JP7242163B2 - 基板上の接着剤パターンを検査するための検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
本発明の第一の態様において、上記目的は、最初に規定されるタイプの方法によって達成される。この方法は、所望の接着剤パターンを表す参照データをコントローラーに提供する工程と、前記コントローラー内の前記所望の接着剤パターンに対する格納された所定の許容差範囲を提供する工程と、接着剤ビードをノズルから基板上へ吐出する工程と、前記基板が移動したとき、前記基板上の前記吐出された接着剤ビードのパターンを、センサー配列によって検出する工程と、前記検出されたパターンを表す前記センサー配列からの信号を、前記コントローラーにて受信する工程と、前記検出された接着剤パターンを表す前記信号と、前記所望の接着剤パターンの前記許容差範囲とを比較する工程と、を含む。
Claims (40)
- 基板の上の接着剤パターンを検査する方法であって、
前記基板に塗布される所望接着剤パターンを表す参照データを受けとる工程と、
前記参照データに基づいて前記所望接着剤パターンに対する許容値範囲を計算する工程と、
ノズルを用いて前記基板上への前記接着剤パターンの吐出を行う工程であって、前記参照データは前記基板上への前記接着剤パターンの前記吐出と無関係に受け取られるデータであって前記接着剤パターンは前記参照データに基づいて吐出される工程と、
センサー群を使用して、前記基板上に吐出された前記接着剤パターンである吐出接着剤パターンの検出を行う工程と、
前記検出で得られた前記吐出接着剤パターンと前記所望接着剤パターンの前記許容値範囲とを比較する工程と、を備える方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記吐出接着剤パターンの前記検出は、
前記センサー群によって感知された特性についての強度又は強度の変化率を判定する工程と、
前記強度又は前記強度の変化率が閾値を超えている旨の判定を行う工程と、
前記強度又は強度の変化率が前記閾値を超えている旨の前記判定に基づいて、ビード端が存在すると判断する工程と、を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、前記基板の速度又は冷却速度ファクターに基づいて前記閾値の大きさを決定する工程を含む、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、
前記センサー群の速度センサーを含み、
前記速度センサーを使用して前記基板の移動速度及び端位置を判定する工程を備え、
前記速度センサーによって感知された特性についての強度又は強度の変化率を判定する工程と、
前記強度又は前記強度の変化率が閾値を超えている旨の判定を行う工程と、
前記強度又は強度の変化率が前記閾値を超えている旨の前記判定に基づいて、基板端が存在すると判断する工程と、を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記参照データは前記ノズルの制御ユニットからの吐出信号を有する方法。
- 請求項5に記載の方法であって、ビードの吐出の開始と終了のタイミングの決定に際して少なくとも1つの所定の遅延値を加味して前記ビードの前記吐出の開始時間および終了時間を計算することにより前記所望接着剤パターンを決定する工程をさらに有する方法。
- 請求項6に記載の方法であって、前記所定の遅延値は、
前記吐出信号の送信と接着剤が前記ノズルから流出し始める時間との間の遅延を規定するバルブ遅延時間と、
前記接着剤が前記ノズルから吐出される時と前記接着剤が前記基板に接触する時の間の時間を規定する接着剤飛翔時間と、
前記ノズルから前記センサー群への前記基板の移動に必要な時間を規定する前記基板の移動時間と、のいずれかを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記吐出接着剤パターンを検出することは、前記吐出接着剤パターンの幅を検出することを含む、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記許容値範囲は、前記基板の移動速度に基づく幅許容値を含む、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、
前記所望接着剤パターンに対する中心線許容値範囲を提供する工程と、
前記検出で得られた前記吐出接着剤パターンの中心線を計算を行う工程と、
前記計算で得られた前記中心線と前記中心線許容値範囲とを比較する工程と、をさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記吐出接着剤パターンに覆われた前記基板の面積の計算を行う工程を含む、方法。
- 請求項11に記載の方法であって、
前記吐出接着剤パターンに覆われた所望の面積の値を提供する工程と、
面積許容値を提供する工程と、
前記吐出接着剤パターンに覆われた前記計算により得られた前記基板の前記面積と前記面積許容値とを比較する工程と、を含む、方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
熱強度許容値を提供することと、
前記吐出接着剤パターンにより覆われた、前記計算により得られた前記基板の前記面積の領域における熱強度値を測定又は計算する工程と、
前記計算により得られた前記基板の前記面積の前記領域の前記熱強度値と前記熱強度値に対する前記熱強度許容値とを比較する工程と、を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記所望接着剤パターンの2つのビードの間の最大間隙許容値を提供する工程と、
前記検出により得られた前記吐出接着剤パターンの2つのビードの間の間隙の計算を行う工程と、
前記計算により得られた前記間隙を前記最大間隙許容値と比較する工程と、を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、検
前記検出により得られた前記吐出接着剤パターンと前記許容値範囲との比較に基づいて、前記検出により得られた前記吐出接着剤パターンと前記許容値範囲に入らない旨を判定する工程と、
前記検出により得られた前記吐出接着剤パターンと前記許容値範囲に入らない旨の判定に応じて、パターン不具合信号を出力する工程と、を含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記パターン不具合信号を警告装置にて受信する工程と、
前記警告装置を使用して警告信号を出力する工程と、をさらに含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記パターン不具合信号を破棄装置にて受信して、前記基板を破棄する工程と、をさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記センサー群は、前記ノズルに近接するアプリケーターヘッドに取り付けられるようになっている、方法。
- 基板上の接着剤パターンを検査するための方法であって、その方法は、
コントローラー内に所望接着剤パターンを表す参照データであって、前記参照データは前記基板上への前記接着剤パターンの吐出と無関係に受け取られる参照データを提供する工程と、
前記所望接着剤パターンに対する所定の許容値範囲を前記コントローラー内に格納データとして提供する工程と、
接着剤を吐出するノズルの制御ユニットからの吐出信号を前記コントローラーで受信する工程と、
受信した前記吐出信号に基づいて前記所望接着剤パターンを前記コントローラーによって求める工程と、
前記吐出信号の変化が起こったこと、または前記吐出信号が第一の期間に検出されたことを判定する工程と、
前記コントローラーが前記吐出信号の前記変化または前記吐出信号が前記第一の期間に検出されたことを検出した場合において、前記所望接着剤パターンに対する前記許容値範囲を所定の学習範囲に設定する工程と、
前記ノズルから基板の上に吐出接着剤パターンとしての接着剤ビードの吐出を前記参照データに基づいて行う工程と、
前記基板が移動したときに前記基板の上の前記吐出接着剤パターンをセンサー群により検出する工程と、
前記コントローラーから前記検出によって得られた前記吐出接着剤パターンを表す信号を受信する工程と、
前記検出された前記吐出接着剤パターンを表す前記信号を前記許容値範囲と比較する工程と、を備える、方法。 - 請求項19に記載の方法であって、
特定の塗布の場合に対しての予め格納された代表値と典型的な塗布の場合の予め感知された値との一方または両方用いて前記所望接着剤パターンの前記所定の許容値範囲を計算する工程を備える、方法。 - 請求項19に記載の方法であって、
他の基板の上に、前記吐出信号の変更に基づいて、変更接着剤パターンを前記ノズルを用いて吐出する工程と、
前記センサー群を使用して前記他の基板上の吐出された前記変更接着剤パターンの検出を行う工程と、
前記検出で得られた前記変更接着剤パターンと前記吐出接着剤パターンとを比較して偏差または偏差率を決定する工程と、
前記吐出信号の前記変化からの検出された前記吐出接着剤パターンの偏差又は偏差率が、所定の許容値内であるか否かを判断する工程と、を備える、方法。 - 請求項21に記載の方法であって、
前記吐出信号の前記変化の受信からの、検出された前記吐出接着剤パターンが、所定数N-1個に達する工程と、
N個目の検出された前記吐出接着剤パターンを前記変更接着剤パターンとして使用すること、及び
所定数N+xまで前記吐出接着剤パターンを評価して、N個からN+x個の検出された前記吐出接着剤パターンに基づいて調整接着剤パターンを計算することを含む、方法。 - 請求項19に記載の方法であって、前記所定の学習範囲から許容値範囲に戻すことを含む、方法。
- 請求項23に記載の方法であって、前記所望接着剤パターンを、前記許容値範囲の中心にすることを含む、方法。
- 基板上の接着剤パターンを検査するための検査装置であって、
