JP7279477B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、複数の個別流路、第１共通流路及び第２共通流路を備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１には、ヘッド長手方向（第１方向）に配列された複数の個別流路と、それぞれ複数の個別流路に連通するマニホールド及び循環流路（共通流路）とを備えた液体吐出ヘッドが示されている。複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、ノズルよりも上方に配置された圧力発生室（圧力室）とを含む。

特開２０１５－１３４５０７号公報（図３、図４）

特許文献１では、マニホールド、複数の圧力発生室（圧力室）及び循環流路が、ヘッド幅方向（第２方向）に並んでいる。この場合、各共通流路について、圧力損失低減等の目的で容積を大きくしようとすると、液体吐出ヘッドが第２方向に大型化し得る。

本発明の目的は、第２方向の大型化を抑制しつつ各共通流路の容積を大きくできる液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明によれば、鉛直方向と直交する第１方向に配列された複数の第１個別流路と、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第１共通流路と、前記第１共通流路よりも下方において、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第２共通流路と、を備え、前記複数の第１個別流路は、それぞれ、第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記第１ノズルよりも上方に配置された第１圧力室と、を含み、前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１圧力室よりも上方において、鉛直方向に互いに重なり、前記第１共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重なり、前記第２共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重ならないことを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。

本発明によれば、第２方向の大型化を抑制しつつ各共通流路の容積を大きくできる。

本発明の第１実施形態に係るヘッドを備えたプリンタの平面図である。 図１のプリンタに含まれる１つのヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッドの断面図である。 図１のプリンタの電気的構成を示すブロック図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドの平面図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に沿ったヘッドの断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図４参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル１１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図４参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２及び図３を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１０、アクチュエータ基板３０、保護基板４０及び筐体５０を有する。

流路基板１０は、鉛直方向に積層された２枚のプレート１０ａ，１０ｂで構成されている。プレート１０ａ（本発明に係る「圧力室基板」）には、複数の圧力室１２が形成されている。プレート１０ｂ（本発明に係る「ノズルプレート」）には、複数のノズル１１が形成されている。

ノズル１１は、圧力室１２毎に設けられており、圧力室１２よりも下方に配置され、圧力室１２に連通している。ノズル１１は圧力室１２の直下に位置し、ノズル１１と圧力室１２との間に別の流路が介在していない。

複数の圧力室１２は、図２に示すように、ヘッド１の長手方向（紙幅方向。本発明に係る「第１方向」に該当し、以下「第１方向」という。）に千鳥状に配列されている。圧力室１２は、鉛直方向と直交する平面において、ヘッド１の幅方向（搬送方向と平行な方向。本発明に係る「第２方向」であり、以下「第２方向」という。）に長尺な略矩形状である。ノズル１１は、鉛直方向と直交する平面において、圧力室１２の中央に配置されている。

圧力室１２における第２方向の一端及び他端には、第１連結流路１３及び第２連結流路１４が連結している。第１連結流路１３及び第２連結流路１４は、それぞれ、圧力室１２から、第２方向の一方及び他方に延びている。

第１連結流路１３の先端には、分岐部１５が連結している。分岐部１５は、図３に示すように、鉛直方向に延び、第１連結流路１３の先端に連結する下端と、圧力室１２よりも上方に配置された上端とを有する。分岐部１５は、後述の鉛直流路５３ａ，５３ｂと共に、延在流路６１ａ，６１ｂを構成する。

ノズル１１、圧力室１２、第１連結流路１３、第２連結流路１４及び分岐部１５は、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成している。個別流路１６Ａ，１６Ｂは、それぞれ、１つのノズル１１と、１つの圧力室１２と、１つの第１連結流路１３と、１つの第２連結流路１４と、１つの分岐部１５とを含む。分岐部１５の上端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに該当し、第２連結流路１４の先端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの出口１６ｙに該当する。

複数の第１個別流路１６Ａは、図２に示すように、第１方向に１列に等間隔で配列されている。複数の第２個別流路１６Ｂは、複数の第１個別流路１６Ａと第２方向に並び、第１方向に１列に等間隔で配列されている。

第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２が本発明に係る「第１圧力室」に該当し、第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２が本発明に係る「第２圧力室」に該当する。

第１個別流路１６Ａに属するノズル１１が本発明に係る「第１ノズル」に該当し、第２個別流路１６Ｂに属するノズル１１が本発明に係る「第２ノズル」に該当する。

個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の第１連結流路１３は、個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の第２連結流路１４に対して、第２方向の両側に配置されている。第２方向において、第１個別流路１６Ａに属する第１連結流路１３と、第２個別流路１６Ｂに属する第１連結流路１３との間に、第１個別流路１６Ａに属する第２連結流路１４と、第２個別流路１６Ｂに属する第２連結流路１４とが配置されている。

図３に示すように、プレート１０ｂは、プレート１０ａよりも第２方向の長さが短く、複数の圧力室１２、複数の第１連結流路１３、複数の第２連結流路１４、複数の分岐部１５及び延在流路６２ａ，６２ｂを下方から覆うように、プレート１０ａの下面に接着されている。プレート１０ａには、圧力室１２を構成する貫通孔に加え、分岐部１５を構成する貫通孔と、延在流路６２ａ，６２ｂを構成する貫通孔と、第１連結流路１３及び第２連結流路１４を構成する凹部とが形成されている。当該凹部は、プレート１０ａの下面に、ハーフエッチング等により形成されている。

アクチュエータ基板３０は、下から順に、振動板３１、２つの共通電極３２、複数の圧電体３３及び複数の個別電極３４を含む。

振動板３１は、プレート１０ａの上面に接着され、プレート１０ａに形成された全ての圧力室１２を覆っている。また、振動板３１には、分岐部１５を構成する貫通孔と、延在流路６２ａ，６２ｂを構成する貫通孔とが形成されている。

