JP7204058B1 - モジュール型リニアモータ - Google Patents

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Abstract

モジュール型リニアモータ(1)は、ストローク方向(S)に並設された複数の固定子モジュール(10)を有する固定子モジュール群(100)と、ストローク方向(S)に並設された複数の可動子モジュール(20)を有し、固定子モジュール群(100)に対して空隙(Tg)を隔てて対向配置される可動子モジュール群(200)と、を備える。固定子モジュール(10)の各々は、Np1個の磁極(11)が配列された永久磁石ブロック(10a)を備える。固定子モジュール群(100)の永久磁石ブロック(10a)に含まれる複数の磁極(11)のうち、1つの可動子モジュール(20)に対して対向配置される磁極(11)の個数をNp2とするとき、Np1>Np2である。

Description

本開示は、ストローク方向に複数の固定子モジュールおよび複数の可動子モジュールが配置されたモジュール型リニアモータに関する。
リニアモータは、可動子および固定子から構成され、可動子がストローク方向に直線的に移動する。リニアモータでは、所望の可動範囲または推力に応じて、可動子および固定子のストローク方向の長さの設定が必要である。一方、可動子および固定子の製造性を考えると、製品性能に応じて製品のストローク方向の長さを複数設定することは、コアの歩留まり悪化、製造設備のコスト増加を招く。
そこで、モジュール化された可動子を、可動子のストローク方向に複数配置することが提案されている。また、特許文献1には、界磁ヨークおよび複数の永久磁石を有する固定子をモジュール化し、モジュール化された固定子を可動子のストローク方向に複数配置することが示されている。
特開2004-135385号公報
特許文献1のように、固定子モジュールをストローク方向に複数並べて配置する場合、隣り合う固定子モジュールが接する隣接部で、固定子モジュールから生じる磁束密度が非対称となる部分が発生する。よって、磁気的空隙を隔てて配置される可動子モジュール群がストローク方向に移動する際に生じるコギング推力が増加し、リニアモータの位置決め精度が低下するという課題がある。特に、固定子側の磁石が通常の磁極毎の永久磁石ではなく、複数の磁極が一括で着磁された永久磁石ブロックを用いる場合、隣り合う固定子モジュール間部で固定子モジュールの生じる磁束密度が非対称となる領域ができる。
本開示は、上記に鑑みてなされたものであり、可動子モジュール群がストローク方向に移動する際に生じるコギング推力を低減することができるモジュール型リニアモータを得ることを目的としている。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示におけるモジュール型リニアモータは、ストローク方向に並設された複数の固定子モジュールを有する固定子モジュール群と、固定子モジュール群に対して空隙を隔てて対向配置される可動子モジュール群と、を備える。可動子モジュール群は、ストローク方向の両端に配置された補助ティースと、補助ティースの間にストローク方向に並設された複数の可動子モジュールと、を備え、可動子モジュールの各々は、補助ティース間でストローク方向に延在するコアバックおよび一定のピッチで配列された複数のティース部を有する可動子コアと、複数のティース部の各々に巻回された複数のコイルと、を備える。固定子モジュールの各々は、複数の第1磁極数の磁極が1つの磁石に配列された永久磁石ブロックを備える。固定子モジュール群の永久磁石ブロックに含まれる複数の磁極のうち、1つの可動子モジュールに対して対向配置される磁極の個数を第2磁極数とするとき、第1磁極数が第2磁極数より大きいことを特徴とする。
本開示におけるモジュール型リニアモータによれば、可動子モジュール群がストローク方向に移動する際に生じるコギング推力を低減することができるという効果を奏する。
実施の形態1に係るモジュール型リニアモータの構成を示す側面図 実施の形態1に係るモジュール型リニアモータの固定子モジュールと着磁ヨークとの着磁時の位置関係を示す側面図 比較例のモジュール型リニアモータの構成を示す側面図 実施の形態1の永久磁石ブロックの表面磁束とコギング推力との関係を示す図 実施の形態1の永久磁石ブロックの表面磁束の測定箇所を説明するための図 実施の形態1の固定子モジュールの複数の磁極の表面磁束波形を示す図 実施の形態1の可動子モジュールの構成を示す拡大側面図 実施の形態1のティース鍔部の形状とコギング推力との関係を示す図 実施の形態1の変形例のモジュール型リニアモータの構成を示す側面図 実施の形態2に係るモジュール型リニアモータの構成を示す側面図 実施の形態3に係るモジュール型リニアモータの構成を示す側面図 実施の形態3の可動子モジュールの構成を示す拡大側面図
