberfläche davon aufweist, ein zweites transparentes Substrat, welches wenigstens ein optisches Gitter auf einer Oberfläche davon aufweist, und wenigstens einen Abstandhalter, welcher zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat angeordnet ist, und es sind das erste transparente Substrat und das zweite transparente Substrat mit dem Abstandhalter gebondet.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann der Abstandhalter wenigstens einen Hohlraum zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat ausbilden oder definieren oder enthalten.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann der wenigstens eine dünne Film im Inneren des Hohlraums bzw. der Hohlräume vorgesehen sein, um als der Licht reflektierende Film oder der Licht absorbierende Film zu dienen.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann das erste Substrat das (die) optische(n) Gitter im Inneren des Hohlraums bzw. der Hohlräume beinhalten und es kann das zweite Substrat das (die) optische(n) Gitter im Inneren des Hohlraums bzw. der Hohlräume enthalten.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann das erste Substrat wenigstens eine Vertiefung bzw. Ausnehmung auf einer Hauptoberfläche beinhalten, wobei das wenigstens eine optische Gitter in der Vertiefung vorgesehen ist, kann das zweite Substrat wenigstens eine Vertiefung auf einer Hauptoberfläche beinhalten, wobei das wenigstens eine optische Gitter in der Vertiefung vorgesehen ist, können die eine Hauptoberfläche des ersten Substrats und die eine Hauptoberfläche des zweiten Substrats mit dem oder durch den wenigstens einen Abstandhalter gebondet bzw. verbunden sein bzw. werden, und können das optische Gitter des ersten Substrats und das optische Gitter des zweiten Substrats vorzugsweise mit dem Abstandhalter bedeckt sein bzw. werden.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann der Abstandhalter eine erste Vertiefung bzw. Ausnehmung auf einer ersten Hauptoberfläche davon und wenigstens eine zweite Vertiefung auf einer zweiten Hauptoberfläche davon auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche des Abstandhalters beinhalten, kann die Hauptoberfläche des ersten transparenten Substrats, wo das optische Gitter davon vorgesehen ist, im Wesentlichen zu der Hauptoberfläche des zweiten transparenten Substrats gerichtet sein, wo das wenigstens eine optische Gitter davon vorgesehen ist, kann das optische Gitter des ersten transparenten Substrats durch die erste Vertiefung oder in dieser positioniert sein, und kann das optische Gitter des zweiten transparenten Substrats durch die zweite Vertiefung oder in dieser positioniert sein.
In dem oben erwähnten Gitterteil kann der Abstandhalter eine erste Vertiefung auf einer ersten Hauptoberfläche und wenigstens eine zweite Vertiefung auf einer zweiten Hauptoberfläche auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche beinhalten; kann die Hauptoberfläche des ersten Substrats, wo das wenigstens eine optische Gitter vorgesehen ist, zu der Hauptoberfläche des zweiten Substrats gerichtet sein, wo das wenigstens eine optische Gitter vorgesehen ist; und kann das optische Gitter des ersten Substrats durch die erste Vertiefung positioniert sein und kann das optische Gitter des zweiten Substrats durch die zweite Vertiefung positioniert sein.
In einem Aspekt beinhaltet ein Herstellungsverfahren eines Gitterteils gemäß der vorliegenden Erfindung einen Schritt eines Bringens eines ersten transparenten Substrats, welches wenigstens ein optisches Gitter auf der ersten Hauptoberfläche aufweist, in einem (direkten oder indirekten) Kontakt mit einem zweiten transparenten Substrat, welches wenigstens ein optisches Gitter auf der ersten Hauptoberfläche aufweist, so dass die zweite Hauptoberfläche des ersten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche zu der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche gerichtet ist, und einen Schritt eines (direkten oder indirekten) Bondens der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats mit der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats durch ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden.
In einem weiteren Aspekt beinhaltet das Herstellungsverfahren des Gitterteils gemäß der vorliegenden Erfindung einen Schritt eines Positionierens wenigstens eines Abstandhalters zwischen dem ersten transparenten Substrat, welches das optische Gitter auf einer Oberfläche aufweist, und dem zweiten transparenten Substrat, welches das optische Gitter auf einer Oberfläche aufweist, und einen Schritt, dass das erste Substrat und das zweite Substrat (direkt oder indirekt) mit dem Abstandhalter durch ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden gebondet werden.
Gemäß dem Obigen werden ein Gitterteil und sein Herstellungsverfahren zur Verfügung gestellt, welche erlauben, dass Änderungen in optischen Charakteristika unterdrückt werden.
Figurenliste
Die vorliegende Erfindung wird weiters in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung unter Bezugnahme auf die beachtliche Vielzahl von Zeichnungen anhand von nicht-beschränkenden Beispielen von beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben, in welchen gleiche Bezugszeichen ähnliche Teile in den verschiedenen Ansichten der Zeichnungen repräsentieren. Es sollte verstanden werden, dass, selbst obwohl Ausführungsformen getrennt beschrieben werden, einzelne Merkmale davon zu zusätzlichen Ausführungsformen kombiniert werden können.

