CN201392379Y

CN201392379Y - 一种确认探针与晶片接触状态的机构

Info

Publication number: CN201392379Y
Application number: CN 200920300892
Authority: CN
Inventors: 陈占胜
Original assignee: Zhejiang Bojie Electron Co Ltd
Current assignee: Zhejiang Bojie Electron Co Ltd
Priority date: 2009-02-26
Filing date: 2009-02-26
Publication date: 2010-01-27
Anticipated expiration: 2019-02-26

Abstract

本实用新型涉及一种电子元器件的检测机构，尤其是涉及一种确认探针与晶片接触状态的机构。其主要是解决现有技术所存在的晶片很小、探针很细，无法判断探针与晶片电极是否接触良好等的技术问题。本实用新型包括金属片(1)，其特征在于所述的金属片(1)与电子元器件晶圆上的晶片大小一致，金属片(1)上方设有可接触金属片的探针(2)，探针为2根及以上根，金属片(1)的面积大于探针的分布区域，探针通过线路连接欧姆表(3)、蜂鸣器(4)与发光装置(5)的至少其中一个，蜂鸣器(4)、发光装置(5)连接有电源(6)。

Description

一种确认探针与晶片接触状态的机构

技术领域

本实用新型涉及一种电子元器件的检测机构，尤其是涉及一种确认探针与晶片接触状态的机构。

背景技术

电子元器件晶圆制造完成后，须对晶圆上的晶片进行全数电性能测试，电性能测试须使用探针接触晶片的金属电极，通过探针将输入、输出信号传递给测试系统或晶片，从而判定晶片是好是坏。中国专利公开了一种线路板测试器探针装置(授权公告号：CN 2610336Y)，其包括有测试板组、穿越固置于测试板组之间的探针装置、位于测试板组下方经由连接线路连讯的连接板及排线，探针装置包含有一探针本体与一挂合平面体，其中探针本体具一探针头，探针头下端可自由滑动伸缩于下方的探针管体内，探针管体为一中空管体，探针管体中空管内可置入探针头下端与一弹体于探针头下端的下方，探针管体搭配挂合平面体上所开的孔洞直径，具置有一凹环而可使探针本体卡入挂合平面体内，而探针管体下接有一传递测试讯息的连接线路；挂合平面体为具有弹性的胶质体，挂合平面体上开设有与测试板组上的孔洞数目与位置相对应的洞孔，挂合平面体洞孔直径约略大于凹环直径而小于探针管体截面的直径；探针头、探针管体与探针管体中空管内置入的弹体合组为一体成型的探针本体。但是因为晶片很小、探针很细，通过显微镜也难以判断探针与晶片电极是否接触良好，必须通过测量接触电阻来判断。在采用单电极双探针方式时，可以用测试系统直接测量出接触电阻的大小。但在单电极单探针方式时，因为晶片有内部电阻，无法用测试系统直接测量出接触电阻的大小。探针与晶片电极接触状态不好，即接触电阻较大时，在某些场合会引起测试结果失真。所以探针与晶片电极接触状态的好坏，对测试的可靠性非常重要。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种确认探针与晶片接触状态的机构，其主要是解决现有技术所存在的晶片很小、探针很细，无法判断探针与晶片电极是否接触良好等的技术问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

本实用新型的一种确认探针与晶片接触状态的机构，包括金属片，其特征在于所述的金属片与电子元器件晶圆上的晶片大小一致，金属片上方设有可接触金属片的探针，探针为2根及以上根，金属片的面积大于探针的分布区域，探针通过线路连接欧姆表、蜂鸣器与发光装置的至少其中一个，蜂鸣器、发光装置连接有电源。金属片可以由金或铝制成，金属片与晶片大小一致，金属片的区域大于探针的分布区域，使得能够检测所有探针与晶片的接触性能。当探针和金属片接触良好时，所有探针可通过金属片导通，即金属片、探针、欧姆表和/或蜂鸣器和/或发光装置形成回路。探针之间的金属区电阻、探针自身的电阻和线路的电阻很小，可以忽略。

作为优选，所述的探针为3根及以上根，线路上连接有可切换连通2根及以上根探针的开关。当探针较多时，可以采取多档开关，选择接通探针，这样能够检测每根探针的接触性能。

作为优选，所述的欧姆表与蜂鸣器或/和发光装置并联设立，欧姆表、蜂鸣器、发光装置的两端都连接有可切换连通欧姆表、蜂鸣器、发光装置的开关，开关连接在线路上。欧姆表、蜂鸣器、发光装置可以单独使用，也可以并联起来同时使用。可以通过开关来切换所有实现的功能。

