JP7303207B2 - 金属基材上の硬質材料の層 - Google Patents

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Description

本発明は、硬質材料の層でコーティングされた金属部品を製造するための方法であって、離型剤を調製する処理ステップと、調製した離型剤を粉末混合物に添加する処理ステップと、粉末混合物を調製する処理ステップと、金属基材を調製する処理ステップと、粉末および基材を加熱デバイスで加熱する処理ステップと、基材よりも高い硬度を有する層で基材上に層を堆積する処理ステップと、基材、ならびに硬質材料の層を有する金属部品を冷却する処理ステップと、を含む、方法に関する。
従来技術
チェーンジョイントによってチェーンリンクと互いに接続されているスプロケットチェーンは、様々な方式で使用される。ドライブチェーンまたはコンベヤチェーンとして使用されると、チェーンジョイントの領域は特に、大きな応力に晒されるので、耐摩耗性の軸受表面を必要とする。特に部品の数が多い場合、この問題に対する費用のかかる解決策を経済的なコーティング手順およびプロセスに置き換えることも好都合である。
DE102005047449A1は、より耐摩耗性の高いリンクチェーンについて提案しており、このチェーンピンおよび/またはチェーンブッシュには、硬質材料のコーティングが施されている。これらのコーティングは、PVD(PVD:物理蒸着)の手段によって適用される。硬質材料は、1~10μmの厚さを有し、さらに耐摩擦層、例えばPTFEによって被覆され得る。
文書DE102006052869A1は、ピンおよびブッシュのリンク表面に、硬質材料のPVD層が設けられているリンクチェーンについて記載している。
ピンおよびブッシュは、炭素含有量が0.4重量%~1.2重量%の高炭素含有量を有する鋼からなる。
DE102011006294A1は、硬化コーティングされた金属部品を製造するための方法について開示している。金属成分の表面層は、炭素および/または窒素含有量を高める目的のために熱処理され、次いでマルテンサイトの形成よりも低い温度で焼き入れが行われる。次いで、金属部品は、その後のコーティングプロセスが行われる温度よりも高い温度で焼きなましが行われる。コーティング自体は、CVDまたはPVD方法(CVD:化学蒸着)によって行われる。
DE102013222244A1は、摩擦を低減する減摩コーティングが施されたチェーン用のチェーンリンクについて記載している。コーティングは、PVDまたはPACVD方法によって適用される。
DE102016215709A1は、摩耗を低減するCrN層が設けられた鋼のブッシュ、リンク、ピン、およびコイルなどのチェーン部品を示している。CrN層は、CVD手順の手段によって生成される。この場合、窒素は、処理前に窒化された鋼から得られる。
ローラーチェーンまたはブッシュチェーン用のジョイントについては、WO2014/019699A1に開示されている。硬質材料の窒化物層または炭化物層は、PVDまたはCVD手順の手段によってジョイントに適用される。
硬化コーティングされた金属部品を製造するための前述の解決策は、欠点を有する。PVD方法は、10-4~10Paの作動圧力、およびコーティングの性質によっては、数百℃の温度の作業を必要とする。したがって、PVD手順におけるコーティングチャンバには、高い要求が課される。加えて、PVD方法は、バルク材料には適用可能ではない。基材および堆積される材料(ターゲット)は、コーティングチャンバ内で空間的に分離されている。PVD手順は、いわゆる視程プロセス、すなわち、ターゲットから目視可能な表面のみがコーティングされるプロセスである。内側表面または穴は、より薄いコーティングを受ける。一方で、粉末方法は、硬質材料の層への炭素の拡散が、炭化物の形成をもたらすという問題を有する。しかしながら、窒化物、特に窒化クロムは、摩耗に関して部品の顕著に良好な作動寿命を約束するので、特に表面近くの領域での窒化物の形成を向上する必要がある。この要件は、最先端技術で提案されている手順によっては、いかなる方式でも満たされない。
したがって、本発明の目的は、硬質材料層の高い品質および長い寿命を有し、大量生産プロセスで簡単かつ経済的に作製することができ、単位時間当たりで多数のアイテムのコーティングを経済的に実施することを可能にする、硬化窒化物でコーティングされた金属部品を利用可能にすることである。
本発明のこの目的は、請求項1に記載のデバイスの手段によって達成される。
パワートランスミッション用チェーンの本発明によるチェーン部品は、硬質材料の層でコーティングされている。チェーン部品は、鋼系基材、ならびに基材の外部に硬質材料の層を有する。硬質材料の層は、窒化金属を含有するように作製されている。本発明によれば、硬質材料の層内の炭素(C)の質量濃度は、特に硬質材料の層の外側に向かって減少する。
