JP7224313B2 - 電子デバイスを自動テストするための装置及び方法 - Google Patents
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Description
また、ハードウェア及びソフトウェアを含むATEテクノロジーの概要は、F.Liguoriが1999年に出版したWiley Encyclopedia of Electrical and Electronics Engineeringという本の「自動試験装置」の第110~120ページに記載される。
テストヘッド202は、ATEから延びており、かつテストヘッドから延びるPOGOピン206を有するパッドインタフェースユニット204を含む。いくつかの実施例において、テストヘッド202は、図1における対応するテストヘッドと同じであってもよい。別の実施例では、テストヘッドが異なる。
I0’=I0+bias (1)
I1’=I1+bias (2)
減算演算I1’-I0 ’= I1-I0によりバイアス誤差が解消され、同様に、V1-V0が計算されると、V0及びV1の測定中の固定バイアスが解消される。
102、202…テストヘッド
104、204、308…パッドインタフェースユニット
106、310…POGOピン
108、208…負荷ボード
110…プローブカード
112…ウエハ
200…機械的インターフェイス、試験装置
210…ソケット
212…集積回路
300…ATE、構造を示すブロック図
302…ATE
304…DUT
306…測定回路
400…静電放電(ESD)保護回路を示す図、ESD保護構造
402…デジタル信号パッド
404…バッファ
406、408、502…ダイオード
500…ダイオードの電気モデルを示す回路図、ダイオードのモデル
504…電源、閾値電圧
506…順バイアス抵抗
508…逆バイアス抵抗
510…接触抵抗
600…IーV曲線
602…水平Vd軸
604…垂直Id軸
606…実線のグラフ
608…電流I0
610…電流I1
612、614、616、618…水平軸の位置
700…方法
702、704、706、708、710、712、716、718…ステップ
714…接点
606A…破線のグラフ
Claims (8)
- 電子デバイスを自動テストするための装置であって、
前記電子デバイスの複数のパッドに接続するように配置され、負荷ボードと、プローブカードと、複数のピンを有し、前記負荷ボードの一方側が前記プローブカードに電気的に接続され、他方側が前記複数のピンに電気的に接続され、前記負荷ボードが前記電子デバイスの抵抗値及び容量値を検査するために配置されるパッドインタフェースユニットと、
前記複数のパッドにおけるデジタル信号が伝送されたデジタル信号パッドにより伝送される前記電子デバイスの回路経路を選択し、
前記パッドインタフェースユニットを使用して電流-電圧の測定を実行することにより、前記回路経路の抵抗を代表する非バイナリ測定値を推定し、
前記非バイナリ測定値に基づいて、前記デジタル信号パッドが接続性テストに合格するかどうかを確認するように
配置された測定回路と、
を備え、
前記回路経路は、前記電子デバイスの静電気放電(ESD)防護回路と、前記パッドに接続されるバッファと、を含み、前記バッファが前記パッドに接続される経路には2つのダイオードが設けられており、一方のダイオードはプラス電源に、他方のダイオードはマイナス電源にそれぞれ電気的に接続されており、
前記デジタル信号パッドが前記接続性テストに合格したことを確認されたことに応答して、前記測定回路は、機能テストを前記電子デバイスに適用させるように配置される、および、前記デジタル信号パッドが前記接続性テストに合格しなかったことを確認されたことに応答して、前記電子デバイスを抜き取った後、再度前記パッドに電気的に接続させることを特徴とする装置。 - 前記回路経路は、前記電子デバイスの前記デジタル信号パッドと電源パッドとの間に延びることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記回路経路は、前記電子デバイスの静電放電保護ダイオードを含み、
前記測定回路は、少なくとも1つの前記静電放電保護ダイオードで前記電流-電圧の測定を実行するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記電流-電圧の測定を実行する際に、前記測定回路は、2つ以上の異なる電流-電圧動作点を前記デジタル信号パッドに印加するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 電子デバイスを自動テストするための方法であって、
デジタル信号が伝送された前記電子デバイスのデジタル信号パッドにより伝送される回路経路を選択することと、電流-電圧の測定を実行することにより、前記回路経路の抵抗を代表する非バイナリ測定値を推定することと、
前記非バイナリ測定値に基づいて、前記デジタル信号パッドが接続性テストに合格するかどうかを確認することと、
前記デジタル信号パッドが前記接続性テストに合格したことを確認されたことに応答して、機能テストを前記電子デバイスに適用させることと、
前記デジタル信号パッドが前記接続性テストに合格しなかったことを確認されたことに応答して、前記電子デバイスを抜き取った後、再度前記パッドに電気的に接続させることと、
を備え、
パッドインタフェースユニットは、負荷ボードと、プローブカードと、複数のピンを有し、前記負荷ボードの一方側が前記プローブカードに電気的に接続され、他方側が前記複数のピンに電気的に接続され、前記負荷ボードが前記電子デバイスの抵抗値及び容量値を検査するために配置され、
前記回路経路は、前記電子デバイスの静電気放電(ESD)防護回路と、前記パッドに接続されるバッファと、を含み、前記バッファが前記パッドに接続される経路には2つのダイオードが設けられており、一方のダイオードはプラス電源に、他方のダイオードはマイナス電源にそれぞれ電気的に接続されていることを特徴とする方法。 - 前記回路経路は、前記電子デバイスの前記デジタル信号パッドと電源パッドとの間に延びることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記回路経路は、静電放電保護ダイオードを含み、
前記非バイナリ測定値の推定には、少なくとも1つの前記静電放電保護ダイオードで前記電流-電圧の測定を実行することが含まれることを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記電流-電圧の測定を実行することには、2つ以上の異なる電流-電圧動作点を前記デジタル信号パッドに印加することが含まれることを特徴とする請求項5に記載の方法。
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