以下に、実施の形態にかかるモジュール型リニアモータを図面に基づいて詳細に説明する。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係るモジュール型リニアモータ1の構成を示す側面図である。モジュール型リニアモータ1は、固定子モジュール群100と、可動子モジュール群200と、を備える。可動子モジュール群200は、固定子モジュール群100に対して、ストローク方向Sに相対移動自在に配置されている。可動子モジュール群200は、固定子モジュール群100に対して磁気的な空隙Tgを隔てて対向配置されている。
可動子モジュール群200は、ストローク方向Sに並設された複数の可動子モジュール20と、可動子モジュール群200の両端部に設けられた補助ティース25と、を備える。各可動子モジュール20は、積層鉄心によって構成された可動子コア21と、複数のコイル22と、を備える。可動子コア21は、ストローク方向Sに延在するコアバック21aと、ストローク方向Sに、一定のピッチで配列された複数のティース部21bと、ティース部21bの先端に設けられるティース鍔部21cと、を有する。複数のコイル22は、ティース部21bの各々に巻回されている。ティース鍔部21cは、ティース部21bからストローク方向Sに突出している。隣り合うティース鍔部21cの間には、隙間であるスロットオープン21dが設けられている。図1においては、3個の可動子モジュール20で可動子モジュール群200を構成している。また、図1の場合、可動子コア21は、5個のティース部21bを有する。
固定子モジュール群100は、ストローク方向Sに並設された複数の固定子モジュール10を備える。各固定子モジュール10は、永久磁石ブロック10aと永久磁石ブロック10aを固定するバックヨークとしての固定子コア部10bと、を備える。永久磁石ブロック10aにおいては、着磁された複数の磁極11がストローク方向Sに並設されている。永久磁石ブロック10aにおける隣り合う磁極11の極性は逆となっている。図1においては、4個の固定子モジュール10で固定子モジュール群100を構成している。また、永久磁石ブロック10aの磁極数Np1は6個である。永久磁石ブロック10aのストローク方向Sの長さと、固定子コア部10bのストローク方向Sの長さは同じとなっている。固定子モジュール群100の永久磁石ブロック10aに含まれる複数の磁極11のうち、1つの可動子モジュール20と空隙Tgを介して対向配置された磁極11の個数である磁極数Np2は4個となっている。磁極数Np1が第1磁極数に対応し、磁極数Np2が第2磁極数に対応する。実施の形態1では、Np1>Np2となっている。固定子モジュール10の永久磁石ブロック10aの各磁石については、通常の磁極毎の永久磁石ではなく、複数の磁極11が一括で着磁された永久磁石ブロックを用いている。このため、固定子モジュール10の永久磁石の個数および組立工数を減らして製造コストの低減を図る効果が得られる。
可動子モジュール群200のコイル22に電流が通電されると、可動子モジュール群200と固定子モジュール群100の磁極11との間で吸引力が発生し、可動子モジュール群200がストローク方向Sに移動する。なお、可動子モジュール群200の可動範囲は、可動子モジュール群200が固定子モジュール群100に空隙Tgを介して対面する範囲内であり、ストローク方向Sに可動子モジュール群200が固定子モジュール群100から飛び出すことはない。
つぎに、固定子モジュール10の着磁について説明する。図2は、実施の形態1に係るモジュール型リニアモータ1の固定子モジュール10と着磁ヨーク30との着磁時の位置関係を示す側面図である。固定子モジュール10と着磁ヨーク30とは、空隙を介して対向配置される。着磁ヨーク30は、ストローク方向Sに並べられて配置される複数のティース部31と、複数の着磁用コイル部32と、を有している。着磁用コイル部32に電流が通電されると、着磁用コイル部32の周囲に、略円状の着磁コイル磁界M1が発生する。これにより、固定子モジュール10の永久磁石ブロック10aに磁界が発生し、永久磁石ブロック10aが着磁される。永久磁石ブロック10aには、着磁ヨーク30の6つのティース部31が面しており、6つの磁極11が同時に着磁される。隣り合う磁極11間の極性は、着磁方向Gで示されるように、逆となっている。以上より、実施の形態1では、磁極数Np1,Np2は個別の磁石で決まる極数ではなく、永久磁石ブロック10aに一括で多極着磁された磁極のうち、1つの永久磁石ブロック10aに含まれる磁極数と、可動子モジュール20に対向する磁極数とになっている。このように複数の磁極を一括で着磁するため、着磁工数を減らして製造コストの低減を図る効果が得られる。