２つの共通電極３２は、振動板３１の上面に形成され、個別流路１６Ａ，１６Ｂの列毎に、複数の圧力室１２に跨るように、第１方向に延びている。各共通電極３２は、各個別流路１６Ａ，１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なっている。

圧電体３３及び個別電極３４は、圧力室１２毎に設けられており、各圧力室１２と鉛直方向に重なっている。

個別電極３４及び共通電極３２は、配線９１，９２及び配線基板９０（共に図２参照）を介して、ドライバＩＣ１ｄ（図４参照）と電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極３２の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極３４の電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極３４に付与する。これにより、個別電極３４の電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板３１及び圧電体３３において個別電極３４と圧力室１２とで挟まれた部分（アクチュエータ３０ｘ）が、圧力室１２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室１２の容積が変化し、圧力室１２内のインクに圧力が付与され、ノズル１１からインクが吐出される。

保護基板４０は、振動板３１の上面に接着されている。

保護基板４０の下面には、第１方向に延びる２つの凹部４０ｘが形成されている。２つの凹部４０ｘのうち、一方は、第１個別流路１６Ａに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なり、他方は、第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なっている。各凹部４０ｘ内に、各個別流路１６Ａ，１６Ｂに対応する複数のアクチュエータ３０ｘが収容されている。

また、保護基板４０には、分岐部１５を構成する貫通孔と、延在流路６２ａ，６２ｂを構成する貫通孔とが形成されている。

延在流路６２ａは、第１個別流路１６Ａに属する第２連結流路１４の先端に連結している。延在流路６２ｂは、第２個別流路１６Ｂに属する第２連結流路１４の先端に連結している。延在流路６２ａ，６２ｂは、鉛直方向に延び、第２連結流路１４の先端に連結する下端と、帰還流路５２の下面に連結する上端とを有する。鉛直方向と直交する断面において、帰還流路５２の断面積は、延在流路６２ａの断面積と延在流路６２ｂの断面積との和よりも大きい。

図２に示すように、分岐部１５は、個別流路１６Ａ，１６Ｂ毎に設けられ、第１方向に互いに離隔して配置されているのに対し、延在流路６２ａ，６２ｂは、複数の個別流路１６Ａ，１６Ｂに対して設けられ、第１方向に延びている。延在流路６２ａの下端における、第２方向の一方の側面には、複数の第１個別流路１６Ａの出口１６ｙが第１方向に並んでいる。延在流路６２ｂの下端における、第２方向の他方の側面には、複数の第２個別流路１６Ｂの出口１６ｙが第１方向に並んでいる。

保護基板４０の下面には、さらに、図３には示されていないが、配線９１，９２（図２参照）が通る溝と、配線基板９０の一端（図２参照）を収容する凹部とが形成されている。配線９１は、個別電極３４に接続する一端と、配線基板９０に接続する他端とを有する。配線９２は、共通電極３２に接続する一端と、配線基板９０に接続する他端とを有する。配線９１，９２は、それぞれ、第１方向に並ぶ複数の分岐部１５の間を通り、ヘッド１の第２方向の外側に引き出されている。

配線基板９０は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、ヘッド１の第２方向の一端及び他端のそれぞれに配置されている。配線基板９０は、振動板３１上に固定された一端（図２参照）と、制御部５（図１及び図４参照）に接続された他端とを有する。配線基板９０の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１ｄ（図４参照）が実装されている。

筐体５０は、図３に示すように、保護基板４０の上面に接着されている。筐体５０は、鉛直方向に積層された５枚のプレート５０ａ～５０ｅで構成されている。筐体５０には、プレート５０ｂ～５０ｅに形成された貫通孔により、供給流路５１（本発明に係る「第１共通流路」）と、帰還流路５２（本発明に係る「第２共通流路」）と、鉛直流路５３ａ，５３ｂとが形成されている。帰還流路５２の下面は保護基板４０により画定されており、保護基板４０の上面が帰還流路５２の下面に該当する。

鉛直流路５３ａ，５３ｂは、凹部４０ｘと鉛直方向に重なっていない。鉛直流路５３ａ，５３ｂが凹部４０ｘと鉛直方向に重なると、プレート５０ｅと保護基板４０との接着時に押圧力が作用し難くなり、接着不良が生じ得る。これに対し、本構成によれば、接着不良を抑制できる。

流路５１，５２，５３ａ，５３ｂは、個別流路１６Ａ，１６Ｂよりも上方に配置されている。供給流路５１は、ヘッド１に形成された全ての圧力室１２と、鉛直方向に全体的に重なっている。帰還流路５２及び鉛直流路５３ａ，５３ｂは、供給流路５１よりも下方において、供給流路５１と鉛直方向に重なっている。供給流路５１は、帰還流路５２よりも第２方向の長さが長く、帰還流路５２に対して第２方向の両側に突出している。供給流路５１の鉛直方向の長さ５１Ｈは、帰還流路５２の鉛直方向の長さ５２Ｈよりも短い。帰還流路５２の流路面積（第１方向と直交する面積）は、供給流路５１の流路面積よりも小さい。

供給流路５１及び帰還流路５２は、図２に示すように、それぞれ、第１方向に延びている。鉛直流路５３ａ，５３ｂは、供給流路５１における第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、第１方向に延びている。鉛直流路５３ａ，５３ｂは、第１方向において供給流路５１と同じ長さを有する。

