JP7284711B2 - 有機デバイス用電極基板材料 - Google Patents
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Description
本実施形態の導体層101は、所定形状にパターン化された金属箔からなる。金属箔からなる導体層101は、金属蒸着膜等からなる導体層と異なり、折り曲げても断線しにくいために、十分なフレキシブル性を実現することができる。導体層101は、有機デバイス用電極基板材料100が有機デバイスの電極202として用いられた際に、有機EL素子の発光層201と当接し、発光層201に電圧を印加する。
平坦化層102は、パターン化された導体層101の開口部を埋めるように、導体層101の周囲に設けられている。少なくとも第1の面111において、平坦化層102は導体層101を覆っておらず、導体層101の表面が露出している。
本実施形態の有機デバイス用電極基板材料100は、例えば以下のようにして形成することができる。
有機デバイス用電極基板材料の平滑性の評価は株式会社ニコン製超高分解能非接触三次元表面形状計測システムBW-D500を用いて2.2mm×2.2mmの視野で表面の凹凸形状を観察し、面内の最大高さSzを測定した。JIS-B0601-2001で定義されている最大高さRzを、観察された表面全体に対して適用できるように三次元に拡張して算出された値である。平滑性がSz200nm以下のものを良好(〇)、200nmを超えるものを不良(×)とした。
有機デバイス用電極基板材料の水蒸気バリア性の評価は、JIS K 7129-7:2016で定義される水蒸気透過度である。蒸着した金属カルシウム上に試料を設置し、40℃90%の環境下で100時間経過後、腐食したカルシウムの面積から計算することによって算出した。
有機デバイス用電極基板材料の表面抵抗は、50mm×50mmの試料の対角線上にある2つの角点の間の抵抗値を抵抗計(三和電気計器株式会社製、RD701 DIGITALMULTIMETER)を用いて測定して求めた。表面抵抗が10Ω/cm以下のものを良好(〇)、10Ω/cm2を超えるものを不良(×)とした。
対象試料の屈曲試験前後の表面抵抗を測定し、表面抵抗の低下率を求めた。屈曲試験は、塗膜屈曲試験機を用いて、10mmφのマンドレルで50回行った。表面抵抗の低下率が5%以下のものをフレキシブル性が良好(〇)、5%を超えるものを不良(×)とした。
3cm×3cmで厚さ15μm(算術平均粗さRa:7nm)のアルミニウム箔(東洋アルミニウム株式会社製、1N30)の一方の表面(主面)に難付着性の接着剤を塗布し、100℃で乾燥させた後、この接着剤側の塗布面に基材を貼り合わせ、50℃で4日間エージングした。基材は厚さ38μmのPETフィルム(帝人フィルムソリューションズ株式会社製)とした。
アルミニウム箔を厚さが15μmの銅箔(純度99.96%)とし、エポキシ樹脂をアクリル樹脂とした以外は実施例1と同様にした。
導電層の線幅を100μmとし、ピッチが2000μmで配線密度を9%とした以外は実施例1と同様にした。
また、実施例1と同様に対象試料を陽極とする有機EL発光素子を形成し、発光効率を測定したところ、1.0cd/Aであった。実施例1と同様にUVオゾン洗浄後のぬれ張力を評価したところ、1分では63mN/m、5分では73mN/m、10分では73mN/mであった。
ガスバリア層を形成せず、すなわちアルミニウム箔がエッチングにより除去された部分及び導体層のある面に直接エポキシ樹脂を充填した以外は実施例1と同様にして有機デバイス用電極基板材料を得た。
ガスバリア層を形成せず、すなわちアルミニウム箔がエッチングにより除去された部分及び導体層のある面に直接エポキシ樹脂を充填し、透明支持体を厚さ75μmで水蒸気透過率が4×10-4g/m2/dayの市販のガスバリアフィルムとした以外は実施例1と同様にして有機デバイス用電極基板材料を得た。
ガラス基板上にインジウムスズオキサイト(ITO)をスパッタ法で155nmの膜厚で積層させることによって有機デバイス用電極基板材料を得た。
厚さ75μmで水蒸気透過率が4×10-4g/m2/dayの市販のガスバリアフィルムにインジウムスズオキサイト(ITO)をスパッタ法により120nmの膜厚で積層させることによって有機デバイス用電極基板材料を得た。
