JP2800507B2 - 診断装置および診断方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置のバーンイ
ンを行うバーイン装置の診断装置に関する。従来より、
半導体装置に搭載された高集積回路（以下、ＩＣとい
う）の初期故障による不良ＩＣを短時間で取り除き、Ｉ
Ｃの品質を確保する、所謂受入テスト、或いは、新規に
開発されたＩＣのサンプルＩＣの規格を検査して、新規
ＩＣの認定を行う認定テストとして、半導体装置のバー
ンインを行うバーイン装置は不可欠である。

【０００２】該バーインの使用方法は、部品の形状，電
気的ストレス条件等に合わせて、おのおののバーインカ
ードにＩＣを挿入し、バーイン装置（バーイン槽）に一
定期間投入する事で行われる。

【０００３】このとき、該バーインテストが正常に運用
できるように、事前に、該バーイン装置の各種機能を検
証しておくことが必要とされる。

【０００４】

【従来の技術】図３は、従来のバーイン装置の問題点を
説明する図である。通常、バーイン装置は、バーイン対
象のＩＣを複数個、例えば、数十〜数百個をバーインカ
ード 200のソケットに挿入して、所定の電圧(VCC,GND)
を印加し、所定の環境条件の基で、所定の時間、例え
ば、５００時間〜１０００時間、該ＩＣのエージングテ
ストを行う。

【０００５】このとき、該バーインカード 200のコネク
タ 2a と, 該バーイン装置で各種のテストを行う為の、
直流供給ユニット 1, 或いは、該バーインカード 2のコ
ネクタ 2a の所定の入力端子に、所定の信号を入力し
て、所定の出力端子からの信号をテストする為の、ドラ
イバユニット 40,コンパレータユニット 41 のコネクタ
1a,3aとの間の接続線間で、例えば、コンタクト不良,
ピンショートの無いこと, 或いは、該バーインカード 2
00に挿入されているＩＣの交流テスト（ファンクション
テスト），或いは、ソフトエラーテストが確実にできる
ことを保証しておくが必要である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然しながら、現状のバ
ーイン装置では、以下の問題点がある。１．バーイン装
置内の上記コネクタ 2a を介して各接続線を接続した後
のコンタクトが、正常に機能しているかどうか確認出来
ない。２．バーイン装置のコネクタ間のピンショートの
有無を確認出来ない。即ち、ピンショートテストができ
ない。３．バーイン装置が行なうファンクションテスト
が正常に機能しているかどうか確認出来ない。４．バー
イン装置が行なうソフトエラーテストが正常に機能して
いるかどうか確認出来ない。

【０００７】本発明は上記従来の欠点に鑑み、バーイン
装置のチャンバー内に上記１乃至４項の機能確認が実施
できるように、専用の回路を診断用カードに搭載し、検
証を行う診断装置および診断方法を提供することを目的
とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の問題点は下記の如
くに構成した診断装置および診断方法によって解決され
る。

【０００９】(1) 本発明の診断装置は、半導体装置のバ
ーンインを行うバーイン装置に設けられた直流供給ユニ
ットの複数の端子から、半導体装置を搭載したバーイン
カードを接続するために設けられたバーインカードコネ
クタまでの回路を診断する診断装置であって、直流供給
ユニットの１つの端子を選択して接続状態とし、他の端
子を開放状態とする第１の選択手段と、第１の選択手段
にバーインカードコネクタを介して接続され、第１の選
択手段によって選択された端子に対応する端子を選択し
て接続状態とし、他の端子を開放状態とする第２の選択
手段と、第１の選択手段および第２の選択手段によって
接続されて形成される回路が開放状態であることを検証
するのか、または接続状態であることを検証するのかを
選択する第３の選択手段と、第２の選択手段および第３
の選択手段を有し、バーインカードコネクタに接続され
る診断用カードと、を備え、直流を供給する側の複数の
端子およびバーインカードコネクタの接続状態を診断す
ることを特徴とする。

【００１０】(2) また、本発明の診断装置は、半導体装
置のバーンインを行うバーイン装置に設けられた直流供
給ユニットの複数の端子から、半導体装置を搭載したバ
ーインカードを接続するために設けられたバーインカー
ドコネクタまでの回路を診断する診断装置であって、直
流供給ユニットにバーインカードコネクタの端子に対応
してそれぞれ一対の端子を設け、直流供給ユニットの１
つの端子を選択して一方の端子に接続し、他の端子を他
方の端子に接続する第４の選択手段と、第４の選択手段
にバーインカードコネクタを介して接続され、バーイン
カードコネクタの端子に対応してそれぞれ一対の端子を
設け、第４の選択手段によって選択された端子に対応す
る端子を選択して一方の端子に接続し、他の端子を他方
の端子に接続する第５の選択手段と、第４の選択手段お
よび第５の選択手段によって接続されて形成される回路
に短絡がないことを検証するのか、または回路が閉ルー
プを形成することを検証するのかを選択する第６の選択
手段と、第５の選択手段および第６の選択手段を有し、
バーインカードコネクタに接続される診断用カードと、
を備え、直流を供給する側の複数の端子およびバーイン
カードコネクタの短絡状態を診断することを特徴とす
る。

【００１１】(3) 本発明の診断方法は、半導体装置のバ
ーンインを行うバーイン装置に設けられた直流供給ユニ
ットの複数の端子から、該半導体装置を搭載したバーイ
ンカードを接続するために設けられたバーインカードコ
ネクタまでの回路を診断する診断方法であって、直流供
給ユニットにバーインカードコネクタを介して診断用カ
ードを接続し、直流供給ユニットにおいて、１つの端子
を選択して接続状態とし、他の端子を開放状態とし、診
断用カードにおいて、直流供給ユニット側で接続状態と
した端子に対応する端子を選択して接続状態とし、他の
端子を開放状態とする回路を形成し、回路が開放状態で
あることを検証するのか、または接続状態であることを
検証するのかを選択し、直流を供給する側の複数の端子
およびバーインカードコネクタの接続状態を順次診断す
ることを特徴とする。 (4) また、本発明の診断方法は、半導体装置のバーンイ
ンを行うバーイン装置に設けられた直流供給ユニットの
複数の端子から、半導体装置を搭載したバーインカード
を接続するために設けられたバーインカードコネクタま
での回路を診断する診断方法であって、直流供給ユニッ
トにバーインカードコネクタを介して診断用カードを接
続し、直流供給ユニットにバーインカードコネクタの端
子に対応してそれぞれ一対の端子を設け、直流供給ユニ
ットの１つの端子を選択して一方の端子に接続し、他の
端子を他方の端子に接続し、診断用カードにおいて、バ
ーインカードコネクタの端子に対応してそれぞれ一対の
端子を設け、直流供給ユニットにおいて選択された端子
に対応する端子を選択して一方の端子に接続し、他の端
子を他方の端子に接続する回路を形成し、回路に短絡が
ないことを検証するのか、または回路が閉ループを形成
することを検証するのかを選択し、直流を供給する側の
複数の端子およびバーインカードコネクタの短絡状態を
順次診断することを特徴とする。

【００１２】

【作用】図１、図２は、本発明の一実施例を示した図で
ある。図１の１はバーイン装置に設けられた直流供給ユ
ニット、２は診断用カード、１ａ、３ａは半導体装置を
搭載したバーインカードを接続するためバーイン装置１
に設けられたバーインカードコネクタであり、２ａはバ
ーインカードのコネクタあるいは診断用カード２のコネ
クタである。 直流供給ユニット２とバーインカードのコ
ネクタ２ａの接続状態や短絡状態を診断するためには、
バーインカードコネクタ１ａ、３ａに順次、診断用カー
ド２を挿入して行く。 図１の１０、２０、２１はそれぞ
れ第１、第２、第３の選択手段である。第１の選択手段
１０、第２の選択手段２０、第３の選択手段２１は、直
流供給ユニット２の複数の端子から、バーインカードコ
ネクタ１ａ（あるいは３ａ）を介して診断用カード２の
コネクタ２ａまでの回路の接続状態（以下コンタクトと
いう）を診断するために用いられる。 図１の１１、２
３、２４はそれぞれ第４、第５、第６の選択手段であ
る。第４の選択手段１１、第５の選択手段２３、第６の
選択手段２４は、直流供給ユニット２の複数の端子か
ら、バーインカードコネクタ１ａ（あるいは３ａ）を介
して診断用カード２のコネクタ２ａまでの回路の短絡状
態（以下ピンショートという）を診断するために用いら
れる。 第１乃至第６の選択手段には、例えばリレー回路
が用いられる。第１の選択手段１０および第２の選択手
段２０は、診断対象の端子に関する回路を接続状態と
し、それ以外の端子に関する回路を開放状態とする。 第
３の選択手段２１は、第１の選択手段１０および第２の
選択手段２０によって選択し形成した回路が、開放状態
であることを検証するのか、または接続状態であること
を検証するのかを選択する。接続状態であることを検証
する場合は、第３の選択手段２１の端子の一方に、例え
ばダイオード（図１にＤと示す。）を接続する。 直流供
給ユニット１からダイオードを正常に動作させるための
所定の電圧を供 給し、例えば電流計（図１にＡと示
す。）で所定の電流−電圧特性を得ることを検証する。
このようにバーインカードコネクタ１ａの全ての端子に
ついて接続状態および開放状態の診断すなわちコンタク
ト診断を終了すると、次にバーインカードコネクタ３ａ
について同様にコンタクト診断を行う。

【００１３】第４の選択手段１１および第５の選択手段
２３は、診断対象の端子に関する回路を接続状態とし、
それ以外の端子に関する回路を図１の（ｂ）に示すよう
に、診断対象の端子に関する回路とは切り離して閉ルー
プを形成して接続する。このように回路を切り離すこと
によって短絡状態の診断すなわちピンショート診断が可
能になる。 第６の選択手段２４は、回路を開放状態とし
てピンショート診断を行うのか、または接続状態として
閉ループ診断を行うのかを選択する。閉ループ診断を行
う場合は、第６の選択手段２４の端子の一方に、例えば
ダイオード（図１にＤと示す。）や抵抗（図１にＲと示
す。）を接続する。

【００１４】ピンショート診断においても閉ループ診断
においても、直流供給ユニット１から電圧を供給し、所
定の電流−電圧特性を得ることを検証する。閉ループ診
断ではバーイン装置がダイオード特性ショートや抵抗特
性ショートを的確に検出できるかどうかを検証する。

【００１５】このようにバーインカードコネクタ１ａの
全ての端子についてピンショート診断を終了すると、次
にバーインカードコネクタ３ａについて同様にピンショ
ート診断を行う。

【００１６】次に本発明の診断装置の診断用の一部回路
が搭載された診断カードを用いて行うソフトエラーテス
ト機能の診断について説明する。図２の２７は診断用の
記憶手段であり、記憶手段２７は例えば図２に示すよう
にメモリーＩＣである。図２の２９、３０は記憶手段２
７の読み出しデータを反転する反転手段であり、２９は
具体的には排他的論理和回路であり、３０は指定された
アドレスの一致比較回路である。アドレス選択手段は図
示していない。このように構成することで、特定のアド
レスを指定されるとそのメモリＩＣの読み出しデータを
反転させることが可能になり、擬似的にソフトエラーを
発生させることが可能になる。次に、バーンインで行う
メモリＩＣのファンクションテストについて説明する。

【００１７】該ファンクションテストは、交流テストと
もいわれ、バーインカード 200 (図３参照）のソケット
に挿入したメモリＩＣに対して、該バーイン装置のドラ
イバユニット 40 から該メモリＩＣのアドレス端子に、
任意のアドレス(Add) を入力し、データ端子(Din) にデ
ータを入力してライトしたときの、該メモリＩＣのリー
ド端子(Dout)からの読み出しデータを、コンパレータユ
ニット 41 で期待値と比較するテストである。

【００１８】このために、診断用カード 2に、該バーイ
ン用と同じメモリＩＣ 27 を搭載し、ドライバユニット
40 から、該メモリＩＣ 27 を任意のアドレス線(ADD)
にアドレスを、データ線(Din) にデータを入力して、該
メモリＩＣにデータをライトし、同じアドレスのデータ
を、リード端子(Dout)から読み出し、コンパレータユニ
ット 41 で確認することで検証することができる。

【００１９】又、所定のアドレスにライトしたデータ
が、誤って読み出され、期待値と異なることをコンパレ
ータで確認する機構として、任意アドレスの選択回路 3
0 と、該選択されたアドレスのデータを反転して、誤り
データとして読み出す回路 29を設ける。

【００２０】該任意アドレスの選択回路 30 は、該診断
用カード 2に、上記メモリＩＣ 27を搭載し、例えば、
上記メモリＩＣへのアドレス線(ADD) の各ビットと、該
指定アドレスを入力する設定アドレス線(I0,I1) のビッ
トとの排他的論理和回路を設け、この排他的に論理和し
た各アドレスのビット線の出力を論理積回路に入力し、
コントロール線(CT)でゲートすることで、任意のアドレ
スを選択することができる。

【００２１】そして、上記該アドレスのデータが誤って
いることを読み出す回路 29 は、上記任意アドレスの選
択回路 30 の出力信号で、例えば、該メモリＩＣ 27 の
リード端子(Dout)の信号と排他的論理和をとる回路を設
け、該リードデータ(Dout)の反転出力を取り出すこと
で、該設定したアドレスのデータが誤っている場合のフ
ァンクションテストを検証することができる。

【００２２】次に、メモリＩＣのソフトエラーテストが
できることを検証する回路 (図２参照）について説明す
る。該メモリＩＣ 27 のソフトエラーテストは、アドレ
スに対応して内部にデータを書き込み、その後、例え
ば、Ｎ回読み出す。若し、あるアドレスに読み出し不良
が発生した場合、その不良アドレスをもう一度読み出し
同じ現象の時、そのアドレスに、前と同じデータの再書
込みを行ない、そのアドレスを読み出し、正常ならば、
上記の読み出しエラーはソフトエラーとするものであ
る。

【００２３】本発明の診断装置の診断回路の一部である
診断用カード２上にソフトエラーテスト用に専用回路を
置き、バーイン装置のソフトエラーテストが正常に動作
することを検証することができる。具体的にはファンク
ションテスト用として設けられているアドレス選択回路
30に、任意アドレスを設定してデータを書込み、例え
ば、Ｎ回連続読み出した時点で誤りデータ読み出し回路
29で該データを反転して誤りが検出できること、およ
び、誤りを検出した後、再度読み出して再度誤りを検出
できることを検証し、その後、同じアドレスに同じデー
タを書込み、そのアドレスの正常読み出し（コントロー
ル線(CT)の制御によって反転読み出しを指示しない）を
行って正常に読み出しができることを確認する。このよ
うにしてバーイン装置のバーインカードを挿入するコネ
クタ2aと、バーイン装置の直流供給ユニット1 のコネク
タ1a、或いはドライバユニット40とコンパレータユニッ
ト41のコネクタ3aとの間の接続線のコンタクトおよびピ
ンショートテストを行うことにより、バーインカードの
ソケットに挿入したメモリＩＣに対するファンクション
テストができることを事前に検証することができると共
に、擬似的にソフトエラーを発生させてソフトエラーを
検出できることを事前に確実に検証することができ、信
頼度の高いバーインを実施することができる効果が得ら
れる。

【００２４】

【実施例】以下本発明の実施例を図面によって詳述す
る。前述の図１，図２が、本発明の一実施例を説明する
図である。

【００２５】本発明においては、バーイン装置で行う各
種バーイン試験が正常に運用できることを、事前に検証
する為の診断回路として、特定の診断用カード2を用い
て、バーイン装置のコネクタ 2a の１つの端子を選択，
接続し、他の全ての端子を開放して、該選択端子にダイ
オード(D) を接続して、所定の電圧を印加することで、
該端子の電流(I)-電圧(V) 特性として、ダイオード特性
が得られることを確認して、該コネクタのコンタクトを
検証する手段 11,20,21,D 、同様にして、該コネクタの
１つの端子を選択，接続し、他の全ての端子を開放し
て、該端子が開放状態にあること，或いは、該選択した
端子にダイオード(D),或いは、抵抗(R)を接続して、該
端子に所定の電圧を印加することで、該端子の電流(I)-
電圧(V) 特性として、ダイオード特性があること，或い
は、抵抗特性があることを確認して、該コネクタのダイ
オード／抵抗特性ピンショートを検証する手段 11,23,2
4,25,26,D,R 、又、メモリＩＣ 27 の任意のアドレスで
データのライト／リード，或いは、特定のアドレスが正
常動作していないことを確認して、該バーインカードの
ファンクションテストができることの検証を行い、該メ
モリＩＣ 27 のソフトエラー動作ができることを確認し
て、該バーインカードのソフトエラーテストを検証する
手段 27,28,29,30が、本発明を実施するのに必要な手段
である。尚、全図を通して同じ符号は同じ対象物を示し
ている。

【００２６】以下、図１，図２を用いて、本発明のバー
イン装置の診断回路の構成と，動作を説明する。 〔特許請求の範囲の請求項１の説明〕：図１(a) 参照 コンタクトテストは、コネクタの端子に微小電圧を印加
して、その時の電流を測定し、実際のバーインテストに
おいて、ＩＣが正しくコンタクトしていることを、該バ
ーインに先立って検証するものである。

【００２７】即ち、直流供給ユニット 1と, 診断用カー
ド 2上に専用回路、例えば、リレー回路 10,20,21,ダイ
オード(D) を置き、バーイン装置の、事前のコンタクト
テストが正常に動作すること｛即ち、該バーインカード
を挿入するコネクタ 2a と,バーイン装置側のコネクタ
1a,3aのコンタクト性｝を診断 (検証) するものであ
る。このときの回路動作を以下に説明する。尚、以下の
説明では、説明の便宜上、コネクタ 2a,及び、コネクタ
1a,3aの端子の数が、３個の例で説明する。 ＜コネクタの各端子が正常にコンタクトしていることを
検証する動作説明＞ 1) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10のリレー接
点を閉じ、リレー回路(2),(3) 10のリレー接点を開放す
る。

【００２８】2) 診断用カード 2のリレー回路(4) 20の
リレー接点を閉じ、リレー回路(5),(6) 20のリレー接点
を開放する。 3) 診断用カード 2のリレー回路(7) 21のリレー接点を
ｂ側に閉じ、ダイオード(D) を接続する。

【００２９】4) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 1
0を介して、所定の微小電圧を印加する。 5) 該直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10に流れる
電流を測定する。

【００３０】6) 該印加した電圧(V) と、測定した電流
(I)との間の電流(I)-電圧(V) 特性が、ダイオード特性
の電流値内であれば、正常とする。 7) 同様に、直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10の
リレー接点をリレー回路(2),(3) のリレー接点に置き換
えて、上記 1) 〜6)項を行なう。 ＜コネクタの各端子が正常にコンタクトしていない (即
ち、開放状態にある) ことを検証する動作説明＞ 1) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10のリレー接
点を閉じ、リレー回路(2),(3) 10のリレー接点を開放す
る。

【００３１】2) 診断用カード 2のリレー回路(4) 20の
リレー接点を閉じ、リレー回路(5),(6) 20のリレー接点
を開放する。 3) 診断用カード 2のリレー回路(7) 21のリレー接点を
ａ側に閉じる。

【００３２】4) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 1
0を介して、所定の微小電圧を印加する。 5) 該直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10に流れる
電流を測定する。

【００３３】6) 電流の値が、“０”であれば正常 (コ
ンタクトしていない) とする。 7) 同様に、直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 10の
リレー接点をリレー回路(2),(3) 10のリレー接点に置き
換えて、上記 1) 〜6)項を行なう。 〔特許請求の範囲の請求項２の説明〕：図１(b) 参照 ピンショートテストは、選択したコンタクト (端子)
に、微小電圧を印加して、その時の電流を測定し、該コ
ンタクトが他のコンタクトとショートしていないこと
を、バーインに先立って検証するものである。

【００３４】即ち、直流供給ユニット 1と, 診断用カー
ド 2上に専用回路、例えば、リレー回路 11,23,24,25,2
6,ダイオード(D),抵抗(R) を置き、バーイン装置の、事
前のピンショートテストが正常に動作すること｛即ち、
該バーインカードを挿入するコネクタ 2a のピンショー
トがないこと, 或いは、ＩＣ内に発生しているダイオー
ド特性ピンショート，抵抗特性ピンショートの確認がで
きること｝を診断 (検証) するものである。このときの
回路動作を以下に説明する。 ＜コネクタの各端子が、ピンショートしていないことを
検証する動作説明＞ 1) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 11のリレー接
点をａ側に閉じる。

【００３５】2) 直流供給ユニット 1のリレー回路(2),
(3) 11のリレー接点をｄ，ｆ側に閉じる。 3) 診断用カード 2のリレー回路(4) 23のリレー接点を
ｇ側に閉じる。

【００３６】4) 診断用カード 2のリレー回路(5),(6) 2
3のリレー接点をｊ，l に閉じる。 5) 診断用カード 2のリレー回路(7) 24のリレー接点を
ｍ側に閉じる。 6) 直流供給ユニット 1から、例えば、０．３Ｖの電圧
を印加する。

【００３７】7) 直流供給ユニット 1側において、リレ
ー回路(1),(2),(3) へ流れる電流を測定する。 8) 電流の値が、“０”であれば正常とする。

【００３８】9) 同様に、直流供給ユニット 1のリレー
回路(1) 11のリレー接点をリレー回路(2),(3) 11のリレ
ー接点に置き換えて、上記 1) 〜8)項を行なう。 ＜コネクタの各端子が、ダイオード特性を示してショー
トしていることを検証する動作説明＞ 1) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 11のリレー接
点をａ側に閉じる。

【００３９】2) 直流供給ユニット 1のリレー回路(2),
(3) 11のリレー接点をｄ，ｆ側に閉じる。 3) 診断用カード 2のリレー回路(4) 23のリレー接点を
ｇ側に閉じる。

【００４０】4) 診断用カード 2のリレー回路(5),(6) 2
3のリレー接点をｊ，l に閉じる。 5) 診断用カード 2のリレー回路(7) 24のリレー接点を
ｎ側に閉じる。 6) 診断用カード 2のリレー回路(8) 25のリレー接点を
閉じる。

【００４１】7) 直流供給ユニット 1から、例えば、
０．３Ｖの電圧を印加する。 8) 直流供給ユニット 1側において、リレー回路(1),
(2),(3) 11へ流れる電流を測定する。

【００４２】9) 電流の値が、ダイオード特性の電流値
内であれば、正常とする。 10)同様に、直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 11の
リレー接点をリレー回路(2),(3) 11のリレー接点に置き
換えて、上記 1) 〜9)項を行なう。 ＜コネクタの各端子が、抵抗特性を示してショートして
いることを検証する動作説明＞ 1) 直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 11のリレー接
点をａ側に閉じる。

【００４３】2) 直流供給ユニット 1のリレー回路(2),
(3) 11のリレー接点をｄ，ｆ側に閉じる。 3) 診断用カード 2のリレー回路(4) 23のリレー接点を
ｇ側に閉じる。

【００４４】4) 診断用カード 2のリレー回路(5),(6) 2
3のリレー接点をｊ，l に閉じる。 5) 診断用カード 2のリレー回路(7) 24のリレー接点を
ｎ側に閉じる。 6) 診断用カード 2のリレー回路(8) 25のリレー接点を
開放し、リレー回路(9)26のリレー接点を閉じる。

【００４５】7) 直流供給ユニット 1から、例えば、
０．３Ｖの電圧を印加する。 8) 直流供給ユニット 1側において、リレー回路(1),
(2),(3) 11へ流れる電流を測定する。

【００４６】9) 電流の値が、抵抗特性の電流値内であ
れば、正常とする。 10)同様に、直流供給ユニット 1のリレー回路(1) 11の
リレー接点をリレー回路(2),(3) 11のリレー接点に置き
換えて、上記 1) 〜9)項を行なう。 〔特許請求の範囲の請求項３の説明〕：図２(c) の回路
図参照 前述のように、メモリＩＣのファンクションテストは、
アドレスに対応して内部にデータを書き込み、その後、
該書き込んだ通りのデータを読み出せることをチェック
している。

【００４７】本発明は、診断用カード 2上に専用回路を
置き、バーイン装置の上記メモリＩＣに対するファンク
ションテストが正常に動作することを診断するものであ
る。その回路動作を以下に説明する。 ＜メモリＩＣが、正常に動作していることを検証する動
作説明＞ 1) 診断用カード 2のアドレス選択回路 30 のコントロ
ール線(CT)の信号をローレベルに固定する。

【００４８】2) 診断用カード 2のメモリＩＣ 27 のア
ドレス線(ADD),データ線(Din),ライトイネーブル線(W
E), チップセレクト線(CS)を付勢して、該アドレスにデ
ータを書き込む。

【００４９】3) メモリＩＣ 27 の読み出し線(Dout)の
データを、排他的論理和回路 29 を介して読み出す。こ
のとき、上記アドレス選択回路 30 のコントロール線(C
T)の信号をローレベルに固定されているので、該メモリ
ＩＣ 27 の読み出し線(Dout)のデータを正しく取り出
し、図３に示したバーイン装置のコンパレータユニット
41 に入力することができる。

【００５０】4) 該コンパレータユニット 41 で、該書
き込んだデータ (期待値) と比較し、一致していること
判定する。 ＜メモリＩＣの１アドレスが、正常に動作していないこ
とを検証する動作説明＞ 例）アドレスの本数を２本(A0,A1) とし、２番地("01")
を不良とした場合： 1) 診断用カード 2のアドレス選択回路 30 のコントロ
ール線(CT)の信号をローレベルにする。

【００５１】2) アドレス選択回路 30 の設定アドレス
入力線(I0)の信号を‘０’にする。（設定アドレス入力
線(I0)の信号をＬＳＢとし、アドレス(A0)と対応させ
る。） 3) アドレス選択回路 30 の設定アドレス入力線(I1)の
信号を‘１’にする。（設定アドレス入力線(I0)の信号
をＭＳＢとし、アドレス(A1)と対応させる。） 4) 診断用カード 2のメモリＩＣ 27 のアドレス線(AD
D),データ線(Din),ライトイネーブル線(WE), チップセ
レクト線(CS)を付勢して、該アドレスにデータを書き込
む。

【００５２】5) 診断用カード 2のアドレス選択回路 30
のコントロール線(CT)の信号をハイレベルにする。 6) 診断用カード 2のメモリＩＣ 27 のデータを読み出
す。このとき、上記選択回路 30 の出力信号は“１”を
示しているので、該メモリＩＣ 27 のデータを反転し
て、上記バーイン装置のコンパレータユニット 41 に入
力することができる。

【００５３】7) 該コンパレータユニット 41 で、該書
き込んだデータ (期待値) と比較し、２番地だけが一致
していないと判定する。即ち、本実施例においては、該
アドレス選択回路 30 で設定したアドレスのデータを反
転して、コンパレータユニット41 に入力することがで
きるので、該メモリＩＣ 27 の選択したアドレスが、正
常に動作していないことを検証することができる。 〔特許請求の範囲の請求項３の他の実施例の説明〕：図
２(c) の回路図参照 ここで行う、メモリＩＣのソフトエラーテストは、前述
のように、アドレスに対応して内部にデータを書き込
み、その後Ｎ回読み出す。若し、あるアドレスに読み出
し不良が発生した場合、その不良アドレスをもう一度読
み出し、同じ現象の時、そのアドレスに再書込みを行な
う。そのアドレスを読み出し、正常ならばソフトエラー
としている。

【００５４】本発明では、診断用カード 2上に専用回路
を置き、バーイン装置のソフトエラーテストが正常に動
作することを診断するものである。その回路動作を以下
に説明する。 ＜メモリＩＣが、ソフトエラーを起こしていることを検
証する動作説明＞ 例）アドレスの本数を２本(A0,A1) とし、２番地("01")
を不良とした場合： 1) 診断用カード 2のアドレス選択回路 30 のコントロ
ール線(CT)の信号をローレベルにする。

【００５５】2) アドレス選択回路 30 の設定アドレス
入力線(I0)の信号を‘０’にする。（設定アドレス入力
線(I0)の信号をＬＳＢとし、アドレス(A0)と対応させ
る。） 3) アドレス選択回路 30 の設定アドレス入力線(I1)の
信号を‘１’にする。（設定アドレス入力線(I0)の信号
をＭＳＢとし、アドレス(A1)と対応させる。） 4) 診断用カード 2のメモリＩＣ 27 のアドレス線(AD
D),データ線(Din),ライトイネーブル線(WE), チップセ
レクト線(CS)を付勢して、該アドレスにデータを書き込
む。

【００５６】5) 診断用カード 2のメモリＩＣ 27 の上
記付勢したアドレスのデータを、例えば、Ｎ回読み出
す。このとき、上記選択回路 30 の出力信号は“０”を
示しているので、該メモリＩＣ 27 のデータをそのま
ま、上記バーイン装置のコンパレータユニット 41 に入
力することができる。

【００５７】6) 上記の読み出しの過程において、例え
ば、Ｎ／２回、上記の読み出しを行った時点で、該診断
用カード 2のアドレス選択回路 30 のコントロール線(C
T)の信号をハイレベルにする。

【００５８】7) 該コンパレータユニット 41 で、該書
き込んだデータ (期待値) と比較し、２番地だけが一致
していないと判定する。即ち、本実施例においても、該
アドレス選択回路 30 で設定したアドレスのデータを反
転して、コンパレータユニット41 に入力することがで
きるので、該メモリＩＣ 27 の選択したアドレス、即
ち、２番地が、正常に動作していないことを検証するこ
とができる。

【００５９】8) 上記の２番地だけの読み出しを再度行
う。 9) 該コンパレータユニット 41 で、該２番地に書き込
んだデータと比較し、一致していないと判定する。

【００６０】10)該２番地だけに、上記 4) 項で書込ん
だのと同じデータを書き込む。 11)ここで、該診断用カード 2のアドレス選択回路 30
のコントロール線(CT)の信号をローレベルにする。即
ち、該２番地のデータを正常に読み出すことができるよ
うにする。

【００６１】12)該２番地だけを読み出す。 13)該２番地の読み出しデータを、上記コンパレータユ
ニット 41 で該２番地に書き込んだデータ（期待値）と
比較し、一致していると判定する。

【００６２】上記の手順は、前述した、当該２番地で、
ソフトエラーが発生したときの動作と同じであるので、
このようにして、バーインカードで、メモリＩＣ 27 を
挿入したとき、該メモリＩＣ 27 で発生する、ソフトエ
ラーを検出可能なことが検証できる。

【００６３】このように、本発明は、バーイン装置にお
いて、特定の診断用カードを用いて、バーイン装置のコ
ネクタの１つの端子を選択，接続し、他の全ての端子を
開放して、該端子で開放特性が得られること, 或いは、
該端子にダイオードを接続したとき、該端子にダイオー
ド特性が得られることを確認して、該コネクタのコンタ
クトを検証し、該コネクタの１つの端子を選択，接続
し、他の全ての端子を開放して、該端子が開放状態にあ
ること，或いは、該選択した端子と他の端子との間に閉
ループを構成し、該閉ループに、ダイオード(D),抵抗
(R) を挿入して、該端子にダイオード特性，或いは、抵
抗特性があることを確認して、該コネクタのダイオード
特性／抵抗特性ピンショートが有ることを確認できるこ
とを検証し、メモリICの任意のアドレスでデータのライ
ト／リード，特定のアドレスが正常動作していないこと
を検証する回路を用いて、該メモリＩＣのファンクショ
ン動作、該メモリＩＣのソフトエラー動作が確認できる
ことを検証することで、バーイン装置で行う各種バーイ
ン試験が正常に運用できることを、事前に検証するよう
にしたところに特徴がある。

【００６４】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
バーイン装置の診断回路は、バーイン装置において、特
定の診断用カードを用いて、バーイン装置のコネクタの
１つの端子を選択，接続し、他の全ての端子を開放し
て、該選択, 接続した端子で開放特性, 又は、ダイオー
ド特性が得られることを確認して、該コネクタのコンタ
クトを検証し、該コネクタの１つの端子を選択，接続
し、他の全ての端子を開放して、該端子が開放状態にあ
ること，或いは、該選択した端子と他の端子との間に閉
ループを構成し、該閉ループに、ダイオード(D),抵抗
(R) を挿入して、該端子にダイオード特性，或いは、抵
抗特性があることを確認して、該コネクタのダイオード
特性／抵抗特性ピンショートの有ることを確認できるこ
とを検証し、メモリICの任意のアドレスでデータのライ
ト／リード，特定のアドレスが正常動作していないこと
を検証する回路を用いて、該メモリＩＣのファンクショ
ン動作，ソフトエラー動作が確認できることを検証する
ようにしたものであるので、バーイン装置で行う各種バ
ーイン試験が正常に運用できることを、事前に検証する
ことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示した図（その１）

【図２】本発明の一実施例を示した図（その２）

【図３】従来のバーイン装置の問題点を説明する図

【符号の説明】

1 直流供給ユニット 2 診断用カ
ード 2a 診断用カードのコネクタ 40 ドライバユニット 41 コンパレ
ータユニット 1a,3a バーイン装置側のコネクタ 10,11 直流供給ユニットのリレー回路(1) 〜(3) 20,23 診断用カードのリレー回路(4),(5),(6) 21,24,25,26 診断用カードのリレー回路 27 メモリＩＣ 28 メモリア
クセス回路 29 排他的論理和回路 30 アドレス
選択回路 R 抵抗 D ダイオード CT コントロール線 I0,I1 設定アドレス入力線

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−64177（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−39021（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−54099（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−235374（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−26874（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−282476（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−115865（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−75881（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 31/28

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体装置のバーンインを行うバーイン装
   置に設けられた直流供給ユニットの複数の端子から、該
   半導体装置を搭載したバーインカードを接続するために
   設けられたバーインカードコネクタまでの回路を診断す
   る診断装置であって、 前記直流供給ユニットの１つの端子を選択して接続状態
   とし、他の端子を開放状態とする第１の選択手段と、 前記第１の選択手段に前記バーインカードコネクタを介
   して接続され、前記第１の選択手段によって選択された
   端子に対応する端子を選択して接続状態とし、他の端子
   を開放状態とする第２の選択手段と、 前記第１の選択手段および前記第２の選択手段によって
   接続されて形成される回路が開放状態であることを検証
   するのか、または接続状態であることを検証するのかを
   選択する第３の選択手段と、 を備え、 直流を供給する側の複数の端子およびバーインカードコ
   ネクタの接続状態を診断することを特徴とする診断装
   置。
2. 【請求項２】半導体装置のバーンインを行うバーイン装
   置に設けられた直流供給ユニットの複数の端子から、該
   半導体装置を搭載したバーインカードを接続するために
   設けられたバーインカードコネクタまでの回路を診断す
   る診断装置であって、 前記直流供給ユニットに前記バーインカードコネクタの
   端子に対応してそれぞれ一対の端子を設け、前記直流供
   給ユニットの１つの端子を選択して一方の端子に接続
   し、他の端子を他方の端子に接続する第４の選択手段
   と、 前記第４の選択手段に前記バーインカードコネクタを介
   して接続され、前記バーインカードコネクタの端子に対
   応してそれぞれ一対の端子を設け、前記第４の選択手段
   によって選択された端子に対応する端子を選択して一方
   の端子に接続し、他の端子を他方の端子に接続する第５
   の選択手段と、 前記第４の選択手段および前記第５の選択手段によって
   接続されて形成される回路に短絡がないことを検証する
   のか、または該回路が閉ループを形成することを検証す
   るのかを選択する第６の選択手段と、 を備え、 直流を供給する側の複数の端子およびバーインカードコ
   ネクタの短絡状態を診断することを特徴とする診断装
   置。
3. 【請求項３】半導体装置のバーンインを行うバーイン装
   置に設けられた直流供給ユニットの複数の端子から、該
   半導体装置を搭載したバーインカードを接続するために
   設けられたバーインカードコネクタまでの回路を診断す
   る診断方法であって、前記直流供給ユニットに前記バーインカードコネクタを
   介して診断用カードを接続し、 前記直流供給ユニットにおいて、１つの端子を選択して
   接続状態とし、他の端子を開放状態とし、 前記診断用カードにおいて、前記接続状態とした端子に
   対応する端子を選択して接続状態とし、他の端子を開放
   状態とする回路を形成し、 該回路が開放状態であることを検証するのか、または接
   続状態であることを検証するのかを選択し、 直流を供給する側の複数の端子およびバーインカードコ
   ネクタの接続状態を順次診断する ことを特徴とする診断
   方法。
4. 【請求項４】半導体装置のバーンインを行うバーイン装
   置に設けられた直流供給ユニットの複数の端子から、該
   半導体装置を搭載したバーインカードを接続するために
   設けられたバーインカードコネクタまでの回路を診断す
   る診断方法であって、 前記直流供給ユニットに前記バーインカードコネクタを
   介して診断用カードを接続し、 前記直流供給ユニットに前記バーインカードコネクタの
   端子に対応してそれぞれ一対の端子を設け、前記直流供
   給ユニットの１つの端子を選択して一方の端子に接続
   し、他の端子を他方の端子に接続し、 診断用カードにおいて、前記バーインカードコネクタの
   端子に対応してそれぞれ一対の端子を設け、前記直流供
   給ユニットにおいて選択された端子に対応する 端子を選
   択して一方の端子に接続し、他の端子を他方の端子に接
   続する回路を形成し、 該回路に短絡がないことを検証するのか、または該回路
   が閉ループを形成することを検証するのかを選択し、 直流を供給する側の複数の端子およびバーインカードコ
   ネクタの短絡状態を順次診断することを特徴とする診断
   方法。