供給流路５１は、鉛直流路５３ａ，５３ｂを介して、ヘッド１に形成された全ての個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに連通している。鉛直流路５３ａは、供給流路５１における第２方向の一端と、複数の第１個別流路１６Ａの入口１６ｘとを連結している。鉛直流路５３ｂは、供給流路５１における第２方向の他端と、複数の第２個別流路１６Ｂの入口１６ｘとを連結している。鉛直流路５３ａ，５３ｂの下面には、複数の入口１６ｘが第１方向に並んでいる。供給流路５１は、鉛直流路５３ａを介して複数の第１個別流路１６Ａの入口１６ｘに連通し、鉛直流路５３ｂを介して複数の第２個別流路１６Ｂの入口１６ｘに連通している。

帰還流路５２は、延在流路６２ａ，６２ｂの直上に配置され、延在流路６２ａ，６２ｂを介して、ヘッド１に形成された全ての個別流路１６Ａ，１６Ｂの出口１６ｙに連通している。延在流路６２ａ，６２ｂは、帰還流路５２よりも下方に配置され、帰還流路５２における第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、第１方向に延びている。延在流路６２ａ，６２ｂは、第１方向において供給流路５１と同じ長さを有する。

延在流路６１ａ（本発明に係る「第１延在流路」）は、図３に示すように、鉛直流路５３ａと、鉛直流路５３ａから分岐した複数の分岐部１５（複数の第１個別流路１６Ａに属する分岐部１５）とで構成されている。延在流路６１ｂ（本発明に係る「第３延在流路」）は、鉛直流路５３ｂと、鉛直流路５３ｂから分岐した複数の分岐部１５（複数の第２個別流路１６Ｂに属する分岐部１５）とで構成されている。延在流路６１ａ，６１ｂは、筐体５０のプレート５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ、保護基板４０、振動板３１及び流路基板１０のプレート１０ａに形成された貫通孔で構成されており、複数の分岐部１５は、保護基板４０、振動板３１及びプレート１０ａに形成され、本発明に係る「第１延在流路の一部」又は「第３延在流路の一部」に該当する。

延在流路６１ａは、供給流路５１における第２方向の一端から、下方に延びている。延在流路６１ｂは、供給流路５１における第２方向の他端から、下方に延びている。

延在流路６１ａ，６１ｂ及び第１連結流路１３は、第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２及び第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２に対して第２方向の一方及び他方に配置され、ヘッド１に形成された圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。

延在流路６２ａ（本発明に係る「第２延在流路」）は、帰還流路５２における第２方向の一端から、下方に延びている。延在流路６２ｂ（本発明に係る「第４延在流路」）は、帰還流路５２における第２方向の他端から、下方に延びている。延在流路６２ａ，６２ｂは、保護基板４０、振動板３１及び流路基板１０のプレート１０ａに形成された貫通孔で構成されている。

帰還流路５２、延在流路６２ａ，６２ｂ及び第２連結流路１４は、第２方向において第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２との間に配置され、ヘッド１に形成された圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。

連結流路１３，１４と、延在流路６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂの下端とは、プレート１０ｂによって画定されており、鉛直方向においてノズル１１と接する位置にある。連結流路１３，１４と、延在流路６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂの下端とは、ノズル１１との鉛直方向の距離（本実施形態では略ゼロ）が、アクチュエータ基板３０との鉛直方向の距離よりも短い。

鉛直方向において供給流路５１と帰還流路５２との間に、ダンパ室８０が設けられている。ダンパ室８０は、供給流路５１における鉛直流路５３ａ，５３ｂが連結する部分を除く全領域と鉛直方向に重なり、帰還流路５２の全領域と鉛直方向に重なっている。また、ダンパ室８０は、第１方向の両端において、貫通孔８０ｘ，８０ｙ（図２参照）を介して大気と連通している。したがって、ダンパ室８０の圧力は、大気圧と同じである。

ダンパ室８０は、供給流路５１に接する第１ダンパ膜８１と、帰還流路５２に接する第２ダンパ膜８２とで形成されている。プレート５０ｃの下面に、ハーフエッチング等により、ダンパ室８０を構成する窪みが形成されている。当該窪みの底部における、供給流路５１と鉛直方向に重なる部分が、第１ダンパ膜８１として機能する。プレート５０ｄは、上記窪みを下方から覆うように、プレート５０ｃの下面に接着されている。プレート５０ｄにおける、上記窪みを覆う部分のうち、帰還流路５２と鉛直方向に重なる部分が、第２ダンパ膜８２として機能する。

第１ダンパ膜８１の第２方向の長さは、第２ダンパ膜８２の第２方向の長さよりも長い。また、第１ダンパ膜８１のヤング率は、第２ダンパ膜８２のヤング率よりも高い。例えば、プレート５０ｃは金属（ＳＵＳ等）からなり、プレート５０ｄは樹脂（ポリイミド等）からなる。

供給流路５１の上面を画定するプレート５０ａの厚みは、ダンパ膜８１，８２の厚みと略同じである。したがって、供給流路５１は、上面及び下面の双方に、ダンパ膜が設けられている。

帰還流路５２は、図２に示すように、供給流路５１よりも第１方向の長さが長く、供給流路５１に対して第１方向の両側に突出している。

供給流路５１の上面に、供給口５１ｘ（本発明に係る「第１開口」）が形成されている。供給口５１ｘは、鉛直方向と直交する平面において、供給流路５１の中央に配置されている。供給流路５１は、供給口５１ｘを介して、サブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、メインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。サブタンク内のインクは、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐ（図４参照）が駆動されることで、供給口５１ｘから供給流路５１に流入する。供給流路５１に流入したインクは、鉛直流路５３ａを介して各個別流路１６Ａに分配され、鉛直流路５３ｂを介して各個別流路１６Ｂに分配される。

