JP6519256B2 - 光束径拡大素子および表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、光変調された光束を利用者の眼に入射させる表示装置、および光束径を拡大
する光束径拡大素子に関するものである。
光変調された光束を利用者の眼に入射させる網膜走査型の表示装置には、画像を表示す
るための光束を出射する光源部と、光源部から出射された光束を2方向に走査する走査光
学系と、走査光学系により走査された光束を反射して使用者の眼に入射させる導光系とが
設けられている。また、網膜走査型の表示装置では、光束が小さいと、瞳孔の位置が変化
した場合に光束が瞳孔に入射しないため、画像の欠け等が発生してしまう。そこで、網膜
走査型の表示装置では光束径拡大素子(瞳拡大素子)が設けられている。
一方、光束径拡大素子(瞳拡大素子)としては、2つの回折格子(第1回折格子および
第2回折格子)を対向させ、双方の格子周期を同一にして回折角を一致させたものが提案
されている(特許文献1)。
特開平7−72422号公報
しかしながら、特許文献1に記載の光束径拡大素子では、光束の偏光性が考慮されてい
ないため、格子周期が小さくなると、光束径を適正に拡大することができないという問題
点がある。すなわち、直線状に延在した凹部または凸部が周期的に配列された回折格子で
は回折効率の入射偏光依存性が強くなり、凹部または凸部の延在方向に電場ベクトルが振
動する偏光(TE波(Transverse Electric Wave))に対して
は、回折効率が高くなるが、凹部または凸部の延在方向に対して直交する方向に電場ベク
トルが振動する偏光(TM波(Transverse Magnetic Wave))
に対しては、回折効率が低くなる。このため、回折格子に入射する光がTM波の場合、光
束径を拡大する効果が小さくなり、回折格子に入射する光がランダム偏光の場合、光束径
を拡大する効果を十分に得ることが困難になる。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、入射光の偏光特性に対応した光束径拡大素子
を備えた表示装置、および光束径拡大素子を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、偏光光束を出射する光源部と、前記偏
光光束が入射され、前記偏光光束の光束径を拡大して出射する光束径拡大素子と、を有し
、前記光束径拡大素子に入射する前記偏光光束は、第1方向に電場ベクトルが振動し、前
記光束径拡大素子は、前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1
方向に対して交差した第2方向に沿う方向において周期的に配列された第1回折格子と、
前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向におい
て周期的に配列され、前記第1回折格子に対して対向配置された第2回折格子と、を備え
、前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第2回折格
子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じであることを特徴とする。
本発明において第1方向、および第1方向に対して交差する第2方向とは、光の進行方
向に沿う方向からみたときの方向である。
本発明では、光源部から出射された偏光光束は、光束径拡大素子の第1回折格子および
第2回折格子を順次、透過する。ここで、光束径拡大素子に入射する偏光光束では、第1
方向に電場ベクトルが振動し、第1回折格子および第2回折格子では、第1方向に沿って
直線状に延在する凹部または凸部が周期的に配列されている。このため、偏光光束は、第
1回折格子および第2回折格子にTE波として入射するため、回折効率が高い。また、第
1回折格子および第2回折格子では、各々の凹部または凸部の格子周期が同じ周期である
ため、第2回折格子からは、光束径が第2方向に拡大された平行光として出射される。
本発明に係る表示装置において、前記光束径拡大素子は、前記第2方向に沿って直線状
に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第
2回折格子に対して前記第1回折格子とは反対側で対向配置された第3回折格子と、
前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向にお
いて周期的に配列され、前記第3回折格子に対して前記第2回折格子とは反対側で対向配
置された第4回折格子と、前記第2回折格子と前記第3回折格子との間に配置された1/
2波長板と、を備え、前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期
は、前記第4回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じであること
が好ましい。かかる構成によれば、第2回折格子から出射された光束は、1/2波長板に
よって、第2方向に電場ベクトルが振動する偏光の光束に変換された後、第3回折格子お
よび第4回折格子を順次、透過する。ここで、第3回折格子および第4回折格子では、第
2方向に沿って直線状に延在する凹部または凸部が周期的に配列されている。このため、
第3回折格子および第4回折格子に入射する光は、TE波であるため、回折効率が高い。
また、第3回折格子および第4回折格子では、各々の凹部または凸部の格子周期が同じ周
期であるため、第4回折格子からは、光束径が第1方向および第2方向に拡大された平行
光が出射される。
本発明に係る表示装置において、前記第1回折格子と前記第2回折格子との間に第1透
光性基板が配置され、前記第3回折格子と前記第4回折格子との間に第2透光性基板が配
置されていることが好ましい。かかる構成によれば、第1透光性基板の一方面および他方
面に第1回折格子および第2回折格子を形成し、第2透光性基板の一方面および他方面に
第3回折格子および第4回折格子を形成することができるので、透光性基板の枚数が少な
くてよい。それ故、光束径拡大素子の薄型化を図ることができる。
本発明において、前記光束径拡大素子は、前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部
または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第2回折格子と前
記1/2波長板との間で前記第2回折格子に対して対向配置された第5回折格子と、前記
第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周
期的に配列され、前記第5回折格子と前記1/2波長板との間で前記第5回折格子に対し
て対向配置された第6回折格子と、を備え、前記第5回折格子に周期的に配列された凹部
または凸部の格子周期は、前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子
周期と、前記第6回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の両方と
同じであることが好ましい。かかる構成によれば、第1回折格子から出射された各回折光