1 ist eine perspektivische Ansicht einer optischen Codiereinrichtung gemäß einer Ausführungsform;
2 illustriert Beispiele eines optischen Wegs bzw. Pfads;
3A ist eine Draufsicht auf ein erstes Substrat und 3B ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 3A;
4A ist eine Draufsicht auf ein zweites Substrat und 4B ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 4A;
5A und 5B sind beispielhafte Ansichten eines Bondens;
6 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform;
7 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform;
8 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform;
9 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform;
10 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform;
11A und 11B sind beispielhafte Ansichten einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform;
12A ist eine Draufsicht auf das erste Substrat und 12B ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 12A;
13A ist eine Draufsicht auf das zweite Substrat und 13B ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 13A;
14A und 14B sind beispielhafte Ansichten einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform;
15A und 15B sind beispielhafte Ansichten einer detektierenden Vorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform; und
16A und 16B zeigen ein Beispiel einer Massenanfertigung unter Verwendung einer MEMS Technologie.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die hierin gezeigten Merkmale sind lediglich beispielhaft und für Zwecke einer illustrativen Diskussion der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und werden aus dem Grund präsentiert, um bereitzustellen, wovon angenommen wird, dass es die nützlichste und am leichtesten verständliche Beschreibung der Prinzipien und konzeptionellen Aspekte der vorliegenden Erfindung ist. In diesem Hinblick wird kein Versuch gemacht, strukturelle Details der vorliegenden Erfindung in größerem Detail zu zeigen, als dies für das fundamentale Verständnis der Erfindung notwendig ist, wobei die Beschreibung, mit den Zeichnungen genommen, Fachleuten ersichtlich machen wird, wie die Formen der vorliegenden Erfindung in der Praxis verkörpert werden können.
1 ist eine perspektivische Ansicht einer optischen Codiereinrichtung 100 gemäß einer Ausführungsform. Wie dies in 1 gezeigt ist, beinhaltet die optische Codiereinrichtung 100 eine kollimierende Lichtquelle 110, eine Hauptskala 120, eine detektierende Vorrichtung 130, ein Photoempfängerelement 140 und dgl. In der nachfolgenden Beschreibung ist eine Anordnungs- bzw. Feldrichtung jedes Gitters, welche auf der Hauptskala 120 ausgebildet ist, eine X Achse. Eine sich erstreckende Richtung jedes Gitters der Hauptskala 120 ist insbesondere eine Y Achse. Eine Richtung orthogonal auf die X und Y Achse ist eine Z Achse. Die Z Achse ist eine Richtung, wo die Hauptskala 120 und die detektierende Vorrichtung 130 zueinander gerichtet sind.
Die kollimierende Lichtquelle 110 ist nicht spezifisch beschränkt, solange die Lichtquelle im Wesentlichen kollimiertes Licht emittiert oder generiert bzw. erzeugt. Beispielsweise beinhaltet die kollimierende Lichtquelle 110 ein lichtemittierendes Element, wie beispielsweise eine Leuchtdiode, eine kollimierende Linse und dgl.
Die Hauptskala 120 beinhaltet ein Gitter, welches eine bestimmte (vorbestimmte oder vorbestimmbare) Skalen- bzw. Maßstabsperiode entlang der X-Achsen-Richtung aufweist. Mit anderen Worten weist die Hauptskala 120 die Anordnungsrichtung des Gitters insbesondere in der X-Achsen-Richtung auf. Daher ist die Messachse der Hauptskala 120 die X Achse. Jedes Gitter erstreckt sich in der Y-Achsen-Richtung. Mit anderen Worten weist jedes Gitter eine Längsrichtung insbesondere in der Y-Achsen-Richtung auf. Die Hauptskala 120 ist zu einer Verschiebung bzw. Verlagerung in der X-Achsen-Richtung relativ zu der kollimierenden Lichtquelle 110, der detektierenden Vorrichtung 130 und dem Photoempfängerelement 140 fähig.
Das Photoempfängerelement 140 ist mit einer ein Photo empfangenden Region 150 versehen. In der ein Photo empfangenden Region 150 ist bzw. sind eine oder mehrere, insbesondere eine Mehrzahl von Photodioden 160 angeordnet, um in der X-Achsen-Richtung bei einer bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Periode ausgerichtet zu sein. Beispielsweise ist das Photoempfängerelement 140 eine Photodiodenanordnung. Die detektierende Vorrichtung 130 ist ein Gitterteil, welches Gitter bei einer bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Periode enthält, und bildet ein Bild in der ein Photo empfangenden Region 150 des Photoempfängerelements 140 von gebeugtem Licht, welches durch ein Reflektieren des Lichts von der kollimierenden Lichtquelle 110 mit der Hauptskala 120 erhalten wird. Die ein Photo empfangende Region 150 verwendet eine Ausgabe von der einen oder den mehreren, insbesondere der Mehrzahl von Photodioden 160, um periodisches Licht und Schatten zu detektieren, welche dem Gitter der Hauptskala 120 entsprechen. Demgemäß kann eine relative Positionsfluktuation bzw. Fluktuation einer relativen Position der Hauptskala 120 detektiert werden. Spezifisch kann ein Ausmaß bzw. eine Größe einer Positionsfluktuation basierend auf der empfangenen Lichtintensität gefunden werden, welche durch die Mehrzahl der Photodioden 160 detektiert wird.
2 illustriert Beispiele eines optischen Wegs bzw. Pfads. Wie dies in 2 gezeigt ist, beinhaltet die detektierende Vorrichtung 130 eine Mehrzahl von Indexskalen 131, 132 usw. Die Indexskalen 131 und 132 beinhalten ein Gitter, welches eine bestimmte (vorbestimmte oder vorbestimmbare) Skalenperiode entlang der X-Achsen-Richtung aufweist. Das Licht, welches durch die Hauptskala 120 reflektiert wird, tritt durch die Indexskala 131 der detektierenden Vorrichtung 130 hindurch und tritt weiters durch die Indexskala 132 hindurch und bildet ein Bild auf den Photodioden 160. Auf diese Weise bildet, über die Vielzahl von Indexskalen der detektierenden Vorrichtung 130, das Licht ein Bild auf den Photodioden 160.
