JP6067521B2 - 液滴吐出ヘッドの気泡除去方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドの気泡除去方法に係り、特に循環型の液滴吐出ヘッド（ノズルから吐出させる液体が圧力室に循環供給されるタイプの液滴吐出ヘッド）の初期充填時における気泡除去方法に関する。

ノズルから微小液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドは、ヘッド内部で気泡が発生すると、飛翔曲がりや不吐出などの吐出不良が生じる。ヘッド内部の気泡を除去する技術として、パージ（吐出以外の方法でノズルから少量の液体を排出させること）が知られている。

特許文献１には、このパージの一手法として、液滴吐出ヘッドに液体を衝撃的に供給して、ヘッド内の気泡を排出する方法が提案されている。

また、特許文献２には、所定周波数の振動圧力を重畳した圧力を液滴吐出ヘッドに加えて、ヘッド内の気泡を排除する方法が提案されている。

特開平11-207985号公報 特開平05-131643号公報

しかしながら、特許文献１のように、液滴吐出ヘッドに液体を衝撃的に供給してパージすると、ヘッド内に強い圧力が瞬間的にかかり、液滴吐出ヘッドが破損してしまうおそれがある。また、供給側からのみ圧力をかけているため、循環型の液滴吐出ヘッドでは、内部の気泡抜きが難しいという欠点もある。すなわち、循環型の液滴吐出ヘッドは、通常の液滴吐出ヘッドに比べて、内部の流路が狭く、かつ、複雑なため、内部、特に、回収側の流路に気泡が残りやすいという欠点がある。

また、特許文献２の方法では、振動圧力を重畳させるための手段が別途必要となり、部品点数が増大するという欠点がある。また、特許文献１と同様に、供給側からのみ圧力をかけているため、循環型の液滴吐出ヘッドにおいては、ヘッド内の気泡抜きが難しいという欠点がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ヘッド内部の気泡を効率よく除去できる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための手段は、次のとおりである。

第１の態様は、複数のノズルと、ノズルごとに備えられる圧力室と、圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、供給口と各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、各圧力室と回収口とを連通する回収流路と、を備え、ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、を実施する第１のパージ工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程を実施する第２のパージ工程と、からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法である。

本態様によれば、まず、第１のパージ工程として、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程とが実施され、その後、第２のパージ工程として、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程が実施される。

第１のパージ工程で供給側から加圧してパージすることに加えて、回収側からも加圧してパージすることにより、回収流路にある気泡を効率よく除去することができる。すなわち、供給側からの加圧だけでパージした場合、回収流路にある気泡が抜けきらない場合があるが、回収側からも加圧してパージすることにより、回収流路から圧力室に向かう液体の流れを作ることができ、回収流路にある気泡を効率よく取り除くことができる。

また、第２のパージ工程として、圧電体を駆動しながらパージすることにより、圧力室内部の液体の流れが加速し（シェイクされる）、低いパージ圧力でも気泡を除去することが可能になる。これにより、パージによるヘッドの破損を防止できる。

なお、第１のパージ工程では、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程（１Ａ工程）と、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程（１Ｂ工程）と、が実施されるが、その順番は特に限定されない。したがって、１Ａ工程を実施したのち、１Ｂ工程を実施してもよいし、また、１Ｂ工程を実施したのち、１Ａ工程を実施してもよい。

また、第２のパージ工程は、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程（２Ａ工程）と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程（２Ｂ工程）と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程（２Ｃ工程）と、の少なくとも１つの工程を実施すればよい。したがって、たとえば、２Ａ工程のみを実施してもよいし、２Ａ工程〜２Ｃ工程のすべてを実施してもよい。また、複数の工程を実施する場合において、その実施順序も任意に設定することができる。

第２の態様は、上記第１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、第１のパージ工程は、更に、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程を含む態様である。

本態様によれば、第１のパージ工程に加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程が更に含まれる。加圧した液体を供給口と回収口の双方から同時に供給してパージすることにより、供給流路から圧力室に向かう液体の流れと、回収流路から圧力室に向かう液体の流れとを作ることができ、供給流路にある気泡と回収流路にある気泡とを更に効率よく取り除くことができる。

なお、本工程（１Ｃ工程）は、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程（１Ａ工程）と、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程（１Ｂ工程）とを実施した後に実施することが好ましい。すなわち、１Ａ工程→１Ｂ工程→１Ｃ工程の順で実施、又は、１Ｂ工程→１Ａ工程→１Ｃ工程の順で実施することが好ましい。

第３の態様は、複数のノズルと、ノズルごとに備えられる圧力室と、圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、供給口と各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、各圧力室と回収口とを連通する回収流路と、を備え、ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程を実施する第１のパージ工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程を実施する第２のパージ工程と、からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法である。

本態様によれば、まず、第１のパージ工程として、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程が実施され、その後、第２のパージ工程として、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程が実施される。