は各々、第2回折格子に加えて、第5回折格子および第6回折格子によって第2方向に回
折される。このため、第6回折格子から平行に出射される各回折光の第2方向における間
隔を適正に狭めることができる。
本発明において、前記光束径拡大素子は、前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部
または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第4回折格子に対
して前記第3回折格子とは反対側に対向配置された第7回折格子と、前記第2方向に沿っ
て直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され
、前記第7回折格子に対して前記第4回折格子とは反対側で対向配置された第8回折格子
と、を有し、前記第7回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記
第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、前記第8回折格子に周
期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の両方と同じであることが好ましい。か
かる構成によれば、第3回折格子から出射された各回折光は各々、第4回折格子に加えて
、第7回折格子および第8回折格子によって第1方向に回折される。このため、第8回折
格子から平行に出射される各回折光の第1方向における間隔を適正に狭めることができる
本発明において、前記光源部は、前記偏光光束を出射する偏光光源を備えている構成を
採用することができる。
本発明において、前記光源部は、ランダム偏光の光を出射する光源と、前記光源から出
射された光における電場ベクトルの振動方向を揃える光学素子と、を備えている構成を採
用してもよい。
本発明に係る表示装置において、前記光源部から出射された前記偏光光束を走査して画
像とする走査光学系と、前記走査光学系により走査された光束を使用者の眼に入射させる
導光系と、を有し、前記光束径拡大素子は、前記走査光学系から前記導光系に到る光路、
または前記導光系の光路に配置されている構成を採用することができる。
本発明に係る光束径拡大素子の一態様は、第1方向に沿って直線状に延在した凹部また
は凸部が前記第1方向と交差した第2方向に沿う方向において周期的に配列された第1回
折格子と、前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う
方向において周期的に配列され、前記第1回折格子に対して対向配置された第2回折格子
と、前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向に
おいて周期的に配列され、前記第2回折格子に対して前記第1回折格子とは反対側で対向
配置された第3回折格子と、前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前
記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第3回折格子に対して前記第2回
折格子とは反対側で対向配置された第4回折格子と、前記第2回折格子と前記第3回折格
子との間に配置された1/2波長板と、を有し、前記第1回折格子に周期的に配列された
凹部または凸部の格子周期は、前記第2回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の
格子周期と同じであり、前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周
期は、前記第4回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じ周期であ
ることを特徴とする。
本発明に係る光束径拡大素子では、光源部から出射された偏光光束は、光束径拡大素子
の第1回折格子および第2回折格子を順次、透過する。ここで、第1回折格子および第2
回折格子では、第1方向に沿って直線状に延在する凹部または凸部が周期的に配列されて
いる。このため、光束径拡大素子に入射する偏光光束では、第1方向に電場ベクトルが振
動していれば、第1回折格子および第2回折格子にTE波として入射するため、回折効率
が高い。また、第1回折格子および第2回折格子では、各々の凹部または凸部の格子周期
が同じ周期であるため、第2回折格子からは、光束径が第2方向に拡大された平行光とし
て出射される。また、光源部から出射された偏光光束は、光束径拡大素子の第3回折格子
および第4回折格子を順次、透過する。ここで、第3回折格子および第4回折格子では、
第2方向に沿って直線状に延在する凹部または凸部が周期的に配列されているが、第3回
折格子に入射する偏光光束は、1/2波長板によって、第2方向に電場ベクトルが振動す
るように偏光方向が回転される。このため、第3回折格子および第4回折格子に入射した
偏光光束は、TE波として入射するため、回折作用を受ける。また、第3回折格子および
第4回折格子では、各々の凹部または凸部の格子周期が同じ周期であるため、光束径が第
1方向に拡大される。それ故、第4回折格子からは、光束径が第1方向および第2方向に
拡大された平行光が出射される。
本発明を適用した網膜走査型の表示装置の一態様を示す説明図である。 本発明を適用した網膜走査型の表示装置においてリレーレンズ系を用いた場合の効果を示す説明図である。 本発明を適用した光束径拡大素子(瞳拡大素子)の第1構成例の一態様を示す説明図である。 光束径拡大素子(瞳拡大素子)における光束の偏光方向と回折機能との関係を示す説明図である。 本発明を適用した光束径拡大素子(瞳拡大素子)の第2構成例の一態様を示す説明図である。 本発明を適用した光束径拡大素子(瞳拡大素子)の第3構成例の一態様を示す説明図である。 本発明を適用した光束径拡大素子(瞳拡大素子)の第4構成例の一態様を示す説明図である。 本発明を適用した光束径拡大素子(瞳拡大素子)の第5構成例の一態様を示す説明図である。
以下、本発明の実施の形態を説明する。
[網膜走査型の表示装置の構成]
図1は、本発明を適用した網膜走査型の表示装置100の一態様を示す説明図であり、
図1(a)、(b)は各々、光学系の一態様を示す説明図および表示装置100の外観の
一態様を示す説明図である。図2は、本発明を適用した網膜走査型の表示装置100にお
いてリレーレンズ系54を用いた場合の効果を示す説明図であり、図2(a)、(b)は
各々、リレーレンズ系54を用いた場合の光線の説明図、およびリレーレンズ系54を用
いない場合の光線の説明図である。なお、図2(a)、(b)では、図6を参照して後述
する光束径拡大素子10を用いた場合を図示してある。
図1(a)において、表示装置100は、画像を表示するための光束を出射する光源部
51と、光源部51から出射された光束を走査して画像とする走査ミラー21を備えた走
査光学系20と、走査光学系20により走査された光束L0を使用者の眼Eに入射させる
導光系52とを有しており、本形態において、導光系52は、走査光学系20からの出射
側にリレーレンズ系54と、投射レンズ系55と、反射部材53とを有している。リレー
レンズ系54は、例えば、2つのレンズ541、542によって構成されている。本形態
において、リレーレンズ系54はアフォーカル光学系からなる。
光源部51は、光変調前の光源光、または光変調した変調光を出射する。本形態におい
て、光源部51は、光変調した変調光を出射する変調光出射部として構成されている。よ
り具体的には、光源部51は、光源として、赤色光(R)を出射する赤色用レーザー素子
511(R)、緑色光(G)を出射する緑色用レーザー素子511(G)、および青色光
(B)を出射する青色用レーザー素子511(B)を有しているとともに、これらのレー
ザー素子の光路を合成する2つのハーフミラー512、513を有している。赤色用レー
ザー素子511(R)、緑色用レーザー素子511(G)および青色用レーザー素子51
1(B)は、制御部59による制御の下、表示すべき画像の各ドットに対応する光強度に
変調した光束を出射する。
走査光学系20は、入射光を第1走査方向A1、および第1走査方向A1に交差する第
2走査方向A2に走査し、走査された光束L0は、リレーレンズ系54および投射レンズ
系55を介して反射部材53に投射される。かかる走査光学系20の動作も、制御部59
による制御の下、実施される。走査光学系20は、例えば、シリコン基板等を用いてME
MS(Micro Electro Mechanical Systems)技術によ
り形成したマイクロミラーデバイスによって実現することができる。
本形態において、表示装置100は、網膜走査方式の投射型表示装置として構成されて
いる。このため、反射部材53は、投射された光束L0を反射して使用者の眼Eに光束L
として入射させる凹曲面状の反射面530を備えている。かかる表示装置100(網膜走
査方式の投射型表示装置)では、走査光学系20によって、第1走査方向A1、および第
1走査方向A1に対して交差する第2走査方向A2に走査された光束L0が反射部材53
の反射面530で、第1走査方向A1に対応する第1入射方向C1、および第2走査方向
A2に対応する第2入射方向C2に反射されて瞳孔E1を介して網膜E2に到達すること
により、利用者に画像を認識させる。本形態において、反射部材53は、部分透過反射性
のコンバイナーである。このため、外光も反射部材53(コンバイナー)を介して眼に入
射するため、利用者は、表示装置100で形成した画像と外光(背景)とが重畳した画像
を認識することができる。すなわち、表示装置100は、シースルー型の網膜走査型投射
装置として構成されている。
また、表示装置100において、走査光学系20から反射部材53に到る光路(走査光
学系20から導光系52に到る光路、または導光系52の光路)には、後述する回折格子
を用いた光束径拡大素子10が配置されている。光束径拡大素子10は、走査光学系20
から出射された光束を第1走査方向A1(第1入射方向C1)に対応する第1拡大方向B
1、および第2走査方向A2(第2入射方向C2)に対応する第2拡大方向B2のうちの
少なくとも一方に拡大する。
光束径拡大素子10は、走査光学系20から導光系52に到る光路、または導光系52
の光路のいずれに配置してもよいが、本形態では、導光系52の光路に配置されている。
より具体的には、導光系52の光路のうち、リレーレンズ系54の出射側のレンズ542
と投射レンズ系55との間に配置されている。従って、光束径拡大素子10およびリレー
レンズ系54からなる光学系57の入射瞳の位置に走査光学系20の走査ミラー21が配
置され、光学系57の出射瞳の位置に光束径拡大素子10の最終出射面が配置されている
このように構成した表示装置100を、シースルー型のヘッドマウントディスプレイ(
アイグラスディスプレイ)として構成する場合、図1(b)に示すように、表示装置10
0は、眼鏡のような形状に形成される。また、観察者の左右の眼Eの各々に変調光を入射
させる場合、表示装置100は、左眼用の反射部材53および左眼用の反射部材53を前
部分61で支持するフレーム60を有しており、フレーム60の左右のテンプル62の各
々に、図1(a)を参照して説明した光学部品を含む光学ユニット56が設けられる。こ
こで、光学ユニット56には、光源部51、走査光学系20、リレーレンズ系54、光束
径拡大素子10、および投射レンズ系55の全てが設けられることがある他、光学ユニッ
ト56には、走査光学系20、リレーレンズ系54、光束径拡大素子10、および投射レ
ンズ系55のみを設け、光学ユニット56と光源部51とを光ケーブル等で接続してもよ
い。
本形態の表示装置100において、利用者が認識する画像では、反射部材53からの光
束Lの第2入射方向C2が、両眼が並ぶ横方向に対応し、それ故、走査光学系20での第
2走査方向A2、および光束径拡大素子10での第2拡大方向B2は、画像の横方向に対
応する。また、反射部材53からの光束Lの第1入射方向C1は、両眼が並ぶ横方向に対
して交差する縦に対応し、それ故、走査光学系20での第1走査方向A1、および光束径
拡大素子10での第1拡大方向B1は、画像の縦方向に対応する。
このように構成した表示装置100において、走査ミラー21で走査された光束L0(
レーザービーム)は、リレーレンズ系54を介して光束径拡大素子10に入射し、光束径
拡大素子10で光束径が拡大された光束L1が投射レンズ系55に入射する。ここで、リ
レーレンズ系54は、平行光である光束を平行光のまま出射させるために、アフォーカル
光学系となっている。従って、図2(a)に示すように、光束径拡大素子10で光束径が
拡大された光束L1は、光束径拡大素子10の出射面と装置光軸Laが交わる点を中心と
して走査されると見なすことができるので、光束径拡大素子10および投射レンズ系55
を小型化することができる。これに対して、リレーレンズ系54を用いない場合、図2(
b)に示すように、走査される光束の回転中心が走査ミラー21の位置なので、光束径拡
大素子10では、光束L0、L1が大きく走査されることになる。従って、光束径拡大素
子10および投射レンズ系55が大型化してしまう。それ故、リレーレンズ系54を用い
ることで、光束径拡大素子10および投射レンズ系55を小型化することができる結果、
図1(b)に示すヘッドマウントディスプレイに適用した場合、光学系が配置される側頭
部付近のサイズを小型化することができる。
[光束径拡大素子10の第1構成例]
図3は、本発明を適用した光束径拡大素子10(瞳拡大素子)の第1構成例の一態様を
示す説明図であり、図3(a)、(b)は各々、光束径拡大素子10を光入射側からみた
ときの構成を模式的に示す説明図、および光束径拡大素子10を通過する光の光線図であ
る。図4は、光束径拡大素子10(瞳拡大素子)における光束L0の偏光方向と回折機能
との関係を示す説明図であり、図4(a)、(b)は各々、本形態の光束径拡大素子10
における光束L0の偏光方向と回折機能との関係を示す説明図、および参考例に係る光束
径拡大素子10における光束L0の偏光方向と回折機能との関係を示す説明図である。な
お、図3(b)には、光束径拡大素子10から平行光として出射される光線のみを図示し
てある。
以下の説明では、回折格子が形成された面内において、Z方向に延在する装置光軸La
に交差する面内において、互いに直交する第1方向および第2方向のうち、第1方向をX
方向とし、第2方向をY方向として説明する。ここで、第1方向Xは、例えば、図1に示
す第1拡大方向B1(縦方向)に対応し、第2方向Yは、図1に示す第2拡大方向B2(
横方向)に対応する。
図3に示すように、図1に示す光束径拡大素子10(瞳拡大素子)は、4つの回折格子
11、12、13、14を対向させ、各々の格子周期P1を同一にして回折角を一致させ
てある。ここで、回折格子11、12、13、14と、本発明における「第1回折格子」
「第2回折格子」「第5回折格子」および「第6回折格子」は以下の関係
回折格子11=本発明における「第1回折格子」
回折格子12=本発明における「第2回折格子」
回折格子13=本発明における「第5回折格子」
回折格子14=本発明における「第6回折格子」
になっている。
本形態の光束径拡大素子10は、装置光軸Laに交差する第1面451の面内方向にお
いて第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン111を備えた回折
格子11と、第1面451に出射側で対向する第2面452の面内方向において第1方向
Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン121を備えた回折格子12とを
有している。回折格子11および回折格子12において、格子パターン111および格子
パターン121は、第2方向Yに沿う方向において周期的に配列されている。また、光束
径拡大素子10は、第2面452に対して第1面451とは反対側で対向する第3面45
3の面内方向において第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン1
31を備えた回折格子13と、第3面453に対して第2面452とは反対側で対向する
第4面454の面内方向において第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子
パターン141を備えた回折格子14とを有している。回折格子13および回折格子14
において、格子パターン131および格子パターン141は、第2方向Yに沿う方向にお
いて周期的に配列されている。かかる光束径拡大素子10では、回折格子11と回折格子
12とが対向配置され、回折格子12に対して回折格子11とは反対側に回折格子13が
対向配置され、回折格子13に対して回折格子12とは反対側に回折格子14が対向配置
されている。ここで、格子パターン111、121、131、141は、格子周期P1が
同一である。
本形態において、回折格子11、12、13、14のうち、隣接する2つの回折格子の
間に、透光性基板が配置されている。より具体的には、第1面451、第2面452、第
3面453、および第4面454のうち、光軸方向で隣り合ういずれか2つの面の一方は
、透光性基板の一方面に形成され、他方は透光性基板の他方面に形成されている。本形態
では、第1面451は、透光性基板1(第1透光性基板)の一方面1aであり、第2面4
52は透光性基板1の他方面1bである。第3面453は、透光性基板2(第3透光性基
板)の一方面2aであり、第4面454は透光性基板2の他方面2bである。また、格子
パターン111、121、131、141は各々、透光性基板1および第2透光性基板2
に形成された膜からなる。また、透光性基板1、2は、厚さが同一の透光性基板である。
このため、第1面451と第2面452との間隔と、第3面453と第4面454との間
隔とが等しい。なお、格子パターン111、121、131、141は各々、透光性基板
1および第2透光性基板2に対するエッチング等により形成された凹部として形成しても
よい。
このように構成した光束径拡大素子10において、図1を参照して説明した光源部51
には、光源として、赤色用レーザー素子511(R)、緑色用レーザー素子511(G)
および青色用レーザー素子511(B)が用いられており、これらの光源は、光束径拡大
素子10に入射する際に第1方向Xに電場ベクトルが振動する偏光の光束L0(偏光光束
)を出射する偏光光源である。それ故、光束径拡大素子10に入射する光束L0は、第1
方向Xに直線状に延在する凸部からなる格子パターン111、121、131、141を
備えた回折格子11、12、13、14に対してTE光として入射する。
従って、回折格子11、12について着目すると、図4(a)に示すように、光束L0
は、回折格子11、12によって第2方向Yに回折される。例えば、格子パターン111
、121の格子周期P1が0.48μmである場合、0次回折効率は42%、1次回折効
率は28%である。従って、回折格子12から出射される光束において、入射光と同一の
角度で出射される3本の出射ビームには、0次回折×0次回折で入射光に対して18%の
0次回折光と、1次回折×1次回折で入射光に対して8%の1次回折光とが含まれること
になる。また、0次回折効率および1次回折効率を30%とすれば、回折格子12から出
射される光束において、入射光と同一の角度で出射される3本の出射ビームには、入射光
に対して9%の0次回折光(0次回折×0次回折)と、入射光に対して9%の1次回折光
(1次回折×1次回折)とが含まれることになる。
これに対して、図4(b)に示すように、回折格子11、12に対して、光束L0が第
2方向Y(第2方向)に電場ベクトルが振動するTM光として入射した場合、0次回折効
率は93%、1次回折効率は2%となる。このため、回折格子12から出射される光束に
おいて、入射光と同一の角度で出射される3本の出射ビームには、入射光に対して86%
の0次回折光(0次回折×0次回折)と、入射光に対して0.04%の1次回折光(1次
回折×1次回折)とが含まれることになってしまう。それ故、図4(b)に示す参考例で
は、第2方向Yへの光束径の拡大機能が十分に得られないことになる。
また、本形態では、図3に示すように、4つの回折格子11、12、13、14には、
同一の格子周期P1をもって第1方向Xに延在する格子パターン111、121、131
、141が形成されている。それ故、光束径拡大素子10では、光束L0が回折格子11
に入射すると、0次回折光La、+1次回折光Lb、および−1次回折Lcが生成され、
かかる回折光は、回折格子12に入射する。従って、回折格子12では、0次回折光La
から0次回折光Laa、+1次回折光(図示せず)、および−1次回折光(図示せず)が
生成され、+1次回折光Lbから0次回折光(図示せず)、+1次回折光(図示せず)、
および−1次回折光Lbcが生成され、−1次回折光Lcから0次回折光(図示せず)、
+1次回折光Lcb、および−1次回折光(図示せず)が生成され、かかる回折光は、回
折格子13に入射する。従って、回折格子13では、0次回折光Laaから0次回折光L
aaa、+1次回折光Laab、および−1次回折光Laacが生成され、−1次回折光
Lbcから0次回折光Lbca、+1次回折光Lbcb、および−1次回折光Lbccが
生成され、+1次回折光Lcbから0次回折光Lcba、+1次回折光Lcbb、および
−1次回折光Lcbcが生成され、かかる回折光は、回折格子14に入射する。
その結果、回折格子14からは、+1次回折光Lbcbから生成された−1次回折光L
bcbcが出射される。また、回折格子14からは、0次回折光Lbcaから生成された
0次回折光Lbcaaと、+1次回折光Laabから生成された−1次回折光Laabc
とが重なって出射される。また、回折格子14からは、−次回折光Lbccから生成され