前記基板上の接着剤パターンを検出する熱センサーを有するセンサー群と、
前記センサー群に電気的に接続されているコントローラーと、を備え、前記コントローラーは、
前記基板に塗布する所望接着剤パターンを表す参照データと、
前記参照データに基づいて計算される前記所望接着剤パターンに対する許容値範囲と、を格納し、
前記接着剤パターンは前記参照データに基づいて吐出され、
前記コントローラーは、前記センサー群によって検出された前記接着剤パターンを表す信号を受信するようになっていて、かつ、前記検出された前記接着剤パターンを表す前記信号と、前記所望接着剤パターンの前記許容値範囲とを比較するようになっており、前記参照データは前記センサー群により前記検出された前記接着剤パターンを表す前記信号と無関係に決定されるデータである検査装置。 - 請求項25に記載の検査装置であって、前記センサー群は、前記基板上の前記接着剤パターンのビードの幅又は中心線位置を検出するために、前記基板の移動方向に対して略垂直な方向に互いにずらして配置された2つ以上の熱センサーを含む、検査装置。
- 請求項25に記載の検査装置であって、前記センサー群は、前記基板の移動速度を検出するために、前記基板の機械方向に対して略平行な方向に互いにずらして配置された2つ以上の熱センサーを含む、検査装置。
- 請求項25に記載の検査装置であって、前記センサー群は、前記接着剤パターンのビードの冷却速度を検出するために、前記基板の機械方向に対して略平行な方向に互いにずらして配置された2つ以上の熱センサーを含む、検査装置。
- 請求項25に記載の検査装置であって、前記熱センサーの感知領域を制約するために、前記熱センサーのためのマスクを含む、検査装置。
- 請求項25に記載の検査装置であって、基板の端部又は前記基板の速度を検出する速度検出部を含む、検査装置。
- 請求項1に記載の方法であって、前記所望接着剤パターンの前記許容値範囲は前記基板の上への前記接着剤パターンを行う前に計算される方法。
- 請求項25に記載の検査装置であって、前記センサー群は前記基板に前記接着剤パターンを吐出するノズルに近接するアプリケータヘッドに取り付けられている検査装置。
- 基板の上の接着剤パターンを検査する方法であって、
前記基板に塗布される所望接着剤パターンを表す参照データを受けとる工程と、
前記参照データに基づいて前記所望接着剤パターンに対する許容値範囲を計算する工程と、
ノズルを用いて前記基板上への吐出接着剤パターンとして前記参照データに基づいて前記接着剤パターンの吐出を行う吐出工程であって、前記参照データは前記吐出接着剤パターンと無関係である吐出工程と、
センサー群を使用して、前記基板上の前記吐出接着剤パターンの検出を行う工程と、
前記検出で得られた前記吐出接着剤パターンと前記所望接着剤パターンの前記許容値範囲とを比較する工程と、を備える方法。 - 請求項33に記載の方法であって、前記吐出接着剤パターンの前記検出は、
前記センサー群によって感知された特性についての強度又は強度の変化率を判定する工程と、
前記強度又は前記強度の変化率が閾値を超えている旨の判定を行う工程と、
前記強度又は強度の変化率が前記閾値を超えている旨の前記判定に基づいて、ビード端が存在すると判断する工程とを備える方法。 - 請求項33に記載の方法であって、前記参照データは前記ノズルの制御ユニットからの吐出信号を含んでいる方法。
- 請求項33に記載の方法であって、前記所望接着剤パターンの前記許容値範囲は前記基板の上への前記接着剤パターンを行う前に計算される方法。
- 請求項25に記載の検査装置であって、前記コントローラーは、
前記接着剤パターンを形成する接着剤を吐出するノズルの制御ユニットからの吐出信号を受信し、
前記吐出信号の変化が起こったこと、または前記吐出信号が第一の期間に検出されたことを判定し、
前記コントローラーが前記吐出信号の前記変化または前記吐出信号が前記第一の期間に検出されたことを検出した場合において、前記所望接着剤パターンに対する前記許容値範囲を所定の学習範囲に設定する検査装置。 - 請求項20に記載の方法であって、
前記予め格納された代表値と前記予め感知された値とは、前記吐出接着剤パターンを検出したときに、前記センサー群により検出される予測信号に対する閾値を表す信号強度値である方法。 - 請求項38に記載の方法であって、前記吐出接着剤パターンの前記検出は、
前記センサー群によって感知された特性についての強度又は強度の変化率を前記コントローラ―により判定する工程と、
前記強度又は前記強度の変化率の信号と前記コントローラーに格納されている閾値との比較を前記コントローラーにより行う工程と、
前記信号の値が前記閾値を超えているときに、ビード端が存在すると前記コントローラーにより判断する工程と、を含む、方法。 - 請求項38に記載の方法であって、前記基板の速度と冷却速度ファクターとの一方または両方と独立して前記閾値の大きさを決定する工程を含む、方法。
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