3cm×3cmで厚さ15μm(Ra:7nm)のアルミニウム箔(東洋アルミニウム株式会社製、1N30)の一方の表面(主面)に市販のアクリル系接着剤を塗布し、この接着剤側の塗布面に厚さ75μmで水蒸気透過率が4×10-4g/m2/dayの市販のガスバリアフィルムを貼り合せた。
厚さ75μmで水蒸気透過率が4×10-4g/m2/dayの市販のガスバリアフィルムにアルミニウムを蒸着して、厚さが300nmのアルミニウム蒸着膜を形成した。次に、アルミニウム蒸着膜の表面に市販のドライフィルムを貼り合わせ、メッシュ形状フォトマスクを用いてUVにより露光、現像し、ドライフィルムが残っていない部分を塩化鉄(II)水溶液を用いてエッチングを行い、パターン化した。この後、水酸化ナトリウム水溶液を用いてドライフィルムを剥離することによって有機デバイス用電極基板材料を得た。
101 導体層
102 平坦化層
103 ガスバリア層
104 透明樹脂層
105 透明支持体
106 保護層
111 第1の面
112 第2の面
121 基盤パターン
122 周辺パターン
122A 第1の周辺パターン
122B 第2の周辺パターン
123 電極
124 端子
200 有機EL素子
201 発光層
202 電極
203 電極
301 基材
302 金属箔
Claims (9)
- パターン化された金属箔からなる導体層と、
前記導体層の周囲に設けられた平坦化層とを備え、
第1の面において、前記導体層の表面は前記平坦化層から露出し、且つ前記導体層の表面と、前記平坦化層の表面とは、連続した平坦面を形成し、
前記第1の面と反対側の第2の面において、前記導体層の表面は前記平坦化層に覆われ、
前記平坦化層の前記第2の面を覆う部分は、前記導体層のパターンに対応した凹凸を有している、有機デバイス用電極基板材料。 - 前記導体層は、線幅が20μm以上、200μm以下のパターンを形成し、前記第1の面における単位面積当たりの前記導体層の密度は15%以下である、請求項1に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 前記平坦化層は、ガスバリア層と透明樹脂層とを含み、
前記ガスバリア層の表面と前記導体層の露出した表面とは連続した平滑面を形成している、請求項1に記載の有機デバイス用電極基板材料。 - 前記ガスバリア層は、アルミニウム及び酸素を主成分とする層並びにシリコンと、窒素、酸素及び炭素の少なくとも1つとを主成分とする層の少なくとも一方を含み、厚さが20nm以上である、請求項3に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 前記平坦化層は、波長400nm~800nmの光の透過率が85%以上である、請求項1~4のいずれか1項に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 前記平坦化層は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリスチレン(PS)、ポリカーボネート(PC)、アクリル、ポリ塩化ビニル(PVC)、フッ素樹脂、インジウムスズオキサイド(ITO)、及びポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)のうちの1種又は2種以上である、請求項5に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 前記導体層は、基盤パターンと、基盤パターンの外側に設けられ、外部装置と接続可能な周辺パターンとを含む、請求項1~6のいずれか1項に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 前記導体層は、厚さ6μm以上、30μm以下のアルミニウム箔である、請求項1~6のいずれか1項に記載の有機デバイス用電極基板材料。
- 金属箔を基材の表面に貼り付ける工程と、
前記基材に貼り付けられた前記金属箔をパターニングして導体層を形成する工程と、
前記導体層を形成した基材の表面に透明材料を塗工して平坦化層を形成する工程と、
前記平坦化層を形成する工程よりも後で前記基材を剥離する工程とを備え、
前記平坦化層は、第1の面において前記導体層の表面と連続した平坦面を形成し、前記第1の面と反対側の第2の面において前記導体層の表面を覆い、前記導体層のパターンに対応した凹凸を有している、有機デバイス用電極基板材料の製造方法。
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