これは、炭素含有鋼の硬質層が基材上に堆積されるCVDコーティングの手段によるものであり、この層は、高い耐摩滅性および耐摩耗性、高い硬度および温度安定性、低い摩擦、ならびに良好な化学的特性および低い付着傾向を有する。耐摩耗性の向上の他に、硬質材料の層は、耐食性も増加させる。炭素含有鋼は、十分な強度および良好な耐焼き戻し特性を有するので、これらの鋼は基材として好適であり得る。硬質材料の層は、金属および非金属の硬質材料の両方からなり得る。好適な金属硬質材料は、遷移金属、例えばクロム、タングステン、ジルコニウム、チタンのすべての炭化物、窒化物、炭窒化物、ホウ化物、およびケイ化物である。好適な非金属の硬質材料は、例えば、ダイヤモンドおよびDLC(ダイヤモンドライクカーボン)、ならびにコランダム、炭化ホウ素、立方晶窒化ホウ素、炭化ケイ素、または窒化アルミニウムである。窒化金属形成剤、具体的には窒化クロム(CrN)は、多い炭素含有量を有する鋼の基材の表面を直接コーティングするのに好適であることが分かっている。窒化クロムは、他の金属および非金属の硬質材料と比較して、いくつかの利点を有する。加えて、窒化クロムは、CVDの手段によって堆積することができ、基材への良好な付着性を有し、少なくとも1~5μmの厚さで高い耐摩滅性を有する硬質材料の薄層を生成することができる。PVD手順と比較して、CVD手順は、硬質材料の層の生成に関して利点を提供する。PVD手順とは対照的に、例えば、コーティングされる基材が、回転ドラム内で窒素含有粉末を用いてコーティングされるCVD手順は、バルク材料に適用可能であり、設備技術、整備およびプロセス技術に関して経済的利点を提供する。コーティングプロセスは、ある特定の処理温度および周囲圧力で数時間にわたって行われる。狭い穴を含む、基材のすべての到達可能な表面は、均一にコーティングされる。コーティングされた基材は、コーティングプロセスの終わりに冷却される。PVD手順の場合では、コーティングは、堆積される材料を10-4~10Paの作動圧力で気化させることによって実施され、基材と堆積される材料とは空間的に分離されていることは不利である。
硬質材料の層は、本質的にCrNからなるように形成される。層は、部品の表面上の外側(外側表面)、および基材と接触する内側を有する。炭素含有鋼が基材として使用されるとき、炭素は、高い処理温度で鋼から硬質材料の層に拡散し、CrNCおよび/またはCrCを形成する。
硬質材料の層は、硬質材料の層の外側表面上のC質量濃度が、内部のものよりも低くなるように形成されることが有利である。これにより、耐摩耗性が、したがって、本発明によるチェーン部品の寿命が明らかに増加される。さらに、硬質材料の層は、その外部に対して、より多い窒化金属含有量を明らかに有し、これは、炭化金属で作製された硬質材料の層と比較して、耐摩耗性の改善をもたらす。
センサーデバイスに関する本発明のさらなる実施形態は、従属請求項2~15に記載されている。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層の外側表面での窒素の質量濃度は、炭素の質量濃度よりも高い。好ましいさらなる実施形態では、窒素の質量濃度対炭素の質量濃度の比は、3:1よりも高く、最も好ましくは5:1よりも高い。
本発明のさらなる実施形態では、基材近くの領域の硬質材料の層内のC質量濃度は、硬質材料の層の外側に向かって増加する。炭素含有鋼からなる既存の基材に向かって炭素が拡散することを通じて、基材の表面に炭素が蓄積することによる。したがって、硬質材料の層のC質量濃度は、基材の表面近くで増加する。
本発明のさらなる実施形態では、C質量濃度は、硬質材料の層内で最大に達する。これは、炭素含有鋼からなる基材の表面に向かって炭素が拡散することを通じて、基材の表面に炭素が蓄積することによる。したがって、硬質材料の層のC質量濃度は、基材の表面近くで最大である。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層の外側表面から最大距離での硬質材料の層内のC質量濃度は、硬質材料の層と基材との間の境界から最大距離での硬質材料の層内のC質量濃度よりも低い。炭素含有鋼からなる基材の表面に対して炭素が拡散することを通じて、基材の表面に炭素が蓄積することによる。したがって、硬質材料の層内のC質量濃度の最大値は、基材近くである。
本発明のさらなる実施形態では、基材近くの領域内で増加する、硬質材料の層内のC質量濃度の増加量は、C質量濃度が減少する領域内での増加する量よりも高い。基材近くの領域では、C質量濃度が急激に上昇する。硬質材料の層の大部分の炭素は、結果的に硬質材料の層のかなり深い場所で結合している。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層内の窒素(N)の質量濃度は、硬質材料の層の外部に向かって増加する。したがって、硬質材料の層の外側表面は、より深い領域よりも多いCrN含有量を有する。
