CN112033963B - 检查装置 - Google Patents

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Abstract

一种检查装置，即使当使用形成有相同方向的螺旋槽的两个进给丝杠的情况下，也能够用一台电动机沿相反方向直线驱动两台照相机。在检查装置(1)中，通过由第一电动机(61)驱动第一进给丝杠(71)而在X轴方向上驱动第一照相机(51)，另一方面，经由齿轮机构(75)向第二进给丝杠(72)传递第一进给丝杠的旋转，使第二进给丝杠向与第一进给丝杠相反的方向旋转，使第二照相机(52)在X轴方向上向与第一照相机相反的方向移动。因此，即使用一台第一电动机向相反方向直线驱动第一照相机及第二照相机的情况下，作为第一进给丝杠(71)及第二进给丝杠(72)，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。齿轮机构(75)由两个齿轮构成。

Description

检查装置
技术领域
本发明涉及一种具备拍摄检查对象物的检查单元的检查装置。
背景技术
在点亮状态下拍摄液晶显示面板或有机电致发光显示面板等显示面板来检查显示面板的检查装置中，当用一台照相机拍摄大型显示面板时，需要扩大视野，所以分辨率会降低。于是，提出了如下方式：将一个显示面板等分成多个区域，以透镜位于等分的多个区域中的每个区域的中心的方式配置多台照相机，并同时拍摄显示面板的多个区域。在这种情况下，当显示面板的尺寸不同时，由于将显示面板等分而形成的多个区域的中心移动，所以需要变更照相机的位置。
当面板的尺寸不同时，作为将照相机的位置移动到等分后的中心的方法，提出了如下结构：经由滑块将照相机连接到形成有相反方向的螺纹的两个滚珠丝杠中的每一个滚珠丝杠上(参照专利文献1)。根据这样的结构，当使两个滚珠丝杠沿相同方向旋转时，能够使两台照相机向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2010－32244号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在使多台照相机移动时，如果将电动机配置于多台照相机中的每一个照相机上，电动机的数量就会增多，成本增加。另外，由于配置多个电动机，也存在空间增加或配线增加等问题。作为解决方案，要求减少电动机的数量。如专利文献1所述的结构，有以下众所周知的技术方案：用一台电动机驱动螺纹牙为右旋的滚珠丝杠和螺纹牙为左旋的滚珠丝杠，并且用一台电动机沿相反方向直线驱动两台照相机，但滚珠丝杠通常螺纹牙为右旋，螺纹牙为左旋的滚珠丝杠很特殊。因此，左旋滚珠丝杠价格高，并且存在尺寸等种类少的问题。
鉴于上述问题，本发明的技术问题在于提供一种检查装置，即使当使用形成有相同方向的螺旋槽的两个进给丝杠时，也能够用一台电动机沿相反方向直线驱动两台照相机。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种检查装置，其具备拍摄检查对象物的检查单元，其特征在于，在所述检查单元中，设置有：第一电动机；第一进给丝杠，所述第一进给丝杠沿着第一方向延伸，由所述第一电动机驱动而旋转；第一滑块，所述第一滑块由所述第一进给丝杠在所述第一方向上直线驱动；第一照相机，所述第一照相机连接到所述第一滑块；第二进给丝杠，所述第二进给丝杠是形成有与所述第一进给丝杠相同方向的螺旋槽的进给丝杠，且沿着所述第一方向延伸，所述第一进给丝杠的旋转经由齿轮机构向所述第二进给丝杠传递而使所述第二进给丝杠向与所述第一进给丝杠相反的方向旋转；第二滑块，所述第二滑块由所述第二进给丝杠在所述第一方向上直线驱动；第二照相机，所述第二照相机连接到所述第二滑块，所述第一照相机及所述第二照相机通过所述第一电动机的驱动，在所述第一方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。
