JP7286765B2 - 共焦点光学分度器 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 138
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 12
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 241000238876 Acari Species 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000010226 confocal imaging Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/004—Systems comprising a plurality of reflections between two or more surfaces, e.g. cells, resonators
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0927—Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/04—Prisms
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08018—Mode suppression
- H01S3/0804—Transverse or lateral modes
- H01S3/08045—Single-mode emission
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Description
Claims (21)
- エレメントの縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を測定する光学システムであって、
レーザ・ビームを生成する調整可能なレーザ源と、
前記レーザ・ビームに応答する螺旋位相板共振器(SPPR)デバイスであって、前記SPPRデバイスが、前記レーザ・ビームを当該デバイス内において前後に反射する対向反射面を含み、前記反射面の1つが、螺旋ステップ・インデックスを含み、異なる位相を有する複数の反射振幅を組み合わせ、前記複数の振幅の位相によって定められる光渦強度パターンを生成させ、前記強度パターンが特異点と半径方向光ピークとを含み、前記SPPRデバイスが第1ビームを前記レーザ源に向けて後方に反射し、第2ビームを透過して前記レーザ源から遠ざける、SPPRデバイスと、
前記第1ビームまたは前記第2ビームのいずれかを受信および分割し、分割測定ビームを生成する第1ビーム・スプリッタと、
前記分割測定ビームに応答し、前記エレメント上に前記分割測定ビームを投影し、前記エレメントからの反射ビームに応答するレンズと、
前記エレメントからの前記反射ビームに応答する測定検出器であって、前記反射ビームが前記レンズによって前記測定検出器上に撮像される、測定検出器と、
前記測定検出器からの画像データを受信および処理し、前記データから縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を生成するプロセッサであって、前記画像データが前記渦強度パターンの方向を含む、プロセッサと、
を備える、光学システム。 - 請求項1記載の光学システムにおいて、前記渦強度パターンが、4つの四分儀の各々において1つの強度ピークを含む、光学システム。
- 請求項1記載の光学システムにおいて、前記縦揺れ角が、前記渦強度パターンの1つの面におけるシフトによって判定され、前記偏揺れ角が、前記1つの面に対して直交する他の面における前記渦強度パターンのシフトによって判定され、前記横揺れ角が、前記渦強度パターンの回転によって判定される、光学システム。
- 請求項1記載の光学システムであって、更に、前記分割測定ビームを受信し、前記レンズに誘導する第2ビーム・スプリッタを備え、前記第2ビーム・スプリッタが、前記反射ビームを受信し、前記測定検出器に誘導する、光学システム。
- 請求項4記載の光学システムであって、更に、シャッタを備え、前記分割測定ビームがこれを通って、前記レンズから前記エレメントに伝搬する、光学システム。
- 請求項5記載の光学システムであって、更に、前記シャッタが閉じているときに、前記第2ビーム・スプリッタからの分割反射ビームに応答する検出器を備え、前記検出器が、前記反射ビームの方向および前記第1または第2ビームの強度を追跡する、光学システム。
- 請求項6記載の光学システムにおいて、前記検出器が、多重画素検出器、または環状に配列された複数の単一画素検出器を含む単一画素検出器アレイである、光学システム。
- 請求項1記載の光学システムにおいて、前記SPPRデバイスが低反射率デバイスであり、前記第1ビーム・スプリッタが前記第1ビームを受信する、光学システム。
- 請求項8記載の光学システムであって、更に、前記第1ビーム・スプリッタからの分割ビームに応答する強度検出器を備え、前記強度検出器がビーム強度を監視する、光学システム。
- 請求項8記載の光学システムにおいて、前記SPPRデバイスの反射率が約0.04である、光学システム。
- 請求項1記載の光学システムにおいて、前記SPPRデバイスが高反射率デバイスであり、前記第1ビーム・スプリッタが前記第2ビームを受信する、光学システム。
- 請求項11記載の光学システムにおいて、前記デバイスの反射率が約0.5である、光学システム。
- 請求項1記載の光学システムにおいて、前記SPPRデバイスが、当該SPPRデバイスを透過した基準ビームを生成し、前記基準ビームが、前記渦強度パターンの基準方向を生成するために、較正検出器上に投影される、光学システム。
- 請求項13記載の光学システムにおいて、前記測定および較正検出器がCCDカメラである、光学システム。
- エレメントの縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を測定する光学システムであって、
レーザ・ビームを生成する調整可能なレーザ源と、
前記レーザ・ビームに応答する螺旋位相板共振器(SPPR)デバイスであって、前記SPPRデバイスが、前記レーザ・ビームを当該デバイス内において前後に反射する対向反射面を含み、前記反射面の1つが、螺旋ステップ・インデックスを含み、異なる位相を有する複数の反射振幅を組み合わせ、前記複数の振幅の位相によって定められる光渦強度パターンを生成させ、前記強度パターンが特異点と半径方向光ピークとを含み、前記SPPRデバイスが第1ビームを前記レーザ源に向けて後方に反射し、第2ビームを透過して前記レーザ源から遠ざける、SPPRデバイスと、
前記第2ビームに応答し、前記渦強度パターンの基準方向を生成する較正検出器と、
前記第1ビームを受信および分割し、分割測定ビームを生成する第1ビーム・スプリッタと、
前記分割測定ビームに応答し、前記エレメント上に前記分割測定ビームを投影し、前記エレメントからの反射ビームに応答するレンズと、
前記エレメントからの前記反射ビームに応答する測定検出器であって、前記反射ビームが前記レンズによって前記測定検出器上に撮像される、測定検出器と、