帰還流路５２の上面に、帰還口５２ｘ（本発明に係る「第２開口」）が形成されている。帰還口５２ｘは、帰還流路５２における供給流路５１に対して第１方向に突出した部分に配置されている。帰還流路５２は、帰還口５２ｘを介して、サブタンク（図示略）に連通している。個別流路１６Ａ，１６Ｂ内のインクは、延在流路６２ａ，６２ｂを介して帰還流路５２に流入し、帰還口５２ｘを通ってサブタンクに戻される。

供給流路５１から各個別流路１６Ａ，１６Ｂに分配されたインクは、図３に示すように、分岐部１５及び第１連結流路１３を通って圧力室１２に入り、圧力室１２内を第２方向に移動し、一部がノズル１１から吐出され、残りは第２連結流路１４及び延在流路６２ａ，６２ｂを通って帰還流路５２に流入する。

このようにサブタンクとヘッド１との間でインクを循環させることで、ヘッド１の流路内のエアの排出やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

なお、ノズル１１にメニスカスを保持する観点等から、帰還流路５２は、第２方向の長さが３ｍｍ、鉛直方向の長さ５２Ｈが０．３ｍｍ程度が好ましく、鉛直流路５３ａ，５３ｂは、第２方向の長さが１．５ｍｍ、鉛直方向の長さが０．２０５ｍｍ程度が好ましく、個別流路１６Ａ，１６Ｂ当たりの循環流量は、５０ｎｌ／ｓ程度が好ましい。

以上に述べたように、本実施形態によれば、供給流路５１、帰還流路５２及び複数の圧力室１２が、鉛直方向に互いに異なる位置にあり、かつ、供給流路５１が複数の圧力室１２と鉛直方向に重なり、帰還流路５２が複数の圧力室１２と鉛直方向に重ならない（図３参照）。これにより、ヘッド１が第２方向に大型化することを抑制しつつ、流路５１，５２の容積を大きくできる（なお、帰還流路５２について、帰還流路５２が供給流路５１及び複数の圧力室１２と鉛直方向に異なる位置にあるため、帰還流路５２の鉛直方向の長さに自由度があり当該長さを長くできることから、帰還流路５２の容積を大きくできる）。しかも、本実施形態では、供給流路５１が帰還流路５２よりも上方に配置されているため、浮力の作用により、供給流路５１から圧力室１２内へのエアの侵入を抑制できる。さらに、本実施形態では、帰還流路５２が複数の圧力室１２と鉛直方向に重ならないため、アクチュエータ３０ｘの領域を確保し、アクチュエータ３０ｘの十分な変形が得られる。

帰還流路５２の流路面積は、供給流路５１の流路面積よりも小さい（図３参照）。これにより、帰還流路５２内の流速が大きくなり、帰還流路５２を介したエアの排出を効率よく行える。

鉛直方向において供給流路５１と帰還流路５２との間に、ダンパ室８０が設けられている（図３参照）。この場合、供給流路５１及び帰還流路５２に対して個別にダンパ室を設ける場合に比べ、構成が簡素化され、かつ、ヘッド１を鉛直方向に小型化できる。

ダンパ室８０は、第１方向の両端において、貫通孔８０ｘ，８０ｙを介して大気と連通している（図２参照）。この場合、ダンパ室８０が密閉されている場合に比べ、ダンパ膜８１，８２が変形し易く、供給流路５１及び帰還流路５２の減衰効果が高まる。また、２箇所で大気に連通させることで、筐体５０のプレート間の接着に用いられる接着剤を効果的に逃がすことができる。

ダンパ膜８１の第２方向の長さは、ダンパ膜８２の第２方向の長さよりも長い（図３参照）。そして、ダンパ膜８１のヤング率は、ダンパ膜８２のヤング率よりも高い。ダンパ膜８１，８２のヤング率が互いに同じで、ヤング率が低い場合、第２方向の長さが長い方のダンパ膜８１が撓み過ぎてダンパ膜８２に張り付いてしまい、ダンパ室８０の空間が確保されない場合がある。これに対し、本構成によれば、第２方向の長さが長い方のダンパ膜８１のヤング率をダンパ膜８２のヤング率よりも高くすることで、ダンパ膜８１を撓み難く、ダンパ膜８２を撓み易くする。これにより、ダンパ膜８１，８２同士の張り付きを防止し、ダンパ室８０の空間を確保できる。

供給流路５１の上面に供給口５１ｘが形成され、帰還流路５２における、供給流路５１に対して第１方向に突出した部分の上面に、帰還口５２ｘが形成されている（図２参照）。この場合、供給流路５１及び帰還流路５２が鉛直方向に互いに重なる構成において、供給口５１ｘに対するチューブの取り付け、及び、帰還口５２ｘに対するチューブの取り付けを、上方から行うことができ、取付作業が容易である。

供給流路５１は、帰還流路５２よりも、第２方向の長さが長く、かつ、鉛直方向の長さが短い（図３参照）。この場合、供給流路５１と帰還流路５２との間の流路抵抗の差を低減でき、メニスカスを確実に保持できる。

延在流路６１ａ及び第１個別流路１６Ａに属する第１連結流路１３は、第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない（図３参照）。延在流路６１ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する第１連結流路１３は、第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。これにより、より確実に、アクチュエータ３０ｘの領域を確保し、アクチュエータ３０ｘの十分な変形が得られる。

延在流路６２ａ及び第１個別流路１６Ａに属する第２連結流路１４は、第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない（図３参照）。延在流路６２ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する第２連結流路１４は、第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。これにより、より確実に、アクチュエータ３０ｘの領域を確保し、アクチュエータ３０ｘの十分な変形が得られる。