Demgemäß ist oder umfasst die detektierende Vorrichtung 130 ein Gitterteil, welches insbesondere eine Mehrzahl von optischen beugenden Gittern, eine Mehrzahl von Amplitudengittern und dgl. aufweist. Die detektierende Vorrichtung 130 dieser Art bestimmt vorzugsweise strikt bzw. genau einen Abstand und einen Winkel zwischen dem beugenden Gitter und dem Amplitudengitter, um optische Charakteristika bzw. Merkmale beizubehalten. An diesem Punkt kann, wenn das beugende Gitter individuell bzw. einzeln ausgebildet ist und die Position insbesondere durch ein Bonden an ein abstützendes bzw. Supportglied unter Verwendung eines organischen Klebstoffs bestimmt wird, aufgrund von Einflüssen, wie beispielsweise einer Differenz in einer thermischen Expansion des abstützenden Glieds und des Klebstoffs oder eines Härtungsschrumpfens, sich der relative Abstand zwischen den Gittern ändern und es können Änderungen in den optischen Charakteristika auftreten.
Die detektierende Vorrichtung 130 gemäß der vorliegenden Ausführungsform weist eine Konfiguration auf, welche erlaubt, dass Variationen bzw. Änderungen in optischen Charakteristika bzw. Merkmalen unterdrückt werden.
3A ist eine Draufsicht auf ein erstes Substrat 10, welches in der detektierenden Vorrichtung 130 enthalten ist. 3B ist eine Querschnittsansicht des ersten Substrats 10 und zeigt eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 3A. Das erste Substrat 10 ist ein im Wesentlichen transparentes Substrat und/oder ist insbesondere aus einem Material, wie beispielsweise Glas, hergestellt, welches synthetische Siliziumdioxid- und bewegliche Alkaliionen enthält. Das erste Substrat 10 beinhaltet eine erste wesentliche bzw. Hauptoberfläche 11 und eine zweite wesentliche bzw. Hauptoberfläche 12, welche auf gegenüberliegenden Seiten des ersten Substrats 10 voneinander sind bzw. liegen. Wie dies in 3A und 3B gezeigt ist, ist auf der ersten Hauptoberfläche 11 des ersten Substrats 10 ein Skalengitter 13 insbesondere mit einer Mehrzahl von Gittern, welche an einem vorbestimmten Intervall entlang der Messachse positioniert sind, als ein optisches Gitter vorgesehen. Das erste Substrat 10 entspricht der Indexskala 131 in 2. Das Skalengitter 13 kann das Substratmaterial wie es ist bzw. unmittelbar bearbeitet aufweisen oder einen dünnen Oxidfilm bzw. Oxid-Dünnfilm, ein Harz bzw. einen Kunststoff oder dgl. verwenden.
4A ist eine Draufsicht auf ein zweites Substrat 20, welches in der detektierenden Vorrichtung 130 enthalten ist. 4B ist eine Querschnittsansicht des zweiten Substrats 20 und zeigt eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 4A. Das zweite Substrat 20 ist ein im Wesentlichen transparentes Substrat und/oder ist insbesondere aus einem Material, wie beispielsweise Glas, hergestellt, welches synthetische Siliziumdioxid- und bewegliche Alkaliionen enthält. Das zweite Substrat 20 beinhaltet eine erste Hauptoberfläche 21 und eine zweite Hauptoberfläche 22, welche auf gegenüberliegenden Seiten des zweiten Substrats 20 voneinander sind bzw. liegen. Wie dies in 4A und 4B gezeigt ist, ist auf der ersten Hauptoberfläche 21 des zweiten Substrats 20 ein Skalengitter 23 insbesondere mit einer Mehrzahl von Gittern, welche an bzw. bei einem bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Intervall entlang der Messachse angeordnet sind, als ein optisches Gitter vorgesehen. Auch ist auf der ersten Hauptoberfläche 21 des zweiten Substrats 20 ein Skalengitter 24 insbesondere mit einer Mehrzahl von Gittern, welche bei einem bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Intervall entlang der Messachse angeordnet sind, als ein optisches Gitter in einer Region getrennt von dem Skalengitter 23 im Wesentlichen entlang der Messachse vorgesehen. Das zweite Substrat 20 entspricht der Indexskala 132 in 2. Das Skalengitter 23 und das Skalengitter 24 können das Substratmaterial wie es ist bearbeitet aufweisen oder einen Oxid-Dünnfilm, ein Harz bzw. einen Kunststoff oder dgl. verwenden.
Wie dies in 5A gezeigt ist, sind die zweite Hauptoberfläche 12 des ersten Substrats 10 und die zweite Hauptoberfläche 22 des zweiten Substrats 20 zueinander gerichtet bzw. einander zugewandt und gelangen in Kontakt miteinander. In diesem Fall gelangen das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 in Kontakt miteinander, um das Skalengitter 13 zwischen dem Skalengitter 23 und dem Skalengitter 24 in einer Draufsicht anzuordnen. Dann werden, wie dies in 5B gezeigt ist, das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 gebondet bzw. verbunden. Ein Verfahren, welches für das Bonden verwendet wird, ist insbesondere ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden. Ein organischer Klebstoff wird insbesondere nicht für ein Bonden bzw. Verbinden des ersten Substrats 10 und des zweiten Substrats 20 verwendet.
Eine Höhe und/oder eine Breite des Gitters wird bzw. werden aus einer Wellenlänge und eines einfallenden Winkels des detektierten Lichts bestimmt. Auch kann, wenn eine Mehrzahl von Gittermustern auf demselben Substrat angeordnet ist, eine relative Position insbesondere mit einer Genauigkeit von weniger als 1 µm bestimmt werden, wenn das Muster auf einer Photomaske vorab angeordnet ist bzw. wird.
In der detektierenden Vorrichtung 130 gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind bzw. werden das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 insbesondere ohne ein Verwenden eines organischen Klebstoffs gebondet. Mit bzw. bei dieser Konfiguration gibt es keinen Effekt aus bzw. von Unterschieden zwischen der thermischen Expansion des ersten Substrats 10 und des zweiten Substrats 20, und insbesondere der thermischen Expansion des organischen Klebstoffs. Zusätzlich gibt es keinen Effekt von einem Härtungsschrumpfen des organischen Klebstoffs und dgl. Demgemäß sind bzw. werden Änderungen in dem Abstand zwischen dem Gittermuster des ersten Substrats 10 und den Gittermustern des zweiten Substrats 20 unterdrückt. Als ein Resultat werden Änderungen in den optischen Merkmalen unterdrückt.
Zweite Ausführungsform
6 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung 130a gemäß einer zweiten Ausführungsform. Wie dies in 6 gezeigt ist, ist eine detektierende Vorrichtung 130a verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130 von 5B dahingehend, dass wenigstens ein Abstandhaltersubstrat 30 zwischen der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 gehalten ist bzw. wird. Das Abstandhaltersubstrat 30 ist ein im Wesentlichen transparentes Substrat und/oder ist insbesondere aus einem Material, wie beispielsweise Glas, hergestellt, welches beispielsweise synthetische Siliziumdioxid- und bewegliche Alkaliionen enthält.
Das erste Substrat 10 und das Abstandhaltersubstrat 30 werden in Kontakt gebracht und miteinander bzw. aneinander gebondet, und das zweite Substrat 20 und das Abstandhaltersubstrat 30 werden in Kontakt gebracht und miteinander gebondet bzw. verbunden, wodurch die Konfiguration bzw. der Aufbau von 6 erhalten wird. Auch in diesem Fall ist das Verfahren, welches für das Bonden verwendet wird, insbesondere ein Bonden bei Raumtemperatur bzw. Raumtemperatur-Bonden, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden. Ein organischer Klebstoff wird insbesondere für ein Bonden in diesem Fall ebenfalls nicht verwendet.
Auch in der detektierenden Vorrichtung 130a gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind bzw. werden das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 insbesondere ohne ein Verwenden eines organischen Klebstoffs ausgerichtet. Demgemäß werden Änderungen in den optischen Charakteristika unterdrückt. Zusätzlich kann, durch ein Einstellen der Dicke des wenigstens einen Abstandhaltersubstrats 30, ein optischer Abstand zwischen dem Skalengitter des ersten Substrats 10 und den Skalengittern des zweiten Substrats 20 eingestellt werden. Weiters wird durch ein Regeln bzw. Steuern bzw. ein Kontrollieren eines Brechungsindex des Abstandhaltersubstrats 30 ein Konstruieren bzw. Entwickeln eines optischen Wegs für die detektierende Vorrichtung 130a möglich. Zusätzlich kann, verglichen damit, wenn ein Glasblock anstelle des ersten Substrats 10, des zweiten Substrats 20 und des Abstandhaltersubstrats 30 verwendet wird, eine gewöhnliche Halbleiter-Herstellungsvorrichtung verwendet werden, da die Dicke des zu bearbeitenden Substrats reduziert werden kann, und es ist ein Bearbeiten nur für eine Seite des Substrats notwendig, und es sind daher eine Masse und eine Bearbeitungsvorrichtung weniger beschränkt.
Dritte Ausführungsform
7 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung 130b gemäß einer dritten Ausführungsform. Wie dies in 7 gezeigt ist, ist die detektierende Vorrichtung 130b verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130 von 5B dahingehend, dass wenigstens ein Hohlraum 40 zwischen der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 vorgesehen ist. Beispielsweise kann durch ein Vorsehen bzw. Bereitstellen wenigstens eines Abstandhalters 50 zwischen einem Umfangsabschnitt der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und einem Umfangsabschnitt der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 der Hohlraum 40 zwischen einer Region verschieden von dem Umfangsabschnitt der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und/oder einer Region verschieden von dem Umfangsabschnitt der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 angeordnet sein bzw. werden. Der Abstandhalter 50 verwendet insbesondere ein Material, wie beispielsweise Glas, welches synthetische Siliziumdioxid- und bewegliche Alkaliionen enthält, als ein transparentes Glied. Alternativ kann, da der Hohlraum 40 ein optischer Weg bzw. Pfad ist, der Abstandhalter 50 Si oder dgl. als ein nicht-transparentes Glied verwenden.
Das erste Substrat 10 und der Abstandhalter 50 werden in Kontakt gebracht und miteinander gebondet, und das zweite Substrat 20 und der Abstandhalter 50 werden in Kontakt gebracht und miteinander gebondet, wodurch die Konfiguration von 7 erhalten wird. In diesem Fall ist auch das Verfahren, welches für das Bonden verwendet wird, insbesondere ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden. Ein organischer Klebstoff wird für ein Bonden auch in diesem Fall nicht verwendet.