前記測定検出器からの画像データおよび前記渦強度パターンの基準方向を受信および処理し、前記縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を前記データから生成するプロセッサであって、前記画像データが前記渦強度パターンの方向を含み、前記縦揺れ角が、前記渦強度パターンの1つの面におけるシフトによって判定され、前記偏揺れ角が、前記1つの面に対して直交する他の面における前記渦強度パターンのシフトによって判定され、前記横揺れ角が、前記渦強度パターンの回転によって判定される、プロセッサと、
を備える、光学システム。 - 請求項15記載の光学システムにおいて、前記渦強度パターンが、4つの四分儀の各々において1つの強度ピークを含む、光学システム。
- 請求項15記載の光学システムであって、更に、前記分割測定ビームを受信し、前記レンズに誘導する第2ビーム・スプリッタを備え、前記第2ビーム・スプリッタが、前記反射ビームを受信し、前記測定検出器に誘導する、光学システム。
- 請求項17記載の光学システムであって、更に、シャッタを備え、前記分割測定ビームがこれを通って、前記レンズから前記エレメントに伝搬する、光学システム。
- 請求項18記載の光学システムであって、更に、前記シャッタが閉じているときに、前記第2ビーム・スプリッタからの分割反射ビームに応答する検出器を備え、前記検出器がビームの較正を行う、光学システム。
- 請求項15記載の光学システムであって、更に、前記第1ビーム・スプリッタからの分割ビームに応答する強度検出器を備え、前記強度検出器がビーム強度を監視する、光学システム。
- エレメントの縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を測定する光学システムであって、
レーザ・ビームを生成する調整可能なレーザ源と、
前記レーザ・ビームに応答する螺旋位相板共振器(SPPR)デバイスであって、前記SPPRデバイスが、前記レーザ・ビームを当該デバイス内において前後に反射する対向反射面を含み、前記反射面の1つが、螺旋ステップ・インデックスを含み、異なる位相を有する複数の反射振幅を組み合わせ、前記複数の振幅の位相によって定められる光渦強度パターンを生成させ、前記強度パターンが特異点と半径方向光ピークとを含み、前記SPPRデバイスが渦ビームを出力する、SPPRデバイスと、
前記渦ビームを受信し、測定ビームおよび較正ビームに分割するビーム・スプリッタと、
前記較正ビームに応答し、前記渦強度パターンの基準方向を生成する較正検出器と、
前記測定ビームに応答し、前記エレメント上に前記第測定ビームを投影し、前記エレメントからの反射ビームに応答するレンズと、
前記エレメントからの反射ビームに応答する測定検出器であって、前記反射ビームが前記レンズによって前記測定検出器上に撮像される、測定検出器と、
前記測定検出器からの画像データおよび前記渦強度パターンの基準方向を受信および処理し、前記縦揺れ、偏揺れ、および横揺れ角を前記データから生成するプロセッサであって、前記画像データが前記渦強度パターンの方向を含み、前記縦揺れ角が、前記渦強度パターンの1つの面におけるシフトによって判定され、前記偏揺れ角が、前記1つの面に対して直交する他の面における前記渦強度パターンのシフトによって判定され、前記横揺れ角が、前記渦強度パターンの回転によって判定される、プロセッサと、
を備える、光学システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023084719A JP2023120198A (ja) | 2018-10-26 | 2023-05-23 | 共焦点光学分度器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/171,883 US10670391B2 (en) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | Confocal optical protractor |
US16/171,883 | 2018-10-26 | ||
PCT/US2019/057834 WO2020086828A2 (en) | 2018-10-26 | 2019-10-24 | Confocal optical protractor |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023084719A Division JP2023120198A (ja) | 2018-10-26 | 2023-05-23 | 共焦点光学分度器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022505956A JP2022505956A (ja) | 2022-01-14 |
JPWO2020086828A5 JPWO2020086828A5 (ja) | 2022-05-17 |
JP7286765B2 true JP7286765B2 (ja) | 2023-06-05 |
Family
ID=68582385
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021523047A Active JP7286765B2 (ja) | 2018-10-26 | 2019-10-24 | 共焦点光学分度器 |
JP2021522943A Active JP7372968B2 (ja) | 2018-10-26 | 2019-10-24 | 共焦点光学分度器および構造化光照明によって角度を判定するための方法 |
JP2023084719A Pending JP2023120198A (ja) | 2018-10-26 | 2023-05-23 | 共焦点光学分度器 |
JP2023180547A Pending JP2024016064A (ja) | 2018-10-26 | 2023-10-19 | 共焦点光学分度器および構造化光照明によって角度を判定するための方法 |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021522943A Active JP7372968B2 (ja) | 2018-10-26 | 2019-10-24 | 共焦点光学分度器および構造化光照明によって角度を判定するための方法 |
JP2023084719A Pending JP2023120198A (ja) | 2018-10-26 | 2023-05-23 | 共焦点光学分度器 |
JP2023180547A Pending JP2024016064A (ja) | 2018-10-26 | 2023-10-19 | 共焦点光学分度器および構造化光照明によって角度を判定するための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10670391B2 (ja) |
EP (3) | EP3870934B1 (ja) |
JP (4) | JP7286765B2 (ja) |
KR (2) | KR20210080426A (ja) |
BR (3) | BR112021007652B1 (ja) |
