JP7292269B2 - 拡張ダイナミックレンジを有するデジタルピクセル - Google Patents
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Description
(実施形態1)
フォトダイオードと、前記フォトダイオードによって生成された電荷をアナログ信号に変換するように構成された1つまたは複数のトランジスタデバイスとを含む第1の半導体層であって、前記フォトダイオードが前記第1の半導体層内の第1の領域を占有する、第1の半導体層と、
前記アナログ信号を1つまたは複数のデジタル信号に変換するように構成された1つまたは複数のトランジスタデバイスを含む第2の半導体層であって、前記第2の半導体層の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが前記第2の半導体層内の第2の領域を占有する、第2の半導体層と
を備えるピクセルセルであって、
前記第1の半導体層が、軸に沿って前記第2の半導体層と積層構造を形成し、
前記第1の領域および前記第2の領域が、前記軸に沿って少なくとも部分的に重なり合う、
ピクセルセル。
(実施形態2)
前記第1の半導体層は、第1の表面と第2の表面とを含み、
前記第1の半導体層が、前記第2の表面上に配置された1つまたは複数の第1の金属相互接続を含み、
前記第2の半導体層が、前記第2の表面に面する第3の表面を含み、
前記第2の半導体層が、前記第3の表面上に配置された1つまたは複数の第2の金属相互接続を含み、
前記ピクセルセルが、前記1つまたは複数の第1の金属相互接続と前記1つまたは複数の第2の金属相互接続との間に電気接続を提供するために、1つまたは複数の第3の金属相互接続をさらに含む、
実施形態1に記載のピクセルセル。
(実施形態3)
前記第1の表面が、光の光子を受け取るように構成された、実施形態2に記載のピクセルセル。
(実施形態4)
前記第1の半導体層が、前記第2の半導体層とは異なるドーピングプロファイルを含む、実施形態1に記載のピクセルセル。
(実施形態5)
前記第1の半導体層が、前記第1の半導体層の第1の表面と第2の表面との間に電界を導入するためのドーピング勾配を含む、実施形態4に記載のピクセルセル。
(実施形態6)
前記第1の半導体層が、第2の半導体層とは異なる厚さを有する、実施形態1に記載のピクセルセル。
(請求項7)
前記第1の半導体層の厚さが、所定の周波数に関連する光子の目標量子効率に基づいて構成された、実施形態6に記載のピクセルセル。
(請求項8)
前記第1の半導体層の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、前記フォトダイオードに結合されたソース端子と、キャパシタとして構成されたドレイン端子と、前記フォトダイオードによって生成された電子の前記キャパシタへの流れを制御するように動作可能なゲート端子とを有する第1のトランジスタを備え、
前記第2の半導体層の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、前記第1のトランジスタの前記ドレイン端子におけるアナログ電圧に基づいて前記1つまたは複数のデジタル信号を生成するように構成されたデジタル-アナログ変換器を備える、
実施形態1に記載のピクセルセル。
(実施形態9)
前記デジタル-アナログ変換器が、カウンタと、メモリと、電圧比較器とを備え、
前記メモリが、前記カウンタによって出力された1つまたは複数のカウント値を記憶するように構成され、
前記電圧比較器が、前記1つまたは複数のデジタル信号を生成するために、前記第1のトランジスタの前記ドレイン端子における前記アナログ電圧に基づいて前記メモリにおける前記1つまたは複数のカウント値の前記記憶を制御するように構成された、
実施形態8に記載のピクセルセル。
(実施形態10)
前記ゲート端子が、前記フォトダイオードにおいて貯蔵された電荷の量が閾値を超えると、電子が前記フォトダイオードから前記キャパシタに流れることを可能にするように制御される、実施形態8に記載のピクセルセル。
(実施形態11)
前記第1の半導体層の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、リセットモード中に、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷を除去するように構成された第2のトランジスタを備える、実施形態8に記載のピクセルセル。
(実施形態12)
前記第1の半導体層の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、リセットモード中に、前記キャパシタおよび前記フォトダイオードにおいて貯蔵された電荷を除去するように構成された第2のトランジスタを備える、実施形態8に記載のピクセルセル。
(実施形態13)
フォトダイオードと、
前記フォトダイオードによって生成された電荷を貯蔵するように構成されたキャパシタと、
前記フォトダイオードに入射する光の強度を表すデータを生成するために第1の測定モードおよび第2の測定モードのうちの少なくとも1つを実行するように構成された処理回路と
を備えるピクセルセルであって、
前記第1の測定モードにおいて、前記処理回路が、前記キャパシタが前記フォトダイオードに電気的に結合されたときに、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷の量を測定するように構成され、
前記第2の測定モードにおいて、前記処理回路が、前記キャパシタが前記フォトダイオードから電気的に分離されたときに、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷の量を測定するように構成された、
ピクセルセル。
(実施形態14)
前記処理回路が、可変閾値生成器と、比較器と、カウンタとを備える、実施形態13に記載のピクセルセル。
(実施形態15)
前記第1の測定モードにおいて、
前記可変閾値生成器が、固定閾値電圧を生成するように構成され、
前記比較器が、判定出力を生成するために、前記固定閾値電圧を、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷の量を表す電圧と比較するように構成され、
前記カウンタが、前記判定出力に基づいてカウント値のセットを生成するように構成され、