ここで、各磁極11の着磁分布は、コギング推力を考慮すると、対称形状であることが望ましい。一方、実施の形態1では、永久磁石ブロック10aにおける磁極11の配向方向はストローク方向Sに対して垂直方向となっており、着磁方向Gに従った磁界量に応じて着磁率が決定される。従って、永久磁石ブロック10aの極間は、着磁方向Gと磁界方向の向きが異なるため、着磁率が相対的に小さくなる。極間とは、隣り合う磁極11の間の領域である。このように、永久磁石ブロック10aの磁極11が隣り合う極間は、着磁率低下領域を有している。また、着磁ヨーク30および固定子モジュール10は直線形状であるため、着磁ヨーク30の通電時において、端部の着磁率低下領域C2と中央部の着磁率低下領域C1における磁界分布が異なる。すなわち、固定子モジュール10の中央部の着磁率低下領域C1における磁界分布と、固定子モジュール10の端部の着磁率低下領域C2における磁界分布とは、非対称となる。このように、固定子側の磁石が通常の磁極毎の永久磁石ではなく、複数の磁極が一括で着磁された永久磁石ブロック10aを用いる場合、永久磁石ブロック10aにおける中央部の極間の磁界分布と、端部の極間の磁界分布とは、非対称となる。
ここで、可動子モジュール群200がストローク方向Sに移動する際、可動子モジュール群200の可動子コア21と固定子モジュール群100の磁極11との吸引力によりコギング推力が発生する。コギング推力は、可動子コア21と磁極11の吸引力であるため、コイル22に電流が流れていない場合も発生し、リニアモータの位置決め精度向上のためには低減することが望ましい。
リニアモータのコギング推力としては、主に3つの成分がある。1つ目は、固定子のスロット次数およびその倍数成分で決まるスロット次数成分である。2つ目は、可動子モジュール20のスロット数と、固定子モジュール10における可動子モジュール20に対向配置される部分の磁極数Np2の最小公倍数とで決まる極スロット次数成分である。3つ目は、固定子モジュール10の磁極数Np1およびその倍数成分で決まる極次数成分である。このうち、1つ目のスロット次数成分は、可動子モジュール群200が空隙Tgにおける磁束密度が非対称となる領域を通過することによって生じる。空隙Tgの磁束密度が非対称となる領域は、前述した固定子モジュール10の端部の着磁率低下領域C2と、隣り合う固定子モジュール10間の永久磁石ブロック10aの隙間および固定子コア部10bの隙間で生じる。このように、空隙Tgの磁束密度が非対称となる領域とは、隣り合う固定子モジュール10が隣接する部分となる。よって、固定子モジュール10が隣接する部分を可動子モジュール群200が移動する際、スロット次数成分のコギング推力が発生し、かつ固定子モジュール10が隣接する部分の個数に応じて、スロット次数成分が増大する。これ以降、図1に示すように、隣り合う固定子モジュール10が隣接する部分15を固定子モジュール隣接部と呼ぶ。
図3は、比較例のモジュール型リニアモータの構成を示す側面図である。比較例のモジュール型リニアモータは、固定子モジュール群300および可動子モジュール群400を備える。固定子モジュール群300は、6個の固定子モジュール50で構成され、可動子モジュール群400は、3個の可動子モジュール60で構成されている。各固定子モジュール50の永久磁石ブロックの磁極数Np1は4個である。各可動子モジュール60は、実施の形態1と同様、5個のティース部を有する。比較例においては、1つの可動子モジュール60と空隙を介して対向配置された部分の磁極数Np2は4個となっている。比較例では、可動子モジュール群400はストローク方向Sの可動範囲内において、可動子モジュール群400の位置によって3個または4個の固定子モジュール隣接部55と面する。比較例では、Np1=Np2となっている。
これに対し、実施の形態1では、図1に示すように、Np1>Np2となっているので、可動子モジュール群200はストローク方向Sの可動範囲内において、可動子モジュール群200の位置によって2個または3個の固定子モジュール隣接部15と面する。すなわち、実施の形態1では、比較例と比較して、可動子モジュール群200が固定子モジュール隣接部15と面する個数が少なくなり、可動子モジュール群200が移動中に生じるコギング推力の最大値または平均値を低減することが可能となる。
なお、図1では、可動子モジュール群200を3個の可動子モジュール20で構成し、固定子モジュール群100を4個の固定子モジュール10で構成したが、可動子モジュール群200および固定子モジュール群100は、それぞれ2個以上の可動子モジュール20および固定子モジュール10で構成されていればよい。また、図1では、永久磁石ブロック10aの磁極数Np1を6個とし、1つの可動子モジュール20と空隙Tgを介して対向配置された部分の磁極数Np2を4個としているが、Np1>Np2が成立すれば、Np1,Np2の個数を他の個数としてよい。
