JP7304440B2 - 樹脂製継手、流路ブロック及び流体制御装置 - Google Patents

Description

本発明は、樹脂製継手、流路ブロック、及び流体制御装置に関する。

半導体製造装置や医薬品製造装置等の流路として使用されるチューブ間を接続する部品の一例として、樹脂製継手がある。

半導体製造装置等の小型化が進むと、装置内部に装備される部品の集積度が上昇する。そこで、チューブ間をコンパクトに接続するために、エルボ型の樹脂製継手が利用されている。

特許文献１には、図１５に示すように、内部に形成された流路１１０が、角部１２０で略直角に交わった構造のエルボ型の樹脂製継手１００が開示されている。しかしながら、このような構造の流路１１０を流れる流体は、角部１２０の内壁に衝突して乱流となるため、圧力損失が生じる。そこで、図１６に示すように、角部１２０における流路を、曲率半径の大きな湾曲状にすれば、流路１１０内における流体の流れを滑らかにすることができ、これにより、圧力損失を低減することができる。

特開２０１１－２０８６５９号公報

内部に流路が形成された樹脂製継手１００を射出成形で形成する場合、通常、以下の方法で行われる。まず、流路形状に対応した形状を有するコアピンを金型のキャビティ内に配置し、この状態で、キャビティ内に溶融した樹脂を注入する。注入した樹脂が固化した後、コアピンを引き抜くことにより、樹脂製継手１００が形成される。

しかしながら、図１６に示したような構造の樹脂製継手１００では、流路を形成する内周面が、角部１２０で湾曲した部位１３０と、端部側でストレートになった部位１４０とが混在する。従って、金型のキャビティ内に配置されるコアピンも、外周面が、継手１００の角部１２０における形状に対応した湾曲した部位と、端部側における形状に対応したストレートな部位とが混在する。

そのため、コアピンの湾曲した部位における曲率半径が大きいと、コアピンを引き抜く際、コアピンの湾曲した部位が、継手１００の端部側でストレートになった部位１４０の内周面にひっかかってしまうため、コアピンを引き抜くことができない。また、仮に曲率半径が小さくても、コアピンを無理に抜こうとすると、樹脂製継手１００の端部側でストレートになった部位１４０の内周面に、傷を付けてしまうという問題がある。

本開示は、かかる点に鑑みてなされたもので、その主な目的は、湾曲状の流路を有し、圧力損失の小さい樹脂製継手を提供することにある。

本開示に係る樹脂製継手は、流路を有する樹脂製の継手本体と、継手本体に圧入可能な圧入部と、チューブに圧入可能な連結部とを有するスリーブと、連結部が圧入されたチューブを、継手本体に固定するために、継手本体の外周に装着されるユニオンナットとを備える。

継手本体は、内周面が湾曲状の本体部と、本体部の端部から突出するストレート部とを有し、ストレート部は、互いに軸心が共通な外筒部と、外筒部の径方向内側に配置された内筒部とを有し、内筒部の軸心方向端部は、外筒部の軸心方向端部よりも、本体部側に位置しており、外筒部の内周面と、内筒部の外周面との間には、外筒部及び内筒部の軸心方向に平行に延びる溝部が形成されており、チューブは、スリーブの圧入部が溝部に圧入された状態で、継手本体に固定される。

本開示によれば、湾曲状の流路を有し、圧力損失の小さい樹脂製継手を提供することができる。

本発明の第１の実施形態における樹脂製継手の構成を模式的に示した断面図である。 継手本体の構成を模式的に示した断面図である。 スリーブの構成を模式的に示した断面図である。 ユニオンナットの構成を模式的に示した断面図である。 図１の矢印Ａで示した部分を拡大した断面図である。 継手本体を射出成形により形成する方法を説明した図である。 継手本体の溝部付近を拡大した拡大図である。 シール性能のバラツキを低減する他の構成を示した断面図である。 シール性能のバラツキを低減する他の構成を示した断面図である。 本発明の第２の実施形態における樹脂製継手の構成を模式的に示した断面図である。 本発明の第３の実施形態における流路ブロックの構成を模式的に示した図で、図１１（Ａ）は斜視図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）のXIB－XIB線に沿った断面図である。 図１２（Ａ）、（Ｂ）は、流路ブロックとＵ字ブロックとを組み合わせて、継手を構成した例を示した図である。 本発明の第３の実施形態における流路ブロックの他の構成を模式的に示した図で、図１３（Ａ）は斜視図、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）のXIIIB－XIIIB線に沿った断面図である。 本発明の第４の実施形態における流体制御装置の構成を模式的に示した断面図である。 従来のエルボ型の樹脂製継手の構造を示した断面図である。 従来のエルボ型の樹脂製継手の構造を示した断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における樹脂製継手（以下、単に「継手」ともいう）の構成を模式的に示した断面図である。なお、図１は、継手にチューブを接続した状態を示す。

