JP7267552B2

JP7267552B2 - 検査装置

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Publication number: JP7267552B2
Application number: JP2019103464A
Authority: JP
Inventors: 賢俊赤羽
Original assignee: ニデックインスツルメンツ株式会社
Priority date: 2019-06-03
Filing date: 2019-06-03
Publication date: 2023-05-02
Anticipated expiration: 2039-06-03
Also published as: CN112033963B; CN112033963A; JP2020197440A

Description

本発明は、検査対象物を撮像する検査ユニットを備えた検査装置に関するものである。

液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネルを点灯状態で撮像して検査する検査装置において、１台のカメラで大判の表示パネルを撮像しようとすると、視野を広くする必要があるため、分解能が低下してしまう。そこで、１枚の表示パネルを複数の領域に等分割し、等分割した複数の領域の各々の中心にレンズが位置するように複数のカメラを配置して表示パネルの複数の領域を同時に撮像する方式が提案されている。この場合、表示パネルのサイズが異なると、表示パネルを等分割した複数の領域の中心が移動するため、カメラの位置を変更する必要がある。

パネルサイズが異なる場合に、等分割した中心にカメラの位置を移動する方法として、逆方向のネジ山が形成された２つのボールネジの各々にスライダを介してカメラを連結した構成が提案されている（特許文献１参照）。かかる構成によれば、２つのボールネジを同一方向に回転させると、２台のカメラを互いに接近する方向および離間する方向に移動させることができる。

特開２０１０－３２２４４号公報

複数のカメラを移動させるにあたって、複数のカメラの各々にモータを配置すると、モータの数が多くなり、コストが嵩む。また、複数のモータを配置することによって、スペースの増加や、配線の増加等の問題もある。解決策としてモータの数を減らすことが求められる。特許文献１に記載の構成のように、１台のモータでネジ山が右巻のボールネジと左巻きのボールネジを駆動させて、１台のモータで２つのカメラを逆方向に直線駆動する周知の手段があるが、ボールネジは一般的にはネジ山が右巻きになっており、ネジ山が左巻きのボールネジは、特殊である。このため、左巻きのボールネジは、高価であるとともに、サイズ等の種類が少ないという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、同一方向の螺旋溝が形成された２つの送りネジを用いた場合でも、１台のモータで２つのカメラを逆方向に直線駆動することのできる検査装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、検査対象物を撮像する検査ユニットを備えた検査装置であって、前記検査ユニットには、第１モータと、第１方向に沿って延在し、前記第１モータによって回転駆動される第１送りネジと、前記第１送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第１スライダと、前記第１スライダに連結された第１カメラと、前記第１送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第１方向に沿って延在し、前記第１送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第１送りネジと逆方向に回転する第２送りネジと、前記第２送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第２スライダと、前記第２スライダに連結された第２カメラと、が設けられ、前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１モータの駆動によって、前記第１方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動し、前記第１方向と直交する第２方向において前記検査ユニットが第１検査ユニット、および第２検査ユニットとして配列されており、前記第１検査ユニットに対しては、モータを駆動源にして前記第１検査ユニットを前記第２方向に直線駆動する第１直線駆動装置が設けられ、前記第２検査ユニットに対しては、モータを駆動源にして前記第２検査ユニットを前記第２方向に直線駆動する第２直線駆動装置が設けられ、前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１直線駆動装置および前記第２直線駆動装置によって、前記第２方向において互いに接近する方向、および互いに離間する方向に駆動されることを特徴とする。

本発明では、第１モータによって第１送りネジを駆動して第１カメラを第１方向に駆動する一方、第１送りネジの回転を歯車機構を介して第２送りネジに伝達して第２送りネジを第１送りネジと逆方向に回転させて第２カメラを第１方向において第１カメラと逆方向に移動させる。従って、１台のモータで第１カメラおよび第２カメラを逆方向に直線駆動する場合でも、第１送りネジおよび第２送りネジとして、同一方向の螺旋溝が形成された送りネジを用いることができる。

本発明において、前記歯車機構は、前記第１送りネジと一体に回転する第１歯車と、前記第１歯車と噛み合い、前記第２送りネジと一体に回転する第２歯車と、を含む態様を採用することができる。かかる態様によれば、最も少ない数の歯車によって、第２送りネジを第１送りネジと逆方向に回転させることができる。

本発明において、前記第１送りネジおよび前記第２送りネジは、前記第１方向で互いに離間する方向に延在しており、前記第１歯車は、前記第１送りネジの前記第２送りネジ側に位置する端部に設けられ、前記第２歯車は、前記第２送りネジの前記第１送りネジ側に位置する端部に設けられて前記第１歯車と噛み合っている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１カメラおよび第２カメラを駆動するストロークが長い場合でも、第１送りネジおよび第２送りネジが比較的短くて済む。

本発明の別態様として、検査対象物を撮像する検査ユニットを備えた検査装置であって、前記検査ユニットには、第１モータと、第１方向に沿って延在し、前記第１モータによって回転駆動される第１送りネジと、前記第１送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第１スライダと、前記第１スライダに連結された第１カメラと、前記第１送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第１方向に沿って延在し、前記第１送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第１送りネジと逆方向に回転する第２送りネジと、前記第２送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第２スライダと、前記第２スライダに連結された第２カメラと、が設けられ、前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１モータの駆動によって、前記第１方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動し、前記検査ユニットが前記第１方向と直交する第２方向に第１検査ユニット、および第２検査ユニットとして配列されており、第２モータと、前記第２方向に沿って延在し、前記第２モータによって回転駆動される第３送りネジと、前記第３送りネジによって前記第２方向に直線駆動され、前記第１検査ユニットが連結された第３スライダと、前記第３送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第２方向に沿って延在し、前記第３送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第３送りネジと逆方向に回転する第４送りネジと、前記第４送りネジによって前記第２方向に直線駆動され、前記第２検査ユニットが連結された第４スライダと、が設けられ、前記第１検査ユニットおよび前記第２検査ユニットは、前記第２モータの駆動によって、前記第２方向において互いに接近する方向、および互いに離間する方向に駆動される態様を採用してもよい。かかる態様によれば、従って、１台のモータで第１検査ユニットおよび第２検査ユニットを逆方向に直線駆動する場合でも、第３送りネジおよび第４送りネ
ジとして、同一方向の螺旋溝が形成された送りネジを用いることができる。

本発明において、前記第１検査ユニットおよび前記第２検査ユニットを前記第１方向および前記第２方向に対して直交する第３方向に駆動する直線駆動装置を有する態様を採用することができる。

本発明において、前記検査対象物は、表示パネルであり、前記検査ユニットは、前記表示パネルが点灯した状態を撮像する態様を採用することができる。

本発明を適用した検査装置を正面からみたときの説明図。図１に示す検査装置のステージに表示パネルを配列した様子を示す平面図。図１に示す検査装置のステージに、図２に示す場合よりサイズの大きな表示パネルを配置した様子を示す平面図。図１に示す検査装置の検査ユニットの平面図。図１に示す検査装置の検査ユニットの側面図。図４に示す状態からカメラを離間させた状態を示す説明図。本発明の別の実施形態に係る検査装置の説明図。

以下に、図面を参照して、本発明の実施形態に係る検査装置１を説明する。なお、以下の説明において、互いに直交する３方向を各々、Ｘ軸方向（第１方向）、Ｙ軸方向（第２方向）およびＺ軸方向（第３方向）として説明する。また、以下の説明では、検査装置１として、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等の表示パネル１００を検査対象物とし、表示パネル１００の表示領域１１０を点灯させた際の様子を撮像して検査する点灯検査装置を中心に説明する。

（検査装置の全体構成）
図１は、本発明を適用した検査装置１を正面からみたときの説明図である。図２は、図１に示す検査装置１のステージ２に表示パネル１００を配列した様子を示す平面図である。図３は、図１に示す検査装置１のステージ２に、図２に示す場合よりサイズの大きな表示パネル１００を配置した様子を示す平面図である。

図１に示すように、検査装置１は、表示パネル１００を上面に配置するステージ２と、ステージ２の周りを囲むフレーム３０とを有している。図２に示すように、ステージ２には、１枚の表示パネル１００が配置される。本形態では、１枚の表示パネル１００の表示領域１１０において画素を点灯させたときの様子を４台のカメラ５で撮像する。その際、４台のカメラ５は各々、表示領域１１０を４等分割した４つの領域１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの各々の中心Ｃに位置するように位置調整される。但し、検査装置１では、図３に示すように、図２に示す表示パネルよりサイズが大きな表示パネル１００を検査する場合があり、この場合、表示パネル１００の表示領域１１０を４等分割した４つの領域１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの各々の中心Ｃの距離は、図２に示す場合より、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方において長くなる。この場合も、４台のカメラ５を各々、矢印Ｓで示すように、一点鎖線で示す位置からＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて、４台のカメラ５が各々、領域１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの各々の中心Ｃに位置するように位置を調整する。従って、本形態の検査装置１では、図４、図５および図６を参照して以下に説明するように、４台のカメラ５を各々、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させる機構が設けられている。

（検査ユニット１０の構成）
図４は、図１に示す検査装置１の検査ユニット１０の平面図である。図５は、図１に示す検査装置１の検査ユニット１０の側面図である。図６は、図４に示す状態からカメラ５を離間させた状態を示す説明図である。

図１および図４に示すように、検査装置１では、４つのカメラ５のうち、第１カメラ５１および第２カメラ５２を備えた検査ユニット１０がＹ軸方向に第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２として配列されている。ここで、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２は、第１検査ユニット１１と第２検査ユニット１２との間を通ってＸ軸方向およびＺ軸方向に延在する面を中心に対称に配置されている。そこで、以下の説明では、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２のうち、Ｙ軸方向の一方側Ｙ１に配置されている第１検査ユニット１１を中心に説明する。

第１検査ユニット１１は、ベース４０のＺ軸方向の他方側Ｚ２（上側）に、第１モータ６１と、Ｘ軸に沿って延在する第１送りネジ７１と、第１送りネジ７１によってＸ軸方向に直線駆動される第１スライダ８１とを有している。また、第１検査ユニット１１は、ベース６１のＺ軸方向の他方側Ｚ２（上側）に、Ｘ軸方向に沿って延在する第２送りネジ７２と、第２送りネジ７２によってＸ軸方向に直線駆動される第２スライダ８２とを有している。本形態において、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２はボールネジであり、第１スライダ８１および第２スライダ８２はナットである。ここで、第２送りネジ７２は、第１送りネジ７１よりＸ軸方向の一方側Ｘ１に配置されている。従って、第２スライダ８２は、第１スライダ８１よりＸ軸方向の一方側Ｘ１に位置する。

第１スライダ８１には、Ｙ軸方向に延在する第１カメラホルダ９１が連結されている。第１カメラホルダ９１は、貫通穴４９を介してＺ軸方向の一方側Ｚ１に突出し、第１カメラ５１をＺ軸方向の一方側Ｚ１に向けて保持している。第２スライダ８２には、第１カメラホルダ９１よりＸ軸方向の一方側Ｘ１でＹ軸方向に延在する第２カメラホルダ９２が連結されている。第２カメラホルダ９２は、貫通穴４９を介してＺ軸方向の一方側Ｚ１に突出し、第２カメラ５２をＺ軸方向の一方側Ｚ１に向けて保持している。このようにして、第１カメラホルダ９１は第１スライダ８１と連結され、第２カメラホルダ９２は第２スライダ８２と連結されている。従って、第１カメラ５１は、第１スライダ８１と一体にＸ軸方向に移動可能であり、第２カメラ５２は、第２スライダ８２と一体にＸ軸方向に移動可能である。第１カメラホルダ９１とベース４０との間、および第２カメラホルダ９２とベース４０との間には、Ｘ軸方向に延在するガイド４１が２列設けられている。

本形態において、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２は、いずれも同一方向の螺旋溝が形成された送りネジである。また、第１送りネジ７１の回転は、歯車機構７５を介して第２送りネジ７２に伝達される。ここで、歯車機構７５は、偶数枚の歯車を有しており、第１送りネジ７１の回転を第２送りネジ７２に伝達した際、第２送りネジ７２を第１送りネジ７１とは逆方向に回転させる。

本形態では、図５に示すように、第１モータ６１のモータ軸は、カップリング７１２および回転軸７１１を介して第１送りネジ７１に連結されており、第１送りネジ７１は、ベース４０に固定された軸受７１０によって回転可能に支持されている。第２送りネジ７２は、ベース４０に固定された軸受７２０によって回転可能に支持されている。

歯車機構７５は、第１送りネジ７１に連結された第１歯車７５１と、第２送りネジ７２に連結された第２歯車７５２とを備えており。第１歯車７５１と第２歯車７５２とが噛み合っている。より具体的には、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２は、Ｘ軸方向で互いに離間する方向に延在しており、第１歯車７５１は、第１送りネジ７１の第２送りネジ７２側に位置する端部に設けられている。第２歯車７５２は、第２送りネジ７２の第１
送りネジ７１側に位置する端部に設けられており、第１歯車７５１と噛み合っている。
第１歯車７５１と第２歯車７５２とは歯数が同じである。

このように構成した第１検査ユニット１１において、第１モータ６１を駆動すると、図４と図６とを比較すると分かるように、第１カメラ５１および第２カメラ５２は、Ｘ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動する。その際、第１カメラ５１および第２カメラ５２は、Ｘ軸方向において逆方向に同一の距離を移動する。

なお、第２検査ユニット１２は第１検査ユニット１１と同様に構成されているため、詳細な説明を省略するが、第２検査ユニット１２においても、第１モータ６１を駆動すると、第１カメラ５１および第２カメラ５２は、Ｘ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に同一の距離を移動する。その際、第１カメラ５１および第２カメラ５２は、Ｘ軸方向において同一の距離を移動する。

（Ｙ軸方向の駆動）
図５に示すように、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２において、ベース４０は、Ｘ軸方向の一方側Ｘ１の端部でＺ軸方向の一方側Ｚ１に折れ曲がった側板部４５を有しており、側板部４５と支持板３１との間には、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２を各々、Ｙ軸方向に直線駆動する直線駆動装置１４が設けられている。なお、支持板３１は、後述する直線駆動装置１５によってＺ軸方向に駆動される。本形態において、ベース４０のＹ軸方向の端部には、円弧状に切り欠かれた補強板４８が設けられている。本形態において、直線駆動装置１４は、第１検査ユニット１１をＹ軸方向に直線駆動する第１直線駆動装置１４１と、第２検査ユニット１２をＹ軸方向に直線駆動する第２直線駆動装置１４２とからなる。ここで、第１直線駆動装置１４１および第２直線駆動装置１４２は同一の構成を有していることから、以下、第１直線駆動装置１４１を中心に説明する。

図１、図４および図５に示すように、第１直線駆動装置１４１は、支持板３１に駆動源として固定されたモータ１４５と、モータ１４５によって駆動される送りネジ１４６と、送りネジ１４６によって直線駆動されるスライダ１４７とを有しており、送りネジ１４６は、ベース４０の側板部４５に固定された軸受１４９によって回転可能に支持されている。送りネジ１４６は、Ｙ軸方向に延在しており、スライダ１４７は、ベース４０の側板部４５に固定されている。また、送りネジ１４６は、支持板３１に固定された軸受によって回転可能に支持されている。本形態において、送りネジ１４６はボールネジであり、スライダ１４７はナットである。また、図１に示すように、支持板３１とベース４０の側板部４と間において、送りネジ１４６のＺ軸方向の両側には、Ｙ軸方向に延在するガイド４２が設けられている。

従って、図４と図６とを比較すれば分かるように、モータ１４５を駆動すると、ベース４０をＹ軸方向に直線駆動することができるので、第１検査ユニット１１をＹ軸方向に直線駆動することができる。第２直線駆動装置１４２は第１直線駆動装置１４１とＹ軸方向で逆向きに配置されているが、同様な構成を有している。このため、第２直線駆動装置１４２の詳細な説明を省略するが、第２直線駆動装置１４２でも、モータ１４５を駆動すると、ベース４０をＹ軸方向に直線駆動することができるので、第２検査ユニット１２をＹ軸方向に直線駆動することができる。従って、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２は、Ｙ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動させることができる。それ故、第１検査ユニット１１の第１カメラ５１および第２検査ユニット１２の第１カメラ５１は、Ｙ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動し、第１検査ユニット１１の第２カメラ５２および第２検査ユニット１２の第２カメラ５２は、Ｙ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動する。

その際、第１直線駆動装置１４１のモータ１４５、および第２直線駆動装置１４２のモータ１４５に同一の信号を印加すれば、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２は、Ｙ軸方向において逆方向に同一の距離を移動する。

（Ｚ軸方向の駆動）
図４および図５に示すように、支持板３１とフレーム３０との間には、支持板３１をＺ軸方向に駆動する直線駆動装置１５が構成されている。本形態において、直線駆動装置１５は、フレーム３０に固定されたモータ１５５と、モータ１５５によって駆動される送りネジ１５６と、送りネジ１５６によって直線駆動されるスライダ１５７とを有している。送りネジ１５６は、Ｚ軸方向に延在しており、スライダ１５７は、支持板３１に固定されている。また、送りネジ１５６は、フレーム３０に固定された軸受１５９によって回転可能に支持されている。送りネジ１５６はボールネジであり、スライダ１５７はナットである。また、支持板３１とフレーム３０との間において、モータ１５５をＹ軸方向の両側には、Ｚ軸方向に延在するガイド３６（図４参照）が設けられている。

このように構成した直線駆動装置１５において、モータ１５５を駆動すると、支持板３１をＺ軸方向に駆動することができるので、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２をＺ軸方向に駆動することができる。なお、モータ１５５のモータ軸は、回転軸１５１およびカップリング１５２を介して送りネジ１５６と接続されている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の検査装置１では、図２に示す表示パネル１００を撮像して検査した後、図３に示すように、図２に示す表示パネルよりサイズが大きな表示パネル１００を撮像して検査する場合でも、図６に示すように、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２の各々において、第１モータ６１を駆動すると、第１カメラ５１および第２カメラ５２を各々、Ｘ軸方向で互いに離間する方向に同一距離を移動させることができる。また、第１直線駆動装置１４１のモータ１４５、および第２直線駆動装置１４２のモータ１４５を駆動させれば、第１検査ユニット１１の第１カメラ５１および第２検査ユニット１２の第１カメラ５１をＹ軸方向において互いに離間する方向に同一距離を移動させ、第１検査ユニット１１の第２カメラ５２および第２検査ユニット１２の第２カメラ５２をＹ軸方向において互いに離間する方向に同一距離を移動させることができる。それ故、４台のカメラ５を各々、表示領域１１０の中心Ｃに位置するように位置を調整することができる。また、直線駆動装置１５によって、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２をＺ軸方向にまとめて駆動することができるので、図３に示す検査の場合には、ステージ２から第１カメラ５１および第２カメラ５２をＺ軸方向に離間させて視野を広げることができる。

また、本形態の検査装置１では、第１モータ６１によって第１送りネジ７１を駆動して第１カメラ５１をＸ軸方向に駆動する一方、第１送りネジ７１の回転を歯車機構７５を介して第２送りネジ７２に伝達して第２送りネジ７２を第１送りネジ７１と逆方向に回転させて第２カメラ５２をＸ軸方向において第１カメラ５１と逆方向に移動させる。従って、１台の第１モータ６１で第１カメラ５１および第２カメラ５２を逆方向に直線駆動する場合でも、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２として、同一方向の螺旋溝が形成された送りネジを用いることができる。それ故、検査装置１において、第１カメラ５１および第２カメラ５２のＸ軸方向の駆動を安価に行うことができる等の利点がある。

また、歯車機構７５は、第１送りネジ７１と一体に回転する第１歯車７５１と、第１歯車７５１と噛み合い、第２送りネジ７２と一体に回転する第２歯車７５２とを含む態様であるため、最も少ない数の歯車によって、第２送りネジ７２を第１送りネジ７１と逆方向
に回転させることができる。また、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２は、Ｘ軸方向で互いに離間する方向に延在しており、第１歯車７５１は、第１送りネジ７１の第２送りネジ７２側に位置する端部に設けられ、第２歯車７５２は、第２送りネジ７２の第１送りネジ７１側に位置する端部に設けられている。このため、第１カメラ５１および第２カメラ５２をＸ軸方向に駆動するストロークが長い場合でも、第１送りネジ７１および第２送りネジ７２が比較的短くて済むという利点がある。

［別の実施形態］
図７は、本発明の別の実施形態に係る検査装置１の説明図であり、図４に対応する。上記実施形態では、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２のＹ軸方向の駆動に２つのモータ１４５を用いたが、図７に示すように、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２のＹ軸方向の駆動においても、第１カメラ５１および第２カメラ５２のＸ軸方向への駆動と同様、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２のＹ軸方向の駆動を１つの第２モータ１６４で行ってもよい。

具体的には、支持板３１には、第２モータ１６４と、Ｙ軸に沿って延在する第３送りネジ１７１と、第３送りネジ１７１によってＹ軸方向に直線駆動される第３スライダ１８１とが設けられている。また、支持板３１には、Ｙ軸方向に沿って延在する第４送りネジ１７２と、第４送りネジ１７２によってＹ軸方向に直線駆動される第４スライダ１８２とが設けられている。ここで、第４送りネジ１７２は、第３送りネジ１７１よりＹ軸方向の他方側Ｙ２に配置されており、第４スライダ１８２は、第３スライダ１８１よりＹ軸方向の他方側Ｙ２に位置する。第３スライダ１８１には第１検査ユニット１１のベース４０が連結され、第４スライダ１８２には第２検査ユニット１２のベース４０が連結されている。本形態において、第３送りネジ１７１および第４送りネジ１７２はボールネジであり、第３スライダ１８１および第４スライダ１８２はナットである。

第３送りネジ１７１および第４送りネジ１７２は、いずれも同一方向の螺旋溝が形成された送りネジである。また、第３送りネジ１７１の回転は、歯車機構１７５を介して第４送りネジ１７２に伝達される。歯車機構１７５は、偶数枚の歯車を有しており、第３送りネジ１７１の回転を第４送りネジ１７２に伝達した際、第４送りネジ１７２を第３送りネジ１７１とは逆方向に回転させる。本形態においては、図示を省略するが、歯車機構１７５は、第３送りネジ１７１に連結された第３歯車と、第４送りネジ１７２に連結された第４歯車とを備えており、第３歯車と第４歯車とが噛み合っている。また、第３歯車と第４歯車とは、歯数が同じである。

このような構成によれば、１台の第２モータ１６４を駆動すれば、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２は、Ｙ軸方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動する。この場合でも、第３送りネジ１７１および第４送りネジ１７２として、同一方向の螺旋溝が形成された送りネジを用いることができるので、第１検査ユニット１１および第２検査ユニット１２のＹ軸方向の駆動を安価に行うことができる等の利点がある。

［他の実施形態］
検査対象物が表示パネル１００である場合を例示したが、表示パネル１００以外の検査対象物を撮像して検査する検査装置に本発明を適用してもよい。

１…検査装置、２…ステージ、５…カメラ、１０…検査ユニット、１１…第１検査ユニット、１２…第２検査ユニット、１４、１５…直線駆動装置、３０…フレーム、３１…支持板、３６、４１、４２…ガイド、４０…ベース、４５…側板部、４９…貫通穴、５１…第
１カメラ、５２…第２カメラ、６１…第１モータ、７１…第１送りネジ、７２…第２送りネジ、７５、１７５…歯車機構、８１…第１スライダ、８２…第２スライダ、９１…第１カメラホルダ、９２…第２カメラホルダ、１００…表示パネル、１１０…表示領域、１４１…第１直線駆動装置、１４２…第２直線駆動装置、１４５、１５５…モータ、１４７、１５７…スライダ、１４６、１５６…送りネジ、１６４…第２モータ、１７１…第３送りネジ、１７２…第４送りネジ、１８１…第３スライダ、１８２…第４スライダ、７５１…第１歯車、７５２…第２歯車

Claims

検査対象物を撮像する検査ユニットを備えた検査装置であって、
前記検査ユニットには、
第１モータと、
第１方向に沿って延在し、前記第１モータによって回転駆動される第１送りネジと、
前記第１送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第１スライダと、
前記第１スライダに連結された第１カメラと、
前記第１送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第１方向に沿って延在し、前記第１送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第１送りネジと逆方向に回転する第２送りネジと、
前記第２送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第２スライダと、
前記第２スライダに連結された第２カメラと、
が設けられ、
前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１モータの駆動によって、前記第１方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動し、
前記第１方向と直交する第２方向において前記検査ユニットが第１検査ユニット、および第２検査ユニットとして配列されており、
前記第１検査ユニットに対しては、モータを駆動源にして前記第１検査ユニットを前記第２方向に直線駆動する第１直線駆動装置が設けられ、
前記第２検査ユニットに対しては、モータを駆動源にして前記第２検査ユニットを前記第２方向に直線駆動する第２直線駆動装置が設けられ、
前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１直線駆動装置および前記第２直線駆動装置によって、前記第２方向において互いに接近する方向、および互いに離間する方向に駆動されることを特徴とする検査装置。
検査対象物を撮像する検査ユニットを備えた検査装置であって、
前記検査ユニットには、
第１モータと、
第１方向に沿って延在し、前記第１モータによって回転駆動される第１送りネジと、
前記第１送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第１スライダと、
前記第１スライダに連結された第１カメラと、
前記第１送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第１方向に沿って延在し、前記第１送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第１送りネジと逆方向に回転する第２送りネジと、
前記第２送りネジによって前記第１方向に直線駆動される第２スライダと、
前記第２スライダに連結された第２カメラと、
が設けられ、
前記第１カメラおよび前記第２カメラは、前記第１モータの駆動によって、前記第１方向において互いに接近する方向および離間する方向に移動し、
前記検査ユニットが前記第１方向と直交する第２方向に第１検査ユニット、および第２検査ユニットとして配列されており、
第２モータと、
前記第２方向に沿って延在し、前記第２モータによって回転駆動される第３送りネジと、
前記第３送りネジによって前記第２方向に直線駆動され、前記第１検査ユニットが連結された第３スライダと、
前記第３送りネジと同一方向の螺旋溝が形成された送りネジであって、前記第２方向に沿って延在し、前記第３送りネジの回転が歯車機構を介して伝達されて前記第３送りネジと逆方向に回転する第４送りネジと、
前記第４送りネジによって前記第２方向に直線駆動され、前記第２検査ユニットが連結された第４スライダと、
が設けられ、
前記第１検査ユニットおよび前記第２検査ユニットは、前記第２モータの駆動によって、前記第２方向において互いに接近する方向、および互いに離間する方向に駆動されることを特徴とする検査装置。
請求項１または２に記載の検査装置において、
前記歯車機構は、前記第１送りネジと一体に回転する第１歯車と、前記第１歯車と噛み合い、前記第２送りネジと一体に回転する第２歯車と、を含むことを特徴とする検査装置。
請求項３に記載の検査装置において、
前記第１送りネジおよび前記第２送りネジは、前記第１方向で互いに離間する方向に延在しており、
前記第１歯車は、前記第１送りネジの前記第２送りネジ側に位置する端部に設けられ、
前記第２歯車は、前記第２送りネジの前記第１送りネジ側に位置する端部に設けられて前記第１歯車と噛み合っていることを特徴とする検査装置。
請求項１または２に記載の検査装置において、
前記第１検査ユニット、および前記第２検査ユニットを前記第１方向および前記第２方向に対して直交する第３方向に駆動する直線駆動装置を有することを特徴とする検査装置。
請求項１から５までの何れか一項に記載の検査装置において、
前記検査対象物は、表示パネルであり、
前記検査ユニットは、前記表示パネルが点灯した状態を撮像することを特徴とする検査装置。