た+1次回折光Lbccbと、0次回折光Laaaから生成された0次回折光Laaaa
と、+次回折光Lcbbから生成された−1次回折光Lcbbcとが重なって出射される
。また、回折格子14からは、−次回折光Laacから生成された+1次回折光Laac
bと、0次回折光Lcbaから生成された0次回折光Lcbaaとが重なって出射される
。また、回折格子14からは、−1次回折光Lcbcから生成された+1次回折光Lcb
cbが出射される。
ここで、−1次回折光Lbcbc、+1次回折光Lbcaa(−1次回折光Laabc
)、+1次回折光Lbccb(0次回折光Laaaa、−1次回折光Lcbbc)、+1
次回折光Laacb(0次回折光Lcbaa)、および+1次回折光Lcbcbは、第2
方向Yで離間する5個所から互いに平行に進行する光であり、光束L0は、第2方向Yで
径が、例えば、6mmまで拡大した光束L1として出射される。図1に示す瞳孔E1の直
径を2mmとした場合、光束L1の径6mmに瞳孔E1の半径1mmを両側に加算した計
8mmの範囲では、眼Eが第2方向Yが移動しても画像を見ることができる。また、光束
L1においては、第2方向Yにおける各回折光の間隔が1.5mmであり、間隔が狭い。
また、本形態では、第1面451は、透光性基板1の一方面1aであり、第2面452
は透光性基板1の他方面1bであり、第3面453は、透光性基板2の一方面2aであり
、第4面454は透光性基板2の他方面2bである。従って、第2方向Yに径を拡大する
光束径拡大素子10を2枚の透光性基板(透光性基板1、2)によって構成することがで
きるので、光束径拡大素子10の薄型化および低コスト化を図ることができる。
[光束径拡大素子10の第2構成例]
図5は、本発明を適用した光束径拡大素子10(瞳拡大素子)の第2構成例の一態様を
示す説明図である。なお、本形態および後述する構成例の基本的な構成は、構成例1と同
様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
図3に示す構成例では、第1面451および第2面452が同一の透光性基板1の基板
面であり、第3面453および第4面454も同一の透光性基板2の基板面であったが、
図5に示すように、第1面451、第2面452、第3面453および第4面454が各
々、別の透光性基板の基板面であってもよい。例えば、第1面451は、透光性基板10
1の一方の基板面101aであり、第2面452は、透光性基板102の一方の基板面1
02aである。また、透光性基板1の基板面101aとは反対側の面101bと、透光性
基板102の基板面102aとは反対側の面102bとは透光性の接着剤105aによっ
て貼り合わされている。また、図5にかっこ書きで示すように、第3面453は、透光性
基板103の一方の基板面103aであり、第4面454は、透光性基板104の一方の
基板面104aである。また、透光性基板103の基板面103aとは反対側の面103
bと、透光性基板104の基板面104aとは反対側の面104bとは透光性の接着剤1
05bによって貼り合わされている。
かかる構成によれば、格子パターンを形成する際、個別の透光性基板の一方面に格子パ
ターンを形成すればよいので、格子パターンの形成工程を効率よく行うことができる。
[光束径拡大素子10の第3構成例]
図6は、本発明を適用した光束径拡大素子10(瞳拡大素子)の第3構成例の一態様を
示す説明図である。図3および図5を参照して説明した構成例1、2では、第1面451
と第2面452との間隔と、第3面453と第4面454との間隔とが等しかったが、図
6に示すように、本例では、第1面451と第2面452との間隔と、第3面453と第
4面454との間隔とが異なっている。例えば、透光性基板1の厚さT1は、透光性基板
2の厚さT2より厚いため、第1面451と第2面452との間隔は、第3面453と第
4面454との間隔より広い。
従って、最終的に出射される各回折光の第2方向Yにおける出射位置を適正に設定する
ことができるため、第2方向Yにおける光強度の変化を小さく抑えることができる。例え
ば、透光性基板1および第2透光性基板2として屈折率が1.52のガラスを用い、回折
格子11、回折格子12、回折格子13、および回折格子14として、格子周期が1μm
の表面レリーフ型回折格子を構成する。その際、透光性基板1の厚さT1を9mmとし、
透光性基板2の厚さT2を3mmとし、透光性基板1と透光性基板2の間隔dを1mmと
する。その結果、入射角10°で入射した光束L0は、第2方向Yで径が6mmまで拡大
した光束L1として出射される際、−1次回折光Lbcbc、+1次回折光Lbcaa、
−1次回折光Laabc、+1次回折光Lbccb、0次回折光Laaaa、−1次回折
光Lcbbc、+1次回折光Laacb、0次回折光Lcbaa、および+1次回折光L
cbcbが第2方向Yで離間する9個所位置から平行に進行する光として出射される。こ
こで、図6に2点鎖線で示す位置を原点として9個所の出射位置座標をy1、y2・・y
8、y9とすると、各出射位置座標は、表1に示す結果となる。なお、表1には、赤色光
(638nm)、緑色光(520nm)、および青色光(450nm)のレーザー光を入
射した場合の結果を示してあり、座標の単位はmmとしている。
表1から分かるように、光束L0(入射光束)と同じ角度で出射される回折光を、赤色
光の場合で1.06〜1.79mm程度の間隔で11.43mm程度の範囲に渡って出射
することができ、緑色光の場合で0.90〜1.34mm程度の間隔で8.97mm程度
の範囲に渡って出射することができ、青色光の場合で0.79〜1.11mm程度の間隔
で7.62mm程度の範囲に渡って出射することができる。
[光束径拡大素子10の第4構成例]
図7は、本発明を適用した光束径拡大素子10(瞳拡大素子)の第4構成例の一態様を
示す説明図であり、図7(a)、(b)は各々、光束径拡大素子10の構成を示す説明図
、および回折光の位置関係を示す説明図である。本形態では、図7に示すように、0次回
折光、+1次回折光および−1次回折光の組合せによって、出射角が光束L0の入射角と
等しくなる光線を含む光束L1として、第2方向Yにおいて、8mmの範囲に渡って隣り
合う緑色光の回折光の間隔が0.5mmとなるような構成としてある。より具体的には、
透光性基板1、2として屈折率が1.52のガラスを用い、回折格子11、12、13、
14として、格子周期P1が0.8μmの表面レリーフ型回折格子を構成する。その際、
透光性基板1の厚さT1を5.28mmとし、透光性基板2の厚さT2を1.06mmと
し、透光性基板1と透光性基板2の間隔dを1.07mmとする。
かかる構成によれば、光束L1において、回折光の間に光がほとんど存在しない空間の
発生を防止することができる。例えば、図1(a)に示す光源(赤色用レーザー素子51
1(R)、緑色用レーザー素子511(G)、および青色用レーザー素子511(B))
が光束の径の方向の強度分布がガウス分布である光を発する結果、光束径拡大素子10に
入射する光束L0(レーザービーム)の強度分布がガウス分布であり、その強度がピーク
の1/e(eは自然対数の底)倍になるビーム直径が1mmであるとする。この場合、
8mmの範囲に渡って隣り合う17本の回折光の間隔が0.5mmであれば、8mmの範
