JP7309390B2 - 電流検出装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の電流検出装置においては、磁気測定素子が第2導電層又は第3導電層にワイヤを介して電気的に接続されている点で、第1の実施形態と異なっている。ここで、第1の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
本実施形態の電流検出装置においては、第4積層基板の下に磁気測定素子50が設けられている点で、第1及び第2の実施形態と異なっている。ここで、第1及び第2の実施形態と異なっている点については、記載を省略する。
12a~c 第1導電層
14 第1接続導体
16 第1絶縁層
20 第2積層基板
22a~c 第2導電層
24 第2接続導体
26 第2絶縁層
30 第3積層基板
32a~c 第3導電層
34 第3接続導体
36 第3絶縁層
40 第4積層基板
42a~c 第4導電層
46 第4絶縁層
50 磁気測定素子
72 第1コイル
74 第2コイル
76 第1シールド
78 第2シールド
90 キャビティ
92 第1領域
94 第2領域
96 第3領域
100 電流検出装置
200 電流検出装置
300 電流検出装置
Claims (13)
- 第1積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第2積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第3積層基板と、
前記第2積層基板と前記第3積層基板の間における前記第1積層基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の上に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子と前記第1コイルの間の、前記第2積層基板と前記第3積層基板の間に設けられた第4積層基板と、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第2積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第3積層基板と、
前記第2積層基板と前記第3積層基板の間における前記第1積層基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子の上に設けられ、前記第1コイルに接続され、前記第1コイルから発生する第1磁界と第2コイルから発生する第2磁界が同様の向きになるように、検出対象となる前記電流が流される前記第2コイルと、
前記磁気測定素子と前記第2コイルの間の、前記第2積層基板と前記第3積層基板の間に設けられた第4積層基板と、
を備え、前記第1磁界及び前記第2磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第2積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第3積層基板と、
前記第2積層基板と前記第3積層基板の間における前記第1積層基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の上に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子と前記第1コイルの間の、前記第2積層基板と前記第3積層基板の間に設けられた第4積層基板と、
前記第1コイルと前記磁気測定素子の間に設けられ、導電材料を含み、グランドと接続されるシールドと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第2積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第3積層基板と、
前記第2積層基板と前記第3積層基板の間における前記第1積層基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子の上の、前記第2積層基板と前記第3積層基板の間に設けられた第4積層基板と、
前記第1コイルと前記磁気測定素子の間に設けられ、導電材料を含み、グランドと接続されるシールドと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 前記電流検出装置は、前記第1積層基板と前記第4積層基板の間の、前記第2積層基板と前記第3積層基板の間における、前記磁気測定素子の周囲にキャビティを有する請求項1乃至請求項4いずれか一項記載の電流検出装置。
- 前記第1積層基板は、複数の第1導電層と、前記複数の第1導電層の間に設けられた第1絶縁層と、前記複数の第1導電層を互いに接続する第1ビアと、を有し、
前記磁気測定素子は前記第1導電層に電気的に接続されている請求項1乃至請求項5いずれか一項記載の電流検出装置。 - 前記第2積層基板は、複数の第2導電層と、前記複数の第2導電層の間に設けられた第2絶縁層と、前記複数の第2導電層を互いに接続する第2ビアと、を有し、
前記磁気測定素子は前記第2導電層にワイヤを用いて電気的に接続されている請求項1乃至請求項6いずれか一項記載の電流検出装置。 - 第1積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第2積層基板と、
前記第1積層基板の上に設けられた第3積層基板と、
前記第2積層基板と前記第3積層基板の間に設けられた第4積層基板と、
前記第1積層基板と前記第4積層基板の間に設けられ、前記第4積層基板と電気的に接続された磁気測定素子と、
前記第4積層基板の上又は前記第1積層基板の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第2低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第3低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間における前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の上に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子と前記第1コイルの間の、前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられた第4低温同時焼成セラミックス基板と、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第2低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第3低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間における前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子の上に設けられ、前記第1コイルに接続され、前記第1コイルから発生する第1磁界と第2コイルから発生する第2磁界が同様の向きになるように、検出対象となる前記電流が流される前記第2コイルと、
前記磁気測定素子と前記第2コイルの間の、前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられた第4低温同時焼成セラミックス基板と、
を備え、前記第1磁界及び前記第2磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第2低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第3低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間における前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の上に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子と前記第1コイルの間の、前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられた第4低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1コイルと前記磁気測定素子の間に設けられ、導電材料を含み、グランドと接続されるシールドと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第2低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第3低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間における前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた磁気測定素子と、
前記磁気測定素子の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
前記磁気測定素子の上の、前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられた第4低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1コイルと前記磁気測定素子の間に設けられ、導電材料を含み、グランドと接続されるシールドと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。 - 第1低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第2低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板の上に設けられた第3低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第2低温同時焼成セラミックス基板と前記第3低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられた第4低温同時焼成セラミックス基板と、
前記第1低温同時焼成セラミックス基板と前記第4低温同時焼成セラミックス基板の間に設けられ、前記第4低温同時焼成セラミックス基板と電気的に接続された磁気測定素子と、
前記第4低温同時焼成セラミックス基板の上又は前記第1低温同時焼成セラミックス基板の下に設けられ、検出対象となる電流が流される第1コイルと、
を備え、前記電流により前記第1コイルから発生する第1磁界を、前記磁気測定素子で検出する電流検出装置。
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