CN101581625B - 一种具有光学回馈装置的检测机台 - Google Patents

Abstract

本发明适用于检测技术领域，提供了一种具有光学回馈装置的检测机台，用来检测一种发光电路组件的发光特性，所述的检测机台包括针压感应器组件、电信号供应装置和光学检测装置，其特征在于，所述的检测机台还包括一组光学回馈装置，所述的光学回馈装置包括：一组具有已知发光特性的标准组件；一组切换开关，所述的切换开关用来将所述的针压感应器组件与待测发光电路组件之间的电气回路断路，并用来连接所述的电信号供应装置与所述的标准组件。本发明提供的技术方案可以保证收光装置处于最佳状态与最准确位置，本发明提供的检测机台成本较低并且操作简单，可以提供更高质量与检测可靠度。

Description

一种具有光学回馈装置的检测机台 

技术领域

本发明属于检测技术领域，尤其涉及一种具有光学回馈装置的检测机台。 

背景技术

LED发光二极管(Light-Emitting Diode)在制造过程中须接受不同项目的检测，例如晶圆分割后须检测被分割的各LED晶体亮度与波长；为满足产业上下游从业者的需求，以自动化检测设备进行检测已成为惯例，因此，自动化检测机台的制造与改良已越来越重要。 

现有的检测机台1如图1及图2所示，将整片晶圆切割出的晶体4载放于载具14上，成对的机座10则带动探针12点触晶体4而提供电信号、点亮晶体4使其发光。光信号将分别透过收光装置2的路径一220与路径二240，进入收光装置2中的光传感器22和光纤24，光传感器22用来感测晶体4的亮度，光纤24则用来测量晶体4的波长，并传输至一组频谱分析装置，收光装置2接收由晶体4发出的光信号，分别获得晶体4发光的亮度与波长以检测晶体4的发光特性。 

随着载具14载送所有晶体4并逐颗沿图式水平方向变换位置，机座10则不断反复沿图式垂直方向进行高速升降的周期性点测，安装于检测机台1的相关构件在长期振动下，将出现肉眼无法察觉的偏移，例如可能造成光纤24偏移或收光装置2的光学显微镜头失焦，使晶体所发光线无法被正确聚焦测量或导入光纤中，测得亮度因而降低、或测量所得中心波长出现偏移等问题，导致对受测晶体4质量产生关键性误判的状况。 

即便检测设备均已配置于无尘室中，检测机台1经过一定时间的使用，收光装置2传感器22上的镀膜或滤光片，也可能因出厂质量、所处环境或预定寿 命的影响产生变质，如镀膜与滤光片发霉、黄化等等，造成光学采样的误差，也势必影响测量所得结果。 

为预防上述弊端，目前的机台管理流程，多安排校验人员于开始检测晶体前对机台进行校验，一旦校验完毕开始进行检测，除非机台故障或重大因素停机，将不再进行校验，直至次日或数日后下一次校验。这种以人工进行校验的方式，一方面可能发生人为误差，且机台群的校验耗用工时相当可观；另一方面，在两次校验间，即使发生严重偏差，也没有适当机制示警，往往导致数对千颗晶体、甚至数片晶圆中数万颗晶体的误判。 

并且，在点测晶体过程中，即使操作人员警觉而停机校验，但要对亮度与波长进行检测，必须移除待测晶圆而改用标准晶体进行校验，不仅降低产能，而且校验完毕后，原先测到一半的晶圆需重新归位。 

此外，若为避免误判及赔偿，对可能误判的晶体进行复检以降低风险，这种方式因晶体本身尺寸很微小，在探针点压戳刺时均会造成显微镜可清楚观察的表面戳痕，探针重复点测过的晶体，表面将产生第二次点测戳痕，身价随之大幅降低。 

因此，能提供一种无须停机校验、校验时无须移除待测晶体而替换标准晶体，尤其在系统产生可能误差因素时自动示警，立即提醒机台管理人员采取必要动作的检测机台，实为业界所需。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有光学回馈装置的检测机台，旨在解决检测机台自身故障检测的问题。 

本发明是这样实现的，一种具有光学回馈装置的检测机台，用来检测一种发光电路组件的发光特性，所述的检测机台包括针压感应器组件、电信号供应装置和光学检测装置，所述的检测机台还包括一组光学回馈装置，所述的光学回馈装置包括： 

一组具有已知发光特性的标准组件，所述标准组件落于光学检测装置的收光范围； 

一组切换开关，所述的切换开关用来将所述的针压感应器组件与待测发光电路组件之间的电气回路断路，并用来连接所述的电信号供应装置与所述的标准组件。 

所述的检测机台还包括计数装置，所述的计数装置用来计算已经检测的待测发光电路组件的数目。 

所述的检测机台还包括控制装置，所述的控制装置在所述的计数装置计算已经检测达一预定数目的待测发光电路组件后，用来驱动所述切换开关将所述的针压感应器组件与待测发光电路组件之间的电气回路断路，并用来连接所述的电信号供应装置与所述的标准组件。 

所述的发光电路组件为复数发光二极管晶体，所述检测机台还包括一组承载及移动所述发光二极管晶体的承载座。 

所述标准组件为一颗发光二极管组件。 

所述针压感应器组件包括一组金属探针及一组感应该探针触及所述发光电路组件的压力的压力回馈单元。 

本发明克服现有技术的不足，采用在检测机台上设置光学回馈装置，实现对检测机台自身的检测的技术方案，可以保证收光装置处于最佳状态与最准确位置，本发明提供的检测机台成本较低并且操作简单，可以提供更高质量与检测可靠度。 

