JP7240673B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Description
12 :炉
13 :基板ステージ
14 :ヒータ
20 :ミスト供給装置
22 :ミスト発生槽
24 :水槽
26 :溶液貯留槽
28 :超音波振動子
40 :ミスト供給路
42 :搬送ガス供給路
44 :希釈ガス供給路
58 :水
60 :溶液
62 :ミスト
64 :搬送ガス
66 :希釈ガス
70 :基板
80 :排出管
Claims (1)
- モリブデンがドープされているとともに半導体または導体の特性を有する酸化物膜を基体上に形成する成膜方法であって、
前記基体を加熱しながら、前記酸化物膜の構成元素を含む酸化物膜材料とモリブデンのオキソアニオンとを含有する溶液のミストを前記基体の表面に供給する工程、
を有する成膜方法。
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JP2019231941A JP7240673B2 (ja) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 成膜方法 |
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JP2019231941A JP7240673B2 (ja) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 成膜方法 |
Publications (2)
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JP2021100077A JP2021100077A (ja) | 2021-07-01 |
JP7240673B2 true JP7240673B2 (ja) | 2023-03-16 |
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Family Applications (1)
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JP2019231941A Active JP7240673B2 (ja) | 2019-12-23 | 2019-12-23 | 成膜方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2017518875A (ja) | 2014-06-02 | 2017-07-13 | ジョンソン、マッセイ、パブリック、リミテッド、カンパニーJohnson Matthey Public Limited Company | 高いNOx‐SCR変換率及び低いSOx変換率 |
WO2018004009A1 (ja) | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 株式会社Flosfia | p型酸化物半導体及びその製造方法 |
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2019
- 2019-12-23 JP JP2019231941A patent/JP7240673B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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WO2018004009A1 (ja) | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 株式会社Flosfia | p型酸化物半導体及びその製造方法 |
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