JP7232365B2 - マイクロ波源およびマイクロ波増幅モジュールのアレー - Google Patents
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Description
Claims (20)
- プラズマ処理チャンバと共に使用されるように適合されたマイクロ波源であって、当該マイクロ波源が、
前記プラズマ処理チャンバの外壁の一部を形成する誘電体であって、第1の表面と、前記第1の表面の反対の第2の表面と、前記第1の表面と前記第2の表面の間の第3の表面とを含む、誘電体、及び
アプリケータのアレー
を備え、各アプリケータは、誘電体共振空洞と、当該誘電体共振空洞内のチャネルの中まで延びるモノポールとを含み、各アプリケータは、前記第3の表面によって支持されている、マイクロ波源。 - 前記チャネルが、前記誘電体共振空洞の軸中心にある、請求項1に記載のマイクロ波源。
- 前記アプリケータのアレーが、不均一な寸法を有するアプリケータを含む、請求項1に記載のマイクロ波源。
- 前記アプリケータの各々の共振が実質的に均一である、請求項1に記載のマイクロ波源。
- 前記誘電体共振空洞が、上面、外側側壁表面、及び前記上面と反対の底面を備え、
前記アプリケータがさらに、
前記誘電体共振空洞の前記外側側壁表面の周囲に形成されたアプリケータハウジングと、
バックショートと
を備え、前記バックショートが、前記バックショートと前記誘電体共振空洞の間に空間が画定されるように、前記誘電体共振空洞の前記上面に少なくとも部分的に向かい合う上面を有し、前記バックショートが、前記アプリケータハウジングの少なくとも一部の周囲に配置され、前記バックショートの前記上面と前記誘電体共振空洞の前記上面の間の距離を変更して前記空間を調節するように前記アプリケータハウジングに沿って再配置されるように構成され、それにより前記アプリケータのインピーダンスを変更できる、請求項1に記載のマイクロ波源。 - 前記アプリケータの各々が独立して制御可能である、請求項1に記載のマイクロ波源。
- マイクロ波増幅モジュールのアレー
をさらに備え、各マイクロ波増幅モジュールが主増幅器を備え、前記アプリケータのアレー中の複数のアプリケータのうちの少なくとも1つに連結されている、請求項1に記載のマイクロ波源。 - 前記プラズマ処理チャンバ内に複数のプラズマセンサ
をさらに備え、前記プラズマセンサは、フィードバック制御を提供するために前記マイクロ波増幅モジュールに通信可能に連結されている、請求項7に記載のマイクロ波源。 - 各マイクロ波増幅モジュールについてフィードバック制御データが、前記複数のプラズマセンサの1つ以上から提供される、請求項8に記載のマイクロ波源。
- プラズマ処理チャンバのためのマイクロ波増幅モジュールのアレーであって、各マイクロ波増幅モジュールが、
電圧制御回路、
電圧制御型発振器であって、前記電圧制御回路からの出力電圧が当該電圧制御型発振器の発振を駆動する、電圧制御型発振器、及び
前記電圧制御型発振器に連結された固体マイクロ波増幅モジュール
を備え、前記固体マイクロ波増幅モジュールは、前記電圧制御型発振器からの出力を増幅する、マイクロ波増幅モジュールのアレー。 - 各マイクロ波増幅モジュールが独立して制御可能である、請求項10に記載のマイクロ波増幅モジュールのアレー。
- 個々の前記マイクロ波増幅モジュールが、前記プラズマ処理チャンバ内の1つ以上のセンサに通信可能に連結されている、請求項10に記載のマイクロ波増幅モジュールのアレー。
- 各マイクロ波増幅モジュールのフィードバック制御データが、前記プラズマ処理チャンバ内の前記1つ以上のセンサによって提供される、請求項12に記載のマイクロ波増幅モジュールのアレー。
- 各マイクロ波増幅モジュールがさらに、
循環装置
を備える、請求項10に記載のマイクロ波増幅モジュールのアレー。 - プラズマ処理チャンバと共に使用されるように適合されたマイクロ波源であって、
マイクロ波増幅モジュールのアレー、
前記プラズマ処理チャンバの外壁の一部を形成する誘電体、及び
アプリケータのアレー
を備え、各マイクロ波増幅モジュールが、
電圧制御回路、
電圧制御型発振器であって、前記電圧制御回路からの出力電圧が当該電圧制御型発振器の発振を駆動する、電圧制御型発振器、及び
前記電圧制御型発振器に連結された固体マイクロ波増幅モジュール
を備え、前記固体マイクロ波増幅モジュールは、前記電圧制御型発振器からの出力を増幅し、
前記誘電体は、第1の表面と、前記第1の表面の反対の第2の表面と、前記第1の表面と前記第2の表面の間の第3の表面とを含み、
各アプリケータは、誘電体共振空洞と、当該誘電体共振空洞内のチャネルの中まで延びるモノポールとを含み、各アプリケータは、前記第3の表面によって支持され、各アプリケータは、前記マイクロ波増幅モジュールの1つに電気的に連結されている、マイクロ波源。 - 前記誘電体共振空洞の軸中心を通って延びるモノポールアンテナ
をさらに備える、請求項15に記載のマイクロ波源。 - 前記モノポールアンテナが、前記誘電体共振空洞内の前記チャネル内に設けられる、請求項16に記載のマイクロ波源。
- 前記モノポールアンテナの端部が、前記チャネルの底部から離れている、請求項16に記載のマイクロ波源。
- 前記誘電体共振空洞が、第1の直径を有する第1の部分と、前記第1の直径よりも小さい第2の直径を有する第2の部分とを含む、請求項15に記載のマイクロ波源。
- 前記誘電体がくさび形状である、請求項15に記載のマイクロ波源。
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