第２連結流路１４は、ノズル１１との鉛直方向の距離が、アクチュエータ基板３０との鉛直方向の距離よりも短い（図３参照）。この場合、第２連結流路１４が鉛直方向においてノズル１１に近く、ノズル１１近傍のインクを回収し易い。したがって、ノズル１１近傍のインク増粘効果が高まる。

延在流路６２ａ，６２ｂ及び第２連結流路１４は、プレート１０ｂによって画定されている（図３参照）。この場合、第２連結流路１４が鉛直方向においてノズル１１に近く、ノズル１１近傍のインクを回収し易い構成を、より実効的に実現できる。

供給流路５１及び帰還流路５２は、第１個別流路１６Ａのみではなく第２個別流路１６Ｂとも連通し、第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２の上方に配置され、供給流路５１が第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重なり、帰還流路５２が第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂに属する複数の圧力室１２と鉛直方向に重ならない（図３参照）。この場合、第１個別流路１６Ａ及び第２個別流路１６Ｂのそれぞれに対して供給流路５１及び帰還流路５２を設ける場合に比べ、流路構成が簡素化し、さらに、流路５１，５２の容積を大きくし易い。

延在流路６１ａ，６１ｂにおいて、保護基板４０に形成された部分は、各個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成する分岐部１５である（図３参照）。この場合、図２に示すように、配線９１，９２を、分岐部１５の間を通して、第２方向において第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２に対して第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２の反対側、又は、第２方向において第２個別流路１６Ｂに属する圧力室１２に対して第１個別流路１６Ａに属する圧力室１２の反対側に引き出すことができ、配線作業を容易に行える。

＜第２実施形態＞
続いて、図５及び図６を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。なお、第１実施形態と同じ構成要素については、第１実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。

第１個別流路２１６Ａは、図５に示すように、第１実施形態の第１個別流路１６Ａと同様、第１方向に１列に等間隔で配列されている。第２個別流路２１６Ｂは、第１実施形態の第２個別流路１６Ｂと同様、複数の第１個別流路２１６Ａと第２方向に並び、第１方向に１列に等間隔で配列されている。

第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２が本発明に係る「第１圧力室」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２が本発明に係る「第２圧力室」に該当する。

第１個別流路２１６Ａに属するノズル１１が本発明に係る「第１ノズル」に該当し、第２個別流路２１６Ｂに属するノズル１１が本発明に係る「第２ノズル」に該当する。

個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの構成は、第１実施形態の個別流路１６Ａ，１６Ｂの構成と異なる。個別流路２１６Ａ，２１６Ｂは、それぞれ、１つのノズル１１と、１つの圧力室１２と、１つの第１連結流路１３と、１つの第２連結流路１４と、１つの分岐部２１５とを含む。即ち、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂは、分岐部１５の代わりに、分岐部２１５を含む。分岐部２１５は、図６に示すように、鉛直方向に延び、第２連結流路１４の先端に連結する下端と、帰還流路５２の下面に連結する上端とを有する。

第１連結流路１３の先端が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに該当し、分岐部２１５の上端が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに該当する。帰還流路５２の下面には、複数の出口２１６ｙが第１方向に千鳥状に並んでいる（図５参照）。

図６に示すように、プレート１０ｂは、プレート１０ａよりも第２方向の長さが短く、複数の圧力室１２、複数の第１連結流路１３、複数の第２連結流路１４、複数の分岐部２１５及び延在流路２６１ａ，２６１ｂを下方から覆うように、プレート１０ａの下面に接着されている。プレート１０ａには、圧力室１２を構成する貫通孔に加え、分岐部２１５を構成する貫通孔と、延在流路２６１ａ，２６１ｂを構成する貫通孔と、第１連結流路１３及び第２連結流路１４を構成する凹部とが形成されている。

図５に示すように、分岐部２１５は、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂ毎に設けられ、第１方向に互いに離隔して配置されているのに対し、延在流路２６１ａ，２６１ｂは、複数の個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに対して設けられ、第１方向に延びている。

第１個別流路２１６Ａに属する分岐部２１５は延在流路２６２ａ（本発明に係る「第２延在流路」）を構成し、第２個別流路２１６Ｂに属する分岐部２１５は延在流路２６２ｂ（本発明に係る「第４延在流路」）を構成する。分岐部２１５は、本発明に係る「第２延在流路の一部」又は「第４延在流路の一部」に該当する。本実施形態では、延在流路２６１ａ（本発明に係る「第１延在流路」）及び延在流路２６１ｂ（本発明に係る「第３延在流路」）が複数に分岐せずに第１方向に延び、延在流路２６２ａ，２６２ｂが複数に分岐している。

図６に示すように、振動板３１及び保護基板４０には、分岐部２１５を構成する貫通孔と、延在流路２６１ａ，２６１ｂを構成する貫通孔とが形成されている。

保護基板４０の下面には、２つの凹部４０ｘに加え、１つのＩＣ収容空間４４０ｘが形成されている。ＩＣ収容空間４４０ｘは、第２方向において延在流路２６２ａと延在流路２６２ｂとの間に配置され、第１方向に延びている。ＩＣ収容空間４４０ｘ内に、ドライバＩＣ１ｄ（本発明に係る「駆動回路」）が配置されている。ドライバＩＣ１ｄは、振動板３１の上面に配置され、第１方向に延びている。

保護基板４０の下面には、さらに、図６には示されていないが、配線９１，９２（図５参照）が通る溝が形成されている。配線９１は、個別電極３４に接続する一端と、ドライバＩＣ１ｄに接続する他端とを有する。配線９２は、共通電極３２に接続する一端と、ドライバＩＣ１ｄに接続する他端とを有する。配線９１，９２は、それぞれ、第１方向に並ぶ複数の分岐部２１５の間を通り、ドライバＩＣ１ｄに向かって、ヘッド２０１の第２方向の内側に引き出されている。