また、補助ティース25を無くすようにしてもよい。その理由は、補助ティース25は前述したスロット次数成分のコギング推力には大きく寄与しないためである。また、図2では、固定子モジュール10の永久磁石ブロック10aが6磁極同時に着磁される場合を示したが、2磁極ずつ着磁するなどの他の着磁方法を採用してもよい。この場合においても、固定子モジュール隣接部15に磁束密度が非対称となる部位が発生する。
また、実施の形態1では、コギング推力が低減するように永久磁石ブロック10aを着磁している。図4は、実施の形態1の永久磁石ブロック10aの表面磁束とコギング推力との関係を示す図である。図5は、実施の形態1の永久磁石ブロック10aの表面磁束の測定箇所を説明するための図である。図6は、実施の形態1の固定子モジュール10の複数の磁極11の表面磁束波形を示す図である。
固定子モジュール10の永久磁石ブロック10aの表面磁束を測定する際には、図5に示すように、固定子モジュール10の永久磁石ブロック10aから空隙Tgだけ離れた位置の磁束量を、ストローク方向Sに永久磁石ブロック10aの幅W1に亘って測定する。破線で示す位置17が、表面磁束を測定する位置である。測定する表面磁束は、表面磁束測定結果のうちの、垂直方向Vの成分の磁束量である。垂直方向Vは、ストローク方向Sに垂直な方向であって、可動子モジュール群200と固定子モジュール群100とが対向する方向である。なお、固定子モジュール10を1つだけ配置して磁束密度を測定した場合、端部で磁束が低下するため、図5に示すように、固定子モジュール10をストローク方向Sに複数個配置し(図5では3個配置)、その中央部で1つの固定子モジュール10の磁束密度を測定している。
図6には、図5によって説明した手法によって測定された、固定子モジュール10に含まれる6個の磁極11の表面磁束波形が示されている。ただし、この測定結果は、固定子モジュール10の周辺には、磁性体が存在しない状態での測定結果である。図6において、横軸はストローク方向Sの測定位置であり、縦軸は磁束量である。左端部の磁極11および右端部の磁極11を除く各磁極11の表面磁束波形は、ほぼ対称形状を有している。しかし、固定子モジュール隣接部15に隣接している、左端部の磁極11および右端部の磁極11の表面磁束波形は、僅かに異なり、非対称形状となっている。すなわち、左端部の磁極11の表面磁束波形は、左側のピークが右側より突出し、右端部の磁極11の表面磁束波形は、右側のピークが左側より突出している。磁束量のピークを100%としたとき、磁束量が50%以上となる範囲の幅Wa1~Wa6の合計を幅W2としている。すなわち、W2=Wa1+Wa2+Wa3+Wa4+Wa5+Wa6である。幅W2は、永久磁石ブロック10aの幅をW1とし、幅W1のうち、固定子モジュール10から空隙Tgだけ離れた位置の磁束量がピークの磁束量の50%以上となる領域の幅であるとも言える。図6の場合は、W2/W1は0.867となっている。
図4では、横軸をW2/W1とし、縦軸をコギング推力としている。図4では、W2/W1が60%から66%までのときに、コギング推力がほぼ一定となっている。W2/W1が60%であるときのコギング推力を1.0[p.u.]としている。図4に示すように、0.66<W2/W1<0.91の範囲のときに、コギング推力が1.0[p.u.]以下となる効果が得られる。したがって、実施の形態1では、0.66<W2/W1<0.91となるように、永久磁石ブロック10aを着磁する。
これは、0.66<W2/W1<0.91とすることによって、端部の着磁率低下領域C2における磁界分布と中央部の着磁率低下領域C1における磁界分布の対称性が向上し、さらに固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙Tgに生じる磁束波形が滑らかになるため、前述したスロット次数成分と、極スロット次数成分のコギング推力が低減したためである。