在本发明中，由第一电动机驱动第一进给丝杠并沿第一方向驱动第一照相机，另一方面，经由齿轮机构向第二进给丝杠传递第一进给丝杠的旋转并使第二进给丝杠沿与第一进给丝杠相反的方向旋转，使第二照相机在第一方向上向与第一照相机相反的方向移动。因此，即使当用一台电动机沿相反方向直线驱动第一照相机及第二照相机时，作为第一进给丝杠及第二进给丝杠，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。
在本发明中，可以采用如下方式：所述齿轮机构包括与所述第一进给丝杠一体旋转的第一齿轮和与所述第一齿轮啮合且与所述第二进给丝杠一体旋转的第二齿轮。根据该方式，能够通过最少数量的齿轮使第二进给丝杠沿与第一进给丝杠相反的方向旋转。
在本发明中，可以采用如下方式：所述第一进给丝杠及所述第二进给丝杠在所述第一方向上向彼此分开的方向延伸，所述第一齿轮设置于所述第一进给丝杠的位于所述第二进给丝杠一侧的端部，所述第二齿轮设置于所述第二进给丝杠的位于所述第一进给丝杠一侧的端部并与所述第一齿轮啮合。根据该方式，即使当驱动第一照相机及第二照相机的行程较长时，第一进给丝杠及第二进给丝杠也可以相对较短。
在本发明的一方面中，可以采用如下方式：所述检查单元在与所述第一方向正交的第二方向上排列为第一检查单元及第二检查单元，针对所述第一检查单元设置有第一直线驱动装置，所述第一直线驱动装置以电动机为驱动源沿所述第二方向直线驱动所述第一检查单元，针对所述第二检查单元设置有第二直线驱动装置，所述第二直线驱动装置以电动机为驱动源沿所述第二方向直线驱动所述第二检查单元，所述第一照相机及所述第二照相机由所述第一直线驱动装置及所述第二直线驱动装置沿在所述第二方向上彼此接近的方向及彼此分开的方向驱动。
在本发明的另一方面中，也可以采用如下方式：所述检查单元在与所述第一方向正交的第二方向上排列为第一检查单元及第二检查单元，在所述检查单元中，设置有：第二电动机；第三进给丝杠，所述第三进给丝杠沿着所述第二方向延伸，由所述第二电动机驱动而旋转；第三滑块，所述第三滑块由所述第三进给丝杠在所述第二方向上直线驱动，且连接有所述第一检查单元；第四进给丝杠，所述第四进给丝杠是形成有与所述第三进给丝杠相同方向的螺旋槽的进给丝杠，且沿着所述第二方向延伸，所述第三进给丝杠的旋转经由齿轮机构向所述第四进给丝杠传递而使所述第四进给丝杠沿与所述第三进给丝杠相反的方向旋转；第四滑块，所述第四滑块由所述第四进给丝杠沿所述第二方向直线驱动，且连接有所述第二检查单元，通过所述第二电动机的驱动，沿在所述第二方向上彼此接近的方向及彼此分开的方向驱动所述第一检查单元及所述第二检查单元。根据该方式，即使当用一台电动机沿相反方向直线驱动第一检查单元及第二检查单元时，作为第三进给丝杠及第四进给丝杠，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。
在本发明中，也可以采用如下方式：具有直线驱动装置，所述直线驱动装置在与所述第一方向及所述第二方向正交的第三方向上驱动所述第一检查单元及所述第二检查单元。
在本发明中，可以采用如下方式：所述检查对象物是显示面板，所述检查单元拍摄所述显示面板点亮的状态。
发明效果
在本发明中，由第一电动机驱动第一进给丝杠并沿第一方向驱动第一照相机，另一方面，经由齿轮机构向第二进给丝杠传递第一进给丝杠的旋转，使第二进给丝杠沿与第一进给丝杠相反的方向旋转而使第二照相机在第一方向上向与第一照相机相反的方向移动。因此，即使当用一台电动机沿相反方向直线驱动第一照相机及第二照相机时，作为第一进给丝杠及第二进给丝杠，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。
附图说明
图1是从正面观察应用了本发明的检查装置时的说明图；
图2是表示将显示面板排列于图1所示的检查装置的工作台上的情形的俯视图；
图3是表示将比图2所示的尺寸大的显示面板配置于图1所示的检查装置的工作台上的情形的俯视图；
图4是图1所示的检查装置的检查单元的俯视图；
图5是图1所示的检查装置的检查单元的侧视图；
图6是表示从图4所示的状态移开照相机的状态的说明图；
图7是本发明的另一实施方式所涉及的检查装置的说明图。
附图标记说明
1…检查装置；2…工作台；5…照相机；10…检查单元；11…第一检查单元；12…第二检查单元；14、15…直线驱动装置；30…框架；31…支承板；36、41、42…引导件；40…基座；45…侧板部；49…贯通孔；51…第一照相机；52…第二照相机；61…第一电动机；71…第一进给丝杠；72…第二进给丝杠；75、175…齿轮机构；81…第一滑块；82…第二滑块；91…第一照相机支架；92…第二照相机支架；100…显示面板；110…显示区域；141…第一直线驱动装置；142…第二直线驱动装置；145、155电动机；147、157…滑块；146、156…进给丝杠；164…第二电动机；171…第三进给丝杠；172…第四进给丝杠；181…第三滑块；182…第四滑块；751…第一齿轮；752…第二齿轮。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式的检查装置1进行说明。此外，在以下说明中，将彼此正交的三个方向分别设为X轴方向(第一方向)、Y轴方向(第二方向)及Z轴方向(第三方向)进行说明。另外，在以下说明中，作为检查装置1，主要对点亮检查装置进行说明，该点亮检查装置以液晶显示面板或有机电致发光显示面板等显示面板100为检查对象物，拍摄使显示面板100的显示区域110点亮时的情形来进行检查。
(检查装置的整体结构)
图1是从正面观察应用了本发明的检查装置1时的说明图。图2是表示将显示面板100排列于图1所示的检查装置1的工作台2上的情形的俯视图。图3是表示将比图2所示的尺寸大的显示面板100配置于图1所示的检查装置1的工作台2上的情形的俯视图。
如图1所示，检查装置1具有将显示面板100配置于上表面的工作台2、围绕在工作台2的周围的框架30。如图2所示，在工作台2上配置有一片显示面板100。在本实施方式中，用四台照相机5拍摄在一片显示面板100的显示区域110中点亮像素时的情形。此时，调整四台照相机5的位置，使四台照相机5分别位于将显示区域110四等分形成的四个区域110a、110b、110c、110d各自的中心C。但是，在检查装置1中，如图3所示，有时要检查比图2所示的显示面板的尺寸大的显示面板100，在这种情况下，与图2所示的切开相比，显示面板100的显示区域110四等分形成的四个区域110a、110b、110c、110d各自的中心C的距离在X轴方向及Y轴方向这两个方向上变长。在这种情况下，如箭头S所示，使四台照相机5分别从点划线所示的位置向X轴方向及Y轴方向移动，调整其位置，使得四台照相机5分别位于区域110a、110b、110c、110d各自的中心C。因此，在本实施方式的检查装置1中，如下面参照图4、图5及图6说明的那样，设置有使四台照相机5分别向X轴方向及Y轴方向移动的机构。
(检查单元10的结构)
图4是图1所示的检查装置1的检查单元10的俯视图。图5是图1所示的检查装置1的检查单元10的侧视图。图6是表示从图4所示的状态移开照相机5的状态的说明图。
如图1及图4所示，在检查装置1中，具备四台照相机5中的第一照相机51及第二照相机52的检查单元10在Y轴方向上排列为第一检查单元11及第二检查单元12。在此，第一检查单元11及第二检查单元12以穿过第一检查单元11和第二检查单元12之间并向X轴方向及Z轴方向延伸的面为中心对称地配置。因此，在以下说明中，主要对第一检查单元11及第二检查单元12中配置于Y轴方向的一侧Y1的第一检查单元11进行说明。