本発明のさらなる実施形態では、基材近くの領域内の硬質材料の層内のN質量濃度の増加は、硬質材料の層の外側表面に近接する領域内での増加よりも大きい。したがって、硬質材料の層のN質量濃度は、基材の表面近くで最大に達する。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層内の平均N質量濃度は、硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも高い。可能な限り均質な硬質材料のCrN層を得るために、例えば基材のニトロ化を介して、および/または窒素含有粉末の使用を通じて、好適な処理パラメータの方式によって、N質量濃度を増加させることが可能であることが有利である。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層内の平均N質量濃度は、硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも2倍、好ましくは3倍、特に好ましくは4倍高い。この実施形態は、硬質材料の層が主にCrNからなることを保証する。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層の表面近くの領域内での平均N質量濃度は、あらゆる深さにおいて、硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも高い。基材近くの硬質材料の層のより深い場所で、炭素含有鋼からなる基材の炭素が蓄積する。この炭素濃縮により、炭化物、主に炭化鉄および炭化クロムの形成がもたらされる。表面近くの領域は、層厚の50%、好ましくは層厚の65%、特に好ましくは層厚の80%に達する深さを有する。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層内のクロム(Cr)の平均質量濃度は、硬質材料の層内の鉄(Fe)の平均質量濃度よりも高い。Crは、コーティングプロセスの手段によって、例えば、Cr、Feを含有する粉末の方式によるCVDプロセス中に、主に硬質材料の層に組み込まれる。硬質材料の層に存在するFeは、基材への硬質材料の層の付着特性を改善し、フレーキングを防ぐ。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層内の平均Cr質量濃度は、硬質材料の層内の平均Fe質量濃度よりも2倍、好ましくは4倍、特に好ましくは6倍高い。硬質材料の層および/または拡散層内のFeは、基材への硬質材料の層の付着を改善するのに少量で十分である。
本発明のさらなる実施形態では、硬質材料の層の表面近くの領域内の平均Cr質量濃度は、あらゆる深さにおいて、硬質材料の層内の平均Fe質量濃度よりも高い。硬質材料の層の基材近くのより深い場所では、鋼からなる基材のFe含有量が増加する。表面近くの領域は、層厚の50%、好ましくは層厚の65%、特に好ましくは層厚の80%までの深さを有する。
本発明によるセンサおよび本発明の方法の例示的な実施形態は、図面において概略的かつ簡略化された方式で示され、続く記載でより詳細に説明される。
部品に硬質材料をコーティングしたチェーン サンプル1の元素Fe、Cr、N、およびCの深さプロファイル分析 サンプル2の元素Fe、Cr、N、およびCの深さプロファイル分析
図1は、例えばチェーンドライブに使用することができる、チェーン10の2つのチェーンリンクを示している。チェーン10は、チェーンリンクを介して相互連結された内側リンクおよび外側リンクをそれぞれ備えたブッシュチェーンとして構成されている。内側チェーンリンクは、平行に走る2つのそれぞれの内側フラップ13と、内側フラップ13を互いに接続する2つのブッシュ12とからなり、ブッシュ12はフラップ13に垂直である。
外側チェーンリンク14は、2つの平行な外側フラップ14からなり、それらは2つのピン11によって互いに接続され、ピン11は、回転可能であるように、内側チェーンリンク13のブッシュ12に配設されている。外側チェーンリンク14は、隣接する内側チェーンリンク13に回転可能な様式でピン11によって締結され、外側フラップ14の方式によって、内側チェーンリンク13を第2の内側チェーンリンク13に接続し、外側フラップ14は、内側フラップ13に平行に走る。外側チェーンリンク14のピン11は、内側チェーンリンク13のブッシュ12に回転可能な様式で配設され、各接続は、チェーン10のチェーンリンクを構成する。チェーン10のピン11は、完全に炭素含有鋼からなり、ピン11のジョイント表面は、CVDプロセスの方式によって堆積された硬質材料のCrN層が設けられる。ブッシュ12は、代替的または追加的に、炭素含有材料で作製することもでき、そのジョイント表面および/または軸受表面上に硬質材料のCVD層を設けてもよい。