図１に示すように、本実施形態における継手１は、湾曲状の流路５０を有する継手本体１０と、継手本体１０に圧入可能なスリーブ２０と、チューブ４０を継手本体１０に固定するために、継手本体１０の外周に装着されるユニオンナット３０とを備えている。

継手本体１０は、射出成形により形成された樹脂からなる。本実施形態において樹脂は、例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキビニルエーテル共重合体）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド）、ＥＴＦＥ（テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体）等のフッ素樹脂を用いることができる。また、スリーブ２０及びユニオンナット３０も、例えば、ＰＦＡ、ＰＶＤＦ、ＥＴＦＥ、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂を用いて形成することができる。なお、樹脂は、フッ素樹脂に限定されず、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、ポリエーテルエテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、ポリイミド等を用いることができ、使用分野や用途、チューブ４０の材質等に応じて適宜変更可能である。

図２は、継手本体１０の構成を模式的に示した断面図である。

図２に示すように、継手本体１０は、内周面が湾曲状の本体部１１と、本体部１１の端部Ｂ－Ｂ、Ｃ－Ｃから突出するストレート部１２とを有している。本体部１１の内側には、流路５０が形成されている。なお、本実施形態では、継手本体１０において、チューブ４０を接続する側の両端部の構成は同じなので、一方の端部における構成のみを説明する。

ストレート部１２は、互いに軸心Ｊａが共通な外筒部１３と内筒部１４とを有している。内筒部１４は、外筒部１３の径方向内側に配置されている。内筒部１４の軸心Ｊａ方向端部１４ｃは、外筒部１３の軸心Ｊａ方向端部１３ｃよりも、本体部１１側に位置（換言すれば、軸心Ｊａ方向端部１４ｃよりも軸心Ｊａ方向端部１３ｃの方が端部Ｂ－Ｂ、Ｃ－Ｃから突出）している。外筒部１３の内周面１３ａと、内筒部１４の外周面１４ｂとの間には、外筒部１３及び内筒部１４の軸心Ｊａ方向に平行に延びる溝部１５が形成されている。溝部１５は、環状になっており、本体部１１と、外筒部１３と、内筒部１４とで囲まれている。外筒部１３の外周面１３ｂには、雄ネジ１３ｄが形成されている。

図３は、スリーブ２０の構成を模式的に示した断面図である。

図３に示すように、スリーブ２０は、その軸心が、外筒部１３及び内筒部１４の軸心Ｊａと共通な筒状をなしている。スリーブ２０は、継手本体１０に圧入可能な圧入部２１と、チューブ４０に圧入可能な連結部２２とを有している。圧入部２１は、環状に形成されており、図中の矢印Ｐの方向から、継手本体１０の溝部１５に圧入される。連結部２２の外周面には、突起部２２ａが形成されている。連結部２２を図中の矢印Ｑの方向からチューブ４０に圧入したとき、チューブ４０の内径が、突起部２２ａによって拡張される。

図４は、ユニオンナット３０の構成を模式的に示した断面図である。

図４に示すように、ユニオンナット３０は、その軸心が、外筒部１３及び内筒部１４の軸心Ｊａと共通な筒状をなしている。ユニオンナット３０の内周面には、外筒部１３の外周面１３ｂに形成された雄ネジ１３ｄに係合する雌ネジ３０ａが形成されている。

図１に示したように、チューブ４０を継手１に接続する手順は、以下のように行われる。

まず、図３に示すように、スリーブ２０をチューブ４０に圧入する。このとき、チューブ４０の内径が突起部２２ａにより拡張される。次に、チューブ４０に圧入されたスリーブ２０の圧入部２１を、継手本体１０の溝部１５に圧入する。この状態で、ユニオンナット３０の雌ネジ３０ａを、外筒部１３の雄ネジ１３ｄに係合させることで、チューブ４０が継手１に接続される。