作为优选，所述的探针为4根，每两根探针为一组，两组探针各由开关k₁、k₂切换连通；所述的欧姆表、蜂鸣器与发光装置互相并联设立，蜂鸣器、发光装置两端各由开关k₃、k₄切换连通，欧姆表、蜂鸣器两端各由开关k₅、k₆开关切换连通，开关k₁、开关k₃、开关k₅通过线路连通，开关k₂、开关k₄、开关k₆通过线路连通。每两根探针和金属片的接触电阻值可以从欧姆表上读出，当接触电阻足够小时，蜂鸣器会鸣叫或发光装置会点亮。若有任一探针与全金属区未接触到或接触不好，即接触电阻大，则可以从欧姆表上的读数反映出来，或者蜂鸣器不鸣叫、发光装置不点亮。

作为优选，所述的发光装置为发光二极管。

因此，本实用新型具有可以确认探针与晶片的接触状态，在探针与晶片接触良好后再开始电性能测试，从而保证晶片测试的可靠性，结构简单、合理等特点。

附图说明

附图1是本实用新型的一种结构示意图。

图中零部件、部位及编号：金属片1、探针2、欧姆表3、蜂鸣器4、发光装置5、电源6、晶圆7、晶片8、开关k₁、k₂、k₃、k₄、k₅、k₆。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：本例的一种确认探针与晶片接触状态的机构，如图1，有一个安装在晶圆7上的金属片1，金属片1与电子元器件晶圆上的晶片8大小一致。金属片上方设有可接触金属片的四根探针2，每两根探针为一组，两组探针各由开关k₁、k₂切换连通。每组探针通过线路各连接欧姆表3、蜂鸣器4、发光装置5的两端，发光装置5为发光二极管。欧姆表3、蜂鸣器4、发光装置5并联设置，并且蜂鸣器、发光装置两端各由开关k₃、k₄切换连通，欧姆表、蜂鸣器两端各由开关k₅、k₆开关切换连通。

使用时，通过显微镜观察，使四根探针2都接触金属片1。首先通过开关k₁、k₂接通其中两根探针，再将开关k₃、k₄接通蜂鸣器4，开关k₅、k₆接通欧姆表，然后可以从欧姆表上读出数据，当接触电阻足够小时，蜂鸣器会鸣叫。然后通过开关k₁、k₂接通另外两根探针，然后可以从欧姆表上读出数据，当接触电阻足够小时，蜂鸣器会鸣叫。若有任一探针与全金属区未接触到或接触不好、接触电阻大，则可以从欧姆表上的读数反映出来，或蜂鸣器不鸣叫或发光二极管不点亮。

Claims

1.一种确认探针与晶片接触状态的机构，包括金属片(1)，其特征在于所述的金属片(1)与电子元器件晶圆上的晶片大小一致，金属片(1)上方设有可接触金属片的探针(2)，探针为2根及以上根，金属片(1)的面积大于探针的分布区域，探针通过线路连接欧姆表(3)、蜂鸣器(4)与发光装置(5)的至少其中一个，蜂鸣器(4)、发光装置(5)连接有电源(6)。

2.根据权利要求1所述的一种确认探针与晶片接触状态的机构，其特征在于所述的探针(2)为3根及以上根，线路上连接有可切换连通2根及以上根探针的开关。

3.根据权利要求1或2所述的一种确认探针与晶片接触状态的机构，其特征在于所述的欧姆表(3)与蜂鸣器(4)或/和发光装置(5)并联设立，欧姆表(3)、蜂鸣器(4)、发光装置(5)的两端都连接有可切换连通欧姆表、蜂鸣器、发光装置的开关，开关连接在线路上。

4.根据权利要求3所述的一种确认探针与晶片接触状态的机构，其特征在于所述的探针(2)为4根，每两根探针为一组，两组探针各由开关(k1、k2)切换连通；所述的欧姆表(3)、蜂鸣器(4)与发光装置(5)互相并联设立，蜂鸣器、发光装置两端各由开关(k3、k4)切换连通，欧姆表、蜂鸣器两端各由开关(k5、k6)开关切换连通，开关(k1)、开关(k3)、开关(k5)通过线路连通，开关(k2)、开关(k4)、开关(k6)通过线路连通。

5.根据权利要求1或2所述的一种确认探针与晶片接触状态的机构，其特征在于所述的发光装置(5)为发光二极管。