筐体５０には、図６に示すように、供給流路５１と、帰還流路５２と、延在流路２６１ａ，２６１ｂとが形成されている。

延在流路２６１ａ，２６１ｂは、凹部４０ｘと鉛直方向に重なっていない。延在流路２６１ａ，２６１ｂが凹部４０ｘと鉛直方向に重なると、プレート５０ｅと保護基板４０との接着時に押圧力が作用し難くなり、接着不良が生じ得る。これに対し、本構成によれば、接着不良を抑制できる。

延在流路２６１ａ，２６１ｂは、供給流路５１よりも下方において、供給流路５１と鉛直方向に重なっている。また、延在流路２６１ａ，２６１ｂは、図５に示すように、供給流路５１における第２方向の一端及び他端それぞれにおいて、第１方向に延びている。延在流路２６１ａ，２６１ｂは、第１方向において供給流路５１と同じ長さを有する。

供給流路５１は、延在流路２６１ａ，２６１ｂを介して、ヘッド２０１に形成された全ての個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに連通している。延在流路２６１ａは、供給流路５１における第２方向の一端と、複数の第１個別流路２１６Ａの入口２１６ｘとを連結している。延在流路２６１ｂは、供給流路５１における第２方向の他端と、複数の第２個別流路２１６Ｂの入口２１６ｘとを連結している。延在流路２６１ａの下端における、第２方向の一方の側面には、複数の第１個別流路２１６Ａの入口２１６ｘが第１方向に並んでいる。延在流路２６１ｂの下端における、第２方向の他方の側面には、複数の第２個別流路２１６Ｂの入口２１６ｘが第１方向に並んでいる。供給流路５１は、延在流路２６１ａを介して複数の第１個別流路２１６Ａの入口２１６ｘに連通し、延在流路２６１ｂを介して複数の第２個別流路２１６Ｂの入口２１６ｘに連通している。

帰還流路５２は、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに属する分岐部２１５（延在流路２６２ａ，２６２ｂ）の直上に配置され、ヘッド２０１に形成された全ての個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに連通している。

延在流路２６１ａは、供給流路５１における第２方向の一端から、下方に延びている。延在流路２６１ｂは、供給流路５１における第２方向の他端から、下方に延びている。

延在流路２６１ａ，２６１ｂ及び第１連結流路１３は、第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２及び第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２に対して第２方向の一方及び他方に配置され、ヘッド２０１に形成された圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。

分岐部２１５（延在流路２６２ａ）は、帰還流路５２における第２方向の一端から、下方に延びている。分岐部２１５（延在流路２６２ｂ）は、帰還流路５２における第２方向の他端から、下方に延びている。分岐部２１５（延在流路２６２ａ，２６２ｂ）は、保護基板４０、振動板３１及び流路基板１０のプレート１０ａに形成された貫通孔で構成されている。

帰還流路５２、分岐部２１５（延在流路２６２ａ，２６２ｂ）及び第２連結流路１４は、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に配置され、ヘッド２０１に形成された圧力室１２のいずれとも鉛直方向に重なっていない。

連結流路１３，１４と、延在流路２６１ａ，２６１ｂ，２６２ａ，２６２ｂの下端とは、プレート１０ｂによって画定されており、鉛直方向においてノズル１１と接する位置にある。連結流路１３，１４と、延在流路２６１ａ，２６１ｂ，２６２ａ，２６２ｂの下端とは、ノズル１１との鉛直方向の距離（本実施形態では略ゼロ）が、アクチュエータ基板３０との鉛直方向の距離よりも短い。

循環ポンプ７ｐ（図４参照）の駆動により、供給口５１ｘ（図２参照）から供給流路５１に流入したインクは、延在流路２６１ａを介して各個別流路２１６Ａに分配され、延在流路２６１ｂを介して各個別流路２１６Ｂに分配される。各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに分配されたインクは、第１連結流路１３を通って圧力室１２に入り、圧力室１２内を第２方向に移動し、一部がノズル１１から吐出され、残りは第２連結流路１４及び分岐部２１５（延在流路２６２ａ，２６２ｂ）を通って帰還流路５２に流入する。そしてインクは、帰還口５２ｘ（図２参照）を通ってサブタンクに戻される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、延在流路２６２ａ，２６２ｂにおいて、保護基板４０に形成された部分は、各個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成する分岐部２１５である（図６参照）。この場合、図５に示すように、配線９１，９２を、分岐部２１５の間を通して、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に引き出すことができ、配線作業を容易に行える。

ドライバＩＣ１ｄが、第２方向において延在流路２６２ａと延在流路２６２ｂとの間に配置され、配線９１，９２が、ドライバＩＣ１ｄに向かって、分岐部２１５の間を通って、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２と第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２との間に引き出されている（図５参照）。この場合、配線９１，９２を、第２方向において第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２に対して第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２の反対側、又は、第２方向において第２個別流路２１６Ｂに属する圧力室１２に対して第１個別流路２１６Ａに属する圧力室１２の反対側に引き出す場合に比べ、ヘッド２０１を第２方向に小型化できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、上述の実施形態では、供給流路が「第１共通流路」に該当し、帰還流路が「第２共通流路」に該当するが、これに限定されず、帰還流路が「第１共通流路」に該当し、供給流路が「第２共通流路」に該当してもよい。第１共通流路が各個別流路の入口及び出口の一方に連通し、第２共通流路が各個別流路の入口及び出口の他方に連通すればよい。