第１のパージ工程において、加圧した液体を供給口と回収口の双方から同時に供給してパージすることにより、供給流路から圧力室に向かう液体の流れと、回収流路から圧力室に向かう液体の流れとを作ることができ、供給流路にある気泡と回収流路にある気泡とを効率よく取り除くことができる。

また、第２のパージ工程として、圧電体を駆動しながらパージすることにより、圧力室内部の液体の流れが加速し、低いパージ圧力でも気泡を除去することが可能になる。これにより、パージによるヘッドの破損を防止できる。

なお、第２のパージ工程は、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程（２Ａ工程）と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程（２Ｂ工程）と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程（２Ｃ工程）と、の少なくとも１つの工程を実施すればよい。したがって、たとえば、２Ａ工程のみを実施してもよいし、２Ａ工程〜２Ｃ工程のすべてを実施してもよい。また、複数の工程を実施する場合において、その実施順序も任意に設定することができる。

第４の態様は、上記第１から３のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、第２のパージ工程において、圧電体は、ノズルから液体を吐出可能な範囲の電圧で駆動し、かつ、ノズルから気泡を巻き込まない範囲の周波数で駆動する態様である。

本態様によれば、第２のパージ工程で圧電体を駆動する際、ノズルから液体を吐出可能な範囲の電圧で圧電体が駆動され、かつ、ノズルから気泡を巻き込まない範囲の周波数で圧電体が駆動される。これにより、ノズルからの気泡の巻き込みを防ぎつつ、圧力室内の液体を効果的に加速させることができ、ノズルから効率よく気泡を排出させることができる。

第５の態様は、複数のノズルと、ノズルごとに備えられる圧力室と、圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、供給口と各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、各圧力室と回収口とを連通する回収流路と、を備え、ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程と、からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法である。

本態様によれば、圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程とが実施される。

供給側から加圧してパージすることに加えて、回収側からも加圧してパージすることにより、回収流路にある気泡を効率よく除去することができる。更に、加圧してパージする際、圧電体を駆動しながらパージすることにより、圧力室内部の液体の流れが加速し、低いパージ圧力でも気泡を除去することができる。

なお、各工程を実施する順序は特に限定されない。いずれの工程を先に実施してもよい。

第６の態様は、上記第５の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程を更に含む態様である。

本態様によれば、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする工程が更に含まれる。加圧した液体を供給口と回収口の双方から同時に供給してパージすることにより、供給流路から圧力室に向かう液体の流れと、回収流路から圧力室に向かう液体の流れとを作ることができ、供給流路にある気泡と回収流路にある気泡とを更に効率よく取り除くことができる。更に、加圧してパージする際、圧電体を駆動しながら、パージすることにより、圧力室内部の液体の流れが加速し、低いパージ圧力でも気泡を除去することができる。

なお、本工程は、最後に実施することが好ましい。すなわち、圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程とを実施したのちに実施することが好ましい。

第７の態様は、複数のノズルと、ノズルごとに備えられる圧力室と、圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、供給口と各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、各圧力室と回収口とを連通する回収流路と、を備え、ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする液滴吐出ヘッドの気泡除去方法である。

本態様によれば、圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給してパージする。加圧した液体を供給口と回収口の双方から同時に供給してパージすることにより、供給流路から圧力室に向かう液体の流れと、回収流路から圧力室に向かう液体の流れとを作ることができ、供給流路にある気泡と回収流路にある気泡とを効率よく取り除くことができる。また、圧電体を駆動しながらパージすることにより、圧力室内部の液体の流れが加速し、低いパージ圧力でも気泡を除去することができる。

第８の態様は、上記第５から７のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、圧電体は、ノズルから液体を吐出可能な範囲の電圧で駆動し、かつ、ノズルから気泡を巻き込まない範囲の周波数で駆動する態様である。

本態様によれば、圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を供給口から供給してパージする工程と、各圧電体を駆動して圧力室内の液体を加速させながら、加圧した液体を回収口から供給してパージする工程とが実施される。

第９の態様は、上記第１から８のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、供給タンクと、供給タンクと供給口とを接続する供給管と、回収タンクと、回収タンクと回収口とを接続する回収管と、を備え、加圧した液体を供給口から供給する場合は、供給タンクに圧力を付加して、加圧した液体を供給口から供給し、加圧した液体を回収口から供給する場合は、回収タンクに圧力を付加して、加圧した液体を回収口から供給し、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給する場合は、供給タンクと回収タンクとに圧力を付加して、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給する態様である。

本態様によれば、供給側から加圧してパージするために、加圧した液体を供給口から供給する際、供給タンクに圧力を付加して、加圧した液体を供給口から供給する。また、回収側から加圧してパージするために、加圧した液体を回収口から供給する際、回収タンクに圧力を付加して、加圧した液体を回収口から供給する。また、供給側と回収側の双方から同時に加圧してパージする際、供給タンクと回収タンクとに同時に圧力を付加して、加圧した液体を供給口と回収口の双方から供給する。これにより、供給管及び回収管中の気泡も効率よく除去することができる。

