JP7275174B2 - 回転炉床炉の炉床構造 - Google Patents
回転炉床炉の炉床構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7275174B2 JP7275174B2 JP2021018085A JP2021018085A JP7275174B2 JP 7275174 B2 JP7275174 B2 JP 7275174B2 JP 2021018085 A JP2021018085 A JP 2021018085A JP 2021018085 A JP2021018085 A JP 2021018085A JP 7275174 B2 JP7275174 B2 JP 7275174B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peripheral side
- rotary hearth
- side wall
- outer peripheral
- inner peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
Description
また、本発明に係る第2の回転炉床炉の炉床構造の発明においては、前記のような課題を解決するため、内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にローラー部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたローラー部材を支持するレール部材をリング状に設け、前記のレール部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のローラー部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制するようにした。
また、本発明に係る第4の回転炉床炉の炉床構造の発明においては、前記のような課題を解決するため、内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にレール部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたレール部材を支持するローラー部材をリング状に設け、前記のレール部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のローラー部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制するようにした。
第1の実施形態においては、前記のような回転炉床炉Xを用い、図2及び図3に示すように、前記の回転炉床20の下に、一対のローラー部材21,22を半径方向に所要間隔を介するようにしてリング状に設けると共に、この回転炉床20を支持する設置基盤Gの上に、回転炉床20の下に設けた前記の一対の各ローラー部材21,22を支持する一対のレール部材31,32をリング状に設けている。
第2の実施形態においても、図1に示した回転炉床炉Xを用い、図5に示すように、前記の第1の実施形態と同様に、前記の回転炉床20の下に、一対のローラー部材21,22を半径方向に所要間隔を介するようにしてリング状に設けると共に、この回転炉床20を支持する設置基盤Gの上に、回転炉床20の下に設けた前記の一対の各ローラー部材21,22を支持する一対のレール部材31,32をリング状に設けている。
第3の実施形態においては、図1に示した回転炉床炉Xを用い、図7に示すように、前記の回転炉床20の下に、一対のレール部材24,25を半径方向に所要間隔を介するようにしてリング状に設けると共に、この回転炉床20を支持する設置基盤Gの上に、回転炉床20の下に設けた前記の一対の各レール部材24,25を支持するローラー部材34,35をリング状に設けている。
第4の実施形態においても、図1に示した回転炉床炉Xを用い、図9に示すように、前記の第3の実施形態と同様に、前記の回転炉床20の下に、一対のレール部材24,25を半径方向に所要間隔を介するようにしてリング状に設けると共に、この回転炉床20を支持する設置基盤Gの上に、回転炉床20の下に設けた前記の一対の各レール部材24,25を支持するローラー部材34,35をリング状に設けている。
11 :内周側壁
12 :外周側壁
13 :天井
14a :内周側水封トラフ
14b :外周側水封トラフ
20 :回転炉床
21 :ローラー部材
21a :ローラー
22 :ローラー部材
22a :ローラー
23 :規制部
24 :レール部材
25 :レール部材
26 :規制部
31 :レール部材
32 :レール部材
33 :規制部
34 :ローラー部材
34a :ローラー
35 :ローラー部材
35a :ローラー
36 :規制部
G :設置基盤
W :被処理物
X :回転炉床炉
d :ローラーの内周側に設けた規制部とレール部材の内周側との隙間
d1 :回転炉床と内周側壁との隙間
d2 :回転炉床と外周側壁との隙間
Claims (4)
- 内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にローラー部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたローラー部材を支持するレール部材をリング状に設け、前記のローラー部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のレール部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制することを特徴とする回転炉床炉の炉床構造。
- 内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にローラー部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたローラー部材を支持するレール部材をリング状に設け、前記のレール部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のローラー部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制することを特徴とする回転炉床炉の炉床構造。
- 内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にレール部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたレール部材を支持するローラー部材をリング状に設け、前記のローラー部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のレール部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制することを特徴とする回転炉床炉の炉床構造。
- 内周側壁と外周側壁と天井とが設けられた炉体における内周側壁と外周側壁との間に所要間隔を介するようにしてリング状になった回転炉床を設け、この回転炉床を前記の内周側壁と外周側壁との間で周方向に回転させる回転炉床炉において、前記の回転炉床の下にレール部材をリング状に設ける一方、この回転炉床を支持する設置基盤の上に回転炉床の下に設けたレール部材を支持するローラー部材をリング状に設け、前記のレール部材の内周側と外周側との何れか一方に規制部を設け、前記の回転炉床が半径方向にずれた場合に、この規制部が前記のローラー部材と接触して、回転炉床が前記の内周側壁と外周側壁との何れにも接触しないように規制することを特徴とする回転炉床炉の炉床構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021018085A JP7275174B2 (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 回転炉床炉の炉床構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021018085A JP7275174B2 (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 回転炉床炉の炉床構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022120985A JP2022120985A (ja) | 2022-08-19 |
JP7275174B2 true JP7275174B2 (ja) | 2023-05-17 |
Family
ID=82849753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021018085A Active JP7275174B2 (ja) | 2021-02-08 | 2021-02-08 | 回転炉床炉の炉床構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7275174B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014167916A1 (ja) | 2013-04-12 | 2014-10-16 | 中外炉工業株式会社 | 回転炉床炉 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5723489Y2 (ja) * | 1976-12-10 | 1982-05-21 | ||
JPS617518Y2 (ja) * | 1977-06-13 | 1986-03-07 | ||
JPS5674056U (ja) * | 1979-11-14 | 1981-06-17 | ||
JPS59161676A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-12 | 富士電波工業株式会社 | 連続炉 |
GB9601483D0 (en) * | 1996-01-25 | 1996-03-27 | Groom Bryan Ltd | Kiln assembly |
-
2021
- 2021-02-08 JP JP2021018085A patent/JP7275174B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014167916A1 (ja) | 2013-04-12 | 2014-10-16 | 中外炉工業株式会社 | 回転炉床炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022120985A (ja) | 2022-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI684236B (zh) | 用以減少邊緣溫度峰値的新式基座設計 | |
KR101142686B1 (ko) | 열처리로 | |
JP4404015B2 (ja) | 光ファイバ線引装置、該装置に用いるシール機構、及び光ファイバの線引き方法 | |
JP5144990B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP6912497B2 (ja) | 基板処理装置、天井ヒータおよび半導体装置の製造方法 | |
JP7275174B2 (ja) | 回転炉床炉の炉床構造 | |
KR101652150B1 (ko) | 히터 장치 및 열처리 장치 | |
KR102205381B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
US7618494B2 (en) | Substrate holding structure and substrate processing device | |
CN105633211A (zh) | 用于处理物料的设备 | |
JP7194205B2 (ja) | 回転炉床炉の炉床構造 | |
JP2012510144A (ja) | 高温環境における半導体ウエハのための支持体 | |
JP2006207225A (ja) | アスファルト混合物製造装置のドライヤ | |
CN105308727A (zh) | 内部腔室旋转马达、可供选择的旋转 | |
JP3438381B2 (ja) | 熱処理炉 | |
JP2001304762A (ja) | 回転加熱処理装置 | |
JP5283001B2 (ja) | ロータリーキルンのシール構造 | |
WO2021014657A1 (ja) | エピタキシャル成長装置のプロセスチャンバ | |
JP2004239341A (ja) | 固体移送スクリューのシール構造およびそれを用いた還元金属の製造方法 | |
JP3942440B2 (ja) | 加熱炉装置 | |
WO2023105821A1 (ja) | 天井ヒータ、半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP5497860B2 (ja) | 熱処理炉及び熱処理炉用支持体 | |
US20220246459A1 (en) | Substrate support device | |
JP4837423B2 (ja) | 生タイヤ内部加圧装置 | |
JPS62202524A (ja) | 半導体ウエハの加工処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230425 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7275174 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |