JP7254136B2 - 気流循環システム及びこれを備えた仕上げ研磨装置 - Google Patents
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Description
1.ロード部(Load)及びアンロード部(Unload)の場合、ファンフィルターユニット(FFU:Fan Filter Unit)によって上部から清浄空気を流入させる。
2.仕上げ研磨装置FPの内側下部で排気部(exhaust)を用いて装備内部の空気を外部に排出させる。
1 ハウジング
2 ロード部
3 アンロード部
4 研磨部
11 ダクト
12 エア排気部
12-1 排気ファン
12-2 カバー
13 除湿部
13-1 蒸発器
13-2 圧縮機
13-3 凝縮器
14 温度調整部
14-1 フレーム
14-2 ドライコイル
15 フィルター部
15-1 1次フィルター
15-2 2次フィルター
15-3 粉塵収集部
16 エア供給部
16-1 供給ファン
16-2 3次フィルター
Claims (10)
- ロード部、アンロード部及び脱イオン水(DIW:Delonized Water)及びスラリーを受ける多数の研磨部が内設されたハウジングを含む仕上げ研磨装置(FP:Final Polishing apparatus)内部の汚染度改善のための気流循環システムであって、
前記ロード部、前記アンロード部及び前記多数の研磨部のそれぞれの位置に対応する位置にそれぞれ設けられた多数の空気浄化部であって、前記ハウジング内部のウェハ研磨中に生じた汚染した空気を前記ハウジングの外部に排出させて浄化させた後、浄化した空気を再び前記ハウジングの内部に供給する空気浄化部を含み、
それぞれの空気浄化部は、
前記ハウジングの側面下部から前記ハウジングの上部まで連結されたダクトを通して空気を排気及び供給し、かつ前記脱イオン水及びスラリーの直接の流入を防止するためのカバーを先端に備え、ハウジング内の空気をハウジング外に排出するエア排気部と、
前記エア排気部の先端に位置し、前記ハウジングから排気された空気に含有された湿気を除去する除湿部と、
前記除湿部によって湿気が除去された空気を設定温度に調整する温度調整部と、
前記温度調整部によって設定温度に調整された空気から研磨粉塵を濾過するフィルター部と、
前記フィルター部によってフィルタリングされた空気をハウジングの内部に供給するエア供給部と、
を含む、気流循環システム。 - それぞれの前記空気浄化部は独立的に動作する、請求項1に記載の気流循環システム。
- 前記エア排気部は、
空気が移動する前記ダクトの先端部に設けられ、少なくとも一つからなる排気ファンと、
研磨作業の際に発生するスラリー(slurry)が前記排気ファンに直接流入することを防止するカバーとを含む、請求項1に記載の気流循環システム。 - 前記除湿部は、前記排気ファンの先端に設けられ、蒸発器、圧縮機及び凝縮器を含む、請求項3に記載の気流循環システム。
- 前記温度調整部は、
前記ダクトの内側面に接触して支持されるフレームと、
前記湿気の除去された空気が通るように前記フレームの内側に一定間隔で形成され、設定温度に調整されるドライコイルとを含む、請求項1に記載の気流循環システム。 - 前記フィルター部は、少なくとも一つのフィルターからなり、前記乾燥した空気の移動方向に沿って前記ダクトの内部に設けられる、請求項1に記載の気流循環システム。
- 前記フィルター部は、少なくとも一つのフィルターからなり、前記乾燥した空気の移動方向に沿って垂直方向に形成された前記ダクトの内部に着脱式で結合され、前記フィルター部が結合された前記ダクトの下部には前記フィルターによって濾過された研磨粉塵を収去する粉塵収集部をさらに備える、請求項1に記載の気流循環システム。
- 前記エア供給部は、空気が移動する前記ダクトの後端部に設けられ、前記研磨粉塵が除去された空気を前記ハウジングの上部から前記ハウジングの内側下部に供給する少なくとも一つからなる供給ファンを含む、請求項1に記載の気流循環システム。
- 前記エア供給部は、前記供給ファンの先端部に位置し、前記ハウジングの内側に供給される空気をもう一度フィルタリングさせる少なくとも一つのフィルターをさらに含む、請求項8に記載の気流循環システム。
- 請求項1に記載の気流循環システムを含む、仕上げ研磨装置。
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