JP7383417B2 - 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ - Google Patents
弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7383417B2 JP7383417B2 JP2019140932A JP2019140932A JP7383417B2 JP 7383417 B2 JP7383417 B2 JP 7383417B2 JP 2019140932 A JP2019140932 A JP 2019140932A JP 2019140932 A JP2019140932 A JP 2019140932A JP 7383417 B2 JP7383417 B2 JP 7383417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- piezoelectric
- piezoelectric film
- lower electrode
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 74
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 538
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 260
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 260
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical group Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 32
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 32
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 32
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 27
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 27
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 8
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021480 group 4 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
図3(a)から図5(c)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図3(a)に示すように、平坦主面を有する基板10上に空隙を形成するための犠牲層38を、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法またはCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用い形成する。犠牲層38の膜厚は、例えば10nmから100nmである。犠牲層38は、例えば酸化マグネシウム(MgO)、酸化亜鉛(ZnO)、ゲルマニウム(Ge)または酸化シリコン(SiO2)等である。犠牲層38を、フォトリソグラフィ法およびエッチング法を用い所望の形状にパターニングする。これにより所望の平面形状の犠牲層38aおよび38bが形成される。犠牲層38aおよび38bの形状は、それぞれ空隙30aおよび30bの平面形状に相当する形状である。
圧電薄膜共振器11aおよび11bの電気機械結合係数は圧電膜14aおよび14bの結晶性(例えば配向性)に依存する。圧電膜14aおよび14bの結晶性が悪いと電気機械結合係数は低くなり、結晶性が良いと電気機械結合係数は高くなる。そこで、下地膜の表面の表面粗さに対する圧電膜14の結晶性を評価した。
図7(a)から図7(d)は、実験2において作製したサンプルAからDを示す断面図である。図7(a)に示すように、サンプルAでは、基板10であるシリコン基板上にスパッタリング法を用い厚さが約1000nmの窒化アルミニウム膜を圧電膜14として成膜した。
サンプルA:1.80°
サンプルB:2.02°
サンプルC:2.89°
サンプルD:3.33°
図9(a)は、実施例1の変形例1に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(a)に示すように、実施例1の変形例1では、上部圧電膜13cが設けられておらず、挿入膜28aおよび28bが上部電極16aおよび16bに接している。圧電薄膜共振器11aでは、共振領域50a(特に中央領域54a)内はほとんど結晶性の良い圧電膜25aである。このため、実施例1の圧電薄膜共振器11aに比べ電気機械結合係数を大きくできる。
図9(b)は、実施例1の変形例2に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(b)に示すように、実施例1の変形例2では、下部圧電膜13aが設けられておらず、挿入膜26aおよび26bが下部電極12aおよび12bに接している。圧電薄膜共振器11aでは、共振領域50a内の結晶性の良い圧電膜25aの体積の割合が大きくなる。このため、電気機械結合係数を大きくできる。
図9(c)は、実施例1の変形例3に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(c)に示すように、実施例1の変形例3では、下部圧電膜13aおよび上部圧電膜13cが設けられておらず、挿入膜26aおよび26bが下部電極12aおよび12bに接し、挿入膜28aおよび28bが上部電極16aおよび16bに接している。圧電薄膜共振器11aでは、共振領域50a(特に中央領域54a)内のほとんどは結晶性の良い圧電膜25aである。このため、電気機械結合係数を大きくできる。
図10(a)は、実施例1の変形例4に係る弾性波デバイスの断面図である。図10(a)に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12aおよび12bは、基板10上に平坦に形成されている。これにより、空隙30aおよび30bが、基板10の窪みに形成されている。空隙30aおよび30bは共振領域50aおよび50bを含むように形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。空隙30aおよび30bは、基板10を貫通するように形成されていてもよい。
図10(b)は、実施例1の変形例5に係る弾性波デバイスの断面図である。図10(b)に示すように、共振領域50aおよび50bの下部電極12aおよび12b下にそれぞれ音響反射膜31aおよび31bが設けられている。音響反射膜31aおよび31bで、音響インピーダンスの高い膜31cと音響インピーダンスの低い膜31dとが交互に設けられている。膜31cおよび31dの膜厚は例えばそれぞれほぼλ/4(λは弾性波の波長)である。膜31cと膜31dの積層数は任意に設定できる。音響反射膜31aおよび31bは、音響特性の異なる少なくとも2種類の層が間隔をあけて積層されていればよい。また、基板10が音響反射膜31aおよび31bの音響特性の異なる少なくとも2種類の層のうちの1層であってもよい。例えば、音響反射膜31aおよび31bは、基板10中に音響インピーダンスの異なる膜が一層設けられている構成でもよい。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。
