JP6233712B2 - 気相成長装置及び被処理基板の支持構造 - Google Patents
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被処理基板を載置する載置面を有するサセプタと、載置面に載置された被処理基板を気相成長する反応容器と、を備える気相成長装置において、
被処理基板がウェーハであり、
サセプタは、載置面が水平又は略水平である水平状態から、載置面が上に凸の湾曲面となり、湾曲面の凸部に被処理基板が載置されると被処理基板の外周部と載置面が離間する湾曲状態に弾性変形可能であり、
外周部を支持して被処理基板を反応容器に対して搬入又は反応容器から搬出する搬送ロボットとサセプタとの被処理基板の受け渡し時に、外周部を支持する搬送ロボットとサセプタの接触を避けるためにサセプタを湾曲状態にし、搬送ロボットに被処理基板を凸部に載置させ、又は凸部に載置された被処理基板を受け取らせることを特徴とする。
サセプタを下方から支持するとともに、サセプタを上下に可動可能な可動支持部と、
上方に移動するサセプタに抗してサセプタの外縁部を保持可能なサセプタ保持部と、を備え、
水平状態のサセプタが可動支持部により上方に移動する際、サセプタ保持部が上方に移動するサセプタに抗して外縁部を保持することでサセプタが水平状態から湾曲状態に弾性変形することができる。
水平状態のサセプタが可動支持部により支持位置に固定される際、サセプタ保持部が支持位置に固定されたサセプタに抗して外縁部を下方に移動させることでサセプタが平坦状態から湾曲状態に弾性変形することができる。
被処理基板を載置する水平又は略水平の載置面を有するサセプタと、
サセプタを下方から支持するとともに、サセプタを上方に可動可能な可動支持部と、
上方に移動するサセプタに抗してサセプタの外縁部を保持可能なサセプタ保持部と、を備え、
被処理基板がウェーハであり、
サセプタを可動支持部により上方に移動する際、サセプタ保持部が上方に移動するサセプタに抗して外縁部を保持することで載置面が上に凸の湾曲面に弾性変形し、被処理基板の外周部と載置面が離間した状態で湾曲面の凸部に被処理基板を載置できることを特徴とする。
実施例として図1に示したサセプタ3及びサセプタサポート6を用いてエピタキシャルウェーハの作製を行った。サセプタ3は、厚さ2mm、直径373mmの炭化ケイ素製であり、サセプタ3の表面には基板を収容するための深さ0.76mm、直径303mmのザグリ部3bを設けた。エピタキシャルウェーハの作製条件としては、300mmのシリコン単結晶基板を準備した。そして、準備したシリコン単結晶基板をサセプタ3上に載置してシリコン単結晶基板上にエピタキシャル層を形成した。
従来例として、サセプタ3の中心軸O回りに等角度間隔にリフトピン用の小孔を3つ設けたサセプタを用い、サセプタ3及びサセプタサポート6以外は実施例と同じ条件でエピタキシャルウェーハの作製を行った。なお、シリコン単結晶基板をサセプタに載置する際、及びサセプタから受け取る際にはリフトピンを用いた。
3 サセプタ 3a 外縁部
3b ザグリ部 4 可動支持部
4a 支持軸 4b 可動機構
4c 支持腕部 5 サセプタ保持部
5a 保持軸 5b 可動機構
5c 保持腕部 12 搬送ロボット
13 第1アーム 14 第2アーム
W ウェーハ
Claims (6)
- 被処理基板を載置する載置面を有するサセプタと、前記載置面に載置された前記被処理基板を気相成長する反応容器と、を備える気相成長装置において、
前記被処理基板がウェーハであり、
前記サセプタは、前記載置面が水平又は略水平である水平状態から、前記載置面が上に凸の湾曲面となり、前記湾曲面の凸部に前記被処理基板が載置されると前記被処理基板の外周部と前記載置面が離間する湾曲状態に弾性変形可能であり、
前記外周部を支持して前記被処理基板を前記反応容器に対して搬入又は前記反応容器から搬出する搬送ロボットと前記サセプタとの前記被処理基板の受け渡し時に、前記外周部を支持する前記搬送ロボットと前記サセプタの接触を避けるために前記サセプタを前記湾曲状態にし、前記搬送ロボットに前記被処理基板を前記凸部に載置させ、又は前記凸部に載置された前記被処理基板を受け取らせることを特徴とする気相成長装置。 - 前記被処理基板の気相成長時には、前記水平状態の前記サセプタにより前記被処理基板を気相成長する請求項1に記載の気相成長装置。
- 前記サセプタを下方から支持するとともに、前記サセプタを上下に可動可能な可動支持部と、
上方に移動する前記サセプタに抗して前記サセプタの外縁部を保持可能なサセプタ保持部と、を備え、
前記水平状態の前記サセプタが前記可動支持部により上方に移動する際、前記サセプタ保持部が上方に移動する前記サセプタに抗して前記外縁部を保持することで前記サセプタが前記水平状態から前記湾曲状態に弾性変形する請求項1又は2に記載の気相成長装置。 - 前記可動支持部が前記サセプタ保持部に対して相対的に上方に移動することで前記サセプタが前記水平状態から前記湾曲状態に弾性変形する請求項3に記載の気相成長装置。
- 前記サセプタは炭化ケイ素で被覆されたグラファイト又は炭化ケイ素からなり、前記可動支持部及び前記サセプタ保持部は石英ガラスからなる請求項3又は4に記載の気相成長装置。
- 被処理基板を載置する水平又は略水平の載置面を有するサセプタと、
前記サセプタを下方から支持するとともに、前記サセプタを上方に可動可能な可動支持部と、
上方に移動する前記サセプタに抗して前記サセプタの外縁部を保持可能なサセプタ保持部と、を備え、
前記被処理基板がウェーハであり、
前記サセプタを前記可動支持部により上方に移動する際、前記サセプタ保持部が上方に移動する前記サセプタに抗して前記外縁部を保持することで前記載置面が上に凸の湾曲面に弾性変形し、前記被処理基板の外周部と前記載置面が離間した状態で前記湾曲面の凸部に前記被処理基板を載置できることを特徴とする被処理基板の支持構造。
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JP2014172539A JP6233712B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 気相成長装置及び被処理基板の支持構造 |
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