図５は、図１の矢印Ａで示した部分を拡大した断面図である。

図５に示すように、スリーブ２０の圧入部２１が、継手本体１０の溝部１５に圧入されることによって、圧入部２１の外周面及び内周面が、それぞれ、外筒部１３の内周面及び内筒部１４の外周面に圧接される。これにより、圧入部２１の径方向外方及び径方向内方の押圧力を利用することによって、流路５０を流れる流体のシール性能が向上する。そのため、ユニオンナット３０を軸心Ｊａ方向に強く締め付ける必要がない。従って、ユニオンナット３０を手締めするだけで、十分なシール性能を確保することができる。

次に、図６を参照しながら、本実施形態における継手本体１０を射出成形により形成する方法を説明する。

内部に流路５０が形成された継手本体１０を射出成形で形成する場合、流路５０の形状に対応した形状を有するコアピンを金型のキャビティ内に配置した状態で、キャビティ内に溶融した樹脂を注入する。そして、注入した樹脂が固化した後、コアピンを引き抜くことにより、継手本体１０が形成される。

図６に示したように、継手本体１０の流路５０は、継手本体１０における本体部１１の内周面１１ａ、及びストレート部１２における内筒部１４の内周面１４ａによって形成されている。また、本体部１１の内周面１１ａと、内筒部１４の内周面１４ａとは、同じ曲率に設定され、湾曲状に形成されている。従って、金型（不図示）のキャビティ内に配置されるコアピン６０の外周面も、流路５０の形状に合わせて、同じ曲率で湾曲状に形成されている。すなわち、コアピン６０の外周面は、ストレートな領域を有さない。

このことから、図６に示すように、キャビティ内に配置されたコアピン６０は、キャビティ内に注入した溶融樹脂が固化した後、図中の矢印の方向に回転させながら引き抜くことができる。

なお、外筒部１３の軸心Ｊａ方向端部１３ｃは、内筒部１４の軸心Ｊａ方向端部１４ｃよりも、本体部１１から外方に突出している。そのため、コアピン６０を引く抜く際、コアピン６０が外筒部１３と干渉しないよう、外筒部１３の内径Ｄ、及びコアピン６０の曲率中心側の外周面の曲率半径Ｒの大きさを設定することが好ましい。

上述したように、本実施形態における継手１は、スリーブ２０の圧入部２１を、継手本体１０の溝部１５に圧入することによって、流体のシール性能の向上を図っている。このようなシール性能を確保するためには、圧入部２１と溝部１５とは、軸心Ｊａ、軸心Ｊｂ方向と平行になっていることが好ましい。従って、溝部１５を区画する外筒部１３の内周面１３ａ、及び内筒部１４の外周面１４ｂは、軸心Ｊａ、Ｊｂ方向に平行なストレート状になっていることが好ましい。

一方、本実施形態では、内筒部１４の内周面１４ａは、湾曲状になっている。しかしながら、内筒部１４の軸心Ｊａ、Ｊｂ方向の長さは、シール性能を確保できる範囲で短くすることができる。そのため、内周面１４ａが湾曲状であっても、外周面１４ｂがストレート状の内筒部１４を形成することが可能となる。

以上、説明したように、本実施形態における継手１は、流体のシール性能を確保しつつ、湾曲状の流路を備えた継手を、射出成形により容易に形成することができる。これにより、流体のシール性能に優れ、かつ、流体の圧力損失の小さい継手１を実現することができる。

ところで、内筒部１４の内周面１４ａは湾曲状になっているため、図７の拡大図に示すように、曲率中心側に位置する内筒部１４Ａの径方向厚みｔ_１は、軸心Ｊａ方向に沿って、徐々に薄くなっている。一方、曲率中心側と反対側に位置する内筒部１４Ｂの径方向厚みｔ_２は、軸心Ｊａ方向に沿って、徐々に厚くなっている。すなわち、内筒部１４の径方向厚みは、周方向において不均一になっている。そのため、スリーブ２０の圧入部２１を溝部１５に圧入することによって発揮するシール性能は、周方向においてバラツキが生じるおそれがある。しかしながら、このようなバラツキは、内筒部１４の径方向厚みを厚くすることによって低減することが可能である。

図８は、シール性能のバラツキを低減する他の構成を示した断面図である。

図８に示すように、内筒部１４の内周面１４ａは、内筒部１４の軸心Ｊａ方向に平行に延びている。すなわち、内筒部１４の内周面１４ａは、本体部１１の端部Ｃ－Ｃまで、ストレートになっている。従って、内筒部１４の径方向厚みは、周方向において均一になっている。その結果、スリーブ２０の圧入部２１を溝部１５に圧入することによって発揮するシール性能のバラツキを低減することができる。

なお、上述したように、内筒部１４の内周面１４ａの長さＬ_１は短いため、コアピン６０を回転させながら引き抜くことは可能である。また、仮にコアピン６０を無理に引き抜いても、内筒部１４の内周面１４ａに発生する傷は極めて小さいことから、流路５０内の流体の流れには、ほとんど影響しない。

図９は、シール性能のバラツキを低減する他の構成を示した断面図である。

図９に示すように、継手本体１０の本体部１１は、本体部１１の端部Ｃ－Ｃ側において、本体部１１の内周面１１ｂが、内筒部１４の内周面１４ａに連続して、内筒部１４の軸心Ｊａ方向に平行に延びる伸長部１１ｃを有している。すなわち、図２や図８等で示した構成と比べて、内筒部１４の内周面１４ａにおけるストレート領域が、さらに、本体部１１の内周面１１ｂの一部まで延びている。これにより、内筒部１４の径方向厚みを、周方向においてより均一にすることができる。その結果、スリーブ２０の圧入部２１を溝部１５に圧入することによって発揮するシール性能のバラツキをより低減することができる。

なお、伸長部１１ｃの長さが必要以上に長くなると、コアピン６０を回転させながら引き抜くことが難しくなる。従って、内筒部１４の内周面１４ａ、及び伸長部１１ｃの内周面１１ｂからなるストレート領域の長さＬ_２は、本体部１１の曲率半径Ｒの１／３以下が好ましく、１／５以下がより好ましい。なお、本体部１１の曲率半径Ｒは、図６に示したように、本体部１１の内周面１１ａのうち、曲率中心側の内周面１１ａにおける曲率半径をいう。

（第２の実施形態）
図１０は、本発明の第２の実施形態における樹脂製継手の構成を模式的に示した断面図である。なお、ここでは、継手本体１０のみを示し、スリーブ２０及びユニオンナット３０は省略している。

第１の実施形態では、図１に示したように、継手本体１０が湾曲状の流路を有する、いわゆるエルボ型の継手を示したが、本実施形態では、いわゆるＴ字型の継手からなる点で図１の形態と異なる。

図１０に示すように、継手本体１０は、３つの開口する開口端８０、８１、８２を有し、各開口端８０、８１、８２に対して、それぞれチューブが接続される。開口端８０、８１間に形成される流路５０は湾曲状をなし、開口端８０、８２間に形成される流路５１はストレート状をなす。本実施形態では、湾曲状の流路５０が形成される部位において、図１に示した継手本体１０と同一の構造が採用されている。

すなわち、継手本体１０は、湾曲状の流路５０が形成される部位の開口端８０、８１において、外筒部１３及び内筒部１４からなるストレート部１２を有し、外筒部１３の内周面と、内筒部１４の外周面との間に溝部１５が形成されている。

（第３の実施形態）
図１１（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態における流路ブロック７０の構成を模式的に示した図で、図１１（Ａ）は斜視図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）のXIB－XIB線に沿った断面図である。

図１１（Ｂ）に示すように、本実施形態における流路ブロック７０は、樹脂製のブロック本体で構成され、内周面が湾曲状の流路５０が形成された本体部７１を有する。

流路ブロック７０は、開口端８０、８１を有し、一方の開口端８０において、図１に示した継手本体１０と同一の構造が採用されている。すなわち、流路ブロック７０は、一方の開口端８０において、本体部７１の一方の端部から突出するストレート部１２を有する。ストレート部１２は、互いに軸心Ｊａが共通な外筒部１３と、外筒部１３の径方向内側に配置された内筒部１４とを有し、内筒部１４の軸心方向端部は、外筒部１３の軸心方向端部よりも、本体部７１側に位置している。また、外筒部１３の内周面と、内筒部１４の外周面との間には、外筒部１３及び内筒部１４の軸心方向に平行に延びる溝部１５が形成されている。

一方、本体部７１の他方の端部（開口端８１）には、ガスケットが圧入される環状のシール溝１６が形成されている。シール溝１６の形状は特に限定されず、圧入されるガスケットの形状に応じて、適宜決めればよい。

一方の開口端８０において、チューブを流路ブロック７０に接続する場合、図１に示したスリーブ２０及びユニオンナット３０と同一の構造を採用することができる。すなわち、スリーブ２０は、ブロック本体に圧入可能な圧入部と、チューブに圧入可能な連結部とを有し、チューブに連結部を圧入した状態で、圧入部２１をブロック本体の溝部１５に圧入する。この状態で、ユニオンナット３０を、ブロック本体の外周に装着することによって、チューブが流路ブロック７０に接続される。

次に、図１２を参照しながら、本実施形態における流路ブロック７０の使用例を説明する。

図１２（Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態における流路ブロック７０と、Ｕ字ブロック７５とを組み合わせて、継手を構成した例を示した図である。

図１２（Ａ）に示すように、Ｕ字ブロック７５は、同一面７６に、開口端７７Ａ、開口端７７Ｂを有し、開口端７７Ａ、７７Ｂ間に形成される流路７９は、Ｕ字型の湾曲状をなす。また、開口端７７Ａ、７７Ｂには、それぞれ、ガスケットが圧入される環状のシール溝７８Ａ、シール溝７８Ｂが形成されている。Ｕ字ブロック７５は、例えば、樹脂材料で構成されている。

まず、図１２（Ａ）に示すように、２つの流路ブロック７０Ａ、流路ブロック７０Ｂを、開口端８０Ａ、開口端８０Ｂが反対方向に位置するとともに、シール溝１６Ａ、シール溝１６Ｂが、同じ面になるように配置する。また、Ｕ字ブロック７５を、シール溝７８Ａ、シール溝７８Ｂが、流路ブロック７０Ａ、７０Ｂのシール溝１６Ａ、１６Ｂと対向する位置に配置する。また、環状のガスケット９０Ａ、ガスケット９０Ｂを、それぞれ、流路ブロック７０Ａ、流路ブロック７０Ｂのシール溝１６Ａ、シール溝１６Ｂ、及びＵ字ブロック７５のシール溝７８Ａ、シール溝７８Ｂの位置に合わせて配置する。

そして、図１２（Ｂ）に示すように、ガスケット９０Ａ、９０Ｂを、それぞれ、流路ブロック７０Ａ、７０Ｂのシール溝１６Ａ、１６Ｂ、及びＵ字ブロック７５のシール溝７８Ａ、７８Ｂに圧入して、流路ブロック７０Ａ、７０Ｂ及びＵ字ブロック７５を組み合わせる。これにより、流路ブロック７０Ａの流路５０Ａ、Ｕ字ブロック７５の流路７９，及び、流路ブロック７０Ｂの流路５０Ｂが繋がった流路を有する継手が構成される。

図１３（Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態における流路ブロック７０の他の構成を模式的に示した図で、図１３（Ａ）は斜視図、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）のXIIIB－XIIIB線に沿った断面図である。

図１１（Ｂ）に示した流路ブロック７０では、流路５０をエルボ型にしたが、図１３（Ｂ）に示すように、流路５０をＵ字型にしてもよい。

すなわち、流路ブロック７０は、開口端８０、８１を有し、一方の開口端８０において、本体部７１の一方の端部から突出するストレート部１２を有する。ストレート部１２は、互いに軸心Ｊａが共通な外筒部１３と、外筒部１３の径方向内側に配置された内筒部１４とを有し、内筒部１４の軸心方向端部は、外筒部１３の軸心方向端部よりも、本体部７１側に位置している。また、外筒部１３の内周面と、内筒部１４の外周面との間には、外筒部１３及び内筒部１４の軸心方向に平行に延びる溝部１５が形成されている。一方、本体部７１の他方の端部（開口端８１）には、ガスケットが圧入される環状のシール溝１６が形成されている。