In der detektierenden Vorrichtung 130b gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind bzw. werden das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 im Wesentlichen ohne ein Verwenden eines organischen Klebstoffs ausgerichtet. Demgemäß werden Änderungen in den optischen Charakteristika unterdrückt. Zusätzlich kann durch ein Einstellen der Dicke des Abstandhalters 50 ein optischer Abstand zwischen dem Skalenmuster des ersten Substrats 10 und den Skalenmustern des zweiten Substrats 20 eingestellt werden. Zusätzlich kann, verglichen damit, wenn ein Glasblock anstelle des ersten Substrats 10, des zweiten Substrats 20 und des Abstandhaltersubstrats 30 verwendet wird, eine gewöhnliche Halbleiter-Herstellungsvorrichtung verwendet werden, da der Hohlraum 40 insbesondere vorgesehen ist, kann die Decke des zu bearbeitenden Substrats reduziert werden, und ist ein Bearbeiten nur für eine Seite des Substrats notwendig, und es sind daher eine Masse und eine Bearbeitungsvorrichtung weniger beschränkt.
Vierte Ausführungsform
8 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung 130c gemäß einer vierten Ausführungsform. Die detektierende Vorrichtung 130c ist verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130b von 7 aufgrund einer Position des wenigstens einen Abstandhalters 50. Wie dies in 8 gezeigt ist, kann der Abstandhalter 50 in einer Region verschieden von dem Umfangsabschnitt angeordnet sein bzw. werden, solange der Abstandhalter 50 nicht wesentlich den optischen Pfad behindert bzw. blockiert. Beispielsweise kann der Abstandhalter 50 weiters zwischen einem zwischenliegenden Abschnitt (insbesondere einem zentralen bzw. mittigen Abschnitt) der zweiten Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und einem zwischenliegenden Abschnitt (insbesondere einem zentralen Abschnitt) der zweiten Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 vorgesehen sein. Mit dieser Konfiguration kann eine Stärke bzw. Festigkeit verbessert werden.
Fünfte Ausführungsform
9 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung 130d gemäß einer fünften Ausführungsform. Wie dies in 9 gezeigt ist, ist die detektierende Vorrichtung 130d verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130 von 5B dahingehend, dass wenigstens ein dünner Film 60 vorgesehen ist, um als ein Licht reflektierender Film und/oder ein Licht absorbierender Film an einem Oberflächenabschnitt zu dienen, wo die zweite Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und die zweite Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 aneinander gebondet sind. Mit anderen Worten kann der Film 60 insbesondere wenigstens einen Abschnitt, welcher eine Licht reflektierende Eigenschaft aufweist, und einen anderen wenigstens einen Abschnitt aufweisen, welcher eine Licht absorbierende Eigenschaft aufweist. Wenn er als ein Licht reflektierender Film dient, verwendet der dünne Film 60 ein Material, wie beispielsweise Al, Au, Ag, Cu, Cr, Ti oder Pt, einen mehrlagigen Film davon und/oder Legierungen wie Ni-Cr. Wenn er als ein Licht absorbierender Film dient, verwendet der dünne Film 60 ein Material, wie beispielsweise diamantartigen Kohlenstoff (DLC), eine dunkle Plattierung, ein Tibasierendes Oxid und/oder einen auf schwarz basierenden Anstrich. Die Dicke des dünnen Films 60 ist beispielsweise einige zehn Nanometer bis einige hundert Nanometer. Darüber hinaus bezieht sich der dünne Film 60, welcher als der Licht absorbierende Film dient, darauf, dass die Menge an Licht, welche durch den dünnen Film 60 pro Einheitsdicke absorbiert wird, größer als die Menge an Licht ist, welche durch das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 pro Einheitsdicke absorbiert wird.
Da die Dicke des dünnen Films 60 gering ist, können die zweite Hauptoberfläche des ersten Substrats 10 und die zweite Hauptoberfläche des zweiten Substrats 20 gebondet werden, selbst wenn der dünne Film 60 vorgesehen ist. Beispielsweise können durch ein Bereitstellen des dünnen Films 60 in einem Weg bzw. Pfad von Streulicht Effekte von dem Streulicht unterdrückt werden. Auch können in der vorliegenden Ausführungsform das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 insbesondere durch ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden gebondet werden, ohne einen organischen Klebstoff zu verwenden.
In der zweiten Ausführungsform kann der dünne Film 60 der vorigen Ausführungsform an einem Abschnitt der gebondeten Oberfläche des Abstandhaltersubstrats 30 angeordnet sein bzw. werden. Zusätzlich kann in der dritten und vierten Ausführungsform der dünne Film 60 der vorliegenden Ausführungsform an einem Abschnitt der gebondeten Oberfläche des Abstandhalters 50 angeordnet sein.
Sechste Ausführungsform
10 ist eine Querschnittsansicht einer detektierenden Vorrichtung 130e gemäß einer sechsten Ausführungsform. Wie dies in 10 gezeigt ist, ist die detektierende Vorrichtung 130e verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130b in 7 dahingehend, dass der wenigstens eine dünne Film 60 im Inneren des Hohlraums 40 vorgesehen ist. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ermöglicht dies, dass der Abstand zwischen dem Skalengitter des ersten Substrats 10 und dem Skalengitter des zweiten Substrats 20 eingestellt wird, und es kann Effekte aufgrund des Streulichts unterdrücken.