第一检查单元11在基座40的Z轴方向的另一侧Z2(上侧)具有第一电动机61、沿着X轴延伸的第一进给丝杠71以及由第一进给丝杠71沿X轴方向直线驱动的第一滑块81。另外，第一检查单元11在基座61的Z轴方向的另一侧Z2(上侧)具有沿着X轴方向延伸的第二进给丝杠72、由第二进给丝杠72沿X轴方向直线驱动的第二滑块82。在本实施方式中，第一进给丝杠71及第二进给丝杠72是滚珠丝杠，第一滑块81及第二滑块82是螺母。在此，第二进给丝杠72配置于比第一进给丝杠71靠X轴方向的一侧X1的位置。因此，第二滑块82位于比第一滑块81靠X轴方向的一侧X1的位置。
在第一滑块81上连接有在Y轴方向上延伸的第一照相机支架91。第一照相机支架91经由贯通孔49向Z轴方向的一侧Z1突出，将第一照相机51保持为朝向Z轴方向的一侧Z1。在第二滑块82上连接有第二照相机支架92，该第二照相机支架92在比第一照相机支架91靠X轴方向的一侧X1沿Y轴方向延伸。第二照相机支架92经由贯通孔49向Z轴方向的一侧Z1突出，将第二照相机52保持为朝向Z轴方向的一侧Z1。这样，第一照相机支架91与第一滑块81连接，第二照相机支架92与第二滑块82连接。因此，第一照相机51能够与第一滑块81一体地在X轴方向上移动，第二照相机52能够与第二滑块82一体地在X轴方向上移动。在第一照相机支架91和基座40之间及第二照相机支架92和基座40之间设置有两列沿X轴方向延伸的引导件41。
在本实施方式中，第一进给丝杠71及第二进给丝杠72均是形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。另外，第一进给丝杠71的旋转经由齿轮机构75传递给第二进给丝杠72。在此，齿轮机构75具有偶数个齿轮，在向第二进给丝杠72传递第一进给丝杠71的旋转时，使第二进给丝杠72沿与第一进给丝杠71相反的方向旋转。
在本实施方式中，如图5所示，第一电动机61的电动机轴经由联轴器712及旋转轴711与第一进给丝杠71连接，第一进给丝杠71被固定于基座40上的轴承710支承为能够旋转。第二进给丝杠72被固定于基座40上的轴承720支承为能够旋转。
齿轮机构75具备与第一进给丝杠71连接的第一齿轮751和与第二进给丝杠72连接的第二齿轮752，第一齿轮751和第二齿轮752啮合。更具体而言，第一进给丝杠71及第二进给丝杠72在X轴方向上向彼此分开的方向延伸，第一齿轮751设置于第一进给丝杠71的位于第二进给丝杠72侧的端部。第二齿轮752设置于第二进给丝杠72的位于第一进给丝杠71侧的端部，并与第一齿轮751啮合。第一齿轮751和第二齿轮752的齿数相同。
在这样构成的第一检查单元11中，当驱动第一电动机61时，通过比较图4和图6可知，第一照相机51及第二照相机52在X轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。此时，第一照相机51及第二照相机52在X轴方向上向相反方向移动相同距离。
此外，由于第二检查单元12与第一检查单元11同样地构成，所以省略其详细说明，但在第二检查单元12中，当驱动第一电动机61时，第一照相机51及第二照相机52也在X轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动相同距离。此时，第一照相机51及第二照相机52在X轴方向上移动相同距离。
(Y轴方向的驱动)
如图5所示，在第一检查单元11及第二检查单元12中，基座40具有在X轴方向的一侧X1的端部向Z轴方向的一侧Z1弯曲的侧板部45，在侧板部45和支承板31之间设置有分别在Y轴方向上直线驱动第一检查单元11及第二检查单元12的直线驱动装置14。此外，支承板31由后述的直线驱动装置15沿Z轴方向驱动。在本实施方式中，在基座40的Y轴方向的端部设置有切成圆弧状的加强板48。在本实施方式中，直线驱动装置14由沿Y轴方向直线驱动第一检查单元11的第一直线驱动装置141和沿Y轴方向直线驱动第二检查单元12的第二直线驱动装置142构成。在此，由于第一直线驱动装置141及第二直线驱动装置142具有相同结构，所以下面主要对第一直线驱动装置141进行说明。