前記判定出力における変化に対応する前記カウンタによって生成された前記カウント値のセットのうちの1つまたは複数が、前記フォトダイオードに入射する光の強度を表す、
実施形態14に記載のピクセルセル。
(実施形態16)
前記フォトダイオードに入射する光の前記強度が増加すると、前記カウント値のセットのうちの1つまたは複数が減少する、実施形態15に記載のピクセルセル。
(実施形態17)
前記固定閾値電圧が、前記フォトダイオードの飽和光強度に対応する、実施形態15に記載のピクセルセル。
(実施形態18)
前記第2の測定モードにおいて、
前記可変閾値生成器が、前記カウンタによって生成されたカウント値のセットに基づいてランピング電圧を生成するように構成され、
前記比較器が、判定出力を生成するために、前記ランピング電圧を、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷の前記量を表す電圧と比較するように構成され、
前記カウンタが、前記判定出力に基づいて前記カウント値のセットを生成するように構成され、
前記判定出力における変化に対応する前記カウンタによって生成された前記カウント値のセットのうちの1つまたは複数が、前記フォトダイオードに入射する光の強度を表す、
実施形態14に記載のピクセルセル。
(実施形態19)
前記フォトダイオードに入射する光の前記強度が増加すると、前記カウント値のセットのうちの1つまたは複数が増加する、実施形態18に記載のピクセルセル。
(実施形態20)
前記処理回路が、前記フォトダイオードが前記フォトダイオードと電気的に結合されたときに前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷の量が閾値を超えるという、前記第1の測定モードからの決定に基づいて、前記第2の測定モードをスキップするように構成された、実施形態13に記載のピクセルセル。
Claims (11)
- フォトダイオードと、前記フォトダイオードによって生成された電荷をアナログ信号に変換するように構成された1つまたは複数のトランジスタデバイスとを含む第1の半導体基板であって、前記フォトダイオードが前記第1の半導体基板内の第1の領域を占有する、第1の半導体基板と、
前記アナログ信号を1つまたは複数のデジタル信号に変換するように構成された1つまたは複数のトランジスタデバイスを含む第2の半導体基板であって、前記第2の半導体基板の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが前記第2の半導体基板内の第2の領域を占有する、第2の半導体基板と
を備えるピクセルセルであって、
前記第1の半導体基板が、軸に沿って前記第2の半導体基板と積層構造を形成し、
前記第1の領域および前記第2の領域が、前記軸に沿って少なくとも部分的に重なり合い、
前記第1の半導体基板は、第1の表面と第2の表面とを含み、
前記第1の半導体基板が、前記第2の表面上に配置された1つまたは複数の第1の金属相互接続を含み、
前記第2の半導体基板が、前記第2の表面に面する第3の表面を含み、
前記第2の半導体基板が、前記第3の表面上に配置された1つまたは複数の第2の金属相互接続を含み、
前記ピクセルセルが、前記1つまたは複数の第1の金属相互接続と前記1つまたは複数の第2の金属相互接続との間に電気接続を提供するために、1つまたは複数の第3の金属相互接続をさらに含む、
ピクセルセル。 - 前記第1の表面が、光の光子を受け取るように構成された、請求項1に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板が、前記第2の半導体基板とは異なるドーピングプロファイルを含む、請求項1に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板が、前記第1の半導体基板の前記第1の表面と前記第2の表面との間に電界を導入するためのドーピング勾配を含む、請求項3に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板が、前記第2の半導体基板とは異なる厚さを有する、請求項1に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板の厚さが、所定の周波数に関連する光子の目標量子効率に基づいて構成された、請求項5に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、前記フォトダイオードに結合されたソース端子と、キャパシタとして構成されたドレイン端子と、前記フォトダイオードによって生成された電子の前記キャパシタへの流れを制御するように動作可能なゲート端子とを有する第1のトランジスタを備え、
前記第2の半導体基板の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、前記第1のトランジスタの前記ドレイン端子におけるアナログ電圧に基づいて前記1つまたは複数のデジタル信号を生成するように構成されたデジタル-アナログ変換器を備える、
請求項1に記載のピクセルセル。 - 前記デジタル-アナログ変換器が、カウンタと、メモリと、電圧比較器とを備え、
前記メモリが、前記カウンタによって出力された1つまたは複数のカウント値を記憶するように構成され、
前記電圧比較器が、前記1つまたは複数のデジタル信号を生成するために、前記第1のトランジスタの前記ドレイン端子における前記アナログ電圧に基づいて前記メモリにおける前記1つまたは複数のカウント値の前記記憶を制御するように構成された、
請求項7に記載のピクセルセル。 - 前記ゲート端子が、前記フォトダイオードにおいて貯蔵された電荷の量が閾値を超えると、電子が前記フォトダイオードから前記キャパシタに流れることを可能にするように制御される、請求項7に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、リセットモード中に、前記キャパシタにおいて貯蔵された電荷を除去するように構成された第2のトランジスタを備える、請求項7に記載のピクセルセル。
- 前記第1の半導体基板の前記1つまたは複数のトランジスタデバイスが、リセットモード中に、前記キャパシタおよび前記フォトダイオードにおいて貯蔵された電荷を除去するように構成された第2のトランジスタを備える、請求項7に記載のピクセルセル。
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