第１０の態様は、上記第１から９のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法の各工程を液滴吐出ヘッドへの液体の初期充填時に実施する液滴吐出ヘッドの気泡除去方法である。

本態様によれば、上記第１から９のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法の各工程を実施して、初期充填が行われる。液体の初期充填時は、気泡が混入しやすいので、上記各態様の気泡除去方法を実施することにより、初期充填時における気泡混入を効果的に防止することができる。これにより、安定した吐出を確保できる。

本発明によれば、ヘッド内部の気泡を効率よく除去して、液滴吐出ヘッドを初期充填できる。

液滴吐出装置の一実施形態を示す概略構成図 液滴吐出ヘッドの下面図 液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図 液滴吐出装置のインク供給に関わる制御系のブロック図 初期充填の第１の実施の形態の実施手順を示すフローチャート 初期充填の実施手順の変形例を示すフローチャート 初期充填の実施手順の変形例を示すフローチャート 実験結果を示す表 初期充填の第２の実施の形態の実施手順を示すフローチャート

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

［液滴吐出装置の構成］
図１は、液滴吐出装置の一実施形態を示す概略構成図である。

同図に示すように、液滴吐出装置１は、複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッド１０と、液滴吐出ヘッド１０のノズルから吐出させる液体を液滴吐出ヘッド１０に循環供給する液体供給装置１００とを備える。

〈液滴吐出ヘッド〉
液滴吐出ヘッド１０は、複数のノズルを備え、各ノズルからメディアに向けて液滴を吐出する。

液滴吐出ヘッド１０は、ヘッド本体１２に液体の供給口１４と、液体の回収口１６とを備える。液体は、供給口１４から連続的に供給され、かつ、回収口１６から連続的に回収されて、液滴吐出ヘッド１０に循環供給される。

液滴吐出ヘッド１０は、ヘッド本体１２の下面部に平坦なノズル面２０を備える。液滴を吐出するためのノズル２２は、ノズル面２０に備えられる。

図２は、液滴吐出ヘッドの下面図である。

同図に示すように、ノズル面２０は矩形状を有し、その長手方向に沿って複数のノズル２２が一定ピッチで配列される（たとえば、２５６個のノズル２２が一列に配列される。）。液滴吐出ヘッド１０の内部には、各ノズル２２に対応して圧力室２４が備えられる。各ノズル２２は、それぞれ対応する圧力室２４に個別に連通される。

図３は、液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図である。

同図に示すように、圧力室２４は、液体を貯留する空間としてヘッド内部に備えられる。圧力室２４の天井部は、振動板２６で構成され、上下方向に変形可能に形成される。ノズル２２は、この圧力室２４の底面部の中央に連通される。

振動板２６の上には圧電体２８が配置される。圧電体２８は、その上部に設けられる図示しない個別電極と、共通電極として作用する振動板２６との間に所定の駆動電圧を印加することにより駆動される。圧電体２８を駆動することにより、振動板２６が上下に変形する。これにより、圧力室２４が膨張／収縮し、ノズル２２から液滴が吐出される。

液滴吐出ヘッド１０の内部には、圧力室２４の配列方向（液滴吐出ヘッド１０の長手方向）に沿って共通供給流路３０が備えられる。共通供給流路３０は、供給口１４に連通される。各圧力室２４は、個別供給流路３２を介して共通供給流路３０に連通される。すなわち、各圧力室２４は、供給流路である共通供給流路３０と個別供給流路３２とを介して供給口１４と連通される。

また、液滴吐出ヘッド１０の内部には、圧力室２４の配列方向に沿って共通回収流路３４が備えられる。共通回収流路３４は、回収口１６に連通される。各圧力室２４は、個別回収流路３６を介して共通回収流路３４に連通される。すなわち、各圧力室２４は、回収流路である共通回収流路３４と個別回収流路３６とを介して回収口１６と連通される。

供給口１４から液体を供給すると、液体は共通供給流路３０から個別供給流路３２を流れて、各圧力室２４に供給される。また、各圧力室２４に供給された液体は、個別回収流路３６から共通回収流路３４を流れて、回収口１６から回収される。したがって、供給口１４から液体を連続的に供給し、かつ、回収口１６から液体を連続的に回収すると、ヘッド内に液体の流れを形成することができ、液滴吐出ヘッド１０に液体を循環供給することができる。

〈液体供給装置〉
液体供給装置１００は、液滴吐出ヘッド１０のノズル２２から吐出させる液体を液滴吐出ヘッド１０に循環供給する。

図１に示すように、液体供給装置１００は、供給タンク１０２と、ヘッド−供給タンク間接続用チューブ１０４と、回収タンク１０６と、ヘッド−回収タンク間接続用チューブ１０８と、バッファタンク１１０と、供給タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１２と、回収タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１４と、メインタンク１１６と、メインタンク−バッファタンク間接続用チューブ１１８と、供給ポンプ１２０と、回収ポンプ１２２と、補充用ポンプ１２４とを備える。

