KR100887566B1 - 자동 검사장비의 마스크 촬영장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자동 검사장비의 마스크 촬영장치를 개시한다.
이 장치는, 기대(10)와; 한 쌍의 LM가이드(21)와, 제1스크류바(22)와, 이 제1스크류바(22)에 나사맞춤 설치되는 제1이동블럭(22a)과, 상기 상,하 LM가이드(21)와는 결합되고, 상기 제1스크류바(22)와는 나사맞춤 결합됨으로써 수평방향으로 좌,우 이동가능한 수직부재(24)를 설치하며, 일측에 제1스크류바(22)를 회전 구동시키는 구동모터로서 수직부재(24)의 전,후진 이동력을 발생시키는 제1위치조절부(20)와; 상기 양측 제1위치조절부(20)의 상,하 LM가이드(21) 상에 제2스크류바(31)를 설치하고, 이 제2스크류바(31)에는 제2이동블럭(32)을 이동가능하게 결합시키며, 제2스크류바(31)의 이동으로 제2이동블럭(32)이 이동되는 제2위치조절부(30); 및 경통을 구비한 카메라 바디(41),외부케이싱(42)과, 좌,우 소정각도로 회동되는 회동축(43)과, 웜휠(44)과, 모터축(47)단에 형성된 웜기어(45)와, 구동모터(46)와, 모터케이스(48)와, 브라켓(49)으로 이루어져, 카메라케이싱의 회동축을 회전시켜 카메라바디가 좌,우 회전되는 카메라 촬영부(40)를 포함한다.
포토마스크, 자동 검사장비, 촬영장치.

Description

자동 검사장비의 마스크 촬영장치{Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment}
도 1은 종래 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 사시도이고,
도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체사시도이고,
도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체정면도이고,
도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 일부 구조를 생략한 발췌사시도이고,
도 5a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 사시도이고,
도 5b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 평면도이고,
도 5c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 정면도이고,
도 5d는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 측면도이고,
도 6a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제1방향 사시도이고,
도 6b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제2방향 사시도이고,
도 6c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 측면도이고,
도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 일부 분해 사시도이고,
도 8은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 작용설명도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10:기대, 20:제1위치조절부, 21:LM가이드, 22:제1스크류바,22a:제1이동블럭,
24:수직부재, 30:제2위치조절부, 31:제2스크류바, 32:제2이동블럭,
40:카메라 촬영부
본 발명은 자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 관한 것으로, 특히,컴퓨터 모니터를 통하여 포토마스크의 이상 유무를 검사할 수 있도록 무인촬영수단이 강구된 자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 관한 것이다.
종래 알려진 포토마스크 검사장치로는 첨부 도면 도 1에서 도시하는 바와 같은 등록특허 제10-0748106호가 알려져 있으며, 이것은 대략 수직 설치된 좌,우 한쌍의 지지대와, 이 지지대의 상방에 설치되는 제2구동모터와, 감속기로 이루어진 구동부와, 상기 구동부의 제2구동모터축에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체, 이 회동체 내측에 설치되는 제3구동모터와, 구동하는 구동풀리와 종동풀리를 벨트로 연결하고, 이 종동풀리의 양측으로 볼스크류를 연결하되,이 볼스크류에 나란하게 LM가이드를 설치하고, LM가이드와 볼스크류에 맞추어져 이동되며, 포토마스크를 일시 지지하기 위한 이동체로 이루어진 회동부 및 상기 회동부의 이동체에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼를 포함하여서 된다.
그러나 이 포토마스크 육안 검사장치는 포토마스크 파지장치를 회전시켜 가면서 작업자의 육안으로 검사해야하는 불편함이 있었다.
본 발명은 종래 이러한 육안검사장치가 갖는 문제점을 감안하여 피검사물의 표리양면을 카메라로서 촬영하여 이를 컴퓨터 모니터 등을 통하여 검사가 가능한 포토마스크 검사장치를 제공하고자 하는 데에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치는,
기대와; 상기 기대 내측의 좌,우 양내측에 각각 설치되며, 상,하단에 수평하게 설치되는 LM가이드와, 이 상,하 LM가이드 사이에 위치하며 구동모터의 축상에 제1스크류바와, 이 제1스크류바에 나사맞춤 설치되는 제1이동블럭과, 상기 제1스크류바를 구동하는 구동모터로 이루어져 좌,우이동력을 발생시키는 제1위치조절부와; 상기 양측 제1위치조절부의 상,하 LM가이드상에 수직하여 각각 고정되고, 그 사이에 수평바를 고정시키고, 이 수평바의 내측에 제2스크류바와 제2이동블럭을 결합시켜 제2스크류바의 이동으로 제2이동블럭이 이동되는 제2위치조절부; 및 상기 제2위치조절부에 부착되는 카메라 촬영부를 포함하여서 된다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 포토마스크 검사장치의 상기 카메라 촬영부는,
상기 이동블럭에 고정되고 상,하단을 연장하고 그 연장부에 축점을 형성하는 카메라케이싱와, 이 카메라케이싱의 축점에서 회동가능하게 설치되고 그 내측에 카메라를 장착한 카메라바디와, 상기 카메라바디 상면의 축상에 웜휠을 형성하고 이에 대응하도록 웜기어를 설치하고 웜기어를 제3구동모터의 축에 연결하여 구동모터의 구동으로 웜기어가 웜휠 일체의 카메라바디를 좌,우 회전시켜 방향을 조절하는 특징을 갖는다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구제적으로 설명하면 다음과 같다.
첨부 도면 중 도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체사시도이고, 도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체정면도이고, 도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 일부 구조를 생략한 발췌사시도이고,도 5a,5b,5c,5d는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 사시도,평면도,정면도,측면도들이다.
본 발명은 크게 기대(10)와, 이 기대(10) 내측에 설치되는 제1위치조절 부(20)와, 제2위치조절부(30)와, 카메라촬영부(40)로 이루어진다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같이 기대(10)는 중간부가 연결되어 대칭을 이루어 바닥을 형성한 받침틀(11)과,이 받침틀(11)의 소정 위치에서 수직 설치되는 수직바(12)들과, 이 수직바(12)들에 연결된 수평바(13)들로 이루어진 사각프레임의 형태를 갖는다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 위치조절부의 구성은 제1위치조절부(20)와 제2위치조절부(30)로 이루어진다.
제1위치조절부(20)는 상기 기대(10)의 내측에서 좌,우 양측에 각각 수직 설치된 수직부재(24)의 상,하단에 수평하게 연결부재(21a)로서 고정 설치되는 한 쌍의 LM가이드(21)와, 이 상,하 LM가이드(21) 사이에 위치하며 구동모터(도시생략)에 의하여 회전구동하는 제1스크류바(22)가 고정되며, 이러한 제1스크류바(22)와는 제1이동블럭(22a)으로 상기 수직부재(24)가 수평이동가능하게 설치되어 있고, 상시 상,하 LM가이드(21)들도 역시 연결부재(21a)로서 수직부재(24)의 수평이동을 슬라이드 안내한다.
즉, 내부에 장치된 구동모터(도시생략)의 축상에 제1스크류바(22)가 설치되어 회전하므로서 이에 나사맞춤되고 상기 수직부재(24)에 결합된 제1이동블럭(22a)에 의하여 이동되는 것이다.
또한, 제2위치조절부(30)는 상기 양측 제1위치조절부(20)의 수직부재(24)의 사이에 수평방향으로 제2스크류바(31)를 설치하고, 이 제2스크류바(31)에는 제2이동블럭(32)이 나사맞춤 이동가능하게 결합되며, 제2스크류바(31)의 구동으로 제2이동블럭(32)이 이동되도록 설치되어 있다(내부를 커버하고 있음). 이러한 제2이동블럭(32)에는 후술하는 카메라촬영부(40)가 탑재되어 있다. 따라서 수직부재(24)로서 제1위치를 결정하고, 이 수직부재(24) 사이의 제2이동블럭(32)으로서 제2위치가 결정되며, 이러한 제2이동블럭(32)에 탑재된 카메라쵤영부(40)로서 제3위치가 결정된다.
첨부 도면 중 도 6a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제1방향 사시도이고, 도 6b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제2방향 사시도이고, 도 6c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 측면도이고, 도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 일부 분해 사시도이다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)는,
경통을 구비한 카메라 바디(41)와, 이 카메라 바디(41)가 이동 가능하게 지지됨과 아울러 상기 제2이동블럭(32)에 연결되는 외부케이싱(42)과, 이 외부케이싱(42) 내에서 카메라 본체(41)의 후단측에 일체로 설치되어 좌,우 소정각도로 회동되는 회동축(43)과, 상기 외부케이싱(42)의 상방에 노출된 회동축(43)단에 설치된 웜휠(44)과, 이 웜휠(44)에 맞추어짐과 아울러 모터축(47)단에 형성된 웜기어(45)와, 상기 모터축(47)을 전방으로 연장형성한 구동모터(46)와, 상기 구동모터(46)를 탑재한 모터케이스(48)와, 이 케이스(48)와 상기 외부케이싱(42)을 연결함과 아울러 상기 모터축(47)을 가이드하는 브라켓(49)으로 이루어진다.
즉, 제2축위치가 결정된 카메라 촬영부(40)의 제3구동모터(45)를 구동하여 모터축(47)이 웜기어(45)를 회전시킴으로써 회동축(43) 일체의 웜휠(44)이 회전됨으로써 회동축(43)이 좌,우 선회하면서 그 위치를 잡는다.
이와 같이 이루어진 본 발명의 작용을 상기 도면들과 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 작용설명도를 나타내는 첨부 도면 도 8에 의거 설명한다.
본 발명의 카메라 촬영작동은 본 발명에서는 설명되지 아니하는 포토마스크 회전장치의 회전체에서 포토마스크가 파지된 상태에서 시작된다.
포토마스크가 회전하는 동안 카메라 촬영부(40)의 카메라가 포토마스크의 면을 여러개의 경통을 통하여 촬영한다.
제1,제2위치조절부(20)(30)와,카메라촬영부(40)에 의하여 촬영되는 제3축의 위치를 모니터를 보면서 각 위치조절부별로 설치된 스텝모터(구동모터)를 구동함으로써 그 위치를 조절할 수 있다.
즉, 제1위치조절부(20)의 구동모터로서 제1스크류바(22)를 작동시키면 이에 맞물린 제1이동블럭(22a)이 수직부재(24)에 나사맞춤 물려 있으므로 소정방향으로 이동하게 된다. 수직부재(24)의 이동으로 제1축의 위치가 결정되면 수직부재(24) 사이의 제2위치조절부(30)의 양측에 수평 설치된 제2스크류바(31)가 모터 구동되어 제2이동블럭(32)을 이동시켜 제2위치를 결정하게 된다. 이어서 제2축위치가 결정된 카메라 촬영부(40)에 탑재된 구동모터(46)를 구동하여 모터축(47)이 웜기어(45)를 회전시키므로서 외부케이싱(42)에 축 고정된 카메라 바디(41)를 회전시켜 소망하는 각도를 결정함으로써 제3위치가 결정된다.
이후 카메라 바디(41)내 경통과 카메라를 연속 혹은 단속 작동하여 위치가 결정된 포토마스크의 해당위치를 촬영하면서 모니터를 통하여 나타난 화상을 작업자는 눈으로 보면서 포토마스크의 불량을 검사하게 되는 것이다.
특히, 이러한 검사를 작업자 없이 촬영 조건을 만들어 촬영할 경우 무인으로 포토마스크의 파티클 등을 자동검사할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치는 포토마스크등의 표리면을 검사하기 위하여 종래에는 일일이 평판상에 설치된 마스크등을 마스크 회동 현장에서 작업자가 육안으로 일일이 보면서 작업하던 불편함을 개선하여 모니터를 통하여 마스크의 불량상태를 자동적으로 비교 검사하는 효과를 갖는다.
본 발명은 카메라 경통을 통하여 마스크의 여러 곳을 3축 위치조정으로 촬영함과 동시에 피검사물을 회전시킴으로써 다양한 각도와 위치로서 동시에 검사가 가능한 효과도 얻는다.

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 있어서,
    기대(10);
    상기 기대(10)의 내측에서 좌,우 양측에 각각 설치되며, 상,하단에 수평하게 설치되는 한 쌍의 LM가이드(21)와, 이 상,하 LM가이드(21) 사이에 위치하며 구동모터의 축상에 설치되는 제1스크류바(22)와, 이 제1스크류바(22)에 나사맞춤 설치되는 제1이동블럭(22a)과, 상기 상,하 LM가이드(21)와는 결합되고, 상기 제1스크류바(22)와는 나사맞춤 결합됨으로써 수평방향으로 좌,우 이동가능한 수직부재(24)를 설치하며, 일측에 제1스크류바(22)를 회전 구동시키는 구동모터로서 수직부재(24)의 전,후진 이동력을 발생시키는 제1위치조절부(20);
    상기 양측 제1위치조절부(20)의 상,하 LM가이드(21) 상에 수직하여 각각 양측에 설치된 수직부재(24)의 사이에 수평방향으로 구동모터와 제2스크류바(31)를 설치하고, 이 제2스크류바(31)에는 제2이동블럭(32)을 이동가능하게 결합시키며, 제2스크류바(31)의 이동으로 제2이동블럭(32)이 이동되는 제2위치조절부(30); 및
    경통을 구비한 카메라 바디(41),이 카메라 바디(41)가 이동 가능하게 지지됨과 아울러 상기 제2이동블럭(32)에 연결되는 외부케이싱(42)과, 이 외부케이싱(42)내에서 카메라 본체(41)의 후단측에 일체로 설치되어 좌,우 소정각도로 회동되는 회동축(43)과, 상기 외부케이싱(42)의 상방에 노출된 회동축(43)단에 설치된 웜휠(44)과, 이 웜휠(44)에 맞추어짐과 아울러 모터축(47)단에 형성된 웜기어(45)와, 상기 모터축(47)을 전방으로 연장형성한 구동모터(46)와, 상기 구동모터(46)를 탑재한 모터케이스(48)와, 이 케이스(48)와 상기 외부케이싱(42)을 연결함과 아울러 상기 모터축(47)을 가이드하는 브라켓(49)으로 이루어져, 카메라케이싱의 회동축을 회전시켜 카메라바디가 좌,우 회전되는 카메라 촬영부(40)를 포함하는 자동 검사장비의 마스크 촬영장치.
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