JP7242666B2 - 撮像装置およびその製造方法、電子機器 - Google Patents
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Description
また、本開示の一実施形態としての電子機器は、上記撮像装置を備えたものである。
(A)第1の方向を厚さ方向とすると共に第1の方向と直交する水平面に沿って広がる面指数{111}で表される第1の結晶面を有するSi{111}基板を用意すること。
(B)Si{111}基板に、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部を形成すること。
(C)Si{111}基板に、光電変換部から転送される電荷を保持する電荷保持部を形成すること。
(D)第1の方向において光電変換部と電荷保持部との間に位置すると共に水平面に沿って広がる水平遮光部分とその水平遮光部分と直交する垂直遮光部分とを含む遮光部を形成すること。
ここで、Si{111}基板に対しエッチング溶液を用いた結晶異方性エッチングを行い、第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表されるSi{111}基板の第1の結晶面と、第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表されるSi{111}基板の第2の結晶面とをそれぞれ形成することにより、第1の結晶面に沿った第1の面および第2の結晶面に沿った第2の面を含む水平遮光部分を形成する。
なお、本開示の効果はこれに限定されるものではなく、以下に記載のいずれの効果であってもよい。
1.第1の実施の形態
水平遮光部分が占める階層において島状のSi残存領域を有する固体撮像装置の例。
2.第2の実施の形態
水平遮光部分が占める階層において帯状のSi残存領域を有する固体撮像装置の例。
3.第3の実施の形態
追加の遮光部をさらに備えた固体撮像装置の例。
4.第4の実施の形態
遮光部と素子分離部とが一体化した構造を有する固体撮像装置の例。
5.第4の実施の形態の変形例
遮光部と素子分離部とが一体化しており、帯状のSi残存領域には垂直遮光部分のみが存在するようにした固体撮像装置の例。
6.第5の実施の形態
3次元構造を有する固体撮像装置の例。
7.第6の実施の形態
半導体基板の裏面側からのエッチングにより水平遮光部分と素子分離部とが一体化しており、この水平遮光部分と素子分離部とを遮光部として有する固体撮像装置の例。
8.第6の実施の形態の変形例
追加の遮光部をさらに備えた固体撮像装置の例。
9.第6の実施の形態の変形例
垂直遮光部分をさらに備えた固体撮像装置の例。
10.第6の実施の形態の変形例
3次元構造を有する固体撮像装置の例。
11.電子機器への適用例
12.移動体への適用例
13.その他の変形例
[固体撮像装置101の構成]
図1は、本技術の第1の実施の形態に係る固体撮像装置101の機能の構成例を示すブロック図である。
次に、図2を参照して、図1の画素アレイ部111に形成されるセンサ画素121の回路構成例について説明する。図2は、画素アレイ部111の1つのセンサ画素121の回路構成例を示している。
次に、図6Aから図6Iを参照して、固体撮像装置101の製造方法の一例について説明する。なお、ここでは、主に遮光部12を形成する工程について説明する。
このように、本実施の形態の固体撮像装置101では、センサ画素121同士の境界位置に垂直遮光部分12Vを設けるようにした。このため、一のセンサ画素121から、それと隣接する他のセンサ画素121へ漏れた光が他のセンサ画素121の光電変換部51へ入射し、混色等のノイズが発生するのを防止することができる。
[固体撮像装置102の構成]
図7は、本技術の第2の実施の形態に係る固体撮像装置102における画素アレイ部111の一部領域を拡大して表す平面図であり、互いに近接する4つのセンサ画素121A~121Dの構成を模式的に表している。なお、図7は第1の実施の形態の図5Bに対応するものであり、主に遮光部12の形状を実線で示している。
[固体撮像装置103の構成]
図8は、本技術の第3の実施の形態に係る固体撮像装置103における画素アレイ部111の一部領域を拡大して表す平面図であり、互いに近接する4つのセンサ画素121A~121Dの構成を模式的に表している。なお、図8は第1の実施の形態の図5Bに対応するものであり、主に遮光部12および遮光部24(後出)の形状を実線で示している。また、図9Aは、図8に示したIXA-IXA 線に沿った矢視方向の断面を表し、図9Bは、図8に示したIXB-IXB 線に沿った矢視方向の断面を表し、図9Cは、図8に示したIXC-IXC 線に沿った矢視方向の断面を表している。なお、図9A~図9Bでは、遮光部24の近傍のみを表し、一部の構成要素の記載を省略している。さらに、図10は、固体撮像装置103における、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの構成を模式的に表す斜視図であり、第1の実施の形態の図3に対応するものである。
ここでは、図11A~図11Dおよび図12A~図12Dを参照して、遮光部12および遮光部24の形成工程について説明する。図11A~図11Dは、遮光部12の形成工程を表す要部断面図であり、図9Aに対応するものである。図12A~図12Dは、遮光部24の形成工程を表す要部断面図であり、図9Bに対応するものである。
絶縁材料からなる。但し、絶縁層25と絶縁層26とは、互いに異なる材料からなることが望ましい。
このように、本実施の形態の固体撮像装置103では、平面視において遮光部12の水平遮光部分12Hが形成されていないSi残存領域23と重複する領域に、追加の遮光部24をさらに設けるようにした。このため、各センサ画素121において光電変換部51に吸収されずに光電変換部51を透過した光がMEM54へ入射するのをよりいっそう妨げることができる。よって、ノイズの発生をよりいっそう防止することができる。
[固体撮像装置104の構成]
図13は、本技術の第4の実施の形態に係る固体撮像装置104における画素アレイ部111の一部領域を拡大して表す断面図である。なお、図13は第1の実施の形態の図4Aに対応するものであり、主にセンサ画素121Aの構造を示している。