以下は、それぞれCVDプロセスの手段によって硬質材料の層でコーティングされている、本発明による2つの異なるチェーン部品の2つの濃度プロファイルを提示する。試験片は、窒化鋼40CrMoV13-9で作製されたピン11である。層は、約10μmの層厚を有する窒化クロムおよび炭化クロムからなる。2つのサンプルの濃度プロファイルは、グロー放電発光分光方法(GD-OES)によって決定された。この手順では、DCプラズマの陰極として金属サンプルを使用する。表面から始めて、サンプルは、アルゴンイオンを用いる陰極スパッタリングによって、層の表面から着実に除去される。除去された原子は、拡散によってプラズマに入る。衝突プロセスの手段によって励起されると、原子は特徴的な波長を有する光子を放出し、光子の放出を付属の分光計によって記録し、定量化される。
図2は、サンプル1の濃度プロファイルを示している。分離プロセス中に、まず、サンプルを0~960℃まで約1時間加熱した。保持時間は合計6時間であり、次いでサンプルを200℃までゆっくりと(約10時間)冷却した。プロセス中に、反応器を窒素でフラッシュした。横軸は、より良好に視覚化するために、深さを対数スケールで示している。縦軸は、明確性の理由から、相対的なスケールも用いて質量濃度を示している。縦軸の100%は、100%の元素FeおよびCr、20%のN、ならびに5%のCの質量濃度に対応する。
0~7.5μmの範囲のFe質量濃度は、常に0%近くである。Fe質量濃度は、8μm以降5%に上昇する。深さ10μmを超える領域内でのFe質量濃度は、深さ27μmまで90%に急激に増加する。27μmを超える深さ以降、50μmでのFe質量濃度は、より少ない勾配で92%まで常に上昇する。
0~7.5μmの領域内のCr質量濃度は、0μmでの86%から7.5μmでの88%まで常に上昇する。深さ7.5μm以降深さ25μmに達するまでのCr質量濃度は、10%の値まで急激に減少する。深さ25μm以降、深さ50μmでのCr質量濃度は、5%の値まで降下する。
N質量濃度は、0μmでは10.8%であり、7.5μmでは6%の値まで降下する。質量濃度の減少は一定ではなく、深さ2.5μmでは、9.4%まで増加したN質量濃度が観察される。深さ7.5μm以降、N質量濃度は、10μmで最大値15.6%まで急激に増加する。深さ13μmでのN質量濃度は、25μmで2%の値まで急激に降下する。したがって、層厚は、合計約13μになる。
C質量濃度は、0μmでは0.75%の値を有し、2.5μmでは1.25%の値まで増加する。深さ2.5μm以降、C質量濃度は、8μmで最大値2.75%まで急激に増加する。深さ8μm以降、C質量濃度は、25μmで0.5%の値まで急激に降下する。
炭素および窒素の質量濃度の推移の分析は、硬質材料の層の表面での窒素の質量濃度が、炭素の質量濃度よりも高いことを示している。比はおよそ14:1であり、したがって10:1を超える。
図3は、本質的にCrCからなる中間層が硬質材料の層に組み込まれたサンプル2の濃度プロファイルを示している。分離プロセス中に、まず、サンプルを950℃まで約45分間加熱した。保持時間は合計7時間であり、次いでサンプルを200℃までゆっくりと(約10時間)冷却した。プロセス中に、反応器を窒素でフラッシュした。図2のように、横軸は、深さを対数スケールでも示している。縦軸は、質量濃度を相対スケールで示している。縦軸の100%は、100%の元素FeおよびCr、20%のN、ならびに5%のCの質量濃度に対応する。
Fe質量濃度は、0~3μmの範囲では常に0%である。Fe質量濃度は、3μm以降5%まで増加する。8μmよりも深い領域でのFe質量濃度は、27μmで88%まで急激に増加する。27μmを超える深さ以降、50μmでのFe質量濃度は、少ない勾配で90%まで常に増加する。
深さ0μmでのCr質量濃度は、81%であり、その後深さ2μmで78%の値まで降下する。深さ2μm以降のCr質量濃度は、深さ3μmで最大85%まで増加する。深さ3μm以降、深さ9μmでのCr質量濃度は、75%まで降下する。深さ9μm以降、深さ25μmでのCr質量濃度は、5%まで急激に降下する。
N質量濃度は、0μmでは9.8%の値を有し、7.5μmでは6%の値まで降下する。質量濃度の減少は一定ではなく、深さ2.5μmでは、9.4%まで増加したN質量濃度が観察される。深さ7.5μm以降、N質量濃度は、10μmで最大15.6%まで急激に増加する。深さ12μmでのN質量濃度は、25μmで2%まで急激に降下する。したがって、層厚は、合計約12μmになる。
C質量濃度は、深さ0μmで2.5%であり、2μmで2.6%まで増加する。深さ2μm以降、C質量濃度は、4μmで最大3.75%まで急激に増加する。深さ4μm以降、深さ15μmでのC質量濃度は、0.35%まで急激に降下する。
炭素および窒素の質量濃度の推移の分析は、硬質材料の層の表面上の窒素の質量濃度が、炭素の質量濃度よりも高いことを示している。比は、約4:1である。
1 離型剤
2 活性剤
3 金属
4 窒化金属
5 バルク材料
6 硬質材料の層
10 チェーン
11 ピン
12 ブッシュ
13 内側フラップ
14 外側フラップ
M 金属
N 窒素

Claims (15)

  1. ・鋼系基材と、
    ・前記鋼系基材の外面上の硬質材料の層であって、前記硬質材料の層が窒化金属を含有するものと、を有し、
    前記硬質材料の層内のC質量濃度が、前記硬質材料の層の外部に向かって減少し、