11a、11b 圧電薄膜共振器
12、12a、12b 下部電極
13a 下部圧電膜
13b 中間圧電膜
13c 上部圧電膜
14a、14b 圧電膜
16、16a、16b 上部電極
26、26a、26b、28、28a、28b 挿入膜
30a、30b 空隙
31a、31b 音響反射膜
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50a、50b 共振領域
52a、52b 外周領域
54a、54b 中央領域
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1下部電極と、前記第1下部電極上に設けられた第1圧電膜と、前記第1圧電膜上に設けられ前記第1圧電膜の少なくとも一部を挟み前記第1下部電極と対向して第1共振領域を形成する第1上部電極と、前記第1共振領域の一部である第1中央領域に設けられておらず、前記第1中央領域を囲む少なくとも一部の領域において前記第1共振領域の外周に沿って前記第1中央領域を囲むように、前記第1下部電極と前記第1上部電極との間に挿入された第1挿入膜と、前記第1挿入膜との間に前記第1圧電膜の少なくとも一部が設けられるように、前記第1中央領域の少なくとも一部および前記第1挿入膜が設けられた領域における前記第1挿入膜と前記第1上部電極との間に挿入された第2挿入膜と、を備える第1圧電薄膜共振器と、
前記基板上に設けられた第2下部電極と、前記第2下部電極上に設けられた第2圧電膜と、前記第2圧電膜上に設けられ前記第2圧電膜の少なくとも一部を挟み前記第2下部電極と対向して第2共振領域を形成する第2上部電極と、前記第2共振領域の一部である第2中央領域に設けられておらず、前記第2中央領域を囲む少なくとも一部の領域において前記第2共振領域の外周に沿って前記第2中央領域を囲むように、前記第2下部電極と前記第2上部電極との間に挿入された第3挿入膜と、前記第3挿入膜との間に前記第2圧電膜の少なくとも一部が設けられるように、前記第2中央領域の少なくとも一部および前記第3挿入膜が設けられた領域における前記第3挿入膜と前記第2下部電極との間に挿入された第4挿入膜と、を備える第2圧電薄膜共振器と、
を備え、
前記第1挿入膜の膜厚と前記第4挿入膜の膜厚とは略等しく、前記第1挿入膜の材料と前記第4挿入膜の材料は略同じであり、
前記第2挿入膜の膜厚と前記第3挿入膜の膜厚とは略等しく、前記第2挿入膜の材料と前記第3挿入膜の材料は略同じであり、
前記第1挿入膜と前記第2挿入膜との間の前記第1圧電膜の膜厚と前記第3挿入膜と前記第4挿入膜との間の前記第2圧電膜の膜厚とは略等しく、前記第1挿入膜と前記第2挿入膜との間の前記第1圧電膜の材料と前記第3挿入膜と前記第4挿入膜との間の前記第2圧電膜の材料とは略同じであり、
前記第1下部電極と前記第1挿入膜との間の前記第1圧電膜の膜厚と前記第2下部電極と前記第4挿入膜との間の前記第2圧電膜の膜厚とは略等しく、前記第1下部電極と前記第1挿入膜との間の前記第1圧電膜の材料と前記第2下部電極と前記第4挿入膜との間の前記第2圧電膜の材料とは略同じである、または、前記第1下部電極と前記第1挿入膜との間には前記第1圧電膜は設けられておらず、前記第2下部電極と前記第4挿入膜との間には前記第2圧電膜は設けられていない弾性波デバイス。 - 前記第2挿入膜と前記第1上部電極との間の前記第1圧電膜の膜厚と前記第3挿入膜と前記第2上部電極との間の前記第2圧電膜の膜厚とは略等しく、前記第2挿入膜と前記第1上部電極との間の前記第1圧電膜の材料と前記第3挿入膜と前記第2上部電極との間の前記第2圧電膜の材料とは略同じである、または、前記第2挿入膜と前記第1上部電極との間には前記第1圧電膜は設けられておらず、前記第3挿入膜と前記第2上部電極との間には前記第2圧電膜は設けられていない請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1挿入膜および前記第4挿入膜の主成分と前記第2挿入膜および前記第3挿入膜の主成分は同じである請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2挿入膜の弾性定数の温度係数の符号は前記第1圧電膜の弾性定数の符号と反対であり、前記第4挿入膜の弾性定数の温度係数の符号は前記第2圧電膜の弾性定数の符号と反対である請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1挿入膜、前記第2挿入膜、前記第3挿入膜および前記第4挿入膜の主成分は酸化シリコンであり、
前記第1圧電膜および前記第2圧電膜の主成分は窒化アルミニウムである請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1挿入膜と前記第1下部電極との間に前記第1圧電膜の一部が設けられ、前記第2挿入膜と前記第1上部電極との間に前記第1圧電膜の一部が設けられ、
前記第4挿入膜と前記第2下部電極との間に前記第2圧電膜の一部が設けられ、前記第3挿入膜と前記第2上部電極との間に前記第2圧電膜の一部が設けられる請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項7に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
- 基板上に、第1下部電極および第2下部電極を形成する工程と、
前記第1下部電極上に第1圧電膜と、前記第2下部電極上に第2圧電膜と、を形成する工程と、
前記第1下部電極上に前記第1圧電膜の少なくとも一部を挟み前記第1下部電極と対向して第1共振領域を形成する第1上部電極と、前記第2下部電極上に前記第2圧電膜の少なくとも一部を挟み前記第2下部電極と対向して第2共振領域を形成する第2上部電極と、を形成する工程と、
前記第1共振領域の一部である第1中央領域に設けられておらず、前記第1中央領域を囲む少なくとも一部の領域において前記第1共振領域の外周に沿って前記第1中央領域を囲むように、前記第1下部電極と前記第1上部電極との間に挿入された第1挿入膜と、前記第1挿入膜との間に前記第1圧電膜の少なくとも一部が設けられるように、前記第1中央領域の少なくとも一部および前記第1挿入膜が設けられた領域における前記第1挿入膜と前記第1上部電極との間に挿入された第2挿入膜と、前記第2共振領域の一部である第2中央領域に設けられておらず、前記第2中央領域を囲む少なくとも一部の領域において前記第2共振領域の外周に沿って前記第2中央領域を囲むように、前記第2下部電極と前記第2上部電極との間に挿入された第3挿入膜と、前記第3挿入膜との間に前記第2圧電膜の少なくとも一部が設けられるように、前記第2中央領域の少なくとも一部および前記第3挿入膜が設けられた領域における前記第3挿入膜と前記第2下部電極との間に挿入された第4挿入膜と、のうち前記第1挿入膜と前記第4挿入膜とを同時に形成する工程と、
前記第2挿入膜と前記第3挿入膜とを同時に形成する工程と、を含む弾性波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019140932A JP7383417B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019140932A JP7383417B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021027382A JP2021027382A (ja) | 2021-02-22 |
JP7383417B2 true JP7383417B2 (ja) | 2023-11-20 |
Family