ここでは、図14A~図14Hを参照して、遮光部31および固相拡散層19の形成工程について説明する。図14A~図14Hは、遮光部31および固相拡散層19の形成工程を表す要部断面図であり、図13に対応するものである。
ち、その絶縁層32をハードマスクとして用いて半導体基板11を構成するSi{111}をドライエッチバックにより一部除去する。このときのトレンチ31T1の深さが、後に形成される垂直遮光部分31Vのうちの水平遮光部分31Hよりも上の部分におけるZ軸方向の寸法となる。次に、トレンチ31T1の側面31TAおよび底面31TBを覆うように絶縁層32をさらに形成する。そののち、ドライエッチバックにより、絶縁層32のうち底面31TBを覆う部分のみを除去する。
このように、本実施の形態の固体撮像装置104は、MEM54に対する遮光を行うと共に、隣り合う光電変換部51同士を隔てる素子分離部としても機能する遮光部31を備えるようにしたので、構造および製造プロセスの簡素化が図れる。さらに、固体撮像装置104は、表面11Aから裏面11Bに至るまで延在する遮光部31の周囲にpn接合を含む固相拡散層19を設けるようにしたので、画素容量Qsの向上が期待できる。
[固体撮像装置104Aの構成]
図15は、第4の実施の形態の変形例としての固体撮像装置104Aにおける画素アレイ部111の一部領域を拡大して表す平面図であり、互いに近接する4つのセンサ画素121A~121Dの構成を模式的に表している。なお、図15は第1の実施の形態の図5Bに対応するものであり、主に遮光部31の形状を実線で示している。
ここでは、図16A~図16Dを参照して、帯状のSi残存領域23における、垂直遮光部分31Vのみを有する遮光部31を形成する方法について説明する。図16A~図16Dは、図15に示したXVI-XVI線に沿った矢視方向の断面に相当する断面図である。帯状のSi残存領域23以外の領域に形成される遮光部31の形成方法は、上記第4の実施の形態と同様であるので省略する。
このように、本変形例としての固体撮像装置104Aによれば、上記第1の実施の形態に係る固体撮像装置101のSi残存領域22の面積と比較してSi残存領域23の面積が大きいので、空間31Zを形成する際の機械的強度を高めることができる。また、固体撮像装置104Aの製造方法によれば、固体撮像装置104Aの製造が実現できる。
[固体撮像装置105の構成]
図17は、本技術の第5の実施の形態に係る固体撮像装置105における、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの構成の一部を模式的に表す斜視図であり、第1の実施の形態の図3に対応するものである。また、図18は、固体撮像装置105の断面構成を表すものである。
次に、図19A~図19Dを参照して、固体撮像装置105の製造方法について説明する。図19A~図19Dは、固体撮像装置105の製造工程を表す断面図であり、図18に対応するものである。
このように、固体撮像装置105では、読み出し回路CR2を含む第2基板BP2や、ロジック回路CR3を含む第3基板BP3を、センサ画素121を含む第1基板BP1とは別体として形成したのち、それら第1~第3基板BP1~BP3を積層することができる。そのため、読み出し回路CR2やロジック回路CR3は汎用品を使用できるので、設計上の自由度が高まるうえ、製造コストの抑制が期待できる。
[固体撮像装置106の構成]
図20は、本技術の第6の実施の形態に係る固体撮像装置106における、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの構成を模式的に表す斜視図である。図21は、センサ画素121A,121Bの断面構成を模式的に表すものである。
次に、図22A~22Fを参照して、固体撮像装置106の製造方法の一例について説明する。
このように、本実施の形態の固体撮像装置106は、第1の実施の形態などにおける垂直遮光部分12Vを設けずに、素子分離部13を兼ねる垂直遮光部分91Vと、水平遮光部分91Hとからなる遮光部91を備えるようにした。このため、半導体基板11の表面11A側におけるレイアウトの自由度を向上させることが可能となる。一例として、垂直遮光部分12V分、電荷保持部(MEM)54の形成領域を拡大することができる。
[固体撮像装置106Aの構成]
図23は、第6の実施の形態の変形例としての固体撮像装置106Aにおける、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの断面構成を模式的に表すものである。
次に、図24A~24Dを参照して、固体撮像装置106Aの製造方法の一例について説明する。
このように、本変形例としての固体撮像装置106Aでは、平面視において遮光部91の水平遮光部分91Hが形成されていないSi残存領域23と重複する領域に、追加の遮光部93をさらに設けるようにした。このため、第6の実施の形態の効果に加えて、各センサ画素121において光電変換部51に吸収されずに光電変換部51を透過した光がMEM54へ入射するのをよりいっそう妨げることができる。よって、ノイズの発生をよりいっそう防止することができる。
<9.第6の実施の形態の変形例>
[固体撮像装置106Bの構成]
図25は、第6の実施の形態の変形例としての固体撮像装置106Bにおける、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの断面構成を模式的に表すものである。
次に、図26A~26Cを参照して、固体撮像装置106Bの製造方法の一例について説明する。
このように、本変形例としての固体撮像装置106Bでは、遮光部92をさらに設け、遮光部92を構成するトレンチ92Tを、半導体基板11の表面11A側から別途形成するようにした。これにより、例えば、トレンチ92Tの周囲に、固相拡散層19とは異なる不純物濃度を有する固相拡散層99を形成することが可能となる。例えば、光電変換部51とは独立して、電荷保持部(MEM)54に適した不純物濃度や不純物材料を含む固相拡散層99を形成できるようになる。よって、第4の実施の形態の効果に加えて、それぞれに最適なプロファイル形成が可能となる。
[固体撮像装置106Cの構成]
図27は、第6の実施の形態の変形例としての固体撮像装置106Cにおける、隣り合う任意の2つのセンサ画素121A,121Bの断面構成を模式的に表すものである。
このように、固体撮像装置106Cでは、第5の実施の形態の固体撮像装置105と同様に、読み出し回路CR2を含む第2基板BP2や、ロジック回路CR3を含む第3基板BP3を、センサ画素121を含む第1基板BP1とは別体として形成したのち、それら第1~第3基板BP1~BP3を積層することができる。そのため、読み出し回路CR2やロジック回路CR3は汎用品を使用できるので、設計上の自由度が高まるうえ、製造コストの抑制が期待できる。
図28は、本技術を適用した電子機器としてのカメラ2000の構成例を示すブロック図である。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
以上、いくつかの実施の形態および変形例を挙げて本開示を説明したが、本開示は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記第1の実施の形態では、柱状のエッチングストッパ17を有する固体撮像装置101について説明したが、エッチングストッパの形状はこれに限定されるものではない。例えば図31に示した固体撮像装置107のように、Y軸に沿って延在する壁状のエッチングストッパ37を設けるようにしてもよい。この場合、開口12Kは略六角形となる。垂直端子部52Vを形成するための領域面積を十分に確保したい場合には、固体撮像装置107のように遮光部12の垂直遮光部分12Vと平行にY軸方向へ延在するエッチングストッパ37を設けるとよい。一方、開口12Kの領域面積をより小さくするためには、上記第1の実施の形態の固体撮像装置101のように、XY面内における占有面積の小さな形状のエッチングストッパ17を設けるとよい。
(1)
第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がる面指数{111}で表される第1の結晶面を有するSi{111}基板と、
前記Si{111}基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si{111}基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分、および前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分、を含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、
前記第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第1の結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
撮像装置。
(2)
前記水平遮光部分は、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面に沿った第3の面をさらに含む
上記(1)記載の撮像装置。
(3)
前記垂直遮光部分は、前記第1の方向と直交する第2の方向に延在している
上記(2)記載の撮像装置。
(4)
前記Si{111}基板の<110>方向へのエッチングを行うことのできるエッチング溶液に対しエッチング耐性を示すエッチングストッパをさらに有する
上記(1)から(3)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(5)
前記エッチングストッパは、不純物元素、結晶欠陥構造または絶縁体である
上記(4)記載の撮像装置。
(6)
前記第1の方向と直交する面内において前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域は、島状または帯状をなしている
上記(1)から(3)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(7)
前記第1の方向と直交する面内において前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域に設けられ、前記光電変換部から前記電荷保持部へ移動する電荷が通過する、前記第1の方向に延在する垂直電極
をさらに有する
上記(1)から(6)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(8)
前記遮光部は、前記第1の方向において前記水平遮光部分と異なる位置に設けられて前記水平面に沿って広がる追加水平遮光部分をさらに含む
上記(1)から(7)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(9)
前記追加水平遮光部分は、前記第1の方向と直交する面内のうち前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域と前記第1の方向において重なり合う領域に設けられている
上記(8)記載の撮像装置。
(10)
前記垂直遮光部分は、前記Si{111}基板のうちの、前記水平遮光部分から見て前記光電変換部と反対に位置する表面に露出している
上記(1)から(9)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(11)
前記第1の方向において前記水平遮光部分と異なる位置に設けられて前記水平面に沿って広がる追加水平遮光部分と、前記追加水平遮光部分と直交する追加垂直遮光部分とを含む追加遮光部、をさらに有する
上記(10)記載の撮像装置。
(12)
前記追加水平遮光部分は、前記第1の方向と直交する面内のうち前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域と前記第1の方向において重なり合う領域に設けられている
上記(11)記載の撮像装置。
(13)
前記追加垂直遮光部分は、前記Si{111}基板のうちの前記表面と反対に位置する裏面に露出している
上記(11)または(12)に記載の撮像装置。
(14)
前記垂直遮光部分の周囲にはP型またはN型の不純物が拡散した半導体領域がさらに設けられており、
前記半導体領域は、前記水平遮光部分を挟んで互いに不純物濃度および不純物材料の少なくとも一方が異なっている