つぎに、図7および図8を用いてティース鍔部21cの形状について説明する。図7は、実施の形態1の可動子モジュール20の構成を示す拡大側面図である。図8は、実施の形態1のティース鍔部21cの形状とコギング推力との関係を示す図である。可動子モジュール20の可動子コア21のティース部21bの先端は、前述したように、ストローク方向Sに突出したティース鍔部21cを有しており、隣り合うティース鍔部21c間には、間隔hsを有するスロットオープン21dが設けられている。図8では、横軸をhs/W2とし、縦軸をコギング推力としている。ただし、図8は、W2/W1=0.867の場合のhs/W2とコギング推力との関係を示している。ここで、ティース鍔部21cが存在しない場合、hs/W2は、0.475となり、このときのコギング推力を1.0[p.u.]とする。図8によれば、0.24<hs/W2<0.45とすることで、コギング推力を0.9[p.u.]以下とすることができ、コギング推力を低減することができる。これは、ティース鍔部21cを設けたことにより、隣り合うティース部21b間のスロットオープン21dの間隔hsが小さくなり、固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙Tgの磁束波形が滑らかとなり、スロット次数成分と極スロット次数成分のコギング推力が共に低減できるためである。
図9は、実施の形態1の変形例のモジュール型リニアモータ2の構成を示す側面図である。モジュール型リニアモータ2は、図1と同様の構成を有する可動子モジュール群200と、固定子モジュール群500と、を備える。可動子モジュール群200は、3個の可動子モジュール20と、補助ティース25と、を有する。可動子モジュール20は、5個のティース部21bを有する。固定子モジュール群500は、2個の固定子モジュール50で構成されている。固定子モジュール50は、永久磁石ブロック50aと、固定子コア部50bと、を有する。永久磁石ブロック50aは、12個の磁極11を有する。すなわち、永久磁石ブロック50aの磁極数Np1は12である。また、1つの可動子モジュール20と空隙を介して対向配置された部分の磁極数Np2は4個である。
変形例のモジュール型リニアモータ2では、固定子モジュール群500は2個の固定子モジュール50で構成されているので、固定子モジュール隣接部15は1個しかない。このため、コギング推力をより低減することができる。
一方、永久磁石ブロック50aの磁極数Np1が増加するほど、永久磁石ブロック50aの着磁時に必要な電力が大きくなり、着磁コイルの冷却、またはコンデンサーへの充電に時間が必要となる。特に、磁極数Np1がNp2の3倍より大きくなると、生産性が低下する問題がある。図9に示す変形例では、磁極数Np1が12であり、Np2(=4)の3倍以下であるため、3倍より大きくした場合と比較して、生産性を向上できる。このように、実施の形態1では、Np1≦Np2×3とすることで、生産性の低下を抑制している。
このように、実施の形態1によれば、Np1>Np2としたので、可動子モジュール群200が固定子モジュール隣接部15と面する個数が少なくなり、複数の磁極が一括で着磁された永久磁石ブロックを用いた場合でも、可動子モジュール群200が固定子モジュール隣接部15に面した箇所を移動することによって生じるスロット次数成分のコギング推力を低減することができる。また、0.66<W2/W1<0.91となるように永久磁石ブロック10aを着磁するので、端部の着磁率低下領域C2における磁界分布と中央部の着磁率低下領域C1における磁界分布の対称性が向上し、さらに固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙Tgに生じる磁束が滑らかに変化し、スロット次数成分または極スロット次数成分のコギング推力を低減することができる。また、0.24<hs/W2<0.45となるよう隣り合うティース鍔部21cの間隔を設定するので、固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙Tgの磁束波形が滑らかとなり、スロット次数成分と極スロット次数成分のコギング推力をさらに低減することができる。
実施の形態2.
図10は、実施の形態2に係るモジュール型リニアモータ3の構成を示す側面図である。モジュール型リニアモータ3は、可動子モジュール群600と、固定子モジュール群700と、を備える。可動子モジュール群600は、3個の可動子モジュール60と、補助ティース65と、を有する。可動子モジュール60は、3個のティース部61bを有する。固定子モジュール群700は、4個の固定子モジュール70で構成されている。固定子モジュール70は、永久磁石ブロック70aと、固定子コア部70bと、を有する。永久磁石ブロック70aは、4個の磁極11を有する。すなわち、永久磁石ブロック70aの磁極数Np1は4である。また、1つの可動子モジュール60と空隙を介して対向配置された部分の磁極数Np2は2個である。
このように、磁極数Np1,Np2、スロット数が異なった場合においても、Np1>Np2が成立すれば、可動子モジュール群600が固定子モジュール隣接部15に面した箇所を移動することによって生じるコギング推力を低減することができる。
実施の形態3.