供給タンク１０２は、液滴吐出ヘッド１０に供給する液体を一時的に貯留する。供給タンク１０２は、密封構造とされ、液滴吐出ヘッド１０に接続するためのヘッド接続用パイプ１０２Ａと、バッファタンク１１０に接続するためのバッファタンク接続用パイプ１０２Ｂとが備えられる。

供給管としてのヘッド−供給タンク間接続用チューブ１０４は、供給タンク１０２と液滴吐出ヘッド１０とを接続する。ヘッド−供給タンク間接続用チューブ１０４は、一端が供給タンク１０２のヘッド接続用パイプ１０２Ａに接続され、他端が液滴吐出ヘッド１０の供給口１４に接続される。

回収タンク１０６は、液滴吐出ヘッド１０から回収する液体を一時的に貯留する。回収タンク１０６は、密封構造とされ、液滴吐出ヘッド１０に接続するためのヘッド接続用パイプ１０６Ａと、バッファタンク１１０に接続するためのバッファタンク接続用パイプ１０６Ｂとが備えられる。

回収管としてのヘッド−回収タンク間接続用チューブ１０８は、回収タンク１０６と液滴吐出ヘッド１０とを接続する。ヘッド−回収タンク間接続用チューブ１０８は、一端が回収タンク１０６のヘッド接続用パイプ１０６Ａに接続され、他端が液滴吐出ヘッド１０の回収口１６に接続される。

バッファタンク１１０は、液滴吐出ヘッド１０に循環供給する液体を貯留する。バッファタンク１１０は、上部が大気開放された構造とされ、供給タンク１０２に接続するための供給タンク接続用パイプ１１０Ａと、回収タンク１０６に接続するための回収タンク接続用パイプ１１０Ｂと、メインタンク１１６に接続するためのメインタンク接続用パイプ１１０Ｃとが備えられる。

供給タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１２は、供給タンク１０２とバッファタンク１１０とを接続する。供給タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１２は、一端が供給タンク１０２のバッファタンク接続用パイプ１０２Ｂに接続され、他端がバッファタンク１１０の供給タンク接続用パイプ１１０Ａに接続される。

回収タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１４は、回収タンク１０６とバッファタンク１１０とを接続する。回収タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１４は、一端が回収タンク１０６のバッファタンク接続用パイプ１０６Ｂに接続され、他端がバッファタンク１１０の回収タンク接続用パイプ１１０Ｂに接続される。これにより、バッファタンク１１０と回収タンク１０６とが互いに連通され、相互に液体を送液することが可能になる。

メインタンク１１６は、バッファタンク１１０に補充する液体を貯留する。メインタンク１１６は、上部が大気開放された構造とされ、バッファタンク１１０に接続するためのバッファタンク接続用パイプ１１６Ａが備えられる。

メインタンク−バッファタンク間接続用チューブ１１８は、メインタンク１１６とバッファタンク１１０とを接続する。メインタンク−バッファタンク間接続用チューブ１１８は、一端がメインタンクのバッファタンク接続用パイプ１１６Ａに接続され、他端がバッファタンク１１０のメインタンク接続用パイプ１１０Ｃに接続される。

供給ポンプ１２０は、供給タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１２による液体の送液経路上に配置される。供給ポンプ１２０は、チューブポンプで構成され、送液方向を順方向と逆方向とに切り替え可能に構成される。すなわち、送液方向を、バッファタンク１１０から供給タンク１０２に向かう方向（順方向：図１において矢印で示す流れの方向）と、供給タンク１０２からバッファタンク１１０に向かう方向（逆方向）とに選択的に切り替え可能に構成される。

回収ポンプ１２２は、回収タンク−バッファタンク間接続用チューブ１１４による液体の送液経路上に配置される。回収ポンプ１２２は、チューブポンプで構成され、送液方向を順方向と逆方向とに切り替え可能に構成される。すなわち、送液方向を、回収タンク１０６からバッファタンク１１０に向かう方向（順方向：図１において矢印で示す流れの方向）と、バッファタンク１１０から回収タンク１０６に向かう方向（逆方向）とに選択的に切り替え可能に構成される。

補充用ポンプ１２４は、メインタンク−バッファタンク間接続用チューブ１１８による液体の送液経路上に配置される。補充用ポンプ１２４は、チューブポンプで構成され、メインタンク１１６からバッファタンク１１０に液体を送液する。

液体供給装置１００は、供給ポンプ１２０及び回収ポンプ１２２をそれぞれ順方向に駆動することにより、液滴吐出ヘッド１０に液体を循環供給する。

なお、液体供給装置１００は、回収ポンプ１２２を停止させた状態で供給ポンプ１２０を順方向に駆動することにより、液滴吐出ヘッド１０を供給側から加圧してパージすることができる。

