JP7298991B2 - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ Download PDFInfo
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抵抗率の異なるシリコン基板を用い圧電薄膜共振器を作製しQ値を測定した。以下に作製条件を示す。
下部電極12:シリコン基板10側から膜厚が100nmのCr膜および膜厚が200nmのRu膜
圧電膜14:膜厚が1257nmの窒化アルミニウム膜
上部電極16:圧電膜14側から膜厚が237nmのRu膜、膜厚が35nmのCr膜
共振領域50の面積:34000μm2
領域56における下部電極12の幅:247μm
図4(a)および図4(b)は、実施例1の変形例1に係る圧電薄膜共振器の平面図である。図4(a)に示すように、共振領域50は楕円形状である。図4(b)に示すように、共振領域50は五角形状である。上部電極16の引き出し領域54以外の領域56および下部電極12の引き出し領域52における共振領域50の外周は上部電極16により規定される。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図7(a)および図7(b)は、実施例2の変形例1に係る圧電薄膜共振器の平面図である。図7(a)に示すように、共振領域50は楕円形状である。図7(b)に示すように、共振領域50は五角形状である。下部電極12の引き出し領域52以外の領域56および上部電極16の引き出し領域54における共振領域50の外周は下部電極12により規定される。その他の構成は実施例2と同じであり説明を省略する。
図8(b)は、実施例3の変形例1に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図8(b)に示すように、シリコン基板10の上面は平坦であり、シリコン基板10と下部電極12との間に空隙30がドーム状に設けられている。圧電膜14は下部圧電膜14aと上部圧電膜14bとを有し、下部圧電膜14aと上部圧電膜14bとの間に挿入膜28が挿入されている。挿入膜28は共振領域50の中央領域に設けられておらず、共振領域50の外周に沿った外周領域に設けられている。挿入膜28は、例えば酸化シリコン膜であり圧電膜14の音響インピーダンスより小さい音響インピーダンスを有する。挿入膜28を設けることで圧電薄膜共振器のQ値を向上できる。下部電極12の引き出し領域において、上部圧電膜14bの端面は共振領域50の輪郭に略一致する。下部圧電膜14aの端面は共振領域50の輪郭より外側に位置する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図9(b)は、実施例4の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図9(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ40が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ42が接続されている。送信フィルタ40は、送信端子Txから入力された高周波信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ42は、共通端子Antから入力された高周波信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ40および受信フィルタ42の少なくとも一方を実施例4のフィルタとすることができる。
12 下部電極
14 圧電膜
16 上部電極
30 空隙
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50 共振領域
52、54 引き出し領域
56 領域
Claims (4)
- 抵抗率が5000Ω・cm以上かつ8000Ω・cm以下のシリコン基板と、
前記シリコン基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜上に設けられ、前記圧電膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と対向する上部電極と、
を備え、
前記圧電膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域外において前記下部電極と前記シリコン基板とが電気的に接触する圧電薄膜共振器。 - 前記圧電膜は窒化アルミニウム膜である請求項1に記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1または2に記載の圧電薄膜共振器を含むフィルタ。
- 請求項3に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2005333619A (ja) | 2004-04-20 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
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Family Cites Families (4)
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---|---|---|---|---|
US6349454B1 (en) * | 1999-07-29 | 2002-02-26 | Agere Systems Guardian Corp. | Method of making thin film resonator apparatus |
US6662419B2 (en) * | 2001-12-17 | 2003-12-16 | Intel Corporation | Method for fabricating film bulk acoustic resonators to achieve high-Q and low loss |
JP2005073175A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Fujitsu Media Device Kk | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
JP6325799B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2018-05-16 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005333619A (ja) | 2004-04-20 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
JP4924993B2 (ja) | 2006-08-25 | 2012-04-25 | 宇部興産株式会社 | 薄膜圧電共振器とその製造方法 |
JP2011211347A (ja) | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Ube Industries Ltd | 圧電デバイスおよびこれを用いた集積化分波器、集積化フィルタ |
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