KR20180080800A - 웨이퍼 연마챔버 - Google Patents

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KR20180080800A KR1020170001774A KR20170001774A KR20180080800A KR 20180080800 A KR20180080800 A KR 20180080800A KR 1020170001774 A KR1020170001774 A KR 1020170001774A KR 20170001774 A KR20170001774 A KR 20170001774A KR 20180080800 A KR20180080800 A KR 20180080800A
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오지향
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Abstract

웨이퍼 연마챔버의 일 실시예는, 웨이퍼 연마챔버에 있어서, 웨이퍼 이송부; 상정반과 하정반을 구비하고, 상기 웨이퍼 이송부로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 연마부; 상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 팬필터유닛(fan filter unit); 상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 배기유닛; 및 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 모니터링 시스템을 포함할 수 있다.

Description

웨이퍼 연마챔버{Wafer polishing chamber}
실시예는, 모니터링 시스템을 포함하는 웨이퍼 연마챔버에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
최근 반도체의 고집적화로 단위 면적 당 정보의 처리 및 저장 용량이 증가하게 되었고, 이는 반도체 웨이퍼의 대(大) 직경화와 회로선 폭의 미세화 및 배선의 다층화를 요구하게 되었다. 반도체 웨이퍼 위에 다층의 배선을 형성하기 위해서는 웨이퍼의 고평탄도가 요구되며, 이러한 고평탄도를 위하여 웨이퍼 평탄화 공정이 필요하다.
웨이퍼의 평탄화 공정의 하나로, 웨이퍼 연마공정이 있다. 웨이퍼 연마공정은 웨이퍼의 상하면을 연마패드로 연마하는 공정이다. 즉, 연마패드가 부착된 상정반과 하정반 사이에 연마대상인 웨이퍼를 배치하고, 상기 상정반 및/또는 하정반을 회전시켜 상기 웨이퍼의 상하면을 연마한다.
상기 웨이퍼 연마공정은 상기 상정반과 하정반을 포함하는 여러 장치가 구비되는 웨이퍼 연마챔버에서 진행될 수 있다.
한편, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에는 연마공정 진행 중 발생한 다량의 파티클이 존재할 수 있다. 이러한 파티클은 상기 웨이퍼에 부착되어 결함을 발생시키므로, 상기 파티클을 상기 연마챔버 외부로 원활하게 배출할 필요가 있다.
실시예는, 모니터링 시스템을 포함하는 웨이퍼 연마챔버에 관한 것이다.
실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 실시예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
웨이퍼 연마챔버의 일 실시예는, 웨이퍼 연마챔버에 있어서, 웨이퍼 이송부; 상정반과 하정반을 구비하고, 상기 웨이퍼 이송부로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 연마부; 상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 팬필터유닛(fan filter unit); 상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 배기유닛; 및 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 모니터링 시스템을 포함할 수 있다.
상기 팬필터유닛은, 상기 웨이퍼 이송부와 대향하도록 배치되는 제1유닛; 및 상기 연마부와 적어도 일부 대향되도록 배치되는 제2유닛을 포함하는 것일 수 있다.
상기 팬필터유닛은, 상기 배기유닛과 대향하지 않는 위치에 배치되는 것일 수 있다.
상기 모니터링 시스템은, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 복수로 구비되는 기류측정부; 상기 기류측정부와 전기적으로 연결되고, 상기 기류측정부로부터 전송받은 기류에 관한 정보를 디스플레이하는 모니터링부; 및 상기 기류측정부 및 상기 모니터링부와 전기적으로 연결되는 제어부를 포함하는 것일 수 있다.
상기 기류측정부는, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부를 유동하는 공기의 유속, 유량 및 유동방향 중 적어도 하나를 측정하는 것일 수 있다.
상기 기류측정부는 풍속계 또는 차압계로 구비되는 것일 수 있다.
웨이퍼 연마챔버의 일 실시예는, 상기 제어부와 전기적으로 연결되는 알람부를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 모니터링부와 상기 알람부는 상기 웨이퍼 연마챔버 외부에 장착되는 것일 수 있다.
상기 알람부는, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 작동하는 것일 수 있다.
상기 제어부는, 상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부에 작동신호를 전송하는 것일 수 있다.
상기 제어부는, 상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부에 작동신호를 전송하는 것일 수 있다.
상기 제어부는, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지하는 것일 수 있다.
상기 제어부는, 상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지하는 것일 수 있다.
웨이퍼 연마챔버의 다른 실시예는, 웨이퍼 연마챔버에 있어서, 웨이퍼 이송부; 상정반과 하정반을 구비하고, 상기 웨이퍼 이송부로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 연마부; 상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 팬필터유닛(fan filter unit); 상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 배기유닛; 및 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 모니터링 시스템을 포함하고, 상기 모니터링 시스템은, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 복수로 구비되는 기류측정부; 상기 기류측정부와 전기적으로 연결되고, 상기 기류측정부로부터 전송받은 기류에 관한 정보를 디스플레이하는 모니터링부; 상기 기류측정부 및 상기 모니터링부와 전기적으로 연결되는 제어부; 및 상기 제어부와 전기적으로 연결되는 알람부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부에 작동신호를 전송하는 것일 수 있다.
실시예에서 웨이퍼 연마챔버에 팬필터유닛을 제1유닛과 제2유닛으로 나누어 배치함으로써, 웨이퍼 연마챔버 내부 및 가공완료된 웨이퍼 표면에 존재하는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.
실시예에서는 상기 팬필터유닛과 상기 배기유닛을 상하방향으로 서로 대향하지 않도록 배치하여, 공기의 웨이퍼 연마챔버 내부에서의 유동거리를 상대적으로 길게하여, 공기가 파티클을 배기유닛으로 효과적으로 배출할 수 있도록 한다.
실시예의 모니터링 시스템은 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하여, 팬필터유닛 또는 배기유닛에 쌓인 파티클에 의해, 또는 복수의 팬필터유닛 또는 배기유닛의 일부 또는 전부가 비정상적으로 작동함으로 인해, 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는지 여부를 모니터링하여, 이로 인한 웨이퍼 제품불량에 효과적으로 대비할 수 있도록 한다.
실시예에서는, 웨이퍼 연마챔버에 모니터링 시스템을 장착하여 웨이퍼 연마챔버의 작동을 실시간으로 감시함으로써, 웨이퍼에 제품불량이 발생하기 전에 미리 비정상적으로 작동하는 웨이퍼 연마챔버를 정상작동하도록 조치하여, 웨이퍼 제품불량 발생을 현저히 억제할 수 있다.
도 1 및 도 2는 일 실시예의 웨이퍼 연마챔버를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 일 실시예의 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 일 실시예의 웨이퍼 연마챔버를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 실시예를 상세히 설명한다. 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 실시예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.
실시예의 설명에 있어서, 각 element의 "상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서 이용될 수도 있다.
도 1 및 도 2는 일 실시예의 웨이퍼 연마챔버를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 실시예의 웨이퍼 연마챔버는 이송부(100), 연마부(200), 팬필터유닛(300)(fan filter unit), 배기유닛(400) 및 모니터링 시스템(500)을 포함할 수 있다.
웨이퍼 이송부(100)는 연마대상인 웨이퍼를 웨이퍼 연마챔버 내부로 인입시키고, 연마가 완료된 웨이퍼를 웨이퍼 연마챔버 외부로 반출하는 역할을 할 수 있고, 로딩부(110)와 언로딩부(120)를 포함할 수 있다.
로딩부(110)는 잉곳(ingot) 형태에서 절단작업이 완료된 디스크 또는 판 형상의 웨이퍼를 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 인입시키는 부위이다. 언로딩부(120)는 연마가 완료된 웨이퍼를 웨이퍼 연마챔버 외부로 반출하는 부위이다.
상기 로딩부(110)와 언로딩부(120)에는 상기 웨이퍼를 인입 또는 반출하고, 상기 로딩부(110) 및 언로딩부(120)와 연마부(200) 사이에서 상기 웨이퍼를 이동시킬 수 있는 이송장비, 상기 웨이퍼를 집어올리거나 내려놓을 수 있는 장비 기타 웨이퍼를 취급하는데 필요한 장비들이 구비될 수 있다.
연마부(200)는 상기 이송부(100)로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 부위이고, 상기 웨이퍼 연마를 위한 상정반(210) 및 하정반(220)을 구비할 수 있다. 이때, 상기 하정반(220)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 장착하기 위한 복수의 장착홈이 배치될 수도 있다.
예를 들어, 상기 웨이퍼는 상정반(210)과 하정반(220) 사이에 배치되고, 상정반(210) 및/또는 하정반(220)이 회전함에 따라 상기 웨이퍼의 양면은 연마될 수 있다.
상정반(210)과 하정반(220)의 표면에는 연마패드가 배치될 수 있고, 이러한 연마패드들이 웨이퍼의 양면을 연마하는 방식으로 웨이퍼 연마공정이 진행될 수 있다.
예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 상정반(210)은 하나로, 상기 하정반(220)은 복수로 구비될 수 있고, 각각의 하정반(220)에는 표면조도(surface roughness)를 달리하는 연마패드가 배치되어 순차적으로 상기 웨이퍼를 연마하여 상기 웨이퍼 연마공정을 완료할 수 있다.
물론, 상기 하정반(220)의 개수는 웨이퍼 연마장치의 전체적인 구조, 연마대상인 웨이퍼의 크기 등을 고려하여 적절히 선택할 수 있다.
이와 달리, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 하정반(220)은 하나로, 상기 상정반(210)은 복수로 구비될 수 있고, 각각의 상정반(210)에는 표면조도를 달리하는 연마패드가 배치되어 순차적으로 상기 웨이퍼를 연마하여 상기 웨이퍼 연마공정을 완료할 수 있다.
또 다른 실시예로, 도시되지는 않았으나, 상기 상정반(210)과 하정반(220)이 모두 복수로 구비될 수도 있다.
팬필터유닛(300)은 상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 복수로 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 역할을 할 수 있다. 이때, 상기 팬필터유닛(300)은 필터(미도시)를 포함할 수 있고, 상기 필터는 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 유입되는 공기에 포함되는 먼지 등의 이물질로 구성되는 파티클(particle)을 제거하는 역할을 할 수 있다.
배기유닛(400)은 상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 복수로 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 역할을 할 수 있다. 상기 배기유닛(400)은 예를 들어, 배기관과 상기 배기관에 설치되는 밸브로 구비될 수 있고, 상기 밸브는 예를 들어, 유량조절 밸브일 수도 있다.
복수의 상기 배기유닛(400)은 배기박스(401)와 배관을 통해 연결되고, 상기 배기유닛(400)을 통해 상기 웨이퍼 연마챔버 내부를 빠져나온 공기는 상기 배기박스(401)를 통해 외부로 유출될 수 있다.
상기 웨이퍼 연마챔버 내부에는 연마공정 진행 중 많은 양의 파티클이 발생할 수 있다. 이러한 파티클은 연마되는 웨이퍼로부터 이탈되어 발생할 수 있고, 상기 상정반(210)에 공급되는 슬러리(slurry) 형태의 연마물질이 부유하여 발생할 수도 있으며, 하정반(220) 연마패드를 드레싱(dressing)하는 공정에서 고압의 순수(純水)를 분사하는 등에 의하여 순수에 포함된 파티클이 주변으로 분사되어 발생할 수 있고, 기타 다른 원인에 의해 발생할 수도 있다.
이러한 파티클들은 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 설치되는 각종 장비들의 작동에 악영향을 미칠 수 있고, 특히, 연마되는 웨이퍼의 표면에 부착될 수 있다.
웨이퍼 표면에 부착된 파티클들은 상기 연마공정이 진행될수록 상기 웨이퍼 표면에 강하게 부착되어 상기 웨이퍼 표면의 결함으로 남게 되는데 이를 연마유도결함(Polishing Induced Defect, PID)이라 한다.
이러한 연마유도 결함을 제거하기 위해, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부는 지속적인 환기를 통해 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 존재하는 파티클들을 외부로 배출시킬 필요가 있다.
이러한 이유로, 상기 팬필터유닛(300)과 상기 배기유닛(400)을 상기 웨이퍼 연마챔버에 설치하여 상기 웨이퍼 연마챔버 내부를 지속적으로 환기하여 연마공정 진행 중 발생하는 파티클을 외부로 배출시킬 수 있다.
이때, 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 팬필터유닛(300)은 상기 웨이퍼 연마챔버의 상부에 설치될 수 있고, 상기 배기유닛(400)은 상기 웨이퍼 연마챔버의 하부에 설치될 수 있다.
상기 팬필터유닛(300)은 제1유닛(310) 및 제2유닛(320)을 포함할 수 있다. 상기 제1유닛(310)은 상기 웨이퍼 이송부(100)와 상하방향으로 대향하도록 배치되어 상기 웨이퍼 이송부(100)에서 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼에 부착된 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.
특히, 제1유닛(310)은 가공이 완료되어 언로딩부(120)에 의해 웨이퍼 연마챔버를 빠져나가는 웨이퍼에 다시 한번 공기를 분사하여 웨이퍼에 부착된 파티클을 제거함으로써, 가공 완료된 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.
제2유닛(320)은 상기 연마부(200)와 상하방향으로 적어도 일부 대향되도록 배치되어 연마부(200)에서 발생하는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.
실시예에서 웨이퍼 연마챔버에 팬필터유닛(300)을 제1유닛(310)과 제2유닛(320)으로 나누어 배치함으로써, 웨이퍼 연마챔버 내부 및 가공완료된 웨이퍼 표면에 존재하는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.
파티클은 연마과정에서 제일 많이 발생하므로, 파티클에 의한 연마유도결함을 효과적으로 억제하기 위해, 파티클이 제일 많이 발생하는 연마부(200)의 상측에 제2유닛(320)을 배치하여 연마과정에서 발생하는 파티클들을 제거함이 적절하다.
상기 팬필터유닛(300)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 배기유닛(400)과 상하방향으로 대향하지 않는 위치에 배치되는 것이 적절하다. 팬필터유닛(300)과 배기유닛(400)이 상하방향으로 대향되도록 배치된다면 웨이퍼 연마챔버 내부에 존재하는 파티클이 효과적으로 외부로 배출되지 않기 때문이다.
즉, 팬필터유닛(300)으로부터 유입되는 공기는 웨이퍼 연마챔버 내부를 일정거리 유동하여 웨이퍼 연마챔버 내부에 존재하는 파티클을 배기유닛(400)으로 배출하는 것이 효과적이다.
만약, 팬필터유닛(300)과 배기유닛(400)이 상하방향으로 대향되도록 배치되는 경우, 팬필터유닛(300)으로 유입되는 공기는 팬필터유닛(300)과 대향된 배기유닛(400)으로 막바로 빠져나가게 되고, 공기의 웨이퍼 연마챔버 내부에서의 유동거리는 현저히 짧아지므로, 공기가 파티클을 배기유닛(400)으로 효과적으로 배출할 수 없다.
따라서, 실시예에서는 상기 팬필터유닛(300)과 상기 배기유닛(400)을 상하방향으로 서로 대향하지 않도록 배치하여, 공기의 웨이퍼 연마챔버 내부에서의 유동거리를 상대적으로 길게하여, 공기가 파티클을 배기유닛(400)으로 효과적으로 배출할 수 있도록 한다.
실시예에서, 상기 팬필터유닛(300)과 상기 배기유닛(400)을 상하방향으로 서로 대향하지 않도록 배치함으로써, 공기는 상기 팬필터유닛(300)과 상기 배기유닛(400) 사이에서 도 2에서 화살표로 도시된 바와 같이 유동할 수 있다.
이하에서는, 도 2 내지 도 4를 참조하여 실시예의 모니터링 시스템(500)에 대하여 구체적으로 설명한다. 도 3은 일 실시예의 모니터링 시스템(500)을 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 일 실시예의 웨이퍼 연마챔버를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
모니터링 시스템(500)은 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 역할을 할 수 있다.
웨이퍼 연마챔버 내부로 유입되는 공기에 포함되는 파티클, 웨이퍼 연마공정에서 발생하여 웨이퍼 연마챔버 내부에 존재하는 파티클은 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)에 흡착되어 쌓일 수 있다.
팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)에 쌓이는 파티클의 양이 많아질수록, 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동은 방해를 받을 수 있고, 심한 경우 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 중 일부 또는 전부가 파티클에 의해 막혀 웨이퍼 챔버 내부의 공기유동이 극심하게 방해받거나 정지될 수도 있다.
한편, 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)의 일부 또는 전부가 비정상적으로 작동하여 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우, 웨이퍼 연마챔버를 구성하는 각종의 장치에 영향을 줄 수 있고, 이는 가공된 웨이퍼의 제품불량의 원인이 될 수 있다.
따라서, 실시예의 모니터링 시스템(500)은 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하여, 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)에 쌓인 파티클에 의해, 또는 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)의 일부 또는 전부가 비정상적으로 작동함으로 인해, 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는지 여부를 모니터링하여, 이로 인한 웨이퍼 제품불량에 효과적으로 대비할 수 있도록 한다.
상기 모니터링 시스템(500)은 기류측정부(510), 모니터링부(520), 제어부(530) 및 알람부(540)를 포함할 수 있다.
기류측정부(510)는 상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 복수로 구비되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부를 유동하는 공기의 유속, 유량 및 유동방향 중 적어도 하나를 측정할 수 있다.
상기 기류측정부(510)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 가까이 배치되고, 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 각각에 적어도 하나 배치되어, 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 전부에 대해 공기의 유동상태를 측정할 수 있다.
상기 기류측정부(510)는 풍속계 또는 차압계로 구비될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 공기의 유속, 유량, 유동방향 등을 측정할 수 있는 것이라면 어떠한 장치도 사용할 수 있다.
모니터링부(520)는 상기 기류측정부(510)와 전기적으로 연결되고, 상기 기류측정부(510)로부터 전송받은 기류에 관한 정보를 디스플레이할 수 있다. 따라서, 상기 모니터링부(520)를 통해, 작업자는 기류에 관한 정보 즉, 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 각각에서의 공기의 유속, 유량, 유동방향에 관한 정보를 알 수 있다.
제어부(530)는 상기 기류측정부(510) 및 상기 모니터링부(520)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 제어부(530)는, 상기 모니터링부(520)와 마찬가지로, 상기 기류측정부(510)로부터 기류에 관한 정부 즉, 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400) 각각에서의 공기의 유속, 유량, 유동방향에 관한 정보를 전송받을 수 있다.
상기 제어부(530)는 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지할 수 있다. 이때, 설정범위는 웨이퍼 연마챔버 내부에서 유동하는 공기의 유속, 유량 및 유동방향 중 적어도 하나에 대하여 설정된 하한치와 상한치를 가진 수치범위를 의미한다.
따라서, 상기 제어부(530)는 상기 기류측정부(510)로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지할 수 있다.
팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)에 쌓인 파티클에 의해, 또는 복수의 팬필터유닛(300) 또는 배기유닛(400)의 일부 또는 전부가 비정상적으로 작동함으로 인해, 웨이퍼 연마챔버 내부에서 유동하는 공기는 상기 설정범위를 벗어날 수 있고, 설정범위를 벗어나면 웨이퍼 연마챔버의 고장발생, 웨이퍼 연마챔버에서 가공되는 웨이퍼의 제품불량 등이 발생할 수 있다.
따라서, 웨이퍼 연마챔버 내부에서 유동하는 공기가 상기 설정범위를 벗어남으로 인한, 웨이퍼 연마챔버의 고장, 웨이퍼의 제품불량 등의 발생을 억제하기 위해, 제어부(530)는 상기 설정범위를 벗어나면 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지할 수 있다.
알람부(540)는 상기 제어부(530)와 전기적으로 연결되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 작동할 수 있다. 이때, 알람의 방식은 경고음, 경고등 기타 작업자가 인식할 수 있는 다양한 방식을 사용할 수 있다.
상기 제어부(530)는 상기 기류측정부(510)로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부(540)에 작동신호를 전송할 수 있다.
상기 제어부(530)로부터 작동신호를 전송받은 알람부(540)는 알람을 울려, 웨이퍼 연마챔버가 비정상으로 작동함을 작업자에게 알릴 수 있다.
따라서, 웨이퍼 연마챔버 내부에서 유동하는 공기가 상기 설정범위를 벗어나는 경우, 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동이 중지됨과 동시에 알람부(540)가 작동하여 알람을 울리므로, 작업자는 문제가 발생한 웨이퍼 연마챔버에 대하여 정상작동을 위한 보수 등의 신속한 조치를 취할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 모니터링부(520)와 상기 알람부(540)는 상기 웨이퍼 연마챔버 외부에 장착될 수 있다. 웨이퍼 연마챔버는 특정장소에 복수로 설치될 수 있다.
특정장소에 복수로 배치된 웨이퍼 연마챔버 각각에 대해 상기 특정장소게 있는 작업자가 모니터링할 필요가 있으므로, 상기 모니터링부(520)는 복수의 웨이퍼 연마챔버 각각의 외부에 장착될 필요가 있다.
또한, 복수로 배치된 웨이퍼 연마챔버들 중 어느 것이 비정상적으로 작동하는지를 상기 특정장소에 있는 작업자가 신속하게 찾아내고, 이에 대한 신속한 조치를 취하기 위해, 상기 알람부(540)는 복수의 웨이퍼 연마챔버 각각의 외부에 장착될 필요가 있다.
종래에는 가공 즉, 연마가 완료된 웨이퍼에서 제품불량이 발생한 경우, 상기 웨이퍼가 가공된 웨이퍼 연마챔버에 이상이 있는지 여부를 작업자가 수동으로 검사하였다.
실시예에서는, 웨이퍼 연마챔버에 모니터링 시스템(500)을 장착하여 웨이퍼 연마챔버의 작동을 실시간으로 감시함으로써, 웨이퍼에 제품불량이 발생하기 전에 미리 비정상적으로 작동하는 웨이퍼 연마챔버를 정상작동하도록 조치하여, 웨이퍼 제품불량 발생을 현저히 억제할 수 있다.
실시예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.
100: 웨이퍼 이송부
200: 연마부
300: 팬필터유닛
310: 제1유닛
320: 제2유닛
400: 배기유닛
401: 배기박스
500: 모니터링 시스템
510: 기류측정부
520: 모니터링부
530: 제어부
540: 알람부

Claims (13)

  1. 웨이퍼 연마챔버에 있어서,
    웨이퍼 이송부;
    상정반과 하정반을 구비하고, 상기 웨이퍼 이송부로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 연마부;
    상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 팬필터유닛(fan filter unit);
    상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 배기유닛; 및
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 모니터링 시스템
    을 포함하는 웨이퍼 연마챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 팬필터유닛은,
    상기 웨이퍼 이송부와 대향하도록 배치되는 제1유닛; 및
    상기 연마부와 적어도 일부 대향되도록 배치되는 제2유닛
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 팬필터유닛은,
    상기 배기유닛과 대향하지 않는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템은,
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 복수로 구비되는 기류측정부;
    상기 기류측정부와 전기적으로 연결되고, 상기 기류측정부로부터 전송받은 기류에 관한 정보를 디스플레이하는 모니터링부; 및
    상기 기류측정부 및 상기 모니터링부와 전기적으로 연결되는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기류측정부는,
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부를 유동하는 공기의 유속, 유량 및 유동방향 중 적어도 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기류측정부는 풍속계 또는 차압계로 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제어부와 전기적으로 연결되는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 모니터링부와 상기 알람부는 상기 웨이퍼 연마챔버 외부에 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 알람부는,
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 작동하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부에 작동신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  11. 제4항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동이 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 웨이퍼 연마챔버의 작동을 중지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마챔버.
  13. 웨이퍼 연마챔버에 있어서,
    웨이퍼 이송부;
    상정반과 하정반을 구비하고, 상기 웨이퍼 이송부로부터 이송된 상기 웨이퍼를 연마하는 연마부;
    상기 웨이퍼 연마챔버 상부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 내부로 공기를 유입하는 팬필터유닛(fan filter unit);
    상기 웨이퍼 연마챔버 하부에 배치되고, 상기 웨이퍼 연마챔버 외부로 공기를 배출하는 배기유닛; 및
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부의 공기유동 상태를 모니터링하는 모니터링 시스템
    을 포함하고,
    상기 모니터링 시스템은,
    상기 웨이퍼 연마챔버 내부에 복수로 구비되는 기류측정부;
    상기 기류측정부와 전기적으로 연결되고, 상기 기류측정부로부터 전송받은 기류에 관한 정보를 디스플레이하는 모니터링부;
    상기 기류측정부 및 상기 모니터링부와 전기적으로 연결되는 제어부; 및
    상기 제어부와 전기적으로 연결되는 알람부
    를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 기류측정부로부터 전달받은 공기의 유속, 유량 및 유동방향에 관한 정보 중 적어도 하나가 설정범위를 벗어나는 경우 상기 알람부에 작동신호를 전송하는 웨이퍼 연마챔버.
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