附图说明

图1是现有LED晶体检测机台立体示意图； 

图2是现有LED晶体检测机台结构图； 

图3是本发明第一实施例提供的检测机台立体示意图； 

图4是图3的局部放大图； 

图5是本发明第一实施例提供的检测机台检测LED晶体的示意图； 

图6是本发明第二实施例提供的检测机台立体示意图。 

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。 

请参考图3，为本发明第一实施例的立体示意图，本发明的检测机台3具有光学回馈装置38，用来检测发光电路组件例如发光二极管(LED)晶体4的发光特性，检测机台3除光学回馈装置38外，还包括电气接触LED晶体4的针压感应器(edge sensor)组件32、电信号供应装置34与光学检测装置36。 

针压感应器组件32包括金属探针322与提供正确针压的压力回馈单元324；电信号供应装置34则电气连结针压感应器组件32，并经过针压感应器组件32供应电信号予LED晶体4，以点亮LED晶体4。光学回馈装置38则包括具有已知发光特性例如波长、亮度等等的标准发光二极管组件382，以下简称标准组件；及一组供将针压感应器组件32与LED晶体4间的电气回路断路，并使电信号供应装置34致能标准组件382的切换开关384。 

光学检测装置36在本实施例中，包括一组例如CCD(电耦合组件)光传感器，以感测来自待测晶体的部分发光的光强度；同时将另一部份光束聚焦于一根光纤的一端，通过光纤而导入频谱分析仪中。对应于LED晶体4的位置设置，即可获取LED晶体4所发出的光信号。 

利用上述架构，在正确校验定位所有相关光路装置后，然后将标准组件382点亮，并分别纪录此时光传感器及频谱分析仪的感测数值。此后，无论在开机、关机、甚至任何两次检测间的短暂时刻，均可将回路暂时通过切换开关384切换至具标准组件382的回路，点亮标准组件382，供检测机台3进行短暂校验比对及纪录，确认此时的光学检测装置36及所有相关光路配置、组件特性、收 光位置是否完全与校验时相同、或维持于一个预定容许范围内；确认后，复由切换开关384切换回路回原始检测回路。 

图4为图3的局部放大图，标准组件382设置于针压感应器组件32前端，亦即金属探针322的周边上方，与承载于承载座56上的LED晶体4具有一定的空间关系，且同样落于收光范围内，本发明第一实施例的标准组件382虽以该模式配置，但具体应用本发明技术方案时可不受此限，唯一限制为标准组件382的位置设置需要满座收光的要求。 

图5为第一实施例提供的检测机台测量LED晶体示意图，LED晶体4系承载于承载座56上方，在利用针压感应器组件32上的标准组件382比对期间，LED晶体4并未导通，当标准组件382被点亮，光学检测装置36即可获取标准组件382所发出光源。因标准组件382为经过确认、具一定光学特性的标准件，例如发光二极管组件，故可提供检测机台3一参考数值比对，确认光学检测装置36是否维持与前次检测间的短暂校验时相同性能、且位置正确。 

图6为本发明的第二实施例立体示意图，基本架构与第一实施例相仿处不再赘述。本实施例提的供检测机台3’可实现全自动检测，计数装置52’用来统计检测数量，统计的数值可提供给控制装置54’应用，也可提供给机台管理人员参考，以进行半自动化检测。 

当检测的待测晶体数量达一预定数值例如100颗，控制装置54’即可驱动切换开关384’，使原有回路断路，将回路切换至如实施例一中的检测模式，无须由机台管理人员手动操作并且相当便捷，耗用时间微乎其微，并且这种周期性自动检测并且自动示警可大幅提升检测机台的信赖度。 

依照上述各实施例说明，无论切换至检测模式的机制为半自动或全自动，标准组件均可提供比对用光源，以保证收光装置处于最佳状态与最准确位置，成本较低并且操作简单，提供更高质量与可靠度的检测机台。 

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则的内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明 的保护范围的内。 

Claims (6)

1.一种具有光学回馈装置的检测机台，用来检测一种发光电路组件的发光特性，所述的检测机台包括针压感应器组件、电信号供应装置和光学检测装置，其特征在于，所述的检测机台还包括一组光学回馈装置，所述的光学回馈装置包括：

一组具有已知发光特性的标准组件，所述标准组件落于光学检测装置的收光范围；

一组切换开关，所述的切换开关用来将所述的针压感应器组件与待测发光电路组件之间的电气回路断路，并用来连接所述的电信号供应装置与所述的标准组件。

2.根据权利要求1所述的检测机台，其特征在于，所述的检测机台还包括计数装置，所述的计数装置用来计算已经检测的待测发光电路组件的数目。

3.根据权利要求2所述的检测机台，其特征在于，所述的检测机台还包括控制装置，所述的控制装置在所述的计数装置计算已经检测达一预定数目的待测发光电路组件后，用来驱动所述切换开关将所述的针压感应器组件与待测发光电路组件之间的电气回路断路，并用来连接所述的电信号供应装置与所述的标准组件。

4.根据权利要求1或者2或者3所述的检测机台，其特征在于，所述的发光电路组件为复数发光二极管晶体，所述检测机台还包括一组承载及移动所述发光二极管晶体的承载座。

5.根据权利要求4所述的检测机台，其特征在于，所述标准组件为一颗发光二极管组件。

6.根据权利要求4所述的检测机台，其特征在于，所述针压感应器组件包括一组金属探针及一组感应该探针触及所述发光电路组件的压力的压力回馈单元。

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