また、液体供給装置１００は、供給ポンプ１２０を停止させた状態で回収ポンプ１２２を逆方向に駆動することにより、液滴吐出ヘッド１０を回収側から加圧してパージすることができる。

また、液体供給装置１００は、供給ポンプ１２０を順方向に駆動するとともに、回収ポンプ１２２を逆方向に駆動することにより、液滴吐出ヘッド１０を供給側と回収側の双方から同時に加圧してパージすることができる。

〈制御系〉
図４は、液滴吐出装置のインク供給に関わる制御系のブロック図である。

同図に示すように、液滴吐出装置１は、制御装置２００と、供給ポンプドライバ２０２と、回収ポンプドライバ２０４と、補充用ポンプドライバ２０６と、ヘッドドライバ２０８とを備える。

制御装置２００は、たとえば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Member）等を備えたマイクロコンピュータで構成され、所定の制御プログラムを実行して、液滴吐出ヘッド１０及び液体供給装置１００を制御する。

供給ポンプドライバ２０２は、供給ポンプ１２０を駆動する駆動回路であり、制御装置２００から与えられる駆動信号に基づいて、供給ポンプ１２０を駆動する。

回収ポンプドライバ２０４は、回収ポンプ１２２を駆動する駆動回路であり、制御装置２００から与えられる駆動信号に基づいて、回収ポンプ１２２を駆動する。

補充用ポンプドライバ２０６は、補充用ポンプ１２４を駆動する駆動回路であり、制御装置２００から与えられる駆動信号に基づいて、補充用ポンプ１２４を駆動する。

ヘッドドライバ２０８は、液滴吐出ヘッド１０を駆動する駆動回路であり、制御装置２００から与えられる駆動信号に基づいて、液滴吐出ヘッド１０を駆動する。すなわち、液滴吐出ヘッド１０の各圧力室２４に備えられる圧電体２８に電圧を印加して、圧電体２８を駆動する。

［液滴吐出装置の作用］
〈液滴吐出〉
各圧力室２４に備えられた圧電体２８を駆動して、ノズル２２から液滴を吐出させる。制御装置２００は、ヘッドドライバ２０８を介して各圧電体２８の駆動を個別に制御することにより、各ノズル２２からの液滴の吐出を個別に制御する。また、制御装置２００は、ヘッドドライバ２０８を介して各圧電体２８に印加する電圧を制御することにより、吐出する液滴の体積（液滴のサイズ：たとえば、大滴、中滴、小滴の３サイズ）を制御する。

〈装置稼動中の液体供給〉
液滴吐出装置１の稼働中、液滴吐出ヘッド１０には、液体が循環供給される。

制御装置２００は、供給ポンプ１２０を順方向（供給タンク１０２から液滴吐出ヘッド１０に液体が送られる方向）に駆動するとともに、回収ポンプ１２２を順方向（液滴吐出ヘッド１０から回収タンク１０６に液体が送られる方向）に駆動して、液体を液滴吐出ヘッド１０に循環供給する。

この際、制御装置２００は、液滴吐出ヘッド１０に所定の背圧がかかるように、供給ポンプ１２０と回収ポンプ１２２との駆動を制御する。

〈初期充填〉
液滴吐出ヘッド１０を交換等した場合には、液滴吐出ヘッド１０に液体を充填する処理（初期充填）が行われる。初期充填は、次の手順で実施される。

《第１の実施形態》
図５は、初期充填の第１の実施の形態の実施手順を示すフローチャートである。

まず、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１Ａ）。すなわち、供給ポンプ１２０を順方向に駆動して供給タンク１０２に圧力を付加し、加圧した液体を供給口１４から液滴吐出ヘッド１０に供給する。

次に、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１Ｂ）。すなわち、回収ポンプ１２２を逆方向に駆動して回収タンク１０６に圧力を付加し、加圧した液体を回収口１６から液滴吐出ヘッド１０に供給する。

次に、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１Ｃ）。すなわち、供給ポンプ１２０を順方向に駆動するとともに、回収ポンプ１２２を逆方向に駆動して、供給タンク１０２と回収タンク１０６とに同時に圧力を付加し、加圧した液体を供給口１４と回収口１６の双方から液滴吐出ヘッド１０に同時に供給する。

次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ２Ａ）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、供給ポンプ１２０を順方向に駆動し、供給側から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を供給する。

次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ２Ｂ）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、回収ポンプ１２２を逆方向に駆動し、回収側から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を供給する。

次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ２Ｃ）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、供給ポンプ１２０と回収ポンプ１２２とを同時に駆動し、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を同時に供給する。

以上一連の工程で初期充填の処理が完了する。

循環型の液滴吐出ヘッド１０の場合、ヘッド内部の流路（共通供給流路３０、個別供給流路３２、共通回収流路３４、個別回収流路３６）が狭く、かつ、複雑になるため、供給側からだけの加圧では、初期充填時にヘッド内部の気泡（特に、回収側の流路に存在する気泡）が完全に抜けきらない場合がある。