如图1、图4及图5所示，第一直线驱动装置141具有作为驱动源固定于支承板31上的电动机145、由电动机145驱动的进给丝杠146以及由进给丝杠146直线驱动的滑块147，进给丝杠146被固定于基座40的侧板部45的轴承149支承为能够旋转。进给丝杠146沿Y轴方向延伸，滑块147固定于基座40的侧板部45。另外，进给丝杠146被固定于支承板31上的轴承支承为能够旋转。在本实施方式中，进给丝杠146是滚珠丝杠，滑块147是螺母。另外，如图1所示，在支承板31和基座40的侧板部4之间，在进给丝杠146的Z轴方向的两侧设置有沿Y轴方向延伸的引导件42。
因此，通过比较图4和图6可知，当驱动电动机145时，能够在Y轴方向上直线驱动基座40，所以能够在Y轴方向上直线驱动第一检查单元11。第二直线驱动装置142与第一直线驱动装置141在Y轴方向上朝向相反方向配置，但具有同样的结构。因此，省略第二直线驱动装置142的详细说明，但当驱动电动机145时，第二直线驱动装置142也能够在Y轴方向上直线驱动基座40，因此能够在Y轴方向上直线驱动第二检查单元12。因此，第一检查单元11及第二检查单元12能够在Y轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。因此，第一检查单元11的第一照相机51及第二检查单元12的第一照相机51在Y轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动，第一检查单元11的第二照相机52及第二检查单元12的第二照相机52在Y轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。
此时，如果对第一直线驱动装置141的电动机145及第二直线驱动装置142的电动机145施加相同信号，则第一检查单元11及第二检查单元12在Y轴方向上向相反方向移动相同距离。
(Z轴方向的驱动)
如图4及图5所示，在支承板31和框架30之间构成有在Z轴方向上驱动支承板31的直线驱动装置15。在本实施方式中，直线驱动装置15具有固定于框架30上的电动机155、由电动机155驱动的进给丝杠156以及由进给丝杠156直线驱动的滑块157。进给丝杠156沿Z轴方向延伸，滑块157固定于支承板31上。另外，进给丝杠156被固定于框架30上的轴承159支承为能够旋转。进给丝杠156是滚珠丝杠，滑块157是螺母。另外，在支承板31和框架30之间，在Y轴方向的两侧设置有在Z轴方向上延伸的引导件36(参照图4)。
在这样构成的直线驱动装置15中，因为当驱动电动机155时，能够沿Z轴方向驱动支承板31，所以能够沿Z轴方向驱动第一检查单元11及第二检查单元12。此外，电动机155的电动机轴经由旋转轴151及联轴器152与进给丝杠156连接。
(本实施方式的主要效果)
如上所述，在本实施方式的检查装置1中，即使在拍摄图2所示的显示面板100并对其进行检查后，如图3所示，拍摄比图2所示的显示面板的尺寸大的显示面板100并对其进行检查的情况下，如图6所示，在第一检查单元11及第二检查单元12中，当驱动第一电动机61时，也能够使第一照相机51及第二照相机52分别在X轴方向上向彼此分开的方向移动相同距离。另外，如果驱动第一直线驱动装置141的电动机145及第二直线驱动装置142的电动机145，则能够使第一检查单元11的第一照相机51及第二检查单元12的第一照相机51在Y轴方向上向彼此分开的方向移动相同距离，并使第一检查单元11的第二照相机52及第二检查单元12的第二照相机52在Y轴方向上向彼此分开的方向移动相同距离。因此，能够分别调整四台照相机5的位置，使其位于显示区域110的中心C。另外，通过直线驱动装置15，能够沿Z轴方向同时驱动第一检查单元11及第二检查单元12，因此，在图3所示的检查的情况下，可以使第一照相机51及第二照相机52在Z轴方向上与工作台2分离，以扩大视野。