囲に渡って隣接するビーム間を光で満たすことができる。すなわち、回折格子14から出
射された光は、回折格子11に入射した光の強度のピーク値の1/e(eは自然対数の
底)倍よりも大きい強度の光が光束の径の方向に連続するように分布した光となる。
[光束径拡大素子10の第5構成例]
図8は、本発明を適用した光束径拡大素子10(瞳拡大素子)の第5構成例の一態様を
示す説明図であり、図8(a)、(b)、(c)は各々、光束径拡大素子10を光入射側
からみたときの構成を模式的に示す説明図、回折格子11、12、13、14の格子パタ
ーン111、121、131、141の説明図、および回折格子15、16、17、18
の格子パターン151、161、171、181の説明図である。
図8に示すように、本形態の光束径拡大素子10(瞳拡大素子)は、第1方向Xに直線
状に延在する凸部からなる格子パターン111、121、131、141を備えた4つの
回折格子11、12、13、14が順に対向配置されており、各々の格子周期P1を同一
にして回折角を一致させてある。また、本形態の光束径拡大素子10は、第2方向Yに直
線状に延在する凸部からなる格子パターン151、161、171、181を備えた4つ
の回折格子15、16、17、18が順に対向配置されており、各々の格子周期P2を同
一にして回折角を一致させてある。さらに、回折格子14と回折格子15との間には、1
/2波長板19が配置されている。
ここで、回折格子11、12、13、14、15、16、17、18と、本発明におけ
る「第1回折格子」、「第2回折格子」、「第3回折格子」、「第4回折格子」、「第5
回折格子」、「第6回折格子」、「第7回折格子」および「第8回折格子」は以下の関係
回折格子11=本発明における「第1回折格子」
回折格子12=本発明における「第2回折格子」
回折格子13=本発明における「第5回折格子」
回折格子14=本発明における「第6回折格子」
回折格子15=本発明における「第3回折格子」
回折格子16=本発明における「第4回折格子」
回折格子17=本発明における「第7回折格子」
回折格子18=本発明における「第8回折格子」
になっている。
従って、本形態の光束径拡大素子10は、互いに対向配置された4つの回折格子11、
12、15、16(第1回折格子、第2回折格子、第3回折格子、第4回折格子)と、回
折格子12(第2回折格子)と回折格子15(第3回折格子)との間に配置された1/2
波長板19とを有している。また、光束径拡大素子10は、回折格子12(第2回折格子
)と1/2波長板19との間で回折格子12(第2回折格子)に対して対向配置された回
折格子13(第5回折格子)と、回折格子13(第5回折格子)と1/2波長板19との
間で回折格子13(第5回折格子)に対して対向配置された回折格子14(第6回折格子
)とを有している。さらに、光束径拡大素子10は、回折格子16(第4回折格子)に対
して回折格子15(第3回折格子)とは反対側に対向配置された回折格子17(第7回折
格子)と、回折格子17(第7回折格子)に対して回折格子16(第4回折格子)とは反
対側で対向配置された回折格子18(第8回折格子)とを有している。
より具体的には、図8に示すように、本形態の光束径拡大素子10は、実施の形態1と
同様、装置光軸Laに交差する第1面451の面内方向において第1方向Xに沿って直線
状に延在する凸部からなる格子パターン111を備えた回折格子11と、第1面451に
対向する第2面452の面内方向において第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部から
なる格子パターン121を備えた回折格子12とを有している。また、光束径拡大素子1
0は、第2面452に対して第1面451とは反対側で対向する第3面453の面内方向
において第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン131を備えた
回折格子13と、第3面453に対して第2面452とは反対側で対向する第4面454
の面内方向において第1方向Xに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン14
1を備えた回折格子14とを備えている。回折格子11、12、13、14において、格
子パターン111、121、131、141は、第2方向Yに沿う方向において周期的に
配列されている。かかる光束径拡大素子10では、回折格子11と回折格子12とが対向
配置され、回折格子12と1/2波長板19との間では回折格子12に対して回折格子1
3が対向配置され、回折格子13と1/2波長板19との間では回折格子13に対して回
折格子14が対向配置されている。ここで、格子パターン111、121、131、14
1は、格子周期P1が同一である。
また、本形態の光束径拡大素子10は、装置光軸Laに交差する第5面455の面内方
向において第2方向Yに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン151を備え
た回折格子15と、第5面455に回折格子15の出射側で対向する第6面456の面内
方向において第2方向Yに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン161を備
えた回折格子16とを有している。また、光束径拡大素子10は、第6面456に対して
第5面455とは反対側で対向する第7面457の面内方向において第2方向Yに沿って
直線状に延在する凸部からなる格子パターン171を備えた回折格子17と、第7面45
7に対して第6面456とは反対側で対向する第8面458の面内方向において第2方向
Yに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン181を備えた回折格子18とを
備えている。回折格子15、16、17、18において、格子パターン151、161、
171、181は、第1方向Xに沿う方向において周期的に配列されている。かかる光束
径拡大素子10では、回折格子15に対して1/2波長板19と反対側で回折格子16が
対向配置され、回折格子16に対して回折格子15とは反対側で回折格子17が対向配置
され、回折格子17に対して回折格子16とは反対側で回折格子18が対向配置されてい
る。ここで、格子パターン151、161、171、181は、格子周期P2が同一であ
る。また、本形態では、格子周期P1、P2が同一である。
本形態において、本形態において、回折格子11、12、13、14のうち、隣接する
2つの回折格子の間に、透光性基板が配置されている。より具体的には、第1面451、
第2面452、第3面453、および第4面454のうち、装置光軸La方向で隣り合う
いずれか2つの面の一方は、透光性基板の一方面に形成され、他方は透光性基板の他方面
に形成されている。また、回折格子15、16、17、18のうち、隣接する2つの回折
格子の間に、透光性基板が配置されている。より具体的には、第5面455、第6面45
6、第7面457、および第8面458のうち、光軸方向で隣り合ういずれか2つの面の
一方は、透光性基板の一方面に形成され、他方は透光性基板の他方面に形成されている。
より具体的には、第1面451は、透光性基板1(第1透光性基板)の一方面1aであ