図11は、実施の形態3に係るモジュール型リニアモータ4の構成を示す側面図である。図12は、実施の形態3の可動子モジュール20の構成を示す拡大側面図である。実施の形態3では、実施の形態1の可動子モジュール20に切欠き部21eを追加している。それ以外の構成は、実施の形態1と同様であり、重複する説明は省略する。
図12に示すように、ティース鍔部21cの先端の中央部に、切欠き部21eが設けられている。切欠き部21eは、コギング推力を低減する効果を有するスロットオープン21dと類似した形状であるため、固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙の磁束密度がさらに滑らかに変化し、スロット次数成分と極スロット次数成分のコギング推力を共に低減することが可能となる。
具体的には、切欠き部21eの幅hs0は、スロットオープン21dの間隔hsと同様に、0.24<hs0/W2<0.45の関係が成立するため、固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙の磁束密度が滑らかに変化し、スロット次数成分と極スロット次数成分のコギング推力が共に低減できる効果が得られる。
なお、ティース鍔部21cの先端に形成される切欠き部21eは、1個に限らず、2個、あるいは3個以上としてもよい。切欠き部21eの数が増加した場合、固定子モジュール10と可動子モジュール20との間の空隙の磁束密度がさらに滑らかに変化し、コギング推力をより低減することができる。
以上の実施の形態に示した構成は、本開示の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本開示の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
1,2,3,4 モジュール型リニアモータ、10,50,70 固定子モジュール、10a,50a,70a 永久磁石ブロック、10b,50b,70b 固定子コア部、11 磁極、15,55 固定子モジュール隣接部、17 位置、20,60 可動子モジュール、21 可動子コア、21a コアバック、21b,31,61b ティース部、21c ティース鍔部、21d スロットオープン、21e 切欠き部、22 コイル、25,65 補助ティース、30 着磁ヨーク、32 着磁用コイル部、100,300,500,700 固定子モジュール群、200,400,600 可動子モジュール群、C1 中央部の着磁率低下領域、C2 端部の着磁率低下領域、G 着磁方向、M1 着磁コイル磁界、Np1,Np2 磁極数、S ストローク方向、Tg 空隙、V 垂直方向、W1,W2,Wa1~Wa6 幅、hs 間隔、hs0 幅。

Claims (5)

  1. ストローク方向に並設された複数の固定子モジュールを有する固定子モジュール群と、前記固定子モジュール群に対して空隙を隔てて対向配置される可動子モジュール群と、を備え、
    前記可動子モジュール群は、前記ストローク方向の両端に配置された補助ティースと、前記補助ティースの間に前記ストローク方向に並設された複数の可動子モジュールと、を備え、前記可動子モジュールの各々は、前記補助ティース間で前記ストローク方向に延在するコアバックおよび一定のピッチで配列された複数のティース部を有する可動子コアと、複数の前記ティース部の各々に巻回された複数のコイルと、を備え、
    前記固定子モジュールの各々は、複数の第1磁極数の磁極が1つの磁石に配列された永久磁石ブロックを備え、
    前記固定子モジュール群の前記永久磁石ブロックに含まれる複数の磁極のうち、1つの可動子モジュールに対して対向配置される磁極の個数を第2磁極数とするとき、前記第1磁極数が前記第2磁極数より大きい
    ことを特徴とするモジュール型リニアモータ。
  2. 前記永久磁石ブロックにおける中央部の極間の磁界分布と、端部の極間の磁界分布とは、非対称となっている
    ことを特徴とする請求項1に記載のモジュール型リニアモータ。
  3. 前記永久磁石ブロックの幅をW1とし、幅W1のうち、前記固定子モジュールから前記空隙だけ離れた位置の磁束量がピークの磁束量の50%以上となる領域の幅をW2とするとき、
    0.66<W2/W1<0.91
    となるように、前記永久磁石ブロックを着磁する
    ことを特徴とする請求項2に記載のモジュール型リニアモータ。
  4. 前記可動子モジュールの前記ティース部は、先端に前記ストローク方向に突出したティース鍔部を有し、隣り合うティース鍔部間の間隔をhsとしたとき、
    0.24<hs/W2<0.45
    とすることを特徴とする請求項3に記載のモジュール型リニアモータ。
  5. 前記ティース鍔部の先端面には、1つ以上の切欠き部が設けられ、
    前記切欠き部の幅をhs0としたとき、
    0.24<hs0/W2<0.45
    とすることを特徴とする請求項4に記載のモジュール型リニアモータ。
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