另外，在本实施方式的检查装置1中，由第一电动机61驱动第一进给丝杠71并沿X轴方向驱动第一照相机51，另一方面，经由齿轮机构75将第一进给丝杠71的旋转传递给第二进给丝杠72，使第二进给丝杠72沿与第一进给丝杠71相反的方向旋转，使第二照相机52在X轴方向上向与第一照相机51相反的方向移动。因此，即使当用一台第一电动机61沿相反方向直线驱动第一照相机51及第二照相机52时，作为第一进给丝杠71及第二进给丝杠72，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。因此，在检查装置1中，具有能够以低成本进行第一照相机51及第二照相机52的X轴方向的驱动等优点。
另外，由于采用齿轮机构75包括与第一进给丝杠71一体地旋转的第一齿轮751、与第一齿轮751啮合且与第二进给丝杠72一体地旋转的第二齿轮752的方式，所以能够通过最少数量的齿轮使第二进给丝杠72沿与第一进给丝杠71相反的方向旋转。另外，第一进给丝杠71及第二进给丝杠72在X轴方向上向彼此分开的方向延伸，第一齿轮751设置于第一进给丝杠71的位于第二进给丝杠72侧的端部，第二齿轮752设置于第二进给丝杠72的位于第一进给丝杠71侧的端部。因此，具有即使在X轴方向上驱动第一照相机51及第二照相机52的行程较长的情况下，第一进给丝杠71及第二进给丝杠72也可以相对较短的优点。
[另一实施方式]
图7是本发明的另一实施方式所涉及的检查装置1的说明图，与图4相对应。在上述实施方式中，第一检查单元11及第二检查单元12的Y轴方向的驱动使用了两个电动机145，但如图7所示，第一检查单元11及第二检查单元12在Y轴方向的驱动与第一照相机51及第二照相机52在X轴方向上的驱动同样，也可以用一台第二电动机164进行第一检查单元11及第二检查单元12的Y轴方向的驱动。
具体而言，在支承板31上设置有第二电动机164、沿着Y轴延伸的第三进给丝杠171以及由第三进给丝杠171在Y轴方向上直线驱动的第三滑块181。另外，在支承板31上设置有沿着Y轴方向延伸的第四进给丝杠172和由第四进给丝杠172在Y轴方向上直线驱动的第四滑块182。在此，第四进给丝杠172配置于比第三进给丝杠171靠Y轴方向的另一侧Y2的位置，第四滑块182位于比第三滑块181靠Y轴方向的另一侧Y2的位置。第一检查单元11的基座40连接在第三滑块181上，第二检查单元12的基座40连接在第四滑块182上。在本实施方式中，第三进给丝杠171及第四进给丝杠172是滚珠丝杠，第三滑块181及第四滑块182是螺母。
第三进给丝杠171及第四进给丝杠172均是形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠。另外，经由齿轮机构175将第三进给丝杠171的旋转传递给第四进给丝杠172。齿轮机构175具有偶数个齿轮，当将第三进给丝杠171的旋转传递给第四进给丝杠172时，使第四进给丝杠172沿与第三进给丝杠171相反的方向旋转。在本实施方式中，省略了图示，但齿轮机构175具备与第三进给丝杠171连接的第三齿轮和与第四进给丝杠172连接的第四齿轮，第三齿轮和第四齿轮啮合。另外，第三齿轮和第四齿轮的齿数相同。
根据这样的结构，如果驱动一台第二电动机164，则第一检查单元11及第二检查单元12在Y轴方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动。在这种情况下，作为第三进给丝杠171及第四进给丝杠172，也可以使用形成有相同方向的螺旋槽的进给丝杠，因此具有能够以低成本进行第一检查单元11及第二检查单元12的Y轴方向的驱动等优点。