しかしながら、本実施の形態の初期充填方法のように、供給側から加圧してパージする工程（ステップＳ１Ａ）に加えて、回収側から加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｂ）、及び、供給側と回収側の双方から同時に加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｃ）を実施することにより、ヘッド内部の気泡を効果的に除去することができる。

また、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながらパージする工程（ステップＳ２Ａ〜Ｓ２Ｃ）を実施することにより、圧力室内部の液体の流れを加速（シェイク）して、効率よくヘッド内部の気泡を除去することができる。また、これにより、パージ圧力も低く設定でき、パージによる液滴吐出ヘッド１０の破損も防止することができる。

なお、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながらパージする工程（ステップＳ２Ａ〜Ｓ２Ｃ）では、ノズル２２から液体を吐出可能な範囲の電圧で圧電体２８を駆動し、かつ、ノズル２２から気泡を巻き込まない範囲の周波数（たとえば、最大駆動周波数の１／１０〜１／５程度の低い周波数）で圧電体２８を駆動することが好ましい。これにより、圧電体２８の駆動に伴う気泡の巻き込みを防止しつつ、効率よく圧力室内の液体を加速させて、ヘッド内部の気泡を排出することができる。

〔変形例〕
上記の初期充填方法において、液滴吐出ヘッド１０を駆動しないでパージする工程（ステップＳ１ＡからＳ１Ｃ）を第１のパージ工程、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながらパージする工程（ステップＳ２ＡからＳ２Ｃ）を第２のパージ工程とすると、第１のパージ工程において、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ａ）と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｂ）とを実施する順序は逆であってもよい。すなわち、先に回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程を実施し、次に、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程を実施してもよい。

同様に、第２のパージ工程において、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）と、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ｂ）とを実施する順序は逆であってもよい。すなわち、先に液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程を実施し、次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程を実施してもよい。

また、第１のパージ工程において、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｃ）を省略してもよい。すなわち、図６に示すように、第１のパージ工程として、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とを実施したのち、第２のパージ工程を実施する構成とすることもできる。この場合も供給側と回収側の双方から加圧されるので、ヘッド内の気泡を効率よく除去することができる。なお、この場合も供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程との実施順序は問わない。

また、第１のパージ工程において、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とは実施せず、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｃ）のみを実施してもよい。すなわち、図７に示すように、第１のパージ工程として、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程のみを実施し、その後、第２のパージ工程を実施する構成とすることもできる。この場合も供給側と回収側の双方から加圧されるので、ヘッド内の気泡を効率よく除去することができる。

また、第１のパージ工程において、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とのいずれか一方の工程と、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とを組み合わせて実施してもよい。すなわち、第１のパージ工程として、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とのいずれか一方の工程を実施し、その後、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程を実施して、第２のパージ工程を実施する構成とすることもできる。この場合も供給側と回収側の双方から加圧されるので、ヘッド内の気泡を効率よく除去することができる。

また、第２のパージ工程は、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）と、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ｂ）と、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ｃ）のいずれか１つの工程のみを実施するようにしてもよい。あるいは、複数の工程を組み合わせて実施するようにしてもよい。すなわち、第２のパージ工程は、少なくとも１つの工程が行われればよい。第２のパージ工程は、気泡抜きの完全を期するために補足的に実施される工程であり、その実施工程が増えるほど、ヘッド内に気泡が残留する可能性が低下する。その一方で実施工程が増えるほど、パージによる液体の消費量が増大する。したがって、所望の効果が得られる範囲で実施する工程を選択して設定することが好ましい。

〔効果確認実験の結果〕
本実施の形態の方法で初期充填したときの効果を確認するため、次の実験を行った。

第１のパージ工程として、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ａ）と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｂ）と、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１Ｃ）とを実施し、第２のパージ工程として、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）を実施して、液滴吐出ヘッド１０（ノズル数：２５６）を初期充填し、その後、液滴を連続吐出させて、吐出不良ノズルの発生状況を確認した（吐出不良ノズルの発生数を検出した。）。吐出不良ノズルの発生状況は、連続吐出の前後で確認した。

効果を比較するため、次の条件で初期充填し、同様の実験を行った。

比較例１：供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程のみを実施して気泡を除去する（従来の気泡除去方法）。

比較例２：供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程とを実施して気泡を除去する。

比較例３：供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程と、第２のパージ工程として、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）と、を実施して気泡を除去する。

なお、連続吐出は、大滴（最大の駆動電圧）を１５ｋＨｚの駆動周波数で３０分間連続して吐出させることを行った。

また、パージ圧力（タンクへの印加圧力）は、いずれの場合も２０ｋＰａ（ただし、供給側と回収側の双方から同時に加圧する場合は、供給側と回収側の合計の印加圧力が２０ｋＰａ）とし、１回のみの加圧とした。

