CN102254220A - Led晶粒点测机的针偏检测系统及方法 - Google Patents

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林晋生
曾一士
白智亮
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Chroma ATE Suzhou Co Ltd
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Abstract

一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,包含一点测机及一计数显示装置,其中该点测机至少具有一用以置放至少一片LED晶圆的承载位移装置及两支用以与该LED晶圆上该些LED晶粒电气接触的测试探针,而该计数显示装置与该两支测试探针电性相接,故能够形成一针偏检测回路,用以计数显示该两支测试探针于该LED晶圆上的测试探针偏移次数;因此该两支测试探针能够依序点测LED晶圆上的该些LED晶粒,在持续位移点测的情况下,能够藉由检测该两支测试探针是否与该LED晶粒接触范围形成导通回路,并持续累积未接触导通的次数,以作为探针偏移的总次数。本发明能够将发生针偏的次数进行累积计数与显示针偏次数,以辅助机台作业人员进行针偏位移失效总数的统计。

Description

LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法
技术领域
本发明关于一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,尤其是一种用于测试LED晶粒点测机的针偏状况的检测系统及方法。
背景技术
LED(Light emitting diode)具有耗电量小、寿命长、反应速度快的特性,在近几年被誉为下一个世代的照明元件,其产业结构分为上、中、下游,上游将原料制作成磊晶片后,中游负责整合成LED晶圆,再将进行晶粒切割成单一晶粒(LEDchip die),最后在下游将晶粒封装成各式不同型态的LED(如SMD、Lamp式的LED);而LED的发光效率lm/Watt一直是各家厂商竞争的指标之一,即表示给予多少的电能可以转换成多少光能的能力;
由于LED(Light emitting diode)发光效率关系到了LED的各种设计与品质优劣,故产业链中LED的光学量测便是很重要的一环,LED在每一阶段的制程,皆需由量测仪器来对产品做光学参数上的量测,在LED产线上不论是在裸晶段与封装段的全光通量与色度的量测标准与设备将会扮演重要的角色;
而习用的点测装置利用两支对精细的探针作为接点与传输用回路的一部分,进行点触LED晶粒上的导电端(两个电极);因此进行检测时,以预定的频率点触、导通、点亮发光二极体晶粒发出光讯号供检测,重复此步骤至对应移动检测下一待测发光二极体晶粒。
然而,由于该晶粒点测机台的相关构件经长期重复高频运作,容易因为轻微的构件移位或是其他的问题,而使得检测过程中发生探针对准发光二极体晶粒的位置产生偏移,例如上下排左右位置偏移、一致性偏右或左、扫描后(或移至CCD,并按暂停)移至点测位置就上下偏移与区域性偏移边缘部份位置偏移或是边缘部份位置偏移;由于晶粒点测机台是持续不断地进行检测LED晶粒,因此机台作业人员仅能于测试暂停时,使用目镜具有刻度的显微镜进行人工视觉观察,若是针痕位移大于15um,则才能够判断确实有针偏的情况发生;
因此,由图1A及图1B可知,正常针痕位置如图1A所示,是指两支探针的针痕41,42正好位于该LED晶粒31的两个电极311,312中央点,而具有异常偏移针痕位置如图1B所示,是指两支探针无法对准该LED晶粒31的两个电极中央点311,312,故该两支探针的针痕41,42会往旁边偏移;因此若是单纯由机台作业人员的人工视觉观察的方式才能够判断是否有针偏的情况发生,将很容易会导致晶粒检测结果的严重谬误发生。
因此,若能提供一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,能够将发生针偏的次数进行累积计数与显示,以辅助机台作业人员进行针偏位移失效总数的统计,故能够替代人工视觉判定其针偏失效的机制,以使机台作业人员能够探究其针偏的根本原因以进行分析,以其能够预防及改善对策,应为一最佳解决方案。
发明内容
本发明的目的即在于提供一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,能够将发生针偏的次数进行累积计数与显示针偏次数,以辅助机台作业人员进行针偏位移失效总数的统计。
本发明的又一目的即在于提供一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,取代旧有人工视觉判定其针偏失效的方式,以使机台作业人员能够更有效地预防及采取改善对策。
可达成上述发明目的的一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,包含一点测机及一计数显示装置,其中该点测机至少具有一用以置放至少一片LED晶圆的承载位移装置及两支用以与该LED晶圆上该些LED晶粒电气接触的测试探针,而该计数显示装置与该两支测试探针电性相接,故能够形成一针偏检测回路,以计数显示该两支测试探针于该LED晶圆上的测试探针偏移次数;因此针偏检测方法由该两支测试探针依序点测LED晶圆上的该些LED晶粒,并在持续位移点测的情况下,能够藉由检测该两支测试探针是否与该LED晶粒接触范围形成导通回路,并持续累积未接触导通的次数,以作为探针偏移的总次数。
更具体的说,所述LED晶粒表面具有至少一个电极,并以该些电极与该两支测试探针接触。
更具体的说,所述计数显示装置由一显示装置及一针偏计数电路所组成,其中该针偏计数电路藉由电性检测以累积该两支测试探针于该LED晶圆上的探针偏移次数,并由该显示装置进行显示。
更具体的说,所述两支测试探针与该计数显示装置形成一针偏检测回路,因此该计数显示装置能够藉由电性检测该两支测试探针是否与该LED晶粒的电极接触导通,并累积及显示未接触导通的次数。
本发明的有益效果包括,所提供的LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法,与其他应用技术相互比较时,更具备下列优点:
1.本发明能够将发生针偏的次数进行累积计数与显示针偏次数,以辅助机台作业人员进行针偏位移失效总数的统计。
2.本发明能够避免旧有以人工视觉判定其针偏失效的方式所具有的缺点,使机台作业人员能够即时掌握针偏情况,并能够进一步探究其根本原因分析,以其能够更有效地预防及采取改善对策。
有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效,在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中,将可清楚的呈现。
附图说明
图1A:为正常针痕位置示意图;
图1B:为异常偏移针痕位置示意图;
图2:为本发明一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法的整体架构示意图;
图3:为本发明一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法的整体结构示意图;
图4A:为本发明一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法的探针正常状态示意图;以及
图4B:为本发明一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法的探针偏移状态示意图。
具体实施方式
请参阅图2及图3为本发明一种LED晶粒点测机的针偏检测系统及方法的整体架构示意图及整体结构示意图,由图中可知,该LED晶粒点测机的针偏检测系统用以检测LED晶圆上的多个LED晶粒,而该LED晶粒点测机的针偏检测系统包含:
一点测机1,至少具有一用以置放至少一片LED晶圆3的承载位移装置11及两支用以与该LED晶圆3上该些LED晶粒31电气接触的测试探针12;
一计数显示装置2,分别与该两支测试探针12电性相接,以形成一针偏检测回路,用以计数显示该两支测试探针12于该些LED晶粒31上点测时的测试探针偏移数;
因此,当该点测机1持续位移该LED晶圆3的LED晶粒31的情况下,其针偏检测方法能够由该两支测试探针12依序点测置放于该承载位移装置11的LED晶圆3上的该些LED晶粒31,能够进行检测该两支测试探针12与该LED晶粒31接触范围是否形成导通回路,并持续累积未接触导通的次数,以作为该两支测试探针12偏移的总次数。以此一较佳实施例来说,本发明用于探针校准工作上,仅针对有无针偏进行较准,以利在点测机1在出厂前或是出厂后的单纯校验工作上,通过该LED晶粒表面具有两个电极311、312的其中之一,并选择以该些电极311、312的其一与该两支测试探针接触。
值得一提的是,该计数显示装置2由一显示装置21及一针偏计数电路22所组成,其中该针偏计数电路22藉由通电检测以累积该两支测试探针12于该LED晶圆3上的偏移次数,并由该显示装置21进行显示。
值得一提的是,该两支测试探针12与该计数显示装置2形成一针偏检测回路,因此该计数显示装置2能够藉由电性检测该两支测试探针12是否与该LED晶粒31接触导通,并累积及显示未接触导通的次数。
请参阅图4A及图4B为本发明LED晶粒点测机的针偏检测系统的探针正常状态示意图及探针偏移状态示意图,由图4A可知,该两支测试探针12的针痕41,42若能够位于同一个电极311上时,该计数显示装置2的针偏计数电路22进行电性检测该LED晶粒31,会导致该LED晶粒31与两支测试探针12回路导通,因此该针偏计数电路22能够判断该两支测试探针12并没有探针偏移的情况发生,故该计数显示装置2所累积的数量为0;
反之,如图4B所示,当该两支测试探针12的针痕41,42若位于不恰当的位置上时(任一支测试探针12插偏或是插空,使得两支测试探针12的针痕41,42无法位于同一个电极311上),该计数显示装置2的针偏计数电路22进行电性检测该LED晶粒31,会导致该LED晶粒31与两支测试探针12回路不导通,因此该针偏计数电路22判断该两支测试探针12有探针偏移的情况发生,故该计数显示装置2所会累积的数量为1,并会于该计数显示装置2上累积增加1,以告知机台作业人员有探针偏移的情况发生。
藉由以上较佳具体实施例的详述,希望能更加清楚描述本发明的特征与精神,而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的范畴加以限制。相反地,其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范围的范畴内。