ID=74664138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019140932A Active JP7383417B2 (ja) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7383417B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007181185A (ja) | 2005-12-01 | 2007-07-12 | Sony Corp | 音響共振器およびその製造方法 |
US20140225683A1 (en) | 2013-02-14 | 2014-08-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator comprising integrated structures for improved performance |
JP2014171218A (ja) | 2013-02-28 | 2014-09-18 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Private Ltd | カラー及びフレームを含む音響共振器 |
WO2019073899A1 (ja) | 2017-10-10 | 2019-04-18 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサおよび高周波フィルタ |
JP2019075736A (ja) | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 太陽誘電株式会社 | ラダー型フィルタ、圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
-
2019
- 2019-07-31 JP JP2019140932A patent/JP7383417B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007181185A (ja) | 2005-12-01 | 2007-07-12 | Sony Corp | 音響共振器およびその製造方法 |
US20140225683A1 (en) | 2013-02-14 | 2014-08-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator comprising integrated structures for improved performance |
JP2014171218A (ja) | 2013-02-28 | 2014-09-18 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Private Ltd | カラー及びフレームを含む音響共振器 |
WO2019073899A1 (ja) | 2017-10-10 | 2019-04-18 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサおよび高周波フィルタ |
JP2019075736A (ja) | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 太陽誘電株式会社 | ラダー型フィルタ、圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021027382A (ja) | 2021-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7017364B2 (ja) | ラダー型フィルタ、圧電薄膜共振器およびその製造方法 | |
US10790799B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator, filter, and multiplexer | |
JP6302263B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ | |
US9444429B2 (en) | Piezoelectric thin-film resonator, method for fabricating same, filter and duplexer having an interposed film | |
JP6573853B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
US9496848B2 (en) | Piezoelectric thin-film resonator, filter and duplexer utilizing a piezoelectric film having an air space | |
JP2016225746A (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 | |
JP6556173B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
US10205432B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator, filter, and duplexer | |
US10680576B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator, filter, and duplexer | |
JP7269719B2 (ja) | 圧電膜およびその製造方法、圧電デバイス、共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP6925877B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7340349B2 (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP7385996B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7383417B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP7288307B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
US10554196B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP7068047B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7383404B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7190313B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP2021175156A (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、マルチプレクサ、及び圧電薄膜共振器の製造方法 | |
JP2022189419A (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、およびマルチプレクサ | |
JP2022025884A (ja) | 弾性波デバイス、フィルタ、及びマルチプレクサ | |
JP2024000247A (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7383417 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |