CN101581742B - 一种具有接触阻抗检测装置的检测机台 - Google Patents

Abstract

本发明适用于电路组件测试技术领域，提供了一种具有接触阻抗检测装置的检测机台，用来检测一种待测试电路组件，包括两组成对的压力导接装置和电信号供应感测装置，所述的接触阻抗检测装置包括：一组具有已知电气特性的标准组件；一组切换开关，用来将所述的压力导接装置切换至电气连接所述标准组件，供所述电信号供应感测装置感测包括所述压力导接装置和所述标准组件的电气回路的接触阻抗。

Description

一种具有接触阻抗检测装置的检测机台

技术领域

本发明属于电路组件检测技术领域，尤其涉及一种具有接触阻抗检测装置的检测机台。

背景技术

LED(发光二极管)问世以来，比较传统光源而言，除了具有节能、低温与寿命长等优势外，其效率更随制作流程改良而大幅提升，应用领域也愈加广泛，单颗LED多应用如小型玩具、手持装置与手机，多颗LED在日常生活中常常使用于灯具、汽车与交通号志等等，LED的制造与各阶段质量检测为保证LED质量具有重要意义。

LED晶体的自动检测过程中，通常采用结构如图1所示的针压克重监测感应器(edge sensor)1，利用精细的探针12作为接点和传输用回路的一部分，点触LED晶体上的导电端(图未示)；探针12固定于探针固定座14，并利用弹簧16调整探针12的针压，以便提供合适的点触压力。

图1中的edge sensor 1还包括印刷电路板18，提供探针固定座14与探针12的连接回路，进行检测时，至少须由两个edge sensor 1组成一对，以预定的频率点触、导通，进一步点亮发光二极管晶体发出光信号供检测，针对各个待测发光二极管晶体，重复上述的检测步骤；实际检测时，单一晶体检测时间非常短暂。

在系统工作正常情况下，如图2所示，第一回路20与第二回路22将首先确定点触是否准确，然后由连接待测物的第三回路24供应电信号，若以电路图表示相关回路，即如图3所示，两端的edge sensor 1分别具有第一回路20与第二回路22，第三回路24用来提供电信号予发光二极管晶体6使其发光。

检测机台与edge sensor长期高频操作，产生震动，如果探针固定座14结构松动或磨损，容易造成如edge sensor 1漏电、探针固定座14与引刷电路板18接触阻抗增加的状况，将直接导致检测结果可靠性降低。一旦检测结果出现误差，考虑一片直径两英时的发光二极管晶圆可切割出约两万五千颗左右的晶体，即使其中只有一颗晶体检测出错，通常检测者需要全片赔偿。

如果对晶体进行复检以降低风险，则因晶体本身尺寸微小，在edge sensor点压戳刺时均会造成显微镜可清楚观察的表面戳痕，复检时探针重复点测过的晶体，表面将产生第二次点测戳痕，晶体本身的价值将显著降低。

为解决上述问题，现有技术中通常采用如下的技术方案，但这些方案都存有不足，具体如下所述：

1、短路待测体进行短路测试，以确定测量回路的阻抗；但点测过程中，若需利用短路待测体进行短路测试，需在承载晶圆的载台外另准备一组短路待测体，并且让edge sensor频繁往返于短路待测体与载台的待测晶体间，点测机的这种往返移动将造成生产速度下降，且重新归位时的位置精度也是需要解决的问题。

2、在晶圆切割的晶体中，刻意安排检验用的短路晶体，但此种规划涉及半导体制作流程，必须有制造厂商的协助，并非测试厂商可以单独完成的，而此种设计也将使得制造者的工艺复杂化，造成制造者的困扰，故难以如此安排。

3、在测量过程中另增其它检测流程，通过各待测晶体的反馈而确保检测结果的正确，但是在较长时间的电流输入下，待测LED晶体将因热效应使其电气性能逐渐改变而影响量测结果。

因此，有必要提供一种具有接触阻抗检测装置的检测机台，该检测机台使用时可以不变更晶圆的生产方式，不影响晶体电气性能，并且可实时、迅速、精确度量并且在接触组抗异常时示警，实为当务之急。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有接触阻抗检测装置的检测机台，旨在解决检测机台对自身故障进行检测的问题。

本发明是这样实现的，一种具有接触阻抗检测装置的检测机台，用来检测一种待测试电路组件，包括两组成对的压力导接装置和电信号供应感测装置，所述的接触阻抗检测装置包括：

一组具有已知电气特性的标准组件；及

一组切换开关，用来将所述的压力导接装置切换至电气连接所述标准组件，供所述电信号供应感测装置感测包括所述压力导接装置和所述标准组件的电气回路的接触阻抗。

所述的检测机台还包括一组计数装置，所述的计数装置用来计算已经检测的待测试电路组件的数目。

所述的检测机台还包括控制装置，所述的控制装置在所述的计数装置计算已经检测达一预定数目的待测试电路组件后，用来驱动所述的切换开关，使所述压力导接装置导接至所述标准组件。

所述的待测试电路组件为复数发光二极管晶体，所述的检测机台还包括一组用来承载并移动所述发光二极管晶体的承载座。

所述的检测机台还包括一组感测所述发光二极管晶体发光的光学感测装置。

本发明克服现有技术的不足，通过阻抗检测装置判断检测机台运行是否正常，本发明实施例提供的检测机台在机台不正常时可以可自动示警，减少错误发生的风险，确保产品的优良率，也可减少不必要的定期停机校准操作，提高了检测速率，有很高的应用价值；此外，本发明实施例提供的检测机台实际使用时更未对生产流程产生不利影响，却可有效改进现有检测机台的弊端。

附图说明

图1是现有的检测用edge sensor组的示意图；

图2是现有edge sensor组各检测回路的示意图；

图3是图1中edge sensor组的电路图；

图4是本发明第一实施例所述的检测机台示意图；

图5是图4所述实施例的电路图；

图6是本发明第二实施例所述的检测机台示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参考图4，所示为本发明第一实施例，检测机台3用来检测电路组件例如发光二极管晶体6，本实施例中，发光二极管晶体6承载于承载座40上，并通过承载座40变换受检测位置；本发明实施例提供的检测机台也可以用来检测承载于标准承载盘的其他电路组件；检测机台3包括：两组成对的压力导接装置30、电信号供应感测装置32和接触阻抗检测装置34。

每组压力导接装置30包括：供电气接触发光二极管晶体6的金属探针302；及感应探针302与发光二极管晶体6之间压力的压力回馈单元304，以保证能够提供正确针压，在确认点触准确后，由电信号供应感测装置32供应电信号。

压力导接装置30电连接电信号供应感测装置32，当前述金属探针302与发光二极管晶体6形成回路，电信号供应感测装置32除供应电信号外，还用来接收来自压力导接装置30的电信号。

接触阻抗检测装置34包括一组具有已知电气特性的标准组件342，例如一颗性能确认良好、供比对用的发光二极管晶体黄金样品(Golden sample)；及用来将压力导接装置30切换至电气连接标准组件342，供电信号供应感测装置32感测包括压力导接装置30及标准组件342的电气回路接触阻抗的切换开关344。

请参考图5所示，检测机台3中除上述图3中的回路外，本实施例中还增设一标准组件342以形成另一回路，标准作业时，压力导接装置30点触发光二极管晶体6，并在需进行接触阻抗检测时，可切换并利用具有标准组件342的另一回路，利用标准组件342进行接触阻抗检测。

当切换至通过标准组件342形成的回路时，若系统正常，因标准组件342为一发光组件Golden sample，理应被点亮，且发出已知的相关参考数值，例如亮度、波长等等；反的，标准组件342未作动或参考数值偏差，即可确定检测机台3有缺陷或接触阻抗不正常，须立即处理。

第一实施例中，通过切换开关344变换回路至接触阻抗检测状态，进一步变化可如图6所示的第二实施例，检测机台3’包含压力导接装置30’与接触阻抗检测装置34’，基本架构大致与第一实施例相仿，不再赘述。

对应承载座40’与压力导接装置30’的立体位置，第二实施例还配置光学感测装置50’，用以感测待测物电导通后的相关数据诸如波长、光谱、亮度等等；当然，光学感测装置亦适用于第一实施例或类似架构。

第二实施例的接触阻抗检测装置34’仍具有标准组件342’，此外，本实施例采取全自动化的架构，计数装置36’可计算经检测电路组件的次数，除提供数据供检测装置3’应用外，还可以显示数据供机台操作人员参考；根据计数装置36’提供的数据，控制装置38’可自动控制从标准检测回路切换至接触阻抗检测回路，例如每100次点测为一周期。

本发明实施例提供的检测机台，实际测量切换到接触阻抗检测回路的时间为1/300微秒，若每点测100次进行一次接触阻抗回路检测，即使实际检测万颗晶体，其间进行接触阻抗检测达百次，亦仅增加耗用1/3微秒，整体上增加的时间有限，但可自动示警，不仅减少错误发生的风险，确保产品的优良率，也可减少不必要的定期停机校准操作，提高了检测速率，有很高的应用价值。

如上所述，无论半自动或全自动切换至接触阻抗检测状态，标准组件都可作为比对标准，适时反映检测机台相关构件的状况，供机台管理人员判断机台 的运行状态；无须定期调校，也不必担心因接触阻抗异常等因素产生检测失误，本发明实施例提供的检测机台，实际使用时更未对生产流程产生不利影响，却可有效改进现有检测机台的弊端。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则的内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围的内。

Claims (5)

1.一种具有接触阻抗检测装置的检测机台，用来检测一种待测试电路组件，包括两组成对的压力导接装置和电信号供应感测装置，其特征在于，所述的接触阻抗检测装置包括：

一组具有已知电气特性的标准组件；及

一组切换开关，用来将所述的压力导接装置切换至电气连接所述标准组件，供所述电信号供应感测装置感测包括所述压力导接装置和所述标准组件的电气回路的接触阻抗。

2.根据权利要求1所述的检测机台，其特征在于，所述的检测机台还包括一组计数装置，所述的计数装置用来计算已经检测的待测试电路组件的数目。

3.根据权利要求2所述的检测机台，其特征在于，所述的检测机台还包括控制装置，所述的控制装置在所述的计数装置计算已经检测达一预定数目的待测试电路组件后，用来驱动所述的切换开关，使所述压力导接装置导接至所述标准组件。

4.根据权利要求1或者2或者3所述的检测机台，其特征在于，所述的待测试电路组件为复数发光二极管晶体，所述的检测机台还包括一组用来承载并移动所述发光二极管晶体的承载座。

5.根据权利要求4所述的检测机台，其特征在于，所述的检测机台还包括一组感测所述发光二极管晶体发光的光学感测装置。

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