第１共通流路は、各圧力室の全体と鉛直方向に重なることに限定されず、各圧力室の一部と鉛直方向に重なってもよい。

ダンパ室は、第１方向の一端において大気と連通してもよいし、大気に連通しなくてもよい。

第１ダンパ膜のヤング率が第２ダンパ膜のヤング率よりも高いという要件を実現するため、上述の実施形態ではダンパ膜の材料を異ならせているが、これに限定されず、ダンパ膜の厚みを異ならせてもよい。例えば、第１ダンパ膜の厚みを、第２ダンパ膜の厚みより大きくしてもよい。

第１ダンパ膜のヤング率と、第２ダンパ膜のヤング率とが、互いに同じであってもよい。例えば、第１ダンパ膜及び第２ダンパ膜が、共に樹脂（ポリイミド等）からなってもよい。

鉛直方向において第１共通流路と第２共通流路との間に、ダンパ室が設けられなくてよい。例えば、第１共通流路及び第２共通流路に対して個別にダンパ室が設けられてもよい。また、ダンパ室は、共通流路の上面や下面に設けられることに限定されず、共通流路の側面に設けられてもよい。共通流路に対してダンパ室やダンパ膜を設けなくてもよい。

筐体は、複数のプレートで構成されることに限定されず、例えば樹脂からなる一体成形品で構成されてもよい。

第１実施形態では、鉛直流路５３ａ，５３ｂが、第１方向に延びて複数の個別流路１６Ａ，１６Ｂに連通するが、これに限定されず、分岐部１５のそれぞれに対して設けられ、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成してもよい。この場合、鉛直流路５３ａ，５３ｂの上端が個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘに該当する。

第１実施形態では、連結流路１３，１４及び分岐部１５が、個別流路１６Ａ，１６Ｂを構成するが、これに限定されず、鉛直流路５３ａ，５３ｂと同様に、第１方向に延びてもよい。この場合、圧力室１２の第２方向の側面において、連結流路１３，１４と連結する部分が、個別流路１６Ａ，１６Ｂの入口１６ｘ及び出口１６ｙに該当する。

第２実施形態では、延在流路２６１ａ，２６１ｂが、第１方向に延びて複数の個別流路２１６Ａ，２１６Ｂに連通するが、これに限定されず、第１連結流路１３のそれぞれに対して設けられ、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成してもよい。この場合、延在流路２６１ａ，２６１ｂの上端が個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの入口２１６ｘに該当する。

第２実施形態では、延在流路２６２ａ，２６２ｂが、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂを構成するが、これに限定されず、延在流路２６１ａ，２６１ｂと同様に、第１方向に延びてもよい。この場合、第２連結流路１４の先端が、個別流路２１６Ａ，２１６Ｂの出口２１６ｙに該当する。

第１個別流路及び第２個別流路のそれぞれに対して、第１共通流路及び第２共通流路を設けてもよい。つまり、上述の実施形態では、第１共通流路及び第２共通流路が、第１個別流路及び第２個別流路の双方に連通するが、これに限定されず、第１共通流路及び第２共通流路が、第１個別流路には連通するが、第２個別流路には連通せず、第２個別流路に連通する別の共通流路が別途設けられてもよい。この場合において、第１個別流路及び第２個別流路に対し、種類（色等）の異なる液体を供給してよい。

本発明において、第２個別流路は必須ではなく、第１個別流路と、これに連通する第１共通流路及び第２共通流路とが設けられればよい。

上述の実施形態（図１）では、ヘッドユニット１ｘが４つのヘッド１を含むが、ヘッドユニット１ｘが含むヘッド１の数は任意であり、例えばヘッドユニット１ｘが６つの又は８つのヘッド１を含んでもよい。また、本発明が適用される装置は、複数のヘッドを含むヘッドユニットを有することに限定されず、１つのヘッドを有してもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１；２０１ ヘッド
１ｄ ドライバＩＣ（駆動回路）
１０ 流路基板
１０ａ プレート（圧力室基板）
１０ｂ プレート（ノズルプレート）
１１ ノズル
１２ 圧力室
１３ 第１連結流路
１４ 第２連結流路
１５；２１５ 分岐部
１６Ａ；２１６Ａ 第１個別流路
１６Ｂ；２１６Ｂ 第２個別流路
１６ｘ；２１６ｘ 入口
１６ｙ；２１６ｙ 出口
３０ アクチュエータ基板
３０ｘ アクチュエータ
４０ 保護基板
４０ｘ 凹部
５０ 筐体
５１ 供給流路（第１共通流路）
５１ｘ 供給口（第１開口）
５２ 帰還流路（第２共通流路）
５２ｘ 帰還口（第２開口）
６１ａ；２６１ａ 延在流路（第１延在流路）
６２ａ；２６２ａ 延在流路（第２延在流路）
６１ｂ；２６１ｂ 延在流路（第３延在流路）
６２ｂ；２６２ｂ 延在流路（第４延在流路）
８０ ダンパ室
８１ 第１ダンパ膜
８２ 第２ダンパ膜
９１，９２ 配線
１００ プリンタ

Claims (13)