上記(1)から(13)のいずれか1つに記載の撮像装置。
(15)
撮像装置を備えた電子機器であって、
前記撮像装置は、
第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がるSi{111}基板と、
前記Si{111}基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si{111}基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分と、前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分とを含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、
前記第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第1の結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
電子機器。
(16)
前記水平遮光部分は、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面に沿った第3の面をさらに含む
上記(15)記載の電子機器。
(17)
第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がるSi{111}基板を用意することと、
前記Si{111}基板に、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部を形成することと、
前記Si{111}基板に、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部を形成することと、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分と、前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分とを含む遮光部を形成することと
を含み、
前記Si{111}基板に対しエッチング溶液を用いた結晶異方性エッチングを行い、前記第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第1の結晶面と、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面とをそれぞれ形成することにより、前記第1の結晶面に沿った第1の面および前記第2の結晶面に沿った第2の面、を含む前記水平遮光部分を形成する
撮像装置の製造方法。
(18)
前記結晶異方性エッチングを行うことにより、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面をさらに形成し、前記第3の結晶面に沿った第3の面を含む前記水平遮光部分をさらに形成する
上記(17)記載の撮像装置の製造方法。
(19)
前記Si{111}基板の一の面から前記水平遮光部分および前記垂直遮光部分となるトレンチを形成したのち、前記一の面と対向する他の面側に前記電荷保持部を形成する
上記(17)記載の撮像装置の製造方法。
(20)
第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がるSi基板と、
前記Si基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分、および前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分、を含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、前記第1の方向と直交すると共に3本のSiバックボンドを有する結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に3本のSiバックボンドを有する第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
撮像装置。
Claims (20)
- 第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がる面指数{111}で表される第1の結晶面を有するSi{111}基板と、
前記Si{111}基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si{111}基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分、および前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分、を含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、
前記第1の方向と直交すると共に前記Si{111}基板の前記第1の結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
撮像装置。 - 前記水平遮光部分は、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面に沿った第3の面をさらに含む
請求項1記載の撮像装置。 - 前記垂直遮光部分は、前記第1の方向と直交する第2の方向に延在している
請求項2記載の撮像装置。 - 前記Si{111}基板の<110>方向へのエッチングを行うことのできるエッチング溶液に対しエッチング耐性を示すエッチングストッパをさらに有する
請求項1記載の撮像装置。 - 前記エッチングストッパは、不純物元素、結晶欠陥構造または絶縁体である
請求項4記載の撮像装置。 - 前記第1の方向と直交する面内において前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域は、島状または帯状をなしている
請求項1記載の撮像装置。 - 前記第1の方向と直交する面内において前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域に設けられ、前記光電変換部から前記電荷保持部へ移動する電荷が通過する、前記第1の方向に延在する垂直電極
