JP2005128026A - カラー試料の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カラー試料を照射するための光源装置を有する光源部1と、カラー試料の透過光又は反射光を検出して認識する画像入力部2と、認識した画像を基準値と比較して欠陥の有無を判別する検査処理部3とを備え、画像入力部は、カラー試料の基板上に形成された着色画素の画像を入力するカメラ21,22を具備しており、検査処理部3は、検査の各命令及び制御を行う検査用のホストコンピュータ31と、画像入力部のカメラから入力した画像の処理を行うための画像処理装置33,34と、他の装置との通信用のインターフェース35とを具備してなる。
【選択図】図2
Description
(1)ラインセンサカメラ21、22よりカラーフィルタ基板上の着色パターンの画像を撮影して画像入力を行う。
(2)カメラ21,22から入力した画像に対し、画像処理装置33,34にて積算処理、1次微分処理、2次微分処理等を行って欠陥の検出をする。
(3)検査結果が良品の場合は、共通欠陥を判定するためのカウンタをリセットして次のカラーフィルタ基板の画像入力を行う。
(4)検査結果が不良品の場合は、検出した欠陥位置、欠陥個数等をラインコントローラ4にて記憶する。
(5)前の不良品のカラーフィルタ基板における不良位置との比較を行う。
(6)欠陥位置が異なる場合、共通欠陥を判定するためのカウンタをリセットして不良品のカラーフィルタ基板をリジェクトする。
(7)欠陥位置が一致するか、またはほぼ同じである場合、共通欠陥を判定するためのカウンタをカウントアップし、予め設定してある共通欠陥と判定すべきカウント数になったかどうかを比較する。
(8)共通欠陥と判定すべきカウント数になっていない場合、共通欠陥を判定するためのカウンタをそのままとして不良品のカラーフィルタ基板をリジェクトする。
(9)共通欠陥と判定すべきカウント数になっている場合、露光機の露光用マスクを交換する。
(10)共通欠陥判定の為のカウンタをリセットし、不良品のカラーフィルタ基板をリジェクトする。
(11)次のカラーフィルタ基板の画像入力を行う。
1 光源部
11 光源装置
12 光源
14 光学フィルタ
2 画像入力部
21,22 カメラ
23a 幅方向モータ
23b 前後進モータ
23c,23d 焦点用モータ
24 センサ支持機構制御部
25 駆動装置
3 検査処理部
31 ホストパーソナルコンピュータ
32 CRT
33,34 画像処理装置
35 インターフェース
4 ラインコントローラ
5 マスクチェンジャー
6 基板リジェクタ
Claims (1)
- カラー試料を照射するための光源装置を有する光源部と、カラー試料の透過光又は反射光を検出して認識する画像入力部と、認識した画像を基準値と比較して欠陥の有無を判別する検査処理部とを備え、画像入力部は、カラー試料の基板上に形成された着色画素の画像を入力するカメラを具備しており、検査処理部は、検査の各命令及び制御を行う検査用のホストコンピュータと、画像入力部のカメラから入力した画像の処理を行うための画像処理装置と、他の装置との通信用のインターフェースとを具備しており、検査の開始前には、カラー試料の製造工程を管理するラインコントローラから送信された基板サイズ及び検査許容値を含む品目データをインターフェース経由で受信してホストコンピュータに設定すると共に、そのホストコンピュータからの制御命令により基板サイズに合わせてカメラの位置及び焦点を調整するように構成されており、検査時には、検査処理部からラインコントローラへ検査結果をインターフェース経由で送信することにより品質管理情報として利用すると共に、共通欠陥を発見した場合に露光機の露光マスクを交換するためのマスクチェンジャーへのマスク交換命令の送信をインターフェース経由で行い、欠陥を検出した場合にその欠陥付きカラー試料の排出信号をインターフェース経由で基板リジェクタへ送信するように構成されていることを特徴とするカラー試料の検査装置。
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JP2020197440A (ja) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 検査装置 |
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