Siebente Ausführungsform
In einer detektierenden Vorrichtung 130f gemäß der siebenten Ausführungsform ist das Skalengitter im Inneren des Hohlraums vorgesehen. Wie dies in 11A beispielsweise gezeigt ist, ist die detektierende Vorrichtung 130f verschieden von der detektierenden Vorrichtung 130b von 7 dahingehend, dass die Skalengitter im Inneren des Hohlraums 40 vorgesehen sind. Beispielsweise sind, wie dies in 11B gezeigt ist, eine erste Hauptoberfläche 11 des ersten Substrats 10 und eine erste Hauptoberfläche 21 des zweiten Substrats 20 zueinander gerichtet, und der wenigstens eine Abstandhalter 50 kann zwischen dem Umfangsabschnitt der ersten Hauptoberfläche 11 des ersten Substrats 10 und dem Umfangsabschnitt der ersten HauptOberfläche 21 des zweiten Substrats 20 positioniert sein bzw. werden. In diesem Fall können das Skalenmuster 13, das Skalenmuster 23 und/oder das Skalenmuster 24 im Inneren des Hohlraums 40 angeordnet sein. Mit bzw. bei dieser Konfiguration sind bzw. werden die Skalenmuster insbesondere im Wesentlichen durch den Abstandhalter 50 umgeben und daher können die Skalenmuster geschützt werden und es kann eine Kontaminierung bzw. Verunreinigung der Skalenmuster geregelt bzw. gesteuert bzw. kontrolliert werden. Weiters kann in dieser Konfiguration der wenigstens eine dünne Film 60 im Inneren des Hohlraums 40 vorgesehen sein. Der dünne Film 60 kann in einer Region angeordnet sein, wo das Skalenmuster 13, das Skalenmuster 23 und/oder das Skalenmuster 24 nicht vorgesehen sind. Zusätzlich kann der dünne Film 60 an einem Abschnitt der gebondeten Oberfläche des Abstandhalters 50 vorgesehen sein.
Achte Ausführungsform
Eine detektierende Vorrichtung 130g gemäß einer achten Ausführungsform weist eine Vertiefung bzw. Ausnehmung in dem Substrat auf und das Skalengitter ist im Inneren der Vertiefung vorgesehen bzw. bereitgestellt. Die detektierende Vorrichtung 130g beinhaltet ein erstes Substrat 10g anstelle des ersten Substrats 10, und ein zweites Substrat 20g anstelle des zweiten Substrats 20. 12A ist eine Draufsicht auf das erste Substrat 10g. 12B ist eine Querschnittsansicht des ersten Substrats 10g und zeigt eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 12A. Das erste Substrat 10g ist aus demselben Material wie das erste Substrat 10 gemäß der ersten Ausführungsform hergestellt. Wie dies in 12A und 12B gezeigt ist, ist eine Vertiefung bzw. Ausnehmung 14 in der ersten Hauptoberfläche 11 vorgesehen und es ist das Skalenmuster 13 im Inneren der Vertiefung 14 vorgesehen.
13A ist eine Draufsicht auf das zweite Substrat 20g. 13B ist eine Querschnittsansicht des zweiten Substrats 20g und zeigt eine Querschnittsansicht entlang einer Linie A-A von 13A. Das zweite Substrat 20g ist aus demselben Material wie das zweite Substrat 20 gemäß der ersten Ausführungsform hergestellt. Wie dies in 13A und 13B gezeigt ist, ist die erste Hauptoberfläche 21 mit einer Vertiefung 25 und/oder einer Vertiefung 26 versehen. Das Skalengitter 23 ist im Inneren der Vertiefung 25 vorgesehen. Das Skalengitter 24 ist im Inneren der Vertiefung 26 vorgesehen.
Wie dies in 14A gezeigt ist, sind die erste Hauptoberfläche 11 des ersten Substrats 10g und die erste Hauptoberfläche 21 des zweiten Substrats 20g zueinander gerichtet. Wie dies in 14B gezeigt ist, ist das Abstandhaltersubstrat 30 zwischen der ersten Hauptoberfläche 11 des ersten Substrats 10g und der ersten Hauptoberfläche 21 des zweiten Substrats 20g vorgesehen. In diesem Fall sind bzw. werden das erste Substrat 10g und das Abstandhaltersubstrat 30 in Kontakt gebracht und miteinander bzw. aneinander derart gebondet, dass das Skalengitter 13 zwischen dem Skalengitter 23 und dem Skalengitter 24 in einer Draufsicht angeordnet ist, und es werden das zweite Substrat 20g und das wenigstens eine Abstandhaltersubstrat 30 in Kontakt gebracht und miteinander gebondet. Das Verfahren, welches für das Bonden verwendet wird, ist insbesondere ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind bzw. werden die Skalengitter insbesondere durch das Abstandhaltersubstrat 30 zu der Zeit eines Bondens abgedeckt und geschützt, und es können daher Effekte von einer Deformation bzw. Verformung der Skalengitter und dgl. unterdrückt werden. Zusätzlich kann der dünne Film 60 an einem Abschnitt der gebondeten Oberfläche des Abstandhaltersubstrats 30 angeordnet sein bzw. werden.
