JP2006008499A - 物質の酸化方法およびその酸化装置 - Google Patents
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Abstract
環境負荷が少なく、取り扱いが容易であり、かつ比較的低コストにて物質を酸化することができる、亜酸化窒素(N2O)を含む液中における物質の酸化方法および酸化装置を提供する。
【解決手段】
亜酸化窒素(N2O)を含む溶液と物質を接触させ、該溶液に対して紫外光を照射することによって前記物質の酸化を行う物質の酸化方法であって、紫外光の照射時間により物質の酸化時間を制御することを特徴とする物質の酸化方法。
Description
光触媒の酸化力評価において行われる定番的な方法として、メチレンブルーの酸化分解がある。メチレンブルーは水溶液の状態で青色を呈し、酸化されることで青色が消失して無色になる。光触媒の酸化力評価ではメチレンブルー(10ppm)水溶液の665nmの吸光度変化を測定するのが一般的である。また、メチレンブルー(10ppm)水溶液の665nmの吸光度が初期の1割程度にまで減少するためには、光触媒では数十分〜数百分程度の時間を要するのが一般的である。
次にシリコンウエハーの酸化の実験結果を説明する。図7は、シリコンウエハーの酸化を行った酸化装置の模式図である。酸化装置1は、容器40と、容器40の真上に配置される低圧水銀ランプ50とを含む。低圧水銀ランプ50は、240nm以下の波長を含む光を発生し、その出力は110Wである。好ましくは、低圧水銀ランプ50は、容器40の全面を照射するように、できるだけ容器40に近接して配置される。
次に、亜酸化窒素を含む水溶液、過酸化水素水およびオゾン水を用いて、光照射される領域と光照射されない領域を設けた際のアルミニウム板の酸化の実験結果を説明する。実験は、図11に示した酸化装置2のシリコンウエハーWをアルミニウム板に変えて実施した。
10、40、45:容器
30、60、65:水溶液
42、43:シリコンウエハーの支持具
20:高圧水銀ランプ
50:低圧水銀ランプ
55:オゾンレスの高圧水銀ランプ
56:光遮蔽板
70:基材
70a:基材の選択された酸化領域
71:レジスト層
72:マスク(レチクル)
73:下地層
Claims (17)
- 亜酸化窒素(N2O)を含む溶液と物質を接触させ、該溶液に対して紫外光を照射することによって前記物質の酸化を行う物質の酸化方法であって、紫外光の照射時間により物質の酸化時間を制御することを特徴とする物質の酸化方法。
- 前記溶液が、亜酸化窒素を溶解した水溶液であり、前記照射する紫外光の波長が、173nm〜240nmである、請求項1に記載の物質の酸化方法。
- 紫外光の照射領域を制御する請求項1又は2に記載の物質の酸化方法。
- 前記物質を前記溶液中に浸漬させることによって、前記溶液と接触させる、請求項1〜3のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記物質を前記溶液中に溶解させることによって、前記溶液と接触させる、請求項1〜3のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記物質を前記溶液の液滴に接触させる請求項1〜3のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記溶液を回転される物質上に滴下することによって、前記溶液と前記物質を接触させる請求項6に記載の物質の酸化方法。
- 紫外光の照射を遮蔽するマスクを前記物質上に配置する請求項1〜7のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 紫外光が集束されたものである請求項1〜8のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記物質が、シリコン、アルミニウム、銅、鉄、亜鉛、チタン、タンタル、銀、ジルコニウム、タングステン、クロム、モリブテン、ニッケル、ハフニウム、ルテニウム、ニオブ、イットリウム、スカンジウム、ネオジム、ランタン、セリウム、コバルト、バナジウム、マンガン、ガリウム、ゲルマニウム、インジウム、スズ、ロジウム、パラジウム、カドミウム、アンチモン、及びこれらを含む合金から選ばれる1種である請求項1〜9のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記物質が半導体基板である請求項1〜10のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 紫外光を不活性ガス雰囲気を介して前記溶液へ照射する請求項1〜11のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 紫外光を真空雰囲気を介して前記溶液へ照射する請求項1〜11のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記溶液中に光源と物質を配置して酸化を行う請求項1〜11のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 前記溶液中に含まれる亜酸化窒素の濃度が10ppmないし5000ppmである請求項1〜14のいずれかに記載の物質の酸化方法。
- 亜酸化窒素を含む溶液中に物質を浸漬するための容器と、該容器内の溶液に対して、紫外光を照射する手段とを有する、物質の酸化装置であって、光源から物質の極近傍に存在している亜酸化窒素までの距離を可変する手段を有することを特徴とする物質の酸化装置。
- 請求項1〜15のいずれかに記載の方法によって得られる酸化された物質。
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