[其它实施方式]
尽管例示了检查对象物是显示面板100的情况，但本发明也可以应用于拍摄显示面板100以外的检查对象物并对其进行检查的检查装置。

Claims (6)

1.一种检查装置，其具备拍摄检查对象物的检查单元，其特征在于，
在所述检查单元中，设置有：
第一电动机；
第一进给丝杠，所述第一进给丝杠沿着第一方向延伸，由所述第一电动机驱动而旋转；
第一滑块，所述第一滑块由所述第一进给丝杠在所述第一方向上直线驱动；
第一照相机，所述第一照相机连接到所述第一滑块；
第二进给丝杠，所述第二进给丝杠是形成有与所述第一进给丝杠相同方向的螺旋槽的进给丝杠，且沿着所述第一方向延伸，所述第一进给丝杠的旋转经由齿轮机构向所述第二进给丝杠传递而使所述第二进给丝杠向与所述第一进给丝杠相反的方向旋转；
第二滑块，所述第二滑块由所述第二进给丝杠在所述第一方向上直线驱动；以及
第二照相机，所述第二照相机连接到所述第二滑块，
所述第一照相机及所述第二照相机通过所述第一电动机的驱动，在所述第一方向上向彼此接近的方向及彼此分开的方向移动，
所述检查单元在与所述第一方向正交的第二方向上排列为第一检查单元及第二检查单元，
针对所述第一检查单元设置有第一直线驱动装置，所述第一直线驱动装置以电动机为驱动源沿所述第二方向直线驱动所述第一检查单元，
针对所述第二检查单元设置有第二直线驱动装置，所述第二直线驱动装置以电动机为驱动源沿所述第二方向直线驱动所述第二检查单元，
所述第一照相机及所述第二照相机由所述第一直线驱动装置及所述第二直线驱动装置沿在所述第二方向上彼此接近的方向及彼此分开的方向驱动。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述齿轮机构包括与所述第一进给丝杠一体旋转的第一齿轮和与所述第一齿轮啮合且与所述第二进给丝杠一体旋转的第二齿轮。
3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，
所述第一进给丝杠及所述第二进给丝杠在所述第一方向上向彼此分开的方向延伸，
所述第一齿轮设置于所述第一进给丝杠的位于所述第二进给丝杠一侧的端部，
所述第二齿轮设置于所述第二进给丝杠的位于所述第一进给丝杠一侧的端部并与所述第一齿轮啮合。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其特征在于，
所述检查单元在与所述第一方向正交的第二方向上排列为第一检查单元及第二检查单元，
在所述检查单元中，设置有：
第二电动机；
第三进给丝杠，所述第三进给丝杠沿着所述第二方向延伸，由所述第二电动机驱动而旋转；
第三滑块，所述第三滑块由所述第三进给丝杠在所述第二方向上直线驱动，且连接有所述第一检查单元；
第四进给丝杠，所述第四进给丝杠是形成有与所述第三进给丝杠相同方向的螺旋槽的进给丝杠，且沿着所述第二方向延伸，所述第三进给丝杠的旋转经由齿轮机构向所述第四进给丝杠传递而使所述第四进给丝杠沿与所述第三进给丝杠相反的方向旋转；以及
第四滑块，所述第四滑块由所述第四进给丝杠沿所述第二方向直线驱动，且连接有所述第二检查单元，
通过所述第二电动机的驱动，沿在所述第二方向上彼此接近的方向及彼此分开的方向驱动所述第一检查单元及所述第二检查单元。
5.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述检查装置具有直线驱动装置，所述直线驱动装置在与所述第一方向及所述第二方向正交的第三方向上驱动所述第一检查单元及所述第二检查单元。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其特征在于，
所述检查对象物是显示面板，
所述检查单元拍摄所述显示面板点亮的状态。
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