JP7257920B2 - 気相成長装置の基板搬送機構及び基板搬送方法 - Google Patents
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- サセプタに基板受け渡し位置で基板の設置及び取り出しを行う気相成長装置の基板搬送機構であって、
前記サセプタの、前記基板受け渡し位置に対応する位置には、円形の貫通孔である円孔部と、該円孔部を塞ぐ円盤状の基板載置台が設けられており、
前記基板受け渡し位置の上方には、基板ケースと基板受け渡し位置とを往復して基板を搬送する搬送アームによって基板受け渡し位置の直上に運ばれた基板の外周を支持可能な複数の爪部を有する上部チャックと、該上部チャックの上方に位置し、該上部チャックの前記爪部を通す切欠き部を有し、内径が基板の径に対応した円筒形状の上部カバーと、前記上部チャックの前記爪部を開閉可能な爪部開閉手段と、前記上部チャックを昇降可能な上部チャック昇降手段と、前記上部カバーを昇降可能な上部カバー昇降手段とを備え、
前記基板受け渡し位置の下方には、前記サセプタの下方に位置し、前記基板載置台を下方から把持する下部チャックと、該下部チャックを動作させる下部チャック動作部と、該下部チャックを昇降可能な下部昇降手段とを備えていることを特徴とする気相成長装置の基板搬送機構。 - 前記基板載置台は、前記円孔部よりも径が大きい基礎部と、該基礎部の上方に突出した、基板よりも径が小さい載置部と、該基礎部の下方に突出した、円孔部よりも外径が小さい円筒部とを備え、前記下部チャックは、前記下部チャック動作部によって動作する、水平方向へと放射状に伸縮して前記基板載置台の前記円筒部を内側から固定可能な複数の固定具を備えていることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置の基板搬送機構。
- 請求項1又は2に記載の気相成長装置の基板搬送機構を用いた基板搬送方法であって、
前記下部チャックが前記下部昇降手段により上昇して基板載置台を押し上げる第一工程と、
前記下部チャックが押し上げた基板載置台を前記下部チャック動作部により把持する第二工程と、
前記搬送アームが前記基板ケースから前記基板受け渡し位置の直上に基板を搬送する第三工程と、
前記上部チャックが前記上部チャック昇降手段により基板の高さまで下降する第四工程と、
下降した前記上部チャックが前記爪部開閉手段により前記爪部を閉じて基板の外周を支持することで基板を把持する第五工程と、
基板を把持した上部チャックが上部昇降シリンダによりわずかに上昇した後、前記搬送アームが前記基板受け渡し位置の直上から後退する第六工程と、
基板を把持した前記上部チャックが前記上部チャック昇降手段により押し上げられた前記基板載置台の高さまで下降する第七工程と、
前記上部カバーが前記上部カバー昇降手段により下降して該上部カバーの下端が基板の水平方向への移動を規制する第八工程と、
前記上部チャックの前記爪部開閉手段が前記爪部を開いて基板を前記基板載置台に載置する第九工程と、
前記上部カバー昇降手段により前記上部カバーが上昇する第十工程と、
前記上部チャック昇降手段により前記上部チャックが上昇する第十一工程と、
前記下部チャックが前記下部チャック動作部により基板載置台を把持した状態を解除する第十二工程と、
前記下部チャックが前記下部昇降手段により下降する第十三工程とを含むことを特徴とする気相成長装置の基板搬送方法。
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