JP7316370B2 - パッケージ - Google Patents
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Description
図1および図2のそれぞれは、本実施の形態における電子装置900の構成と、その製造のために用いられるパッケージ800の構成とを概略的に示す断面図である。
図3は、本実施の形態におけるパッケージ800Mの構成を概略的に示す部分断面図である。パッケージ800Mは、内部電極端子823(図2:実施の形態1)に代わって、内部電極端子823Mを有している。内部電極端子823Mは、基部810(図2参照)の底部811上に配置された第1配線層823aと、第1配線層823a上に配置された第2配線層823bとを含む。第1配線層823aは酸化物を必須成分として含む。第2配線層823bは酸化物を任意成分として含む。言い換えれば、第2配線層823bは、金属および酸化物の両方からなってもよく、あるいは金属のみからなってもよい。第1配線層823aにおける酸化物の含有量に比して第2配線層823bにおける酸化物の含有量は小さい。なお第2配線層823bにおける酸化物の含有量はゼロであってもよい。
810 基部
811 底部
812 枠部
820 配線部
821 外部電極端子
822 内部配線
823 内部電極端子
900 電子装置
901 接合層
902 電子部品
906 接着層
907 蓋体
CV キャビティ
SF 取付面
SM 実装面
Claims (5)
- 電子部品が実装されることになる実装面と、前記実装面上に位置するキャビティと、前記キャビティを封止するための蓋体が取り付けられることになる取付面と、を有するパッケージであって、
セラミックスからなる基部と、
前記基部を貫通する配線部と、
を備え、
前記基部は、
81.00wt%以上96.40wt%以下のAl2O3と、
1.50wt%以上8.00wt%以下のSiO2と、
2.00wt%以上6.00wt%以下のMnOと、
MoおよびCr2O3の少なくともいずれかを含み、Moの含有量とCr2O3の含有量との合計が0.10wt%以上5.00wt%以下である着色剤と、
0.10wt%以下の残部と、
を含み、
前記配線部は、60.00wt%以上の金属モリブデンを含み、
前記配線部は、前記基部上に配置された第1配線層と、前記第1配線層上に配置された第2配線層とを含み、前記第1配線層は酸化物を必須成分として含み、前記第2配線層は酸化物を任意成分として含み、前記第1配線層における酸化物の含有量に比して前記第2配線層における酸化物の含有量が小さく、
前記第2配線層上にめっき層をさらに備えるパッケージ。 - 前記めっき層は、純ニッケルまたはニッケル合金からなる下地層と、貴金属からなる表面層と、を含む請求項1に記載のパッケージ。
- 前記配線部は、Al2O3、SiO2、MnO、およびCr2O3を含み、Al2O3の含有量が30.00wt%以下であり、SiO2の含有量が6.00wt%以下であり、MnOの含有量が5.00wt%以下であり、Cr2O3の含有量が1.00wt%以下であり、残部の含有量が0.10wt%未満である請求項1または2に記載のパッケージ。
- 前記配線部について、金属モリブデンの含有量が74.61wt%以上92.01wt%以下であり、Al2O3の含有量が7.06wt%以上23.03wt%以下であり、SiO2の含有量が0.46wt%以上6.00wt%以下であり、MnOの含有量が0.35wt%以上5.00wt%以下である請求項3に記載のパッケージ。
- 前記基部の前記着色剤はMoを含む請求項1から4のいずれか1項に記載のパッケージ。
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---|---|---|---|
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-
2019
- 2019-10-24 WO PCT/JP2019/041628 patent/WO2021079450A1/ja active Application Filing
- 2019-10-24 JP JP2021553220A patent/JP7316370B2/ja active Active
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