また、第２のパージ工程を実施する際の圧電体２８の駆動周波数は５ｋＨｚとし、駆動電圧はノズル２２から吐出できる電圧とした。また、吐出時間は３分とした。

図８は実験結果を示す表である。

比較例１のように、供給側からのみの加圧では、連続吐出前から吐出不良ノズルが発生し、連続吐出後には吐出不良ノズルの数が増加することが確認された。これは、循環型の液滴吐出ヘッドのように、ヘッド内部の流路が狭く、かつ、複雑な構成の場合、供給側からの加圧だけでは、回収経路内の気泡が完全にぬけ切れないためであると推測される。

比較例２のように、供給側と回収側の双方から加圧して初期充填すると、連続吐出前の吐出不良ノズルの数を大幅に減少させることができることが確認された。これは、供給側からの加圧に加えて、回収側からも加圧することにより、回収流路内の気泡が除去されたためであると推測される。しかし、連続吐出後は、吐出不良ノズルの数が増加した。

比較例３のように、第２のパージ工程（ここでは、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程）を加えることにより、連続吐出後の吐出不良ノズルの数を減少させることができることが確認できた。これは、圧電体を駆動して、圧力室内の液体を加速（シェイク）することにより、圧力室内の気泡の排出が促進されたためであると推測される。

さらに、本実施の形態のように、供給側と排出側の双方から同時に加圧してパージする工程を付加することにより、連続吐出後も吐出不良ノズルの発生を防げることが確認された。

なお、本実験では、第２のパージ工程として、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）のみを実施しているが、第２のパージ工程は、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ａ）と、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ｂ）と、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ２Ｃ）の少なくとも１つの工程を実施すれば、同様の効果が得られると推測される。

《第２の実施形態》
図９は、初期充填の第２の実施の形態の実施手順を示すフローチャートである。

まず、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１１）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、供給ポンプ１２０を順方向に駆動し、供給側から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を供給する。

次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１２）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、回収ポンプ１２２を逆方向に駆動し、回収側から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を供給する。

次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１３）。すなわち、各圧力室２４の圧電体２８に所定の周波数の駆動電圧を印加して、各圧力室２４を所定周期で膨張／収縮させながら、供給ポンプ１２０と回収ポンプ１２２とを同時に駆動し、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０に加圧した液体を同時に供給する。

以上一連の手順で初期充填の処理が完了する。

本実施の形態の初期充填方法によれば、供給側から加圧してパージする工程（ステップＳ１１）に加えて、回収側から加圧してパージする工程（ステップＳ１２）、及び、供給側と回収側の双方から同時に加圧してパージする工程（ステップＳ１３）を実施することにより、循環型の液滴吐出ヘッドのように内部の流路が狭く、かつ、複雑な液滴吐出ヘッドであっても、ヘッド内部の気泡を効果的に除去することができる。

また、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながらパージすることにより、効率よくヘッド内部の気泡を除去することができる。また、パージ圧力も低く設定でき、パージによる液滴吐出ヘッド１０の破損も防止することもできる。

なお、圧電体２８は、ノズル２２から液体を吐出可能な範囲の電圧で駆動し、かつ、ノズル２２から気泡を巻き込まない範囲の周波数（たとえば、最大吐出周波数の１／１０〜１／５程度の低い周波数）で駆動することが好ましい。これにより、圧電体２８の駆動に伴う気泡の巻き込みを防止しつつ、効率よく圧力室内の液体を加速させて、ヘッド内部の気泡を排出することができる。

〔変形例〕
上記第２の実施の形態の初期充填方法では、最初に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージし（ステップＳ１１）、次いで、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージし（ステップＳ１２）、最後に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１３）、という手順で気泡を除去することとしているが、各工程の実施順序は変更することができる。すなわち、たとえば、最初に液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、回収側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージし、次に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージし、最後に、液滴吐出ヘッド１０を駆動しながら、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする（ステップＳ１３）、という手順で気泡を除去する構成とすることもできる。

また、少なくとも、供給側からの加圧によるパージと、回収側からの加圧によるパージが行われればよいので、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１３）は省略してもよい。あるはい、供給側と回収側の双方から液滴吐出ヘッド１０を加圧してパージする工程（ステップＳ１３）のみを実施するようにしてもよい。

《その他の実施の形態》
上記実施の形態では、初期充填の方法として、本発明を使用する場合を例に説明したが、本発明は、初期充填時以外にも使用することができる。すなわち、ヘッド内部の気泡は、初期充填時以外にも発生するので、通常の気泡除去方法としても、本発明は使用することができる。

また、上記実施の形態では、本発明が適用される液滴吐出ヘッドとして、ノズルが一列に配列された液滴吐出ヘッドを例示しているが、液滴吐出ヘッドの構成は、これに限定されるものではない。この他、たとえば、ノズルがノズル面にマトリクス状に配置された液滴吐出ヘッド（いわゆる、マトリクスヘッド）にも同様に適用することができる。特に、この種の液滴吐出ヘッドは、ノズル数が増え、内部の流路も細く、かつ、複雑化するので、本発明の気泡除去方法が有効に作用する。