Claims (5)

1.一种LED晶粒点测机的针偏检测系统,用以检测LED晶圆上的多个LED晶粒,其特征在于,包括有:
一点测机,至少具有一用以置放至少一片LED晶圆的承载位移装置及两支用以与该LED晶圆上该些LED晶粒电气接触的测试探针;以及
一计数显示装置,分别与该两支测试探针电性相接,以形成一针偏检测回路,用以计数显示该两支测试探针于该些LED晶粒上点测时的测试探针偏移数。
2.如权利要求1所述LED晶粒点测机的针偏检测系统,其特征在于,该些LED晶粒具有至少一电极,该电极分别与该两支测试探针接触。
3.如权利要求1所述LED晶粒点测机的针偏检测系统,其特征在于,该计数显示装置包括一显示装置及一针偏计数电路,其中该针偏计数电路藉由通电检测以累积该两支测试探针于该LED晶圆上的探针偏移次数,并由该显示装置进行显示。
4.一种LED晶粒点测机的针偏检测方法,其特征在于,通过一用以置放至少一片晶圆的承载位移装置及两支用以与该晶圆上该些LED晶粒电气接触的测试探针,以及一与该两支测试探针电性相接的计数显示装置以形成一针偏检测回路,用以计数显示该两支测试探针于该LED晶圆上的测试探针偏移次数,该方法包括:
由该两支测试探针依序点测晶圆上的该些LED晶粒,在持续位移点测的情况下,藉由检测该两支测试探针是否与该LED晶粒接触范围形成导通回路,并由计数显示装置持续累积未接触导通的次数,以作为探针偏移的总次数。
5.如权利要求4所述LED晶粒点测机的针偏检测方法,其特征在于,该两支测试探针与该计数显示装置形成一针偏检测回路,因此该计数显示装置能够藉由电性检测该两支测试探针是否与该LED晶粒形成导通回路,并累积及显示未接触导通的次数。
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