（第４の実施形態）
図１４は、本発明の第４の実施形態における流体制御装置２の構成を模式的に示した断面図である。

本実施形態における流体制御装置２は、バルブ本体９５と、当該バルブ本体９５に流体を供給するための流路５０が形成された継手１とを備えている。なお、図１４では、継手本体１０のみを示し、スリーブ２０及びユニオンナット３０は省略している。

本実施形態では、湾曲状の流路５０が形成される部位において、図１に示した継手本体１０の構造が採用されている。

すなわち、継手本体１０は、湾曲状の流路５０が形成される部位の開口端８０において、外筒部１３及び内筒部１４からなるストレート部１２を有し、外筒部１３の内周面と、内筒部１４の外周面との間に溝部１５が形成されている。

以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。

１ 樹脂製継手
１０ 継手本体
１１ 本体部
１１ａ、１１ｂ 内周面
１２ ストレート部
１３ 外筒部
１３ａ 内周面
１３ｂ 外周面
１４ 内筒部
１４ａ 内周面
１４ｂ 外周面
１５ 溝部
１６ シール溝
２０ スリーブ
２１ 圧入部
２２ 連結部
３０ ユニオンナット
４０ チューブ
５０ 流路
６０ コアピン
７０ 流路ブロック
７１ 本体部
７５ Ｕ字ブロック
７８Ａ，７８Ｂ シール溝
７９ 流路
９０Ａ、９０Ｂ ガスケット
９５ バルブ本体

Claims (5)

1. 流路を有する樹脂製の継手本体と、
   前記継手本体に圧入可能な圧入部と、チューブに圧入可能な連結部とを有するスリーブと、
   前記連結部が圧入された前記チューブを、前記継手本体に固定するために、前記継手本体の外周に装着されるユニオンナットと
   を備えた樹脂製継手であって、
   前記継手本体は、内周面が湾曲状の本体部と、該本体部の端部から突出するストレート部とを有し、
   前記ストレート部は、互いに軸心が共通な外筒部と、該外筒部の径方向内側に配置された内筒部とを有し、
   前記内筒部の軸心方向端部は、前記外筒部の軸心方向端部よりも、前記本体部側に位置しており、
   前記内筒部の内周面は、前記本体部の内周面と、同じ曲率で湾曲しており、
   前記外筒部の内周面と、前記内筒部の外周面との間には、前記外筒部及び前記内筒部の軸心方向に平行に延びる溝部が形成されており、
   前記外筒部の軸心方向端部のうち、前記本体部の曲率中心側の端部は、前記本体部の曲率中心を中心とし、前記本体部の曲率中心側の内周面の曲率半径を半径とする円の内側に位置しており、
   前記チューブは、前記スリーブの圧入部が前記溝部に圧入された状態で、前記継手本体に固定される、樹脂製継手。
2. 前記本体部の内周面及び前記内筒部の内周面で流路が形成されており、
   前記流路の曲率中心側の内周面の長さは、該内周面の曲率半径を半径とする円の円周の１／４の長さである、請求項１に記載の樹脂製継手。
3. 前記継手本体は、射出成形により形成されている、請求項１または２に記載の樹脂製継手。
4. 流路を有する樹脂製のブロック本体と、
   前記ブロック本体に圧入可能な圧入部と、チューブに圧入可能な連結部とを有するスリーブと、
   前記連結部が圧入された前記チューブを、前記ブロック本体に固定するために、前記ブロック本体の外周に装着されるユニオンナットと
   を備えた流路ブロックであって、
   前記ブロック本体は、内周面が湾曲状の本体部と、該本体部の一方の端部から突出するストレート部とを有し、
   前記ストレート部は、互いに軸心が共通な外筒部と、該外筒部の径方向内側に配置された内筒部とを有し、
   前記内筒部の軸心方向端部は、前記外筒部の軸心方向端部よりも、前記本体部側に位置しており、
   前記外筒部の内周面と、前記内筒部の外周面との間には、前記外筒部及び前記内筒部の軸心方向に平行に延びる溝部が形成されており、
   前記チューブは、前記スリーブの圧入部が前記溝部に圧入された状態で、前記ブロック本体に固定される、流路ブロック。
5. バルブ本体と、
   前記バルブ本体に流体を供給するための流路が形成された継手と
   を備えた流体制御装置であって、
   前記継手は、請求項１～３の何れかに記載の樹脂製継手で構成されている、流体制御装置。

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