をさらに有する
請求項1記載の撮像装置。 - 前記遮光部は、前記第1の方向において前記水平遮光部分と異なる位置に設けられて前記水平面に沿って広がる追加水平遮光部分をさらに含む
請求項1記載の撮像装置。 - 前記追加水平遮光部分は、前記第1の方向と直交する面内のうち前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域と前記第1の方向において重なり合う領域に設けられている
請求項8記載の撮像装置。 - 前記垂直遮光部分は、前記Si{111}基板のうちの、前記水平遮光部分から見て前記光電変換部と反対に位置する表面に露出している
請求項1記載の撮像装置。 - 前記第1の方向において前記水平遮光部分と異なる位置に設けられて前記水平面に沿って広がる追加水平遮光部分と、前記追加水平遮光部分と直交する追加垂直遮光部分とを含む追加遮光部、をさらに有する
請求項10記載の撮像装置。 - 前記追加水平遮光部分は、前記第1の方向と直交する面内のうち前記水平遮光部分が占める領域以外のSi残存領域と前記第1の方向において重なり合う領域に設けられている
請求項11記載の撮像装置。 - 前記追加垂直遮光部分は、前記Si{111}基板のうちの前記表面と反対に位置する裏面に露出している
請求項11記載の撮像装置。 - 前記垂直遮光部分の周囲には、P型またはN型の不純物が拡散してなる第1の半導体領域、および前記水平遮光部分を挟んで前記第1の半導体領域と反対側にあって前記不純物が拡散してなる第2の半導体領域、がさらに設けられており、
前記第1の半導体領域の第1の不純物濃度は前記第2の半導体領域の第2の不純物濃度と異なり、前記第1の半導体領域の第1の不純物材料は前記第2の半導体領域の第2の不純物材料と異なり、または、前記第1の不純物濃度および前記第1の不純物材料は前記第2の不純物濃度および前記第2の不純物材料と異なる
請求項1記載の撮像装置。 - 撮像装置を備えた電子機器であって、
前記撮像装置は、
第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がるSi{111}基板と、
前記Si{111}基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si{111}基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分と、前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分とを含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、
前記第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第1の結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
電子機器。 - 前記水平遮光部分は、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面に沿った第3の面をさらに含む
請求項15記載の電子機器。 - 第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がる面指数{111}で表される第1の結晶面を有するSi{111}基板を用意することと、
前記Si{111}基板に、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部を形成することと、
前記Si{111}基板に、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部を形成することと、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分と、前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分とを含む遮光部を形成することと
を含み、
前記Si{111}基板に対しエッチング溶液を用いた結晶異方性エッチングを行い、前記第1の方向と直交すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第1の結晶面と、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第2の結晶面とをそれぞれ形成することにより、前記第1の結晶面に沿った第1の面および前記第2の結晶面に沿った第2の面、を含む前記水平遮光部分を形成する
撮像装置の製造方法。 - 前記結晶異方性エッチングを行うことにより、前記第1の方向に対して傾斜すると共に面指数{111}で表される前記Si{111}基板の第3の結晶面をさらに形成し、前記第3の結晶面に沿った第3の面を含む前記水平遮光部分をさらに形成する
請求項17記載の撮像装置の製造方法。 - 前記Si{111}基板は、表面および裏面を有し、
前記裏面から前記結晶異方性エッチングを行うことにより、垂直方向空間と、前記垂直方向空間と連通すると共に前記第1の結晶面および前記第2の結晶面を含む水平方向空間とを前記Si{111}基板に形成し、
前記水平遮光部分と前記表面との間に前記電荷保持部を形成する
請求項17記載の撮像装置の製造方法。 - 第1の方向を厚さ方向とすると共に前記第1の方向と直交する水平面に沿って広がるSi基板と、
前記Si基板に設けられ、受光量に応じた電荷を光電変換により生成する光電変換部と、
前記Si基板に設けられ、前記光電変換部から転送される前記電荷を保持する電荷保持部と、
前記第1の方向において前記光電変換部と前記電荷保持部との間に位置すると共に前記水平面に沿って広がる水平遮光部分、および前記水平遮光部分と直交する垂直遮光部分、を含む遮光部と
を有し、
前記水平遮光部分は、前記第1の方向と直交すると共に3本のSiバックボンドを有する結晶面に沿った第1の面と、
前記第1の方向に対して傾斜すると共に3本のSiバックボンドを有する第2の結晶面に沿った第2の面と
を含む
撮像装置。
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