JP7299852B2 - センサ素子及びガスセンサ - Google Patents
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Description
被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するためのセンサ素子であって、
酸素イオン伝導性の固体電解質層を含み長手方向を有する素子本体と、
前記被測定ガスと接触するように前記素子本体に配設された測定電極と、
前記被測定ガス中の前記特定ガス濃度の検出の基準となる基準ガスと接触するように前記素子本体に配設された基準電極と、
前記素子本体に配設され前記固体電解質層を加熱するヒータと、
を備え、
前記固体電解質層の厚み方向から見たときに、前記基準電極の重心が前記測定電極と重なっており、
前記素子本体の長手方向を前後方向として、前記基準電極及び前記測定電極は、いずれも、前後方向の長さが1.1mm以下であり、
前記基準電極は、前記厚み方向から見た面積が1.0mm2以上である、
ものである。
上述したいずれかの本発明のセンサ素子を備え、
前記センサ素子は、前記被測定ガスと接触するように前記素子本体に配設された被測定ガス側電極を有し、
前記素子本体は、前記被測定ガスを導入して流通させる被測定ガス流通部が内部に設けられており、
前記測定電極は、前記被測定ガス流通部のうちの測定室に配設されており、
さらに、
前記基準電極と前記被測定ガス側電極との間に繰り返しオンオフされる制御電圧を印加して、前記基準電極の周囲に酸素の汲み入れを行う基準ガス調整手段と、
前記制御電圧のオンによって生じ前記基準電極と前記被測定ガス側電極との間の電位差の大きい第1期間と、前記制御電圧のオフによって生じ前記第1期間から前記電位差が立ち下がった後の第2期間とのうち、該第2期間中に、前記基準電極と前記測定電極との間の電圧に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する検出手段と、
を備えたものである。
。
上述した製造方法により図1,2に示したガスセンサ100を作製し、実施例1とした。なお、センサ素子101を作製するにあたり、セラミックスグリーンシートは、安定化剤のイットリアを4mol%添加したジルコニア粒子と有機バインダーと分散剤と可塑剤と有機溶剤とを混合し、テープ成形により成形した。図1の圧粉体145a,145bとしてはタルク粉末を成形したものとした。大気導入層48はアルミナのセラミックスとした。基準電極42及び測定電極44は、図4に示したように上面視で互いの重心が一致するように配置した。基準電極42は、上面視での面積が1.9mm2,前後方向の長さが0.91mm,左右方向の幅が2.08mm,比Rrが0.44とした。測定電極44は、上面視での面積が0.4mm2,前後方向の長さが0.40mm,左右方向の幅が1.00mm,比Rrが0.40とした。基準電極42と測定電極44との厚み方向の距離は、300μmとした。
基準電極42と測定電極44との上面視での位置関係,基準電極42及び測定電極44の大きさを表1に示すように種々変更した点以外は実施例1と同じガスセンサ100を作製して実施例2~5,実施例6~16,比較例1~5とした。実施例2~5,実施例6~11,比較例2~5については、いずれも、上面視で基準電極42の重心と測定電極44の重心が一致するように配置した。実施例12~16については、いずれも、図9に示すように、上面視で基準電極42の重心Bが測定電極44の前端と一致するように配置した。したがって、実施例12~16では、上面視で基準電極42の重心Bが測定電極44と重なっているが、上面視で基準電極42の重心Bは測定電極44の重心B2とは一致していない。比較例1については、図5に示したように、上面視で測定電極44が基準電極42に含まれ、且つ基準電極42の重心が測定電極44と重ならないように配置した。実施例2~5,実施例6~16,比較例1~5のいずれについても、基準電極42と測定電極44との厚み方向の距離は、実施例1と同じとした。
実施例1~5,実施例6~16,比較例1~5のガスセンサ100の各々について、熱起電力の安定時間及び定常状態での熱起電力を測定した。まず、可変電源25,46,52,及び電源回路92はいずれも電圧を印加しない状態とし、基準電極42と測定電極44との間のオープン電圧(電圧V2)を測定できる状態とした。この状態で、ヒータ72に通電を開始して、電圧V2を継続的に測定した。そして、電圧V2が安定したとみなせるまでに要する時間を、熱起電力の安定時間とした。また、電圧V2が十分安定した後の値を測定して、定常状態での熱起電力とした。熱起電力の安定時間が5分以内の場合には評価を「A(優)」とし、5分超過10分以下の場合には評価を「B(良)」とし、10分超過の場合には評価を「F(不可)」とした。定常状態での熱起電力が±15mV以内の場合には評価を「A(優)」とし、±15mV以内から外れている場合には評価を「F(不可)」とした。また、定常状態での熱起電力の評価が「A」である場合においてさらに定常状態での熱起電力が±7.5mV以内である場合には、後述する表1において定常状態での熱起電力の評価に「S」を追記して評価を「A(S)」とした。
実施例1~5,実施例6~16,比較例1~5のガスセンサ100の各々について、図3における第2期間中の残留電圧Vrsの最小値(=最小電圧Vrefmin-電圧Vref*)を大気中で測定した値である、残留電圧DVref[mV]を測定した。まず、残留電圧DVrefについて説明する。残留電圧DVrefは、以下の式(1)で導出される値である。
(ただし、
Vref1は、大気中にセンサ素子101を配置し且つ制御電圧Vp3のオンオフを繰り返した状態における電圧Vrefの最小値[mV]、
Vref0は、大気中にセンサ素子101を配置し且つ制御電圧Vp3を印加しない状態における電圧Vrefの値[mV])
Claims (10)
- 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するためのセンサ素子であって、
酸素イオン伝導性の固体電解質層を含み長手方向を有する素子本体と、
前記被測定ガスと接触するように前記素子本体に配設された測定電極と、
前記被測定ガス中の前記特定ガス濃度の検出の基準となる基準ガスと接触するように前記素子本体に配設された基準電極と、
前記素子本体に配設され前記固体電解質層を加熱するヒータと、
を備え、
前記固体電解質層の厚み方向から見たときに、前記基準電極の重心が前記測定電極と重なっており、
前記素子本体の長手方向を前後方向として、前記基準電極及び前記測定電極は、いずれも、前後方向の長さが1.1mm以下であり、
前記基準電極は、前記厚み方向から見た面積が1.0mm2以上である、
センサ素子。 - 前記基準電極と前記測定電極との前記厚み方向の距離が50μm以上500μm以下である、
請求項1に記載のセンサ素子。 - 前記基準電極は、前記面積が4.0mm2以下である、
請求項1又は2に記載のセンサ素子。 - 前記基準電極は、前記長さが0.5mm以上である、
請求項1~3のいずれか1項に記載のセンサ素子。 - 前記測定電極は、前記長さが0.2mm以上である、
請求項1~4のいずれか1項に記載のセンサ素子。 - 前記前後方向及び前記厚み方向に垂直な方向を幅方向として、前記基準電極は、前記前後方向の長さを前記幅方向の長さで除した値である比Rrが0.2以上0.8以下である、
請求項1~5のいずれか1項に記載のセンサ素子。 - 前記前後方向及び前記厚み方向に垂直な方向を幅方向として、前記測定電極は、前記前後方向の長さを前記幅方向の長さで除した値である比Rmが0.2以上0.8以下である、
請求項1~6のいずれか1項に記載のセンサ素子。 - 請求項1~7のいずれか1項に記載のセンサ素子を備え、
前記センサ素子は、前記被測定ガスと接触するように前記素子本体に配設された被測定ガス側電極を有し、
前記素子本体は、前記被測定ガスを導入して流通させる被測定ガス流通部が内部に設けられており、
前記測定電極は、前記被測定ガス流通部のうちの測定室に配設されており、
さらに、
前記基準電極と前記被測定ガス側電極との間に繰り返しオンオフされる制御電圧を印加して、前記基準電極の周囲に酸素の汲み入れを行う基準ガス調整手段と、
前記制御電圧のオンによって生じ前記基準電極と前記被測定ガス側電極との間の電位差の大きい第1期間と、前記制御電圧のオフによって生じ前記第1期間から前記電位差が立ち下がった後の第2期間とのうち、該第2期間中に、前記基準電極と前記測定電極との間の電圧に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出する検出手段と、
を備えたガスセンサ。 - 前記センサ素子は、前記被測定ガスと接触するように前記素子本体の外側に配設された外側測定電極を有し、
前記検出手段は、前記特定ガスに由来して前記測定室で発生する酸素を前記測定電極の周辺から前記外側測定電極の周辺に汲み出し、該汲み出しを行ったときに流れる測定用ポンプ電流に基づいて、前記特定ガス濃度を検出し、
前記測定電極は、前記面積が0.2mm2以上2.0mm2以下である、
請求項8に記載のガスセンサ。 - 前記センサ素子は、前記基準電極と前記測定電極との間の前記電圧である測定用電圧を検出する測定用電圧検出部と、前記被測定ガスと接触するように前記素子本体の外側に配設された外側測定電極及び前記測定電極を含んで構成される測定用ポンプセルと、前記基準電極及び前記被測定ガス側電極を含んで構成される基準ガス調整ポンプセルと、を有しており、
前記検出手段は、前記測定用ポンプセルと、該測定用ポンプセルを制御する測定用ポンプセル制御装置と、を有しており、
前記測定用ポンプセル制御装置は、前記第2期間中に取得した前記測定用電圧に基づいて、該第2期間中に取得した該測定用電圧が目標電圧になるように前記測定用ポンプセルを制御し、該制御により該測定用ポンプセルが前記特定ガスに由来して前記測定電極の周囲で発生する酸素を前記測定電極の周囲から前記外側測定電極の周囲に汲み出すときに流れる測定用ポンプ電流を取得し、該測定用ポンプ電流に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するか、又は、前記測定用ポンプ電流が目標電流になるように前記測定用ポンプセルを制御し、該制御が行われ且つ前記第2期間中に取得された前記測定用電圧に基づいて前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出し、
前記基準ガス調整手段は、前記基準ガス調整ポンプセルと、該基準ガス調整ポンプセルに前記制御電圧を印加する基準ガス調整ポンプセル制御装置と、を有している、
請求項8又は9に記載のガスセンサ。
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