WO (2) | WO2020086837A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7235153B2 (ja) * | 2017-12-29 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7235154B2 (ja) * | 2018-02-15 | 2023-03-08 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP7231076B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2023-03-01 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
US10670391B2 (en) * | 2018-10-26 | 2020-06-02 | Northrop Grumman Systems Corporation | Confocal optical protractor |
JP2020103418A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2021186294A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
CN115077390B (zh) * | 2021-03-11 | 2023-03-24 | 山东大学 | 一种基于双波长涡旋光自共轭干涉的大量程皮米级位移测量系统及方法 |
JP2022166647A (ja) * | 2021-04-21 | 2022-11-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光学測定装置、実装基板の組立装置、および、実装基板の組立方法 |
KR102608513B1 (ko) | 2021-11-24 | 2023-12-04 | 한국과학기술원 | 유니버셜 메타표면을 포함하는 자유경로 동적 광집속 분포 생성기 |
JP2023053387A (ja) * | 2022-02-04 | 2023-04-12 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
CN116773850A (zh) * | 2023-05-16 | 2023-09-19 | 苏州大学 | 一种基于单光子探测器测量转速和转角的装置及方法 |
CN116298373B (zh) * | 2023-05-24 | 2023-10-20 | 之江实验室 | 一种基于旋转多普勒效应测量物体角速度的装置和方法 |
CN116772741B (zh) * | 2023-08-25 | 2023-11-07 | 北京建筑大学 | 一种变形检测系统及变形检测方法 |
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- 2019-05-14 US US16/411,921 patent/US10809057B2/en active Active
- 2019-10-24 KR KR1020217014384A patent/KR20210080426A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-10-24 BR BR112021007652-2A patent/BR112021007652B1/pt active IP Right Grant
- 2019-10-24 EP EP19812883.7A patent/EP3870934B1/en active Active
- 2019-10-24 JP JP2021523047A patent/JP7286765B2/ja active Active
- 2019-10-24 EP EP19804963.7A patent/EP3870933B1/en active Active
- 2019-10-24 WO PCT/US2019/057846 patent/WO2020086837A1/en active Application Filing
- 2019-10-24 WO PCT/US2019/057834 patent/WO2020086828A2/en active Application Filing
- 2019-10-24 KR KR1020217014453A patent/KR20210080431A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-10-24 JP JP2021522943A patent/JP7372968B2/ja active Active
- 2019-10-24 BR BR112021007644-1A patent/BR112021007644B1/pt active IP Right Grant
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BR112021007652A2 (pt) | 2021-07-27 |
EP3870933A2 (en) | 2021-09-01 |
EP3870934A1 (en) | 2021-09-01 |
JP2022505869A (ja) | 2022-01-14 |
JP2023120198A (ja) | 2023-08-29 |
US20200132444A1 (en) | 2020-04-30 |
EP4177565A1 (en) | 2023-05-10 |
EP3870934B1 (en) | 2023-04-05 |
BR112021007652B1 (pt) | 2022-12-13 |
BR122022018325B1 (pt) | 2023-05-09 |
KR20210080426A (ko) | 2021-06-30 |
WO2020086837A1 (en) | 2020-04-30 |
KR20210080431A (ko) | 2021-06-30 |
US20200132443A1 (en) | 2020-04-30 |
EP4177565B1 (en) | 2024-01-31 |
JP7372968B2 (ja) | 2023-11-01 |
BR112021007644A2 (pt) | 2021-07-27 |
JP2024016064A (ja) | 2024-02-06 |
BR112021007644B1 (pt) | 2022-12-13 |
WO2020086828A2 (en) | 2020-04-30 |
EP3870933B1 (en) | 2022-11-30 |
WO2020086828A3 (en) | 2020-05-22 |
US10670391B2 (en) | 2020-06-02 |
JP2022505956A (ja) | 2022-01-14 |
US10809057B2 (en) | 2020-10-20 |
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---|---|---|---|
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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