JP7291988B2 - オゾン生成装置および紫外線照射装置 - Google Patents
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10R 内部空間
10S 側面
10W1 窓
10W2 窓
30 エキシマランプ
40 エキシマランプ
100 オゾン生成装置
Claims (12)
- 放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、前記エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、
ランプ点灯状態において、前記エキシマランプから、紫外線とともに可視光が放射され、
前記筐体において、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されていることを特徴とするオゾン生成装置。 - 前記窓が、前記筐体の側面および/または天井面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。
- 放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、前記エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、
ランプ点灯状態において、前記エキシマランプから、紫外線とともに可視光が放射され、
前記筐体において、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されていることを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記窓が、前記筐体の側面および/または天井面に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の紫外線照射装置。
- それぞれ、放電によって172nm以外の波長の紫外線を放射する複数のエキシマランプと、
前記複数のエキシマランプを収容し、前記複数のエキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備え、
ランプ点灯状態において、前記複数のエキシマランプから、それぞれ紫外線とともに可視光が放射され、
前記筐体において、装置設置状態で前記複数のエキシマランプが点灯状態であることを視認可能な窓が、形成されていることを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記窓が、前記筐体に設けられた操作面の傍に形成されていることを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 前記窓の鉛直方向長さが、筐体鉛直方向長さの半分以上の長さであることを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 前記エキシマランプが、局所的放電によって紫外線を放射することを特徴とする請求項3乃至7のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 前記窓から、ランプ点灯状態において、前記エキシマランプを視認可能であることを特徴とする請求項3乃至8のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 前記窓の表面が、前記筐体の表面の一部を形成していることを特徴とする請求項3乃至9のいずれかに記載の紫外線照射装置。
- 紫外線放射とともに可視光を放射するエキシマランプと、前記エキシマランプを収容し、前記エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備えたオゾン生成装置の動作状態確認方法であって、
前記筐体において、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能となるように、窓を形成することを特徴とするオゾン生成装置の動作状態確認方法。 - 紫外線放射とともに可視光を放射するエキシマランプと、前記エキシマランプを収容し、前記エキシマランプからの紫外線が照射される内部空間が形成される、ケーシングである筐体とを備えた紫外線照射装置の動作状態確認方法であって、
前記筐体において、装置設置状態で前記エキシマランプが点灯状態であることを視認可能となるように、窓を形成することを特徴とする紫外線照射装置の動作状態確認方法。
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