JP7194202B2 - 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年5月30日に出願された米国特許仮出願第62/677,871号に基づく、合衆国法典第35巻第119条に基づく優先権を主張し、その開示がここに、参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (6)
- 波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス光(CL)の、集光及び分析のための装置であって、
分光器と、
集光ミラーであって、前記集光ミラーによって集光されたCL光が、光強度を前記CL光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するように、配置されており、前記集光ミラーは、シンメトリック軸及びアシンメトリック軸を有する、集光ミラーと、
スリットであって、前記2次元光パターンが、前記スリット上に投射され、前記スリットは、前記2次元光パターンの狭い範囲だけが前記分光器に連結されることを許すように配置されており、前記スリットは、前記アシンメトリック軸に沿って光を通過させるように向き付けられている、スリットと、を備え、
前記2次元光パターンは、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するために、前記スリット上にわたって前記シンメトリック軸に沿って走査される、装置。 - 前記スリット上で前記2次元光パターンを走査するように配置された平行移動ミラーをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 試料からの波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス光(CL)を集光及び分析する方法であって、
高エネルギー荷電粒子ビームを前記試料に照射し、前記試料からCL光を発生させるステップと、
前記CL光を集光ミラーで集光し、光強度を前記CL光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するステップであって、前記集光ミラーは、シンメトリック軸及びアシンメトリック軸を有する、ステップと、
前記2次元光パターンをスリット上に投射するステップであって、前記スリットは、前記2次元光パターンの狭い範囲だけが分光器に連結されるように配置されており、前記スリットは、前記アシンメトリック軸に沿って光を通過させるように向き付けられている、ステップと、
前記2次元光パターンを、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するために、前記スリット上にわたって前記シンメトリック軸に沿って走査させるステップと
を含む方法。 - 前記2次元光パターンを前記走査させるステップは、ミラーを平行移動させることによって行われる、請求項3に記載の方法。
- 試料からの波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス光(CL)の集光及び分析するためのシステムであって、
高エネルギー荷電粒子ビームを前記試料に照射し、前記試料からCL光を発生させる、高エネルギー荷電粒子源と、
分光器と、
集光ミラーであって、前記集光ミラーによって集光されたCL光が、光強度を前記CL光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するように、配置されており、前記集光ミラーは、シンメトリック軸及びアシンメトリック軸を有する、集光ミラーと、
スリットであって、前記2次元光パターンが、前記スリット上に投射され、前記スリットは、前記2次元光パターンの狭い範囲だけが前記分光器に連結されることを許すように配置されており、前記スリットは、前記アシンメトリック軸に沿って光を通過させるように向き付けられている、スリットと、を備え、
前記2次元光パターンは、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するために、前記スリット上にわたって前記シンメトリック軸に沿って走査される、システム。 - 前記スリット上で前記2次元光パターンを走査するように配置された平行移動ミラーをさらに備える、請求項5に記載のシステム。
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