1. 鉛直方向と直交する第１方向に配列された複数の第１個別流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第１共通流路と、
   前記第１共通流路よりも下方において、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第２共通流路と、を備え、
   前記複数の第１個別流路は、それぞれ、第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記第１ノズルよりも上方に配置された第１圧力室と、を含み、
   前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１圧力室よりも上方において、鉛直方向に互いに重なり、
   前記第１共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重なり、
   前記第２共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重ならず、
   鉛直方向において前記第１共通流路と前記第２共通流路との間に、前記第１共通流路に接する第１ダンパ膜と前記第２共通流路に接する第２ダンパ膜とで形成された、ダンパ室が設けられたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記ダンパ室は、前記第１方向の両端において大気と連通していることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１ダンパ膜における前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向の長さは、前記第２ダンパ膜における前記第２方向の長さよりも長く、
   前記第１ダンパ膜のヤング率は、前記第２ダンパ膜のヤング率よりも高いことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１共通流路は、前記複数の第１個別流路の入口に連通し、
   前記第２共通流路は、前記複数の第１個別流路の出口に連通し、
   前記第２共通流路の流路面積は、前記第１共通流路の流路面積よりも小さいことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１共通流路は、前記第２共通流路よりも、前記第１方向の長さが短く、かつ、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向の長さが長く、
   前記第１共通流路の上面に、第１開口が形成され、
   前記第２共通流路における、前記第１共通流路よりも前記第１方向に突出した部分の上面に、第２開口が形成されたことを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１共通流路及び前記第２共通流路の一方は、前記第１共通流路及び前記第２共通流路の他方よりも、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向の長さが長く、かつ、鉛直方向の長さが短いことを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１共通流路から下方に延びる第１延在流路と、
   前記第１延在流路と前記第１圧力室とを連結する第１連結流路と、を備え、
   前記第１延在流路及び前記第１連結流路は、前記第１圧力室と鉛直方向に重ならないことを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 鉛直方向と直交する第１方向に配列された複数の第１個別流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第１共通流路と、
   前記第１共通流路よりも下方において、前記第１方向に延び、前記複数の第１個別流路に連通する第２共通流路と、を備え、
   前記複数の第１個別流路は、それぞれ、第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記第１ノズルよりも上方に配置された第１圧力室と、を含み、
   前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１圧力室よりも上方において、鉛直方向に互いに重なり、
   前記第１共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重なり、
   前記第２共通流路は、前記複数の第１圧力室と鉛直方向に重ならず、
   前記第２共通流路から下方に延びる第２延在流路と、
   前記第２延在流路と前記第１圧力室とを連結する第２連結流路と、を備え、
   前記第２延在流路及び前記第２連結流路は、前記第１圧力室と鉛直方向に重ならないことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
9. 前記複数の第１圧力室が形成された圧力室基板と、
   前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
   前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部を有する保護基板と、を備え、
   前記第２連結流路は、前記第１ノズルとの鉛直方向の距離が、前記アクチュエータ基板との鉛直方向の距離よりも短いことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記複数の第１個別流路に属する複数の前記第１ノズルが形成されたノズルプレートを備え、
    前記第２延在流路及び前記第２連結流路は、前記ノズルプレートによって画定されていることを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１方向に配列された複数の第２個別流路であって、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向に前記複数の第１個別流路と並ぶ複数の第２個別流路をさらに備え、
    前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、それぞれ、前記複数の第２個別流路に連通し、
    前記複数の第２個別流路は、それぞれ、第２ノズルと、前記第２ノズルに連通し、前記第２ノズルよりも上方に配置された第２圧力室と、を含み、
    前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第２圧力室よりも上方に配置され、
    前記第１共通流路は、前記複数の第２圧力室と鉛直方向に重なり、
    前記第２共通流路は、前記複数の第２圧力室と鉛直方向に重ならず、
    前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室が形成された圧力室基板と、
    前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
    前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部と、前記第１共通流路から下方に延びる第１延在流路の一部であって、前記複数の第１圧力室に対して前記第２方向の一方に配置された第１延在流路の一部と、前記第１共通流路から下方に延びる第３延在流路の一部であって、前記複数の第２圧力室に対して前記第２方向の他方に配置された第３延在流路の一部と、が形成された保護基板と、を備え、
    前記第１延在流路の一部及び前記第３延在流路の一部は、前記第１方向に互いに離隔して複数設けられ、それぞれ前記複数の第１個別流路及び前記複数の第２個別流路を構成することを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１方向に配列された複数の第２個別流路であって、前記第１方向及び鉛直方向の双方と直交する第２方向に前記複数の第１個別流路と並ぶ複数の第２個別流路をさらに備え、
    前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、それぞれ、前記複数の第２個別流路に連通し、
    前記複数の第２個別流路は、それぞれ、第２ノズルと、前記第２ノズルに連通し、前記第２ノズルよりも上方に配置された第２圧力室と、を含み、
    前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第２圧力室よりも上方に配置され、
    前記第１共通流路は、前記複数の第２圧力室と鉛直方向に重なり、
    前記第２共通流路は、前記複数の第２圧力室と鉛直方向に重ならず、
    前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室が形成された圧力室基板と、
    前記圧力室基板の上面に配置され、前記複数の第１圧力室及び前記複数の第２圧力室のそれぞれと鉛直方向に重なる複数のアクチュエータを有するアクチュエータ基板と、
    前記アクチュエータ基板の上面に配置され、前記複数のアクチュエータが収容される凹部と、前記第２共通流路からそれぞれ下方に延びる第２延在流路の一部及び第４延在流路の一部であって、前記第２方向において前記複数の第１圧力室と前記複数の第２圧力室との間に配置された第２延在流路の一部及び第４延在流路の一部と、が形成された保護基板と、を備え、
    前記第２延在流路の一部及び前記第４延在流路の一部は、前記第１方向に互いに離隔して複数設けられ、それぞれ前記複数の第１個別流路及び前記複数の第２個別流路を構成することを特徴とする、請求項１～１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記複数のアクチュエータと電気的に接続され、前記複数のアクチュエータに駆動信号を供給する駆動回路であって、前記第２方向において前記第２延在流路と前記第４延在流路との間において、前記アクチュエータ基板の上面に配置された駆動回路と、
    前記複数のアクチュエータのそれぞれと前記駆動回路と接続する複数の配線であって、前記複数のアクチュエータのそれぞれから前記駆動回路に向かって、前記複数の第２延在流路の一部の間、又は、前記複数の第４延在流路の一部の間を通って延びる複数の配線と、を備えたことを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。

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