また、複数のヘッドモジュールを繋ぎ合わせて構成される液滴吐出ヘッドにも同様に適用することができる。

また、液滴吐出ヘッドの用途についても特に限定されない。したがって、たとえば、インクジェットプリンタに組み込んでインクジェットヘッドとして使用することもできる。

１…液滴吐出装置、１０…液滴吐出ヘッド、１２…ヘッド本体、１４…供給口、１６…回収口、２０…ノズル面、２２…ノズル、２４…圧力室、２６…振動板、２８…圧電体、３０…共通供給流路、３２…個別供給流路、３４…共通回収流路、３６…個別回収流路、１００…液体供給装置、１０２…供給タンク、１０２Ａ…ヘッド接続用パイプ、１０２Ｂ…バッファタンク接続用パイプ、１０４…ヘッド−供給タンク間接続用チューブ、１０６…回収タンク、１０６Ａ…ヘッド接続用パイプ、１０６Ｂ…バッファタンク接続用パイプ、１０８…ヘッド−回収タンク間接続用チューブ、１１０…バッファタンク、１１０Ａ…供給タンク接続用パイプ、１１０Ｂ…回収タンク接続用パイプ、１１０Ｃ…メインタンク接続用パイプ、１１２…供給タンク−バッファタンク間接続用チューブ、１１４…回収タンク−バッファタンク間接続用チューブ、１１６…メインタンク、１１６Ａ…バッファタンク接続用パイプ、１１８…メインタンク−バッファタンク間接続用チューブ、１２０…供給ポンプ、１２２…回収ポンプ、１２４…補充用ポンプ、２００…制御装置、２０２…供給ポンプドライバ、２０４…回収ポンプドライバ、２０６…補充用ポンプドライバ、２０８…ヘッドドライバ

Claims (9)

1. 複数のノズルと、前記ノズルごとに備えられる圧力室と、前記圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、前記供給口と前記各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、前記各圧力室と前記回収口とを連通する回収流路と、を備え、前記ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、
   加圧した前記液体を前記供給口から供給してパージする工程と、加圧した前記液体を前記回収口から供給してパージする工程と、を実施する第１のパージ工程と、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口から供給してパージする工程と、前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記回収口から供給してパージする工程と、前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程を実施する第２のパージ工程と、
   からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
2. 前記第１のパージ工程は、更に、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給してパージする工程を含む請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
3. 複数のノズルと、前記ノズルごとに備えられる圧力室と、前記圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、前記供給口と前記各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、前記各圧力室と前記回収口とを連通する回収流路と、を備え、前記ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、
   加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給してパージする工程を実施する第１のパージ工程と、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口から供給してパージする工程と、前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記回収口から供給してパージする工程と、前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給してパージする工程と、の少なくとも１つの工程を実施する第２のパージ工程と、
   からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
4. 前記第２のパージ工程において、前記圧電体は、前記ノズルから前記液体を吐出可能な範囲の電圧で駆動し、かつ、前記ノズルから気泡を巻き込まない範囲の周波数で駆動する請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
5. 複数のノズルと、前記ノズルごとに備えられる圧力室と、前記圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、前記供給口と前記各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、前記各圧力室と前記回収口とを連通する回収流路と、を備え、前記ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口から供給してパージする工程と、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記回収口から供給してパージする工程と、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給してパージする工程と、
   からなる液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
6. 複数のノズルと、前記ノズルごとに備えられる圧力室と、前記圧力室ごとに備えられる圧電体と、供給口と、前記供給口と前記各圧力室とを連通する供給流路と、回収口と、前記各圧力室と前記回収口とを連通する回収流路と、を備え、前記ノズルから吐出させる液体が循環供給される液滴吐出ヘッドの気泡除去方法において、
   前記各圧電体を駆動して前記圧力室内の前記液体を加速させながら、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から同時に供給してパージする液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
7. 前記圧電体は、前記ノズルから前記液体を吐出可能な範囲の電圧で駆動し、かつ、前記ノズルから気泡を巻き込まない範囲の周波数で駆動する請求項５又は６に記載の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
8. 供給タンクと、前記供給タンクと前記供給口とを接続する供給管と、回収タンクと、前記回収タンクと前記回収口とを接続する回収管と、を備え、
   加圧した前記液体を前記供給口から供給する場合は、前記供給タンクに圧力を付加して、加圧した前記液体を前記供給口から供給し、
   加圧した前記液体を前記回収口から供給する場合は、前記回収タンクに圧力を付加して、加圧した前記液体を前記回収口から供給し、
   加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給する場合は、前記供給タンクと前記回収タンクとに圧力を付加して、加圧した前記液体を前記供給口と前記回収口の双方から供給する請求項１から７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの気泡除去方法の各工程を前記液滴吐出ヘッドへの前記液体の初期充填時に実施する液滴吐出ヘッドの気泡除去方法。

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