    前記硬質材料の層内の平均N質量濃度が前記硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも高いことを特徴とする、硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  2. 前記基材に近接する領域における前記硬質材料の層内のC質量濃度が、前記硬質材料の層の外側に向かって増加することを特徴とする、請求項1に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  3. 前記硬質材料の層内のC質量濃度が前記硬質材料の層内で極大値を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  4. 前記硬質材料の層の外部から前記硬質材料の層内の最大C質量濃度における距離が、前記硬質材料の層と前記基材との間の境界から前記硬質材料の層内の前記最大C質量濃度における距離よりも短いことを特徴とする、請求項3に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  5. 前記基材近くの領域における前記硬質材料の層内のC質量濃度の増加の程度が、C質量濃度が減少する領域における増加の程度よりも高いことを特徴とする、請求項2~4のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  6. 前記硬質材料の層内のN質量濃度が前記硬質材料の層の外側の方向に増加することを特徴とする、請求項1~5のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  7. 前記基材に近接する領域における前記硬質材料の層内のN質量濃度の増加が、前記硬質材料の層の外側近くの領域における増加よりも大きいことを特徴とする、請求項6に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  8. 前記硬質材料の層内の平均N質量濃度が、前記硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも2倍、好ましくは3倍、特に好ましくは4倍高いことを特徴とする、請求項に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  9. 前記硬質材料の層の表面近くの領域に堆積されたすべての層内の平均C質量濃度が20重量%、好ましくは10重量%、特に5重量%よりも低く、前記表面近くの前記領域が、前記硬質材料の層の全厚の80%、好ましくは前記硬質材料の層の全厚の90%、特に好ましくは前記硬質材料の層の全厚の95%に達する厚さを有することを特徴とする、請求項1~のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  10. 前記硬質材料の層内の平均Cr質量濃度が、前記硬質材料の層内の平均Fe質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  11. 前記硬質材料の層内の平均Cr質量濃度が、前記硬質材料の層内の平均Fe質量濃度よりも2倍、好ましくは4倍、特に好ましくは6倍高いことを特徴とする、請求項10に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  12. 前記硬質材料の層の表面近くの領域における平均N質量濃度が、いずれの場所でも前記硬質材料の層内の平均C質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~11のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  13. 前記硬質材料の層の表面近くの領域における平均Cr質量濃度が、いずれの場所でも前記硬質材料の層内の平均Fe質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~12のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  14. 前記硬質材料の層の前記表面近くの前記領域が、前記硬質材料の層の全厚の50%の厚さ、好ましくは前記硬質材料の層の総厚の65%の厚さ、特に好ましくは前記硬質材料の層の全厚の80%の厚さを有することを特徴とする、請求項12および/または13に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
  15. 前記硬質材料の層の表面におけるN質量濃度が、前記硬質材料の層の前記面におけるC質量濃度よりも高いことを特徴とする、請求項1~14のうち一項以上に記載の硬質材料の層でコーティングされたパワートランスミッション用チェーンのチェーン部品。
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