り、第2面452は透光性基板1の他方面1bである。第3面453は、透光性基板2(
第3透光性基板)の一方面2aであり、第4面454は透光性基板2の他方面2bである
。第5面455は、透光性基板3(第2透光性基板)の一方面3aであり、第6面456
は透光性基板3の他方面3bである。第7面457は、透光性基板4(第4透光性基板)
の一方面4aであり、第8面458は透光性基板4の他方面4bである。
ここで、透光性基板1、2は、厚さが同一の透光性基板である。このため、第1面45
1と第2面452との間隔と、第3面453と第4面454との間隔とが等しい。また、
透光性基板3、4は、厚さが同一の透光性基板である。このため、第5面455と第6面
456との間隔と、第7面457と第8面458との間隔とが等しい。なお、格子パター
ン111、121、131、141、151、161、171、181は各々、透光性基
板1、2、3、4に対するエッチング等により形成された凹部として形成してもよい。
このように構成した光束径拡大素子10において、図1を参照して説明した光源部51
には、光源として、赤色用レーザー素子511(R)、緑色用レーザー素子511(G)
および青色用レーザー素子511(B)が用いられており、これらの光源は、光束径拡大
素子10に入射する際に第1方向Xに電場ベクトルが振動する偏光の光束L0を出射する
偏光光源である。それ故、光束径拡大素子10に入射する光束L0は、第1方向Xに沿っ
て直線状に延在する凸部からなる格子パターン111、121、131、141を備えた
回折格子11、12、13、14に対してTE光として入射する。従って、回折格子11
、12、13、14によれば、入射した光束L0の径を第2方向Yにおいて拡大して光束
L1(図3(b)参照)として出射することができる。
また、回折格子15、16、17、18は、第2方向Yに沿って直線状に延在する凸部
からなる格子パターン151、161、171、181を備えており、回折格子14から
出射された光束L1は、1/2波長板19によって、第2方向Yに電場ベクトルが振動す
る偏光(光束L2)に変換される。このため、回折格子15に入射する光束L2は、第2
方向Yに沿って直線状に延在する凸部からなる格子パターン151、161、171、1
81を備えた回折格子15、16、17、18に対してTE光として入射する。従って、
回折格子15、16、17、18によれば、入射した光束L2の径を第1方向Xにおいて
拡大して光束L3として出射することができる。
それ故、本形態の光束径拡大素子10によれば、入射した光束L0の径を第1方向Xお
よび第2方向Yにおいて拡大して光束L3として出射することができる。
なお、本形態において、透光性基板1、2は、厚さが同一の透光性基板であったが、図
6および図7を参照して説明した第3構成例および第4構成例と同様、透光性基板1の厚
さと透光性基板2の厚さとを相違させて、第1面451と第2面452との間隔と、第3
面453と第4面454との間隔とを相違させてもよい。また、本形態において、透光性
基板3、4は、厚さが同一の透光性基板であったが、図6および図7を参照して説明した
第3構成例および第4構成例と同様、透光性基板3の厚さと透光性基板4の厚さとを相違
させて、第5面455と第6面456との間隔と、第7面457と第8面458との間隔
とを相違させてもよい。かかる構成によれば、第3構成例および第4構成例と同様、第1
方向Xおよび第2方向Yのいずれにおいても、最終的に出射される各回折光の第1方向X
および第2方向Yにおける出射位置を適正に設定することができる。なお、本形態では、
8枚の回折格子を用いたが、回折格子の数は、偶数枚であれば、上記以外の態様であって
もよい。
(他の実施の形態)
上記実施の形態では、導光系52のコンバイナーとしてハーフミラー(反射部材53)
を用いたが、ホログラフック光学素子をコンバイナーとして用いた表示装置に本発明を適
用してもよい。
上記実施の形態では、図1を参照して説明した光源部51には、光源として、光束径拡
大素子10に入射する際に第1方向Xに電場ベクトルが振動する偏光の光束L0を出射す
る偏光光源(赤色用レーザー素子511(R)、緑色用レーザー素子511(G)および
青色用レーザー素子511(B))を用いた。但し、第1方向Xに電場ベクトルが振動す
る偏光、および第2方向Yに電場ベクトルが振動する偏光を含むランダム偏光の光を出射
する光源と、光源から出射された光を第1方向Xに電場ベクトルが振動する光に揃える偏
光変換素子や偏光板等の光学素子とによって、光源部51を構成してもよい。
1・・透光性基板(第1透光性基板)、2・・透光性基板(第3透光性基板)、3・・透
光性基板(第2透光性基板)、4・・透光性基板(第4透光性基板)、10・・光束径拡
大素子、11・・回折格子(第1回折格子)、12・・回折格子(第2回折格子)、13
・・回折格子(第5回折格子)、14・・回折格子(第6回折格子)、15・・回折格子
(第3回折格子)、16・・回折格子(第4回折格子)、17・・回折格子(第7回折格
子)、18・・回折格子(第8回折格子)、19・・1/2波長板、20・・走査光学系
、21・・走査ミラー、51・・光源部、52・・導光系、53・・反射部材、54・・
リレーレンズ系、55・・投射レンズ系、57・・光学系、59・・制御部、60・・フ
レーム、61・・前部分、62・・テンプル、100・・表示装置、111、121、1
31、141、151、161、171、181・・格子パターン、451・・第1面、
452・・第2面、453・・第3面、454・・第4面、455・・第5面、456・
・第6面、457・・第7面、458・・第8面、511(B)・・青色用レーザー素子
(偏光光源)、511(G)・・緑色用レーザー素子(偏光光源)、511(R)・・赤
色用レーザー素子(偏光光源)、512、513・・ハーフミラー、530・・反射面、
X・・第1方向、Y・・第2方向

Claims (11)

  1. 偏光光束を出射する光源部と、
    前記偏光光束が入射され、前記偏光光束の光束径を拡大して出射する光束径拡大素子と、
    を有し、
    前記光束径拡大素子に入射する前記偏光光束は、第1方向に電場ベクトルが振動し、
    前記光束径拡大素子は、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に対して交差した第2方向において周期的に配列された第1回折格子と、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第1回折格子に対して対向配置された第2回折格子と、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第2回折格子に対して前記第1回折格子とは反対側で対向配置された第3回折格子と、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第3回折格子に対して前記第2回折格子とは反対側で対向配置された第4回折格子と、
    前記第2回折格子と前記第3回折格子との間に配置された1/2波長板と、
    を備え、
    前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第2回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じであり、