Neunte Ausführungsform
Eine detektierende Vorrichtung 130h gemäß einer neunten Ausführungsform beinhaltet wenigstens einen Abstandhalter, welcher wenigstens eine Vertiefung aufweist, welche auf der Oberfläche des Abstandhalters vorgesehen ist. Die detektierende Vorrichtung 130h beinhaltet ein Abstandhaltersubstrat 30h anstelle des Abstandhaltersubstrats 30. Wie dies in 15A gezeigt ist, beinhaltet das Abstandhaltersubstrat 30h wenigstens eine Vertiefung 31 auf der ersten Hauptoberfläche, und eine oder mehrere (z.B. zwei) Vertiefung(en) 32 und 33 auf der zweiten Hauptoberfläche. Wie dies in 15B gezeigt ist, sind das erste Substrat 10 und das zweite Substrat 20 zueinander gerichtet und es ist das Abstandhaltersubstrat 30h zwischen dem ersten Substrat 10 und dem zweiten Substrat 20 angeordnet. In diesem Fall ist das Skalengitter 13 im Inneren der Vertiefung 31 angeordnet, ist das Skalengitter 23 im Inneren der Vertiefung 32 angeordnet und ist das Skalengitter 24 im Inneren der Vertiefung 33 angeordnet. Dann werden das erste Substrat 10 und das Abstandhaltersubstrat 30h in Kontakt gebracht und miteinander gebondet, und es werden das zweite Substrat 20 und das Abstandhaltersubstrat 30h in Kontakt gebracht und miteinander gebondet.
In der vorliegenden Ausführungsform sind auch die Skalengitter insbesondere im Wesentlichen durch die Vertiefungen zu der Zeit eines Bondens bedeckt bzw. abgedeckt und geschützt, und es können daher Einflüsse, wie beispielsweise eine Deformation des Skalengitters, reduziert oder unterdrückt werden.
In den verschiedenen, oben erwähnten Ausführungsformen kann eine Mehrzahl von detektierenden Vorrichtungen gemeinsam hergestellt werden. Beispielsweise kann eine Mehrzahl von detektierenden Vorrichtungen (welche dieselbe oder eine unterschiedliche Konfiguration aufweisen, wie dies oben beschrieben ist) gemeinsam bzw. in einer Massenproduktion unter Verwendung einer Technologie von mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS) hergestellt werden. Beispielsweise sind bzw. werden, wie dies in 16A gezeigt ist, ein Substrat, welches mit einer Vielzahl von ersten Substraten versehen ist, welche in jeder obigen Ausführungsform erwähnt sind, und ein Substrat, welches mit einer Vielzahl von zweiten Substraten versehen ist, welche in jeder obigen Ausführungsform erwähnt sind, ausgerichtet und veranlasst, zueinander gerichtet zu sein. Wie dies in 16B gezeigt ist, kann eine individuelle bzw. einzelne detektierende Vorrichtung durch ein Schneiden erhalten werden, nachdem die Substrate gemeinsam gebondet sind bzw. werden. Dieses Verfahren ermöglicht, dass eine hohe bzw. gute Ausrichtungsgenauigkeit erzielt wird, und ermöglicht auch eine Massenherstellung einer Vielzahl von detektierenden Vorrichtungen.
Demgemäß ist bzw. wird ein Gitterteil geoffenbart, welches ein erstes transparentes Substrat, welches ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche aufweist, und ein zweites transparentes Substrat beinhaltet, welches ein optisches Gitter auf einer ersten Hauptoberfläche aufweist; und es werden eine zweite Hauptoberfläche des ersten Substrats auf einer Seite gegenüberliegend zu der ersten Hauptoberfläche und eine zweite Hauptoberfläche des zweiten Substrats auf einer Seite gegenüberliegend zu der ersten Hauptoberfläche gebondet bzw. miteinander verbunden.
In dem Obigen sind bzw. werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf die oben erwähnten spezifischen Ausführungsformen beschränkt bzw. begrenzt und es sind verschiedene Modifikationen und Änderungen innerhalb eines Rahmens bzw. Geltungsbereichs der vorliegenden Erfindung möglich, welche in dem Rahmen der Ansprüche beschrieben sind.
Es wird festgehalten, dass die vorangehenden Beispiele lediglich für den Zweck einer Erläuterung zur Verfügung gestellt wurden und keineswegs als die vorliegende Erfindung beschränkend auszulegen sind. Während die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf beispielhafte Ausführungsformen beschrieben wurde, ist verständlich, dass die Worte, welche hierin verwendet wurden, Worte einer Beschreibung und Illustration, anstelle von Worten einer Beschränkung sind. Änderungen können innerhalb des Geltungsbereichs der beigeschlossenen Ansprüche, wie sie gegenwärtig formuliert sind und entsprechend Änderungen, durchgeführt werden, ohne von dem Rahmen bzw. Geltungsbereich und Wesen der vorliegenden Erfindung in ihren Aspekten abzuweichen. Obwohl die vorliegende Erfindung hierin unter Bezugnahme auf besondere Strukturen, Materialien und Ausführungsformen beschrieben wurde, ist für die vorliegende Erfindung nicht beabsichtigt, dass sie auf die hierin geoffenbarten Einzelheiten beschränkt wird; eher erstreckt sich die vorliegende Erfindung auf alle funktionell äquivalenten Strukturen, Methoden bzw. Verfahren und Verwendungen, wie sie innerhalb des Rahmens bzw. Geltungsbereichs der beigeschlossenen Ansprüche liegen.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt bzw. begrenzt und verschiedene Abänderungen und Modifikationen können möglich sein, ohne den Rahmen bzw. Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2019120812 [0001]

Claims

Gitterteil, umfassend: ein erstes transparentes Substrat (10; 131), welches wenigstens ein optisches Gitter (13) auf einer ersten Hauptoberfläche (11) davon aufweist; und ein zweites transparentes Substrat (20; 132), welches wenigstens ein optisches Gitter (23; 24) auf einer ersten Hauptoberfläche (21) davon aufweist, wobei: eine zweite Hauptoberfläche (12) des ersten transparenten Substrats (10; 131) auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche (11) des ersten transparenten Substrats (10; 131) und eine zweite Hauptoberfläche (22) des zweiten transparenten Substrats (20; 132) auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche (21) des zweiten transparenten Substrats (20; 132) wenigstens teilweise gebondet sind.
Gitterteil nach Anspruch 1, weiters umfassend wenigstens einen Film (60) an einem Abschnitt zwischen dem ersten transparenten Substrat (10; 131) und dem zweiten transparenten Substrat (20; 132), wobei der Film (60) wenigstens teilweise als ein Licht reflektierender Film und/oder ein Licht absorbierender Film konfiguriert ist.
Gitterteil, umfassend: ein erstes transparentes Substrat (10), welches wenigstens ein optisches Gitter (12) auf einer Oberfläche davon aufweist; ein zweites transparentes Substrat (20), welches wenigstens ein optisches Gitter (23; 24) auf einer Oberfläche davon aufweist; und wenigstens einen Abstandhalter (30; 50), welcher zwischen dem ersten transparenten Substrat (10) und dem zweiten transparenten Substrat (20) positioniert ist, wobei der Abstandhalter (30; 50) das erste transparente Substrat (10) und das zweite transparente Substrat (20) bondet bzw. verbindet.
Gitterteil nach Anspruch 3, wobei der Abstandhalter (50) wenigstens einen Hohlraum (40) zwischen dem ersten transparenten Substrat (10) und dem zweiten transparenten Substrat (20) beinhaltet.
Gitterteil nach Anspruch 4, weiters umfassend wenigstens einen Film (60), welcher im Inneren des Hohlraums (40) angeordnet und als ein Licht reflektierender Film und/oder ein Licht absorbierender Film konfiguriert bzw. aufgebaut ist.
Gitterteil nach Anspruch 4 oder 5, wobei das optische Gitter (12) des ersten transparenten Substrats (10) und das optische Gitter (23; 24) des zweiten transparenten Substrats (20) jeweils im Inneren des Hohlraums (40) angeordnet sind.
Gitterteil nach einem der vorangehenden Ansprüche 3 bis 6, wobei: das erste transparente Substrat (10g) wenigstens eine Vertiefung (14) auf einer Hauptoberfläche davon beinhaltet, wobei das wenigstens eine optische Gitter (13) des ersten transparenten Substrats (10g) in der Vertiefung (14) positioniert ist, das zweite transparente Substrat (20g) wenigstens eine Vertiefung (25; 26) auf einer Hauptoberfläche davon beinhaltet, wobei das wenigstens eine optische Gitter (23; 24) des zweiten transparenten Substrats (20g) in der Vertiefung (25; 26) positioniert ist, die eine Hauptoberfläche des ersten transparenten Substrats (10g) und die eine Hauptoberfläche des zweiten transparenten Substrats (20g) vorzugsweise durch den wenigstens einen Abstandhalter (30) gebondet sind, und das optische Gitter (13) des ersten transparenten Substrats (10g) und das optische Gitter (23; 24) des zweiten transparenten Substrats (20g) vorzugsweise durch den Abstandhalter (30) bedeckt sind.
Gitterteil nach einem der vorangehenden Ansprüche 3 bis 7, wobei: der Abstandhalter (30h) eine erste Vertiefung (31) auf einer ersten Hauptoberfläche davon und wenigstens eine zweite Vertiefung (32; 33) auf einer zweiten Hauptoberfläche davon auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche des Abstandhalters (30h) beinhaltet, die Hauptoberfläche des ersten transparenten Substrats (10), wo das optische Gitter (13) davon vorgesehen ist, zu der Hauptoberfläche des zweiten transparenten Substrats (20) gerichtet ist, wo das wenigstens eine optische Gitter (23; 24) davon vorgesehen ist, das optische Gitter (13) des ersten transparenten Substrats (10) durch die erste Vertiefung (31) oder in dieser positioniert ist, und das optische Gitter (23; 24) des zweiten transparenten Substrats (20) durch die zweite Vertiefung (32; 33) oder in dieser positioniert ist.
Herstellungsverfahren eines Gitterteils, umfassend: ein Bringen eines ersten transparenten Substrats (10; 131), welches wenigstens ein optisches Gitter (13) auf einer ersten Hauptoberfläche (11) davon aufweist, in Kontakt mit einem zweiten transparenten Substrat (20; 132), welches wenigstens ein optisches Gitter (23; 24) auf einer ersten Hauptoberfläche (21) davon aufweist, so dass eine zweite Hauptoberfläche (12) des ersten transparenten Substrats (10; 131) auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche (11) des ersten transparenten Substrats (10; 131) zu einer zweiten Hauptoberfläche (22) des zweiten transparenten Substrats (20; 132) auf einer gegenüberliegenden Seite zu der ersten Hauptoberfläche (21) des zweiten transparenten Substrats (20; 132) gerichtet ist; und ein Bonden der zweiten Hauptoberfläche (12) des ersten transparenten Substrats (10; 131) mit der zweiten Hauptoberfläche (22) des zweiten transparenten Substrats (20; 132) durch ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden.
Herstellungsverfahren eines Gitterteils, umfassend: ein Positionieren wenigstens eines Abstandhalters (60) zwischen einem ersten transparenten Substrat (10), welches wenigstens ein optisches Gitter (12) auf einer Oberfläche davon aufweist, und einem zweiten transparenten Substrat (20), welches wenigstens ein optisches Gitter (23; 24) auf einer Oberfläche davon aufweist; und ein Bonden, mit dem Abstandhalter (60), des ersten transparenten Substrats (10) und des zweiten transparenten Substrats (20) durch ein Bonden bei Raumtemperatur, ein Diffusionsbonden und/oder ein anodisches Bonden.