    前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第4回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じであることを特徴とする表示装置。
  2. 請求項に記載の表示装置において、
    前記第1回折格子と前記第2回折格子との間に第1透光性基板が配置され、
    前記第3回折格子と前記第4回折格子との間に第2透光性基板が配置されていることを特徴とする表示装置。
  3. 請求項またはに記載の表示装置において、
    前記光束径拡大素子は、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第2回折格子と前記1/2波長板との間で前記第2回折格子に対して対向配置された第5回折格子と、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第5回折格子と前記1/2波長板との間で前記第5回折格子に対して対向配置された第6回折格子と、
    を備え、
    前記第5回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、前記第6回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の両方と同じであることを特徴とする表示装置。
  4. 請求項乃至の何れか一項に記載の表示装置において、
    前記光束径拡大素子は、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第4回折格子に対して前記第3回折格子とは反対側に対向配置された第7回折格子と、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第7回折格子に対して前記第4回折格子とは反対側で対向配置された第8回折格子と、
    を有し、
    前記第7回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、前記第8回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の両方と同じであることを特徴とする表示装置。
  5. 請求項1乃至の何れか一項に記載の表示装置において、
    前記光源部は、前記偏光光束を出射する偏光光源を備えていることを特徴とする表示装置。
  6. 請求項1乃至の何れか一項に記載の表示装置において、
    前記光源部は、ランダム偏光の光を出射する光源と、前記光源から出射された光における電場ベクトルの振動方向を揃える光学素子と、を備えていることを特徴とする表示装置。
  7. 請求項1乃至の何れか一項に記載の表示装置において、
    前記光源部から出射された前記偏光光束を走査して画像とする走査光学系と、
    前記走査光学系により走査された光束を使用者の眼に入射させる導光系と、
    を有し、
    前記光束径拡大素子は、前記走査光学系から前記導光系に到る光路、または前記導光系の光路に配置されていることを特徴とする表示装置。
  8. 第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向と交差した第2方向沿う方向において周期的に配列された第1回折格子と、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第1回折格子に対して対向配置された第2回折格子と、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第2回折格子に対して前記第1回折格子とは反対側で対向配置された第3回折格子と、
    前記第2方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第3回折格子に対して前記第2回折格子とは反対側で対向配置された第4回折格子と、
    前記第2回折格子と前記第3回折格子との間に配置された1/2波長板と、
    を有し、
    前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第2回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じであり、
    前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第4回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と同じ周期であることを特徴とする光束径拡大素子。
  9. 請求項に記載の光束径拡大素子において、
    前記第1回折格子と前記第2回折格子との間に第1透光性基板が配置され、
    前記第3回折格子と前記第4回折格子との間に第2透光性基板が配置されていることを特徴とする光束径拡大素子。
  10. 請求項またはに記載の光束径拡大素子において、
    第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向と交差した第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第2回折格子と前記1/2波長板との間で前記第2回折格子に対して対向配置された第5回折格子と、
    前記第1方向に沿って直線状に延在した凹部または凸部が前記第2方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第5回折格子と前記1/2波長板との間で前記第5回折格子に対して対向配置された第6回折格子と、を有し、
    前記第5回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第1回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、前記第6回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の双方と同じであることを特徴とする光束径拡大素子。
  11. 請求項乃至10の何れか一項に記載の光束径拡大素子において、
    前記第2方向に直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第4回折格子に対して前記第3回折格子とは反対側に対向配置された第7回折格子と、
    前記第2方向に直線状に延在した凹部または凸部が前記第1方向に沿う方向において周期的に配列され、前記第7回折格子に対して前記第4回折格子とは反対側で対向配置された第8回折格子と、
    を有し、
    前記第7回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期は、前記第3回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、前記第8回折格子に周期的に配列された凹部または凸部の格子周期と、の